JP6226537B2 - プリント配線板の製造方法 - Google Patents
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エポキシ樹脂1(ビスフェノールF型エポキシ樹脂、DIC社製「830−S」、常温(23℃)で液状)
エポキシ樹脂2(ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、日本化薬社製「NC3000H」、常温(23℃)で固形、軟化点70℃)
フェノール化合物(フェノール硬化剤、明和化成社製「MEH7851−4H」、フェノール性水酸基当量242)
イミダゾール化合物(2−エチル−4−メチルイミダゾール、四国化成社製「2E4MZ」)
シリカ含有スラリー(シリカ(トクヤマ社製「UF−320」、平均粒子径3.5μm、粗粒カットポイント20μm)が、イミダゾールシラン(JX日鉱日石金属社製、「IM−1000」)により表面処理されている)50重量%
フェノキシ樹脂(三菱化学社製「YX6954BH30」)
(1)絶縁層を形成するための絶縁樹脂フィルムの作製
エポキシ樹脂1(ビスフェノールF型エポキシ樹脂、DIC社製「830−S」)10重量部と、エポキシ樹脂2(ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、日本化薬社製「NC3000H」)10重量部と、フェノール化合物(フェノール硬化剤、明和化成社製「MEH7851−4H」、フェノール性水酸基当量242)20重量部と、イミダゾール化合物(四国化成社製「2E4MZ」)0.5重量部と、フェノキシ樹脂(三菱化学社製「YX6954BH30」)9.5重量部とを配合し、この配合物とシリカ含有スラリーを固形分で55重量部とを撹拌機を用いて1200rpmで1時間撹拌し、樹脂組成物を得た。
厚み0.7mmのCCL基板(日立化成工業社製「E679FG」)を用意した。この基板にドリルにてビア径0.2mmの穴(貫通孔)を開けた。その後、高圧洗浄と、過マンガン酸ナトリウム溶液を用いたデスミア処理とを行った。次に、無電解銅めっきと、銅配線を形成するために電解銅めっき処理とを行なった。次に、電解銅めっきが施された穴内に、孔埋めインク(山栄化学社製「PHP−900」)をスクリーン印刷にて埋め込んだ後、余分なインクをバフ研磨にて除去した。このようにして、厚み20μmの銅配線が両側の表面上に配置されており、かつ銅配線が穴内に充填されている銅張り基板を得た。この銅張り基板を用いて、以下のようにして、銅張り基板の両面に、絶縁層及び銅配線を順次形成した。
マイクロエッチング処理時に、銅配線の露出している表面(ランド部)の十点平均粗さRzを下記の表1に示す値となるように処理を行ったこと以外は実施例1と同様にして、3層構造のビルドアップ配線板を作製した。
マイクロエッチング処理(粗化処理)を行わなかったこと以外は実施例1と同様にして、銅配線が3層構造のビルドアップ配線板を作製した。
ソフトエッチング処理及びマイクロエッチング処理(粗化処理)を行わなかったこと以外は実施例1と同様にして、3層構造のビルドアップ配線板を作製した。
(1)粗化処理後の銅配線の露出している表面の十点平均粗さRzの測定
3層構造のビルドアップ配線板を作製する際に、粗化処理直後の銅配線の露出している表面の十点平均粗さRzを評価した。非接触3次元表面形状測定装置(Veeco社製「WYKO NT1100」)を用いて、銅配線の表面の94μm×123μmの測定エリアにおける十点平均粗さRzを3回測定し、測定値の平均値を十点平均粗さRzとした。
上記(1)十点平均粗さRzの測定時に、絶縁層の穴内の樹脂の残渣を確認するために、穴内の周囲を、電子顕微鏡(日本電子社製「JSM6700F」)を用いて観察し、画像を得た。得られた画像から、穴内の内壁面からの延びている残渣の最大長さを測定した。デスミア性を下記の基準で判定した。
○:残渣の最大長さが3μm未満
×:残渣の最大長さが3μm以上
得られた3層構造のビルドアップ配線板について、熱サイクル(−65℃〜150℃)を1000回繰り返す熱サイクル試験を行った。熱サイクル試験後に、デスミア処理後に粗化処理された銅配線と、その銅配線の表面に接触している銅配線との接触界面において、クラックが発生しているか否かを評価した。光学顕微鏡(オリンパス社製「STM6」)を用いて、500倍にて30箇所の穴内の接触界面におけるクラックの有無を観察した。30箇所中、クラックがあった箇所の数を下記の表1に示した。
2…プリント配線板
11…基板
11a…穴
12,12A…第1の配線
12a…露出している表面(粗化処理される表面)
13,13A,13B…絶縁層(第1の絶縁層)
13a…穴
14…第2の配線
15…他の絶縁層
16…他の配線
21…第2の絶縁層
22…第1の配線
22a…露出している表面(粗化処理される表面)
23…絶縁層(第1の絶縁層)
23a…穴
24…第2の配線
25…他の絶縁層
26…他の配線
51…レジストパターン
Claims (2)
- 基板又は第2の絶縁層の表面上に、第1の配線が配置されている積層体を用いて、前記第1の配線の表面上に、前記第1の配線の表面が部分的に露出するように開口している穴を有する第1の絶縁層を形成する工程と、
前記第1の絶縁層の前記穴内をデスミア処理する工程と、
前記デスミア処理の後に、前記穴の開口から露出している前記第1の配線の表面を粗化
処理する工程と、
前記第1の絶縁層の表面上と前記第1の絶縁層の前記穴内とに第2の配線を形成する工程とを備え、
前記粗化処理する工程において、粗化処理された前記第1の配線の表面の十点平均粗さRzが5.5μm以上になるように、前記穴の開口から露出している前記第1の配線の表面を粗化処理し、
前記第2の配線を形成する工程において、前記第1の絶縁層の表面に対して直接無電解めっき処理することによって、前記第1の絶縁層の表面上にめっき層を形成し、該めっき層から前記第1の絶縁層の表面上の前記第2の配線を形成し、
デスミア処理後に粗化処理された前記第1の配線の表面と、前記第2の配線の表面とを接続することで、前記第1の配線と前記第2の配線とを導通させる、プリント配線板の製造方法。 - 前記粗化処理に、硫酸と過酸化水素とを含む粗化液又は有機酸を含む粗化液を用いる、請求項1に記載のプリント配線板の製造方法。
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