JP6240914B2 - 力変換器及びその調整方法 - Google Patents
力変換器及びその調整方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6240914B2 JP6240914B2 JP2015043542A JP2015043542A JP6240914B2 JP 6240914 B2 JP6240914 B2 JP 6240914B2 JP 2015043542 A JP2015043542 A JP 2015043542A JP 2015043542 A JP2015043542 A JP 2015043542A JP 6240914 B2 JP6240914 B2 JP 6240914B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strain
- short
- resistance pattern
- circuit wiring
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 21
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 claims description 4
- 101100365087 Arabidopsis thaliana SCRA gene Proteins 0.000 description 18
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 12
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 101100378758 Anemone leveillei AL21 gene Proteins 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 102100022907 Acrosin-binding protein Human genes 0.000 description 3
- 102100038080 B-cell receptor CD22 Human genes 0.000 description 3
- 102100032768 Complement receptor type 2 Human genes 0.000 description 3
- 101000756551 Homo sapiens Acrosin-binding protein Proteins 0.000 description 3
- 101000884305 Homo sapiens B-cell receptor CD22 Proteins 0.000 description 3
- 101000941929 Homo sapiens Complement receptor type 2 Proteins 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 102100026846 Cytidine deaminase Human genes 0.000 description 1
- 108010031325 Cytidine deaminase Proteins 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Force In General (AREA)
Description
力を受けて弾性変形する起歪部と、
ホイートストンブリッジ回路を構成して折り返し往復の形状からなる複数の抵抗パターン部を、起歪部に貼着される同一の基板上に一体で形成した歪みゲージと、
を有する力変換器において、
抵抗パターン部は、それぞれの抵抗パターン部の任意の箇所に所定の間隔を有して抵抗パターン部を短絡する配線で構成された複数の短絡配線部を有し、
短絡配線部の順次切断によって生ずる抵抗パターン部の歪み検出領域の延伸方向が、起歪部に生ずる歪みの絶対値の減少方向と一致していることを特徴とする。
また本発明の力変換器の調整方法は、
力を受けて弾性変形する起歪部と、
ホイートストンブリッジ回路を構成して折り返し往復の形状からなる複数の抵抗パターン部を、起歪部に貼着される同一の基板上に一体で形成した歪みゲージと、
を有する力変換器の調整方法であって、
抵抗パターン部は、それぞれの抵抗パターン部の任意の箇所に所定の間隔を有して抵抗パターン部を短絡する配線で構成された複数の短絡配線部を有し、
起歪部に生ずる歪みの絶対値が大きい位置にある短絡配線から順次切断されて、抵抗パターン部の抵抗値調整が行われることを特徴とする。
横軸Xは力導入部2の中心からの距離であって、縦軸の正の領域は引張歪みT、縦軸の負の領域は圧縮歪みCを示している。X=0付近では力導入部2の中心があって起歪部9の肉厚が大きいためそれほど大きな引張歪みは発生しないが、Xが増加するにしたがって引張歪みが増加して、力導入部2の外周境界部付近で最大となる。さらにXが増加すなわち起歪部9の外周へ行くにつれて引張歪みは減少し、圧縮歪み側へ移行し、力支持部3に到達する付近で圧縮歪みの絶対値は最大となる。
2 力導入部
3 力支持部
4 ケーブル
5 歪みゲージ
6a、6b、6c、6d、6e、6f 電極部
7 電源
8 調整用パッド
9 起歪部
11、12、13、14 抵抗パターン部
101 電極部
103a、103b、103c 短絡配線部
AL11、AL12、AL21、AL22 有効長
CD11、CD12、CD21、CD22、CDA、CDB 切断方向
MS11、MS12、MS21、MS22、MS31、MS32、MS41、MS42 最大感度方向
SP11、SP12、SP21、SP22、SP31、SP32、SP41、SP42 短絡配線部
TL11、TL12、TL21、TL22 切断ライン
Claims (2)
- 力を受けて弾性変形する起歪部と、
ホイートストンブリッジ回路を構成して折り返し往復の形状からなる複数の抵抗パターン部を、前記起歪部に貼着される同一の基板上に一体で形成した歪みゲージと、
を有する力変換器において、
前記抵抗パターン部は、それぞれの前記抵抗パターン部の任意の箇所に所定の間隔を有して前記抵抗パターン部を短絡する配線で構成された複数の短絡配線部を有し、
前記短絡配線部の順次切断によって生ずる前記抵抗パターン部の歪み検出領域の延伸方向が、前記起歪部に生ずる歪みの絶対値の減少方向と一致している、
ことを特徴とする力変換器。 - 力を受けて弾性変形する起歪部と、
ホイートストンブリッジ回路を構成して折り返し往復の形状からなる複数の抵抗パターン部を、前記起歪部に貼着される同一の基板上に一体で形成した歪みゲージと、
を有する力変換器の調整方法であって、
前記抵抗パターン部は、それぞれの前記抵抗パターン部の任意の箇所に所定の間隔を有して前記抵抗パターン部を短絡する配線で構成された複数の短絡配線部を有し、
前記起歪部に生ずる歪みの絶対値が大きい位置にある前記短絡配線から順次切断されて、前記抵抗パターン部の抵抗値調整が行われる、
ことを特徴とする力変換器の調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015043542A JP6240914B2 (ja) | 2015-03-05 | 2015-03-05 | 力変換器及びその調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015043542A JP6240914B2 (ja) | 2015-03-05 | 2015-03-05 | 力変換器及びその調整方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016161539A JP2016161539A (ja) | 2016-09-05 |
JP6240914B2 true JP6240914B2 (ja) | 2017-12-06 |
Family
ID=56846849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015043542A Active JP6240914B2 (ja) | 2015-03-05 | 2015-03-05 | 力変換器及びその調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6240914B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7369585B2 (ja) * | 2019-10-03 | 2023-10-26 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 力センサアレイ |
JP7369590B2 (ja) * | 2019-10-23 | 2023-10-26 | 公益財団法人電磁材料研究所 | ウェアラブル端末およびウェアラブル端末システム |
JP2021110703A (ja) * | 2020-01-15 | 2021-08-02 | ミネベアミツミ株式会社 | ひずみゲージ |
EP4379338A1 (en) | 2021-06-28 | 2024-06-05 | Nagano Keiki Co., Ltd. | Sensor module and method for manufacturing sensor module |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4777826A (en) * | 1985-06-20 | 1988-10-18 | Rosemount Inc. | Twin film strain gauge system |
JPH0887375A (ja) * | 1994-09-16 | 1996-04-02 | Fujitsu Ltd | ポインティングデバイス |
JP2001108543A (ja) * | 1999-10-14 | 2001-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力センサにおける歪み検出用素子の抵抗値調整方法 |
JP3913526B2 (ja) * | 2001-10-30 | 2007-05-09 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 変位センサとその製造方法および位置決めステージ |
-
2015
- 2015-03-05 JP JP2015043542A patent/JP6240914B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016161539A (ja) | 2016-09-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6240914B2 (ja) | 力変換器及びその調整方法 | |
TWI663386B (zh) | 壓力感測器及顯示裝置 | |
JP6545083B2 (ja) | タッチスクリーン、タッチパネル、表示装置および電子機器 | |
JP2007035962A (ja) | 半導体装置 | |
ES2813366T3 (es) | Producto en capas conductor transparente, panel táctil y dispositivo de visualización | |
WO2018003361A1 (ja) | シャント抵抗器の実装構造および実装基板 | |
JP2007035965A (ja) | 半導体装置およびその製造方法、ならびにそれに使用される接着材料およびその製造方法 | |
JP2005525582A (ja) | 歪みゲージ | |
JP2016075657A (ja) | 圧力アレイセンサモジュールおよびその製造方法 | |
ITTO20120154A1 (it) | Procedimento di assemblaggio di un dispositivo integrato a semiconduttore | |
EP2674971A1 (en) | Method for manufacturing heat dissipating plate for semiconductor module, said heat dissipating plate, and semiconductor module using said heat dissipating plate | |
US20170042024A1 (en) | Wired circuit board | |
JP2005274395A (ja) | 箔歪みゲージ | |
JP2011180146A (ja) | 半導体装置 | |
JP2015152363A (ja) | 電流センサ | |
JPWO2019131816A1 (ja) | 磁気センサモジュール | |
JP5339495B2 (ja) | ロードセル | |
JP6490039B2 (ja) | ひずみゲージ | |
JP2017146134A (ja) | 抵抗値調整回路および荷重検出装置ならびに抵抗値調整方法 | |
JP2018200301A (ja) | 微小機械センサモジュールを備える構成要素 | |
JP6492257B2 (ja) | 力変換器及びこれに使用される歪みゲージ | |
JP6275658B2 (ja) | 回路付サスペンション基板 | |
JP2004132742A (ja) | 歪センサの出力電圧温度補償抵抗の調整方法とそれに用いる温度補償抵抗の調整装置 | |
TW201135314A (en) | Touch sensing panel, touch display panel, and manufacturing method of touch sensing panel | |
JP6569066B2 (ja) | ストレインゲージ及びこれを備えた歪みセンサ及び力変換器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170920 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170922 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170920 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171002 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171011 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6240914 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |