JP6224150B2 - 半導体装置、表示モジュール、電子機器 - Google Patents
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Description
ている。しかしながら、LCDには、視野角が狭い、色度範囲が狭い、応答速度が遅い、
などの様々な欠点を有している。そこで、それらの欠点を克服したディスプレイとして、
有機EL(エレクトロルミネッセンス、有機発光ダイオード、オーレッドなどとも言う)
ディスプレイの研究が活発に行われている(特許文献1)。
トランジスタの電流特性が、画素毎にばらついてしまう、という問題点があった。有機E
L素子に流れる電流(すなわち、トランジスタを流れる電流)がばらつけば、有機EL素
子の輝度もばらつき、ムラのある表示画面となってしまう。そこで、トランジスタのしき
い値電圧のバラツキを補正する方法が検討されている(特許文献2乃至6)。
ばらつけば、有機EL素子に流れる電流もばらついてしまい、画像ムラを生じてしまう。
そこで、トランジスタのしきい値電圧だけでなく、移動度のバラツキも補正する方法が検
討されている(特許文献7乃至8)。
ながら、トランジスタの移動度のばらつきの補正を行っており、問題が生じる。
素に映像信号を入力することが出来ない。通常、画素数、フレーム周波数または画面サイ
ズなどが決まれば、各画素に映像信号を入力する期間(いわゆる、1ゲート選択期間また
は1水平期間)の最大値も決まる。よって、1ゲート選択期間中に、移動度のバラツキの
補正を行う期間が増えることにより、他の処理(映像信号の入力やしきい値電圧の取得な
ど)の期間が減ってしまう。そのため画素では、1ゲート選択期間中に、様々な処理を行
わなければならないこととなる。結果として、処理期間が足りず、正確な処理を行えない
、または、移動度のバラツキの補正の期間を十分に確保することができないために移動度
の補正が不十分となってしまう。
当たりの1ゲート選択期間がますます短くなる。そのため、画素への映像信号の入力や、
移動度のばらつきの補正などが十分に確保できなくなってしまう。
きの補正は、映像信号の波形のなまりの影響を受けやすい。そのため、映像信号の波形の
なまりが大きい場合と小さい場合とでは、移動度の補正の程度にばらつきが生じてしまい
、正確な補正が出来ない。
動を行うことが困難である場合が多い。点順次駆動では、ある行の画素に映像信号を入力
する場合、その行の全ての画素に同時に映像信号を入力するのではなく、1画素ずつ順に
映像信号を入力していく。したがって、映像信号を入力している期間の長さは、画素毎に
異なってくる。よって、映像信号を入力しながら移動度のばらつきの補正を行う場合、画
素毎に移動度のばらつきの補正期間が異なってきてしまうため、補正量も画素毎に異なっ
てしまい、正常に補正を行うことが出来ない。したがって、映像信号を入力しながら移動
度のばらつきの補正を行う場合は、点順次駆動ではなく、その行の全ての画素に同時に信
号を入力する線順次駆動を行う必要がある。
(ビデオ信号線駆動回路、ソースドライバー、データドライバーとも言う)の構成が複雑
になる。例えば、線順次駆動でのソース信号線駆動回路は、DAコンバータ、アナログバ
ッファ、ラッチ回路などの回路が必要となる場合が多い。しかし、アナログバッファは、
オペアンプやソースフォロワ回路などで構成される場合が多く、トランジスタの電流特性
のばらつきの影響を受けやすい。したがって、TFT(薄膜トランジスタ)を用いて回路
を構成する場合、トランジスタの電流特性のばらつきを補正する回路が必要となり、回路
の規模が大きくなってしまったり、消費電力が大きくなってしまったりする。そのため、
画素部分のトランジスタとしてTFTが用いられている場合には、画素部分と信号線駆動
回路とを同一基板上に形成することが困難となる可能性がある。そのため、信号線駆動回
路を画素部分とは別の手段を用いて作成する必要があり、コストが高くなってしまう可能
性がある。さらに、画素部分と信号線駆動回路とを、COG(チップ・オン・グラス)ま
たはTAB(テープ・オートメイテド・ボンディング)などを用いて接続する必要があり
、接触不良などを起こしてしまったり、信頼性を損ねてしまったりする。
とを課題とする。または、本発明の一態様は、トランジスタの移動度のばらつきの影響を
低減することを課題とする。または、本発明の一態様は、トランジスタの電流特性のばら
つきの影響を低減することを課題とする。または、本発明の一態様は、映像信号の入力期
間を長く確保することを課題とする。または、本発明の一態様は、しきい値電圧のばらつ
きの影響を低減するための補正期間を長く確保することを課題とする。または、本発明の
一態様は、移動度のばらつきの影響を低減するための補正期間を長く確保することを課題
とする。または、本発明の一態様は、移動度のばらつきの補正が映像信号の波形のなまり
の影響を受けにくくすることを課題とする。または、本発明の一態様は、線順次駆動だけ
でなく、点順次駆動を用いることも出来ることを課題とする。または、本発明の一態様は
、画素と駆動回路とを同じ基板上に形成することを課題とする。または、本発明の一態様
は、消費電力を低くすることを課題とする。または、本発明の一態様は、製造コストを低
くすることを課題とする。または、本発明の一態様は、配線の接続部分の接触不良を起こ
す可能性を低減することを課題とする。なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を
妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、上記の課題の全てを解決する必要はない
ものとする。
子と、を有する半導体装置の駆動方法であって、容量素子に、トランジスタのしきい値電
圧に応じた電圧を保持する第1の期間と、しきい値電圧が保持された容量素子に映像信号
電圧及びしきい値電圧の和を保持する第2の期間と、第2の期間に、映像信号電圧及びし
きい値電圧の和に応じて容量素子に保持された電荷を、トランジスタを介して放電する第
3の期間と、を有する半導体装置の駆動方法である。
子と、を有する半導体装置の駆動方法であって、容量素子に保持される電荷を初期化する
ための第1の期間と、容量素子に、トランジスタのしきい値電圧に応じた電圧を保持する
第2の期間と、しきい値電圧が保持された容量素子に映像信号電圧及びしきい値電圧の和
を保持する第3の期間と、第3の期間に、映像信号電圧及びしきい値電圧の和に応じて容
量素子に保持された電荷を、トランジスタを介して放電する第4の期間と、を有する半導
体装置の駆動方法。
子と、表示素子と、を有する半導体装置の駆動方法であって、容量素子に、トランジスタ
のしきい値電圧に応じた電圧を保持する第1の期間と、しきい値電圧が保持された容量素
子に映像信号電圧及びしきい値電圧の和を保持する第2の期間と、第2の期間に、映像信
号電圧及びしきい値電圧の和に応じて容量素子に保持された電荷を、トランジスタを介し
て放電する第3の期間と、第3の期間の後に、トランジスタを介して、表示素子に電流を
供給する第4の期間と、を有する半導体装置の駆動方法。
子と、表示素子と、を有する半導体装置の駆動方法であって、容量素子に保持される電荷
を初期化するための第1の期間と、容量素子に、トランジスタのしきい値電圧に応じた電
圧を保持する第2の期間と、しきい値電圧が保持された容量素子に映像信号電圧及びしき
い値電圧の和を保持する第3の期間と、第3の期間に、映像信号電圧及びしきい値電圧の
和に応じて容量素子に保持された電荷を、トランジスタを介して放電する第4の期間と、
第3の期間の後に、トランジスタを介して、表示素子に電流が供給する第5の期間と、を
有する半導体装置の駆動方法。
チや機械的なスイッチなどがある。つまり、電流の流れを制御できるものであればよく、
特定のものに限定されない。例えば、スイッチとして、トランジスタ(例えば、バイポー
ラトランジスタ、MOSトランジスタなど)、ダイオード(例えば、PNダイオード、P
INダイオード、ショットキーダイオード、MIM(Metal Insulator
Metal)ダイオード、MIS(Metal Insulator Semicond
uctor)ダイオード、ダイオード接続のトランジスタなど)などを用いることが出来
る。または、これらを組み合わせた論理回路をスイッチとして用いることが出来る。
MEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)技術を用いたスイッチがある
。そのスイッチは、機械的に動かすことが出来る電極を有し、その電極が動くことによっ
て、導通と非導通とを制御して動作する。
型のスイッチをスイッチとして用いてもよい。
されている場合と、AとBとが機能的に接続されている場合と、AとBとが直接接続され
ている場合とを含むものとする。ここで、A、Bは、対象物(例えば、装置、素子、回路
、配線、電極、端子、導電膜、層、など)であるとする。したがって、所定の接続関係、
例えば、図または文章に示された接続関係に限定されず、図または文章に示された接続関
係以外のものも含むものとする。
とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイ
オードなど)が、AとBとの間に1個以上接続されていてもよい。あるいは、AとBとが
機能的に接続されている場合として、AとBとの機能的な接続を可能とする回路(例えば
、論理回路(インバータ、NAND回路、NOR回路など)、信号変換回路(DA変換回
路、AD変換回路、ガンマ補正回路など)、電位レベル変換回路(電源回路(昇圧回路、
降圧回路など)、信号の電位レベルを変えるレベルシフタ回路など)、電圧源、電流源、
切り替え回路、増幅回路(信号振幅または電流量などを大きく出来る回路、オペアンプ、
差動増幅回路、ソースフォロワ回路、バッファ回路など)、信号生成回路、記憶回路、制
御回路など)が、AとBとの間に1個以上接続されていてもよい。例えば、AとBとの間
に別の回路を挟んでいても、Aから出力された信号がBへ伝達される場合は、AとBとは
機能的に接続されているものとする。
的に接続されている場合(つまり、AとBとの間に別の素子や別の回路を挟んで接続され
ている場合)と、AとBとが機能的に接続されている場合(つまり、AとBとの間に別の
回路を挟んで機能的に接続されている場合)と、AとBとが直接接続されている場合(つ
まり、AとBとの間に別の素子や別の回路を挟まずに接続されている場合)とを含むもの
とする。つまり、電気的に接続されている、と明示的に記載する場合は、単に、接続され
ている、とのみ明示的に記載されている場合と同じであるとする。
置である発光装置は、様々な形態を用いたり、様々な素子を有することが出来る。例えば
、表示素子、表示装置、発光素子または発光装置としては、EL(エレクトロルミネッセ
ンス)素子(有機物及び無機物を含むEL素子、有機EL素子、無機EL素子)、LED
(白色LED、赤色LED、緑色LED、青色LEDなど)、トランジスタ(電流に応じ
て発光するトランジスタ)、電子放出素子、液晶素子、電子インク、電気泳動素子、グレ
ーティングライトバルブ(GLV)、プラズマディスプレイ(PDP)、デジタルマイク
ロミラーデバイス(DMD)、圧電セラミックディスプレイ、カーボンナノチューブ、な
ど、電気磁気的作用により、コントラスト、輝度、反射率、透過率などが変化する表示媒
体を有することができる。なお、EL素子を用いた表示装置としてはELディスプレイ、
電子放出素子を用いた表示装置としてはフィールドエミッションディスプレイ(FED)
やSED方式平面型ディスプレイ(SED:Surface−conduction E
lectron−emitter Disply)など、液晶素子を用いた表示装置とし
ては液晶ディスプレイ(透過型液晶ディスプレイ、半透過型液晶ディスプレイ、反射型液
晶ディスプレイ、直視型液晶ディスプレイ、投射型液晶ディスプレイ)、電子インクや電
気泳動素子を用いた表示装置としては電子ペーパーがある。
子であり、一対の電極、及び液晶により構成される。なお、液晶の光学的変調作用は、液
晶にかかる電界(横方向の電界、縦方向の電界又は斜め方向の電界を含む)によって制御
される。なお、液晶素子としては、ネマチック液晶、コレステリック液晶、スメクチック
液晶、ディスコチック液晶、サーモトロピック液晶、リオトロピック液晶、低分子液晶、
高分子液晶、高分子分散型液晶(PDLC)、強誘電液晶、反強誘電液晶、主鎖型液晶、
側鎖型高分子液晶、プラズマアドレス液晶(PALC)、バナナ型液晶などを挙げること
ができる。また、液晶の駆動方式としては、TN(Twisted Nematic)モ
ード、STN(Super Twisted Nematic)モード、IPS(In−
Plane−Switching)モード、FFS(Fringe Field Swi
tching)モード、MVA(Multi−domain Vertical Ali
gnment)モード、PVA(Patterned Vertical Alignm
ent)モード、ASV(Advanced Super View)モード、ASM(
Axially Symmetric aligned Micro−cell)モード
、OCB(Optically Compensated Birefringence
)モード、ECB(Electrically Controlled Birefri
ngence)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Crys
tal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liquid Cr
ystal)モード、PDLC(Polymer Dispersed Liquid
Crystal)モード、ゲストホストモード、ブルー相(Blue Phase)モー
ドなどを用いることができる。ただし、これに限定されず、液晶素子及びその駆動方法と
して様々なものを用いることができる。
用いるトランジスタの種類に限定はない。例えば、非晶質シリコン、多結晶シリコン、微
結晶(マイクロクリスタル、ナノクリスタル、セミアモルファスとも言う)シリコンなど
に代表される非単結晶半導体膜を有する薄膜トランジスタ(TFT)などを用いることが
出来る。
晶性をさらに向上させ、電気特性のよいトランジスタを製造することが可能となる。なお
、微結晶シリコンを製造するときに、触媒(ニッケルなど)を用いることにより、結晶性
をさらに向上させ、電気特性のよいトランジスタを製造することが可能となる。ただし、
触媒(ニッケルなど)を用いずに、多結晶シリコンや微結晶シリコンを製造することは可
能である。
体で行うことが望ましいが、それに限定されない。パネルの一部の領域のみにおいて、シ
リコンの結晶性を向上させてもよい。
、TiO、AlZnSnO(AZTO)などの化合物半導体または酸化物半導体を有する
トランジスタや、さらに、これらの化合物半導体または酸化物半導体を薄膜化した薄膜ト
ランジスタなどを用いることが出来る。なお、これらの化合物半導体または酸化物半導体
を、トランジスタのチャネル部分に用いるだけでなく、それ以外の用途で用いることも出
来る。例えば、これらの化合物半導体または酸化物半導体を抵抗素子、画素電極、透光性
を有する電極として用いることができる。さらに、それらをトランジスタと同時に成膜又
は形成できるため、コストを低減できる。
来る。
きる。これらにより、曲げることが可能な基板上にトランジスタを形成することが出来る
。このような基板を用いた半導体装置は、衝撃に強くすることができる。
スタ、接合型トランジスタ、バイポーラトランジスタなどをトランジスタとして用いるこ
とが出来る。
形成してもよい。
定のものに限定されることはない。その基板としては、例えば、単結晶基板(例えばシリ
コン基板)、SOI基板、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板、金属基板、ステン
レス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有する基板、タングステン基板、タン
グステン・ホイルを有する基板、可撓性基板などを用いることが出来る。ガラス基板の一
例としては、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラスなどがある。可撓性
基板の一例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレー
ト(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)に代表されるプラスチック、又はアク
リル等の可撓性を有する合成樹脂などがある。他にも、貼り合わせフィルム(ポリプロピ
レン、ポリエステル、ビニル、ポリフッ化ビニル、塩化ビニルなど)、繊維状な材料を含
む紙、基材フィルム(ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、無機蒸着フィルム、紙類
等)などがある。または、ある基板を用いてトランジスタを形成し、その後、別の基板に
トランジスタを転置し、別の基板上にトランジスタを配置してもよい。トランジスタが転
置される基板としては、単結晶基板、SOI基板、ガラス基板、石英基板、プラスチック
基板、紙基板、セロファン基板、石材基板、木材基板、布基板(天然繊維(絹、綿、麻)
、合成繊維(ナイロン、ポリウレタン、ポリエステル)若しくは再生繊維(アセテート、
キュプラ、レーヨン、再生ポリエステル)などを含む)、皮革基板、ゴム基板、ステンレ
ス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有する基板などを用いることができる。
あるいは、人などの動物の皮膚(表皮、真皮)又は皮下組織を基板として用いてもよい。
または、ある基板を用いてトランジスタを形成し、その基板を研磨して薄くしてもよい。
研磨される基板としては、単結晶基板、SOI基板、ガラス基板、石英基板、プラスチッ
ク基板、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有する基板などを用い
ることができる。これらの基板を用いることにより、特性のよいトランジスタの形成、消
費電力の小さいトランジスタの形成、壊れにくい装置の製造、耐熱性の付与、軽量化、又
は薄型化を図ることができる。
い。例えば、ゲート電極が2個以上のマルチゲート構造を適用することができる。
る。なお、チャネルの上下にゲート電極が配置される構成にすることにより、複数のトラ
ンジスタが並列に接続されたような構成となる。
が配置されている構造、正スタガ構造、逆スタガ構造、チャネル領域を複数の領域に分け
た構造、チャネル領域を並列に接続した構造、またはチャネル領域が直列に接続する構成
も適用できる。さらに、チャネル領域(もしくはその一部)にソース電極やドレイン電極
が重なっている構造も適用できる。
せることができる。したがって、所定の機能を実現させるために必要な回路の全てが、同
一の基板に形成することも可能である。例えば、所定の機能を実現させるために必要な回
路の全てが、ガラス基板、プラスチック基板、単結晶基板、またはSOI基板などの様々
な基板を用いて形成することも可能である。あるいは、所定の機能を実現させるために必
要な回路の一部が、ある基板に形成され、所定の機能を実現させるために必要な回路の別
の一部が、別の基板に形成されていることも可能である。つまり、所定の機能を実現させ
るために必要な回路の全てが同じ基板を用いて形成されていなくてもよい。例えば、所定
の機能を実現させるために必要な回路の一部は、ガラス基板上にトランジスタにより形成
され、所定の機能を実現させるために必要な回路の別の一部は、単結晶基板に形成され、
単結晶基板を用いて形成されたトランジスタで構成されたICチップをCOG(Chip
On Glass)でガラス基板に接続して、ガラス基板上にそのICチップを配置す
ることも可能である。あるいは、そのICチップをTAB(Tape Automate
d Bonding)やプリント基板を用いてガラス基板と接続することも可能である。
子を有する素子であり、ドレイン領域とソース領域の間にチャネル領域を有しており、ド
レイン領域とチャネル領域とソース領域とを介して電流を流すことが出来る。ここで、ソ
ースとドレインとは、トランジスタの構造や動作条件等によって変わるため、いずれがソ
ースまたはドレインであるかを限定することが困難である。そこで、ソース及びドレイン
として機能する領域を、ソースもしくはドレインと呼ばない場合がある。その場合、一例
としては、それぞれを第1端子、第2端子と表記する場合がある。あるいは、それぞれを
第1電極、第2電極と表記する場合がある。あるいは、第1領域、第2領域と表記する場
合がある。
有する素子であってもよい。この場合も同様に、エミッタとコレクタとを、第1端子、第
2端子などと表記する場合がある。
に記載する場合は、Aの上にBが直接接して形成されていることに限定されない。直接接
してはいない場合、つまり、AとBと間に別の対象物が介在する場合も含むものとする。
ここで、A、Bは、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層
、など)であるとする。
記載されている場合は、層Aの上に直接接して層Bが形成されている場合と、層Aの上に
直接接して別の層(例えば層Cや層Dなど)が形成されていて、その上に直接接して層B
が形成されている場合とを含むものとする。なお、別の層(例えば層Cや層Dなど)は、
単層でもよいし、複層でもよい。
様であり、Aの上にBが直接接していることに限定されず、AとBとの間に別の対象物が
介在する場合も含むものとする。従って例えば、層Aの上方に、層Bが形成されている、
という場合は、層Aの上に直接接して層Bが形成されている場合と、層Aの上に直接接し
て別の層(例えば層Cや層Dなど)が形成されていて、その上に直接接して層Bが形成さ
れている場合とを含むものとする。なお、別の層(例えば層Cや層Dなど)は、単層でも
よいし、複層でもよい。
成されている、と明示的に記載する場合、斜め上にBが形成される場合も含むこととする
。
。ただし、これに限定されず、複数であることも可能である。同様に、明示的に複数とし
て記載されているものについては、複数であることが望ましい。ただし、これに限定され
ず、単数であることも可能である。
がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。
れない。例えば、製造技術による形状のばらつき、誤差による形状のばらつき、ノイズに
よる信号、電圧、若しくは電流のばらつき、又は、タイミングのずれによる信号、電圧、
若しくは電流のばらつきなどを含むことが可能である。
、発明の一態様は、専門用語によって、限定して解釈されるものではない。
常の当業者が理解する一般的な意味と同等の意味として用いることが可能である。辞書等
により定義されている文言は、関連技術の背景と矛盾がないような意味に解釈されること
が好ましい。
区別して記述するために用いられる。よって、第1、第2、第3などの語句は、要素、部
材、領域、層、区域などの数を限定するものではない。さらに、例えば、「第1の」を「
第2の」又は「第3の」などと置き換えることが可能である。
「斜めに」、「奥に」、「手前に」、「内に」、「外に」、又は「中に」などの空間的配
置を示す語句は、ある要素又は特徴と、他の要素又は特徴との関連を、図によって簡単に
示すために用いられる場合が多い。ただし、これに限定されず、これらの空間的配置を示
す語句は、図に描く方向に加えて、他の方向を含むことが可能である。例えば、Aの上に
B、と明示的に示される場合は、BがAの上にあることに限定されない。図中のデバイス
は反転、又は180°回転することが可能なので、BがAの下にあることを含むことが可
能である。このように、「上に」という語句は、「上に」の方向に加え、「下に」の方向
を含むことが可能である。ただし、これに限定されず、図中のデバイスは様々な方向に回
転することが可能なので、「上に」という語句は、「上に」、及び「下に」の方向に加え
、「横に」、「右に」、「左に」、「斜めに」、「奥に」、「手前に」、「内に」、「外
に」、又は「中に」などの他の方向を含むことが可能である。つまり、状況に応じて適切
に解釈することが可能である。
る。または、本発明の一態様は、トランジスタの移動度のばらつきの影響を低減すること
が出来る。または、本発明の一態様は、トランジスタの電流特性のばらつきの影響を低減
することが出来る。または、本発明の一態様は、映像信号の入力期間を長く確保すること
が出来る。または、本発明の一態様は、しきい値電圧のばらつきの影響を低減するための
補正期間を長く確保することが出来る。または、本発明の一態様は、移動度のばらつきの
影響を低減するための補正期間を長く確保することが出来る。または、本発明の一態様は
、移動度のばらつきの補正が映像信号の波形のなまりの影響を受けにくくすることが出来
る。または、本発明の一態様は、線順次駆動だけでなく、点順次駆動を用いることが出来
る。または、本発明の一態様は、画素と駆動回路とを同じ基板上に形成することが出来る
。または、本発明の一態様は、消費電力を低くすることが出来る。または、本発明の一態
様は、コストを低くすることが出来る。または、本発明の一態様は、配線の接続部分の接
触不良を低減することが出来る。
くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくそ
の形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って本実
施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する構成にお
いて、同様のものを指す符号は異なる図面間で共通の符号を用いて示し、同一部分又は同
様な機能を有する部分の詳細な説明は省略する。
態で述べる別の内容(一部の内容でもよい)、及び/又は、一つ若しくは複数の別の実施
の形態で述べる内容(一部の内容でもよい)に対して、適用、組み合わせ、又は置き換え
などを行うことが出来る。
述べる内容、又は明細書に記載される文章を用いて述べる内容のことである。
その実施の形態において述べる別の図(一部でもよい)、及び/又は、一つ若しくは複数
の別の実施の形態において述べる図(一部でもよい)に対して、組み合わせることにより
、さらに多くの図を構成させることが出来る。
して、発明の一態様を構成することは可能である。したがって、ある部分を述べる図また
は文章が記載されている場合、その一部分の図または文章を取り出した内容も、発明の一
態様として開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能であるものと
する。そのため、例えば、能動素子(トランジスタ、ダイオードなど)、配線、受動素子
(容量素子、抵抗素子など)、導電層、絶縁層、半導体層、有機材料、無機材料、部品、
基板、モジュール、装置、固体、液体、気体、動作方法、製造方法などが単数又は複数記
載された図面(断面図、平面図、回路図、ブロック図、フローチャート、工程図、斜視図
、立面図、配置図、タイミングチャート、構造図、模式図、グラフ、表、光路図、ベクト
ル図、状態図、波形図、写真、化学式など)または文章において、その一部分を取り出し
て、発明の一態様を構成することが可能であるものとする。一例としては、N個(Nは整
数)の回路素子(トランジスタ、容量素子等)を有して構成される回路図から、M個(M
は整数で、M<N)の回路素子(トランジスタ、容量素子等)を抜き出して、発明の一態
様を構成することは可能である。別の一例としては、N個(Nは整数)の層を有して構成
される断面図から、M個(Mは整数で、M<N)の層を抜き出して、発明の一態様を構成
することは可能である。別の一例としては、N個(Nは整数)の要素を有して構成される
フローチャートから、M個(Mは整数で、M<N)の要素を抜き出して、発明の一態様を
構成することは可能である。
図1(A)乃至(C)に、トランジスタのしきい値電圧、移動度などの電流特性のばらつ
きを補正する場合の駆動方法、駆動タイミングおよび、その時の回路構成について、その
一例を示す。なお、本実施の形態においては、トランジスタの導電型がpチャネル型の例
について説明を行う。
る回路構成を示す。すなわち、トランジスタ101に接続された容量素子に、トランジス
タ101のしきい値電圧に応じた電荷を保持させるための期間における回路構成について
示す。なお図1(A)に示す回路構成は、トランジスタ101のしきい値電圧の電流特性
のばらつきを補正するために、トランジスタのゲートに保持されている電荷を放電するた
めの回路構成であり、実際には配線間に設けられる複数のスイッチのオンまたはオフを制
御することで当該回路構成の接続関係を実現するものである。なお図中、実線は素子間の
導通状態をあらわし、点線は、素子間の非導通状態をあらわすものとする。なお導通状態
、非導通状態は、スイッチ、トランジスタ、抵抗素子、容量素子等の素子で接続を切り替
えることにより、制御することが可能である。
端子という)は、配線103と導通状態にある。トランジスタ101のソースまたはドレ
インの他方(以下、第2の端子という)は、トランジスタ101のゲートと導通状態にあ
る。容量素子102Aの第1の端子(または第1の電極)は、トランジスタ101のゲー
トと導通状態にある。容量素子102Aの第2の端子(または第2の電極)は、容量素子
102Bの第1の端子(または第1の電極)、トランジスタ101の第1の端子、及び配
線103と導通状態にある。容量素子102Bの第2の端子(または第2の電極)は、配
線103と導通状態にある。
タ101の第2の端子と、非導通状態にある。トランジスタ101の第2の端子以外の端
子、配線または電極と、表示素子105の第1の端子(または第1の電極)とは、非導通
状態にあることが望ましい。表示素子105の第2の端子(または第2の電極)は、配線
106と導通状態にあることが望ましい。
04は、容量素子102Aの第2の端子、容量素子102Bの第1の端子と、非導通状態
にある。なお、配線104は、図1(A)に示すように、トランジスタ101の第2の端
子と容量素子102Aの第2の端子、容量素子102Bの第1の端子以外の端子、配線ま
たは電極とも、非導通状態にあることが望ましい。
02Bに、映像信号または所定の電圧などを供給される場合がある。よって、配線104
は、ソース信号線、映像信号線、または、ビデオ信号線などと呼ばれる場合がある。
間における回路構成を示す。なお図1(B)に示す回路構成は、トランジスタ101の移
動度などの電流特性のばらつきを補正するために、トランジスタのゲートに保持されてい
る電荷を放電するための回路構成であり、実際には配線間に設けられる複数のスイッチの
オンまたはオフを制御することで当該回路構成の接続関係を実現するものである。
。トランジスタ101の第2の端子は、トランジスタ101のゲートと導通状態にある。
容量素子102Aの第1の端子は、トランジスタ101のゲートと導通状態にある。容量
素子102Aの第2の端子は、容量素子102Bの第1の端子と導通状態にある。容量素
子102Bの第2の端子は、配線103と導通状態にある。
と、非導通状態にある。トランジスタ101の第2の端子以外の端子、配線または電極と
、表示素子105の第1の端子とは、非導通状態にあることが望ましい。表示素子105
の第2の端子は、配線106と導通状態にあることが望ましい。
04は、容量素子102Aの第2の端子、容量素子102Bの第1の端子と、非導通状態
にある。なお、配線104は、図1(B)に示すように、トランジスタ101の第2の端
子と容量素子102Aの第2の端子、容量素子102Bの第1の端子以外の端子、配線ま
たは電極とも、非導通状態にあることが望ましい。
の電流特性のばらつきの補正を行う前に、容量素子102Aには、トランジスタ101の
しきい値電圧に応じた電圧が保持され、その上で映像信号(ビデオ信号)が配線104を
介して容量素子102Bに入力されていることが望ましい。したがって、容量素子102
Aにはしきい値電圧に応じた電圧、容量素子102Bには映像信号電圧が保持されている
ことが望ましい。その結果、トランジスタ101のゲートとソースの間の電圧は、容量素
子102Aと容量素子102Bとの和になるので、容量素子102A及び容量素子102
Bには、しきい値電圧に応じた電圧と映像信号電圧との和の電圧が保持されていることと
なる。よって、図1(A)と図1(B)との間の状態においては、つまり、図1(B)の
トランジスタ101の移動度のばらつきの補正を行う前には、配線104は、トランジス
タ101のドレイン、ソース、ゲート、容量素子102Aの第2の端子、容量素子102
Bの第1の端子、などのうちの少なくとも一つと導通状態にあり、既に映像信号の入力動
作が行われていることが望ましい。
圧に応じた電圧および映像信号電圧の和の電圧が保持されている場合、スイッチングノイ
ズなどにより、わずかに電圧が変動する可能性がある。ただし、実動作に影響を与えない
範囲であれば、多少ずれていても問題はない。したがって、例えば、トランジスタ101
のしきい値電圧に応じた電圧および映像信号電圧の和の電圧が容量素子102A及び容量
素子102Bに入力された場合、実際に容量素子102A及び容量素子102Bに保持さ
れている電圧は、その入力された電圧とは、完全には一致せず、ノイズなどの影響により
、わずかに、異なっている場合がある。ただし、実動作に影響を与えない範囲であれば、
多少ずれていても問題はない。
いる期間における回路構成について示す。なお図1(C)に示す回路構成は、トランジス
タ101より表示素子105に電流を供給するための回路構成であり、実際には配線間に
設けられる複数のスイッチのオンまたはオフを制御することで当該回路構成の接続関係を
実現するものである。
。トランジスタ101の第2の端子は、表示素子105の第1の端子と導通状態にある。
トランジスタ101の第2の端子は、トランジスタ101のゲートと非導通状態にある。
容量素子102Aの第1の端子は、トランジスタ101のゲートと導通状態にある。容量
素子102Aの第2の端子は、容量素子102Bの第1の端子と導通状態にある。容量素
子102Bの第2の端子は、配線103と導通状態にある。表示素子105の第2の端子
は、配線106と導通状態にある。
ある。さらに、配線104は、容量素子102Aの第2の端子と、容量素子102Bの第
1の端子と、非導通状態にある。なお、配線104は、図1(C)に示すように、トラン
ジスタ101の第2の端子と、容量素子102Aの第2の端子と、容量素子102Bの第
1の端子以外の端子、配線または電極とも、非導通状態にあることが望ましい。
1(B))から、トランジスタ101を介して、表示素子105に電流が供給されている
期間(図1(C))へ移行するときには、少なくとも、トランジスタ101の第2の端子
とトランジスタ101のゲートとの導通状態と、トランジスタ101の第2の端子と表示
素子105の第1の端子(または第1の電極)との導通状態とが変化することとなるが、
これに限定されず、他の部分の導通状態が変化することもできる。そして、上述のように
導通状態を制御できるように、スイッチ、トランジスタまたはダイオードなど素子を配置
することが望ましい。そして、当該素子を用いて導通状態を制御し、図1(A)乃至図1
(C)の接続状況を実現するような回路構成を実現することが出来る。よって、図1(A
)乃至図1(C)のような接続状況を実現できるならば、スイッチ、トランジスタまたは
ダイオードなどの素子を自由に配置することができ、その個数または接続構造も限定され
ない。
01のゲートと電気的に接続し、スイッチ201の第2の端子をトランジスタ101の第
2の端子と電気的に接続する。そして、スイッチ202の第1の端子をトランジスタ10
1の第2の端子と電気的に接続し、スイッチ202の第2の端子を表示素子105と電気
的に接続する。そして、スイッチ203の第1の端子を容量素子102Aの第2の端子及
び容量素子102Bの第1の端子と電気的に接続し、スイッチ203の第2の端子をトラ
ンジスタ101の第1の端子及び配線103と電気的に接続する。このように、3つのス
イッチを配置することにより、図1(A)乃至図1(C)の接続状況を実現するような回
路構成を実現することが出来る。
の表示素子105の上にあるスイッチ202を削除し、表示素子の下にスイッチ205を
追加する。図2(C)では、図2(A)におけるスイッチ202を削除したものである。
その代わり、例えば、配線106の電位を変化させることにより、表示素子105が非導
通状態となり、図1(A)と同様な動作を実現することが出来る。そして、さらにスイッ
チやトランジスタなどが必要な場合は、適宜、配置される。
な素子が接続されていることは可能である。例えば、抵抗素子、容量素子、トランジスタ
、ダイオードなどがAとBとの間に、直列接続、または並列接続で接続されていることは
可能である。同様に、AはBと非導通状態にある、と記載しているが、その場合、AとB
との間には、様々な素子が接続されていることは可能である。AとBとが、非導通になっ
てさえすればよいため、それ以外の部分では、様々な素子が接続されていることは可能で
ある。例えば、抵抗素子、容量素子、トランジスタ、ダイオードなどの素子が直列接続、
または並列接続で接続されていることは可能である。
を図2(D)に、スイッチ205を追加した場合の回路を図10(A)に、図10(A)
にスイッチ206を追加した場合の回路を図10(B)に示す。
を省略することも可能である。スイッチを省略した場合の回路を図10(C)に示す。図
10(C)に示す回路は、例えば、容量素子102Bの第2の端子の接続を配線104と
行い、配線103の電位、配線104の電位、配線106の電位、及び各スイッチのオン
又はオフの制御を行うことにより、上記図1(A)乃至(C)と同様の動作を行うことが
できる。なお容量素子102Bは、トランジスタ101の寄生容量を利用することで、省
略することも可能である。
(図1(B))において、トランジスタ101の移動度などの電流特性のばらつきが低減
されるため、表示素子105に電流が供給されている期間(図1(B))において、表示
素子105に供給される電流のばらつきも低減される。その結果、表示素子105の表示
状態のばらつきも低減され、表示品位の高い表示を行うことが出来る。
は、上記図1(A)乃至図1(C)で示した回路構成を実現する一例として示したもので
ある。なお、実際には図2(A)乃至図2(D)、図10(A)乃至図10(C)に示し
た複数のスイッチ以外に、配線間に設けられる複数のスイッチのオンまたはオフを制御す
ることで、当該回路構成の接続関係を実現するものである。
1の移動度などの電流特性のばらつきを補正している期間(図1(B))の直後に出現さ
せることが望ましい。なぜなら、表示素子105に電流が供給されている期間(図1(C
))において取得したトランジスタ101のゲート電位(容量素子102A及び容量素子
102Bに保持された電荷)を利用して、表示素子105に電流が供給されている期間(
図1(C))において、処理を行うからである。しかしながら、トランジスタ101の移
動度などの電流特性のばらつきを補正している期間(図1(B))の直後に表示素子10
5に電流が供給されている期間(図1(C))を出現させることに限定されない。トラン
ジスタ101の移動度などの電流特性のばらつきを補正している期間において、容量素子
102A及び容量素子102Bの電荷量が変化し、そして、期間終了時に決定した容量素
子102A及び容量素子102Bの電荷量が、表示素子105に電流が供給されている期
間(図1(C))において、大きく変化していない場合などは、トランジスタ101の移
動度などの電流特性のばらつきを補正している期間(図1(B))と、表示素子105に
電流が供給されている期間(図1(C))との間に、別の処理が行われる期間が設けられ
ていても良い。
が終了した時点での容量素子102A及び容量素子102Bに保持された電荷と、表示素
子105に電流が供給されている期間が開始した時点での容量素子102A及び容量素子
102Bに保持された電荷とは、概ね同じ量であることが望ましい。ただし、ノイズなど
の影響により、わずかに双方の電荷量が異なっている場合もある。具体的には、双方の電
荷量の差は、10%以内が望ましく、より望ましくは、3%以内が望ましい。電荷量の差
が3%以内であれば、その差が反映される表示素子を人間の眼で見たときに、その差を視
認できないため、より望ましい。
1(B))において、電圧電流特性がどのような状態に変化するかを図3(A)に示す。
容量素子102A及び容量素子102Bに保存されていた電荷が、トランジスタ101の
移動度などの電流特性のばらつきを補正している期間(図1(B))において、トランジ
スタ101のソース(第1の端子)とドレイン(第2の端子)との間を介して、放電され
ていく。その結果、容量素子102A及び容量素子102Bに保持されていた電荷量が減
少していき、容量素子102A及び容量素子102Bに保持された電圧も減少していく。
したがって、トランジスタ101のゲートとソースの間の電圧の絶対値も減少していく。
容量素子102A及び容量素子102Bに保存されている電荷は、トランジスタ101を
介して放電されていくため、電荷の放電量は、トランジスタ101の電流特性に依存する
。つまり、トランジスタ101の移動度が高ければ、より多くの電荷が放電される。また
は、トランジスタ101のチャネル幅Wとチャネル長Lの比(W/L)が大きければ、よ
り多くの電荷が放電される。または、トランジスタ101のゲートとソースの間の電圧の
絶対値が大きければ(つまり、容量素子102A及び容量素子102Bで保持される電圧
の絶対値が大きければ)、より多くの電荷が放電される。または、トランジスタ101の
ソース領域、ドレイン領域での寄生抵抗が小さければ、より多くの電荷が放電される。ま
たは、トランジスタ101のLDD領域での抵抗が小さければ、より多くの電荷が放電さ
れる。または、トランジスタ101と電気的に接続されているコンタクトホールでのコン
タクト抵抗が小さければ、より多くの電荷が放電される。
正している期間(図1(B))に入る前の期間における電圧電流特性のグラフは、トラン
ジスタ101の移動度などの電流特性のばらつきを補正している期間(図1(B))にお
いて、容量素子102A及び容量素子102Bに保存されている電荷の一部が放電された
結果、傾きが小さな曲線のグラフに変化する。そして、例えば、放電前と放電後の電圧電
流特性のグラフの差は、トランジスタ101の移動度が大きい方が大きくなる。したがっ
て、トランジスタ101の移動度が高い場合(つまり、グラフの傾きが大きい場合)は、
放電後には、傾きの変化量が大きくなり、トランジスタ101の移動度が低い場合(つま
り、グラフの傾きが小さい場合)は、放電後には、傾きの変化量が小さくなる。その結果
、放電後では、トランジスタ101の移動度が高い場合と低い場合とで、電圧電流特性の
グラフの差が小さくなり、移動度のばらつきの影響が低減することができる。さらに、ト
ランジスタ101のゲートとソースの間の電圧の絶対値が大きければ(つまり、容量素子
102A及び容量素子102Bで保持される電圧の絶対値が大きければ)、より多くの電
荷が放電され、トランジスタ101のゲートとソースの間の電圧の絶対値が小さければ(
つまり、容量素子102A及び容量素子102Bで保持される電圧の絶対値が小さければ
)、放電される電荷量が少なくなるため、より適切に、移動度のばらつきを低減すること
が出来る。
いる期間(図1(A))の後のグラフである。したがって、図3(B)に示すように、ト
ランジスタ101の移動度のばらつきを補正している期間(図1(B))に入る前には、
図1(A)で示す期間によって、しきい値電圧のばらつきの影響が低減されている。しき
い値電圧のばらつきは、図1(A)で示す期間で、電圧電流特性のグラフをしきい値電圧
の分だけ平行移動させることで達成される。つまり図1(B)の期間では、トランジスタ
のゲートとソースの間の電圧には、映像信号電圧としきい値電圧との和が供給されている
。その結果、しきい値電圧のばらつきの影響は低減されていることとなる。しきい値電圧
のばらつきを低減したあと、図3(A)のグラフに示すように、移動度のばらつきを低減
することにより、トランジスタ101の電流特性のばらつきを大幅に低減させることが出
来る。
動度だけでなく、しきい値電圧、ソース部分(ドレイン部分)での寄生抵抗、低濃度不純
物領域(LDD領域)での抵抗、トランジスタ101と電気的に接続されているコンタク
トホールでのコンタクト抵抗などもあげられる。これらの電流特性も、トランジスタ10
1を介して電荷が放電されることから、移動度の場合と同様、ばらつきを低減することが
出来る。
している期間(図1(B))に入る前の期間における容量素子102A及び容量素子10
2Bの電荷量は、トランジスタ101の移動度などの電流特性のばらつきを補正している
期間(図1(B))の終了時点における容量素子102A及び容量素子102Bの電荷量
よりも多い。なぜなら、トランジスタ101の移動度などの電流特性のばらつきを補正し
ている期間(図1(B))では、容量素子102A及び容量素子102Bの電荷が放電さ
れるため、容量素子102A及び容量素子102Bに保存されている電荷が少なくなって
いくからである。
れば、すぐに放電を停止することが望ましい。仮に、完全に放電してしまったら、つまり
、電流が流れなくなるまで放電させてしまうと、映像信号の情報がほとんど無くなってし
まう。したがって、完全に放電される前に、放電を停止することが望ましい。つまり、ト
ランジスタ101に電流が流れている間に、放電を停止することが望ましい。
算した値など)と、トランジスタ101の移動度などの電流特性のばらつきを補正してい
る期間(図1(B))との長さを比較すると、1ゲート選択期間(または1水平期間、1
フレーム期間を画素の行数で割り算した値など)の方が長いことが望ましい。なぜなら、
1ゲート選択期間よりも長く放電を行うと、放電しすぎてしまう可能性があるからである
。ただし、これに限定されない。
特性のばらつきを補正している期間(図1(B))との長さを比較すると、画素に映像信
号を入力している期間の方が長いことが望ましい。なぜなら、画素に映像信号を入力して
いる期間よりも長く放電を行うと、放電しすぎてしまう可能性があるからである。ただし
、これに限定されない。
タ101の移動度などの電流特性のばらつきを補正している期間(図1(B))との長さ
を比較すると、トランジスタのしきい値電圧を取得している期間の方が長いことが望まし
い。なぜなら、トランジスタのしきい値電圧を取得している期間よりも長く放電を行うと
、放電しすぎてしまう可能性があるからである。ただし、これに限定されない。
(B))において、容量素子102A及び容量素子102Bに保持されている電荷を放電
する期間の長さは、例えば、トランジスタ101の移動度のばらつき量、容量素子102
A及び容量素子102Bの大きさ、トランジスタ101のW/Lなどに応じて、決定する
ことが望ましい。
て考える。例としては、第1の色を表示するための第1の画素と、第2の色を表示するた
めの第2の画素とを有しており、各々の画素はトランジスタ101に相当するトランジス
タとして、第1の画素は、トランジスタ101Aを、第2の画素はトランジスタ101B
とを有しているとする。同様に、容量素子102Aに相当する容量素子として、第1の画
素は、容量素子102A_1を、第2の画素は容量素子102A_2とを有しているとす
る。また容量素子102Bに相当する容量素子として、第1の画素は、容量素子102B
_1を、第2の画素は容量素子102B_2とを有しているとする。
場合は、容量素子102A_1と容量素子102B_1の合計の容量値の方が、容量素子
102A_2と容量素子102B_2の合計の容量値よりも大きいことが望ましい。なぜ
なら、トランジスタ101Aの方が多くの電荷を放電するため、容量素子102A_2と
容量素子102B_2の合計の電圧も、より大きく変化してしまう。そこで、それを調整
するために、容量素子102A_1と容量素子102B_1の合計の容量値が大きいこと
が望ましい。または、トランジスタ101Aのチャネル幅Wが、トランジスタ101Bの
チャネル幅Wよりも大きい場合は、容量素子102A_1と容量素子102B_1の合計
の容量値の方が、容量素子102A_2と容量素子102B_2の合計の容量値よりも大
きいことが望ましい。または、トランジスタ101Aのチャネル長Lが、トランジスタ1
01Bのチャネル長Lよりも小さい場合は、容量素子102A_1と容量素子102B_
1の合計の容量値の方が、容量素子102A_2と容量素子102B_2の合計の容量値
よりも大きいことが望ましい。
するために、追加して容量素子を配置することが可能である。例えば、図1(B)、図1
(C)に対して、容量素子を追加した場合の一例を図4(A)、図4(B)に示す。なお
図4(A)乃至図4(F)で説明する回路構成は、上記図1(B)、図1(C)で示した
回路構成を実現する一例として示したものである。なお、実際には図4(A)乃至図4(
F)に示した複数のスイッチ及び容量素子以外に、配線間に設けられる複数のスイッチの
オンまたはオフを制御することで、当該回路構成の接続関係を実現するものである。
1の第2の端子と導通状態にあり、容量素子402Aの第2の端子は、配線103と導通
状態にある。なお、図4(B)では、容量素子402Aの各端子の導通状態は、図4(A
)と同じであることが望ましい。一部が非導通状態にあってもよい。なお、ここでは図示
しないが、図4(A)の前の期間に、トランジスタ101のしきい値電圧を補正するため
の期間が、図1(A)と同様にある。
、図4(D)に示す。容量素子402Bの第1の端子は、トランジスタ101の第2の端
子と導通状態にあり、容量素子402Bの第2の端子(または第2の電極)は、配線10
6と導通状態にある。なお、図4(D)では、容量素子402Bの各端子の導通状態は、
図4(C)と同じであることが望ましい。なお、一部が非導通状態にあってもよい。
示するための第1の画素と、第2の色を表示するための第2の画素とを有しており、各々
の画素はトランジスタ101に相当するトランジスタとして、第1の画素は、トランジス
タ101Aを、第2の画素はトランジスタ101Bとを有しているとする。同様に、容量
素子102Aに相当する容量素子として、第1の画素は、容量素子102A_1を、第2
の画素は容量素子102A_2とを有しているとする。また、容量素子102Bに相当す
る容量素子として、第1の画素は、容量素子102B_1を、第2の画素は容量素子10
2B_2とを有しているとする。さらに、容量素子402A乃至容量素子402Cの少な
くともいずれか一つに相当する容量素子として、第1の画素は、容量素子402A_1を
、第2の画素は容量素子402A_2とを有しているとする。
場合は、容量素子102A_1と容量素子102B_1の合計の容量値の方が、容量素子
102A_2と容量素子102B_2の合計の容量値よりも大きいことが望ましい。また
は、容量素子402A_1と容量素子402B_1の合計の容量値の方が、容量素子40
2A_2と容量素子402B_2の合計の容量値よりも大きいことが望ましい。または、
容量素子102A_1、容量素子102B_1、容量素子402A_1、及び容量素子4
02B_1の合計の容量値の方が、容量素子102A_2、容量素子102B_2、容量
素子402A_2、及び容量素子402B_2の合計の容量値よりも大きいことが望まし
い。トランジスタ101Aから放電される電荷量が、トランジスタ101Bから放電され
る電荷量より大きくなることによって、電位が調整される。または、トランジスタ101
Aのチャネル幅Wが、トランジスタ101Bのチャネル幅Wよりも大きい場合は、容量素
子102A_1の容量値の方が、容量素子102A_2の容量値よりも大きいことが望ま
しい。または、容量素子402A_1と容量素子402B_1の合計の容量値の方が、容
量素子402A_2と容量素子402B_2の合計の容量値よりも大きいことが望ましい
。または、容量素子102A_1、容量素子102B_1、容量素子402A_1、及び
容量素子402B_1の合計の容量値の方が、容量素子102A_2、容量素子102B
_2、容量素子402A_2、及び容量素子402B_2の合計の容量値よりも大きいこ
とが望ましい。または、トランジスタ101Aのチャネル長Lが、トランジスタ101B
のチャネル長Lよりも小さい場合は、容量素子102A_1と容量素子102B_1の合
計の容量値の方が、容量素子102A_2と容量素子102B_2の合計の容量値よりも
大きいことが望ましい。または、容量素子402A_1と容量素子402B_1の合計の
容量値の方が、容量素子402A_2と容量素子402B_2の合計の容量値よりも大き
いことが望ましい。または、容量素子102A_1、容量素子102B_1、容量素子4
02A_1、及び容量素子402B_1の合計の容量値の方が、容量素子102A_2、
容量素子102B_2、容量素子402A_2、及び容量素子402B_2の合計の容量
値よりも大きいことが望ましい。
A_2と容量素子402B_2の合計の容量値は異なっていて、容量素子102A_1と
容量素子102B_1の合計と、容量素子102A_2と容量素子102B_2の合計の
容量値は、概ね等しい、という状態になっていることも可能である。つまり、容量値の調
整を、容量素子102A_1と容量素子102B_1の合計と容量素子102A_2と容
量素子102B_2の合計ではなく、容量素子402A_1と容量素子402A_2の方
を用いて行う、ということも可能である。容量素子102A_1と容量素子102B_1
の合計と容量素子102A_2と容量素子102B_2の合計の大きさが異なる場合、映
像信号の大きさに差が出てきてしまう可能性があるなど、他への影響が大きい場合がある
。そのため、容量素子402A_1と容量素子402A_2の方を用いて容量値の調整を
行うことが望ましい。
)乃至図1(C)では、容量素子102Bの第2の端子が、配線103と導通状態にある
。なお、少なくとも所定の期間において、一定の電位を供給する機能を有している配線と
導通状態にあればよい。例えば、容量素子102Bの第2の端子が配線107に接続され
ている場合の例を、図5(A)、図1(B)に示す。同様に、容量素子102Bの第2の
端子が配線106に接続されている場合の例を、図5(C)、図5(D)に示す。
で容量素子を配置することができる。一例として、図5(A)、図1(B)に対して、追
加の容量素子402Cを配置した場合を図4(E)、図4(F)に示す。
乃至図10(C)と同様に、スイッチを配置することができる。
)、図5(A)乃至図5(D)、図10(A)乃至図10(C)などにおいて、容量素子
を複数配置し、直列接続、または、並列接続によって、複数の容量素子が配置する構成と
してもよい。
)、図5(A)乃至図5(D)、図10(A)乃至図10(C)などにおいて、トランジ
スタ101がpチャネル型の場合について述べている。なお図6に示すように、Nチャネ
ル型を用いることが可能である。例として、図1(A)乃至図1(C)に対して、nチャ
ネル型を用いた場合を図6(A)乃至図6(C)に示す。これら以外の場合においても、
同様に行うことが出来る。また図6(D)に示す回路構成は、図6(C)での表示素子1
05がEL素子で有る際の一例である。なお図6(A)乃至図6(D)で説明する回路構
成は、上記図1(A)乃至図1(C)で示した回路構成を実現する一例として示したもの
である。なお、実際には図6(A)乃至図6(C)に示した複数のスイッチ及び容量素子
以外に、配線間に設けられる複数のスイッチのオンまたはオフを制御することで、当該回
路構成の接続関係を実現するものである。
105を駆動する能力を有している場合が多い。
るいは、配線103は、トランジスタ101に流れる電流を供給する能力を有している場
合が多い。
を有している場合が多い。あるいは、トランジスタ101のゲート電位がノイズなどによ
り変動しにくくなるようにする機能を有している場合が多い。
い値電圧を同じ大きさの電圧、または、トランジスタ101のしきい値電圧に近い大きさ
を有する電圧のことを言う。例えば、トランジスタ101のしきい値電圧が大きい場合は
、しきい値電圧に応じた電圧も大きく、トランジスタ101のしきい値電圧が小さい場合
は、しきい値電圧に応じた電圧も小さい。このように、しきい値電圧に応じて大きさが決
まっているような電圧のことを、しきい値電圧に応じた電圧と呼ぶ。したがって、ノイズ
などの影響により、僅かに異なっているような電圧も、しきい値電圧に応じた電圧と呼ぶ
事が出来る。
有する素子のことを言う。したがって、表示素子105の例としては、液晶素子、発光素
子、有機EL素子、電気泳動素子などを用いることが出来る。
対して、適宜、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行うことができる。
本実施の形態では、実施の形態1で述べた回路および駆動方法の具体例について示す。
。スイッチ601の第1の端子は、配線104に接続され、スイッチ601の第2の端子
は、容量素子102Aの第2の端子、容量素子102Bの第1の端子、及びスイッチ20
3の第1の端子と接続されている。スイッチ203の第2の端子は、配線103、及びト
ランジスタ101の第1の端子と接続されている。容量素子102Aの第1の端子は、ト
ランジスタ101のゲート、スイッチ201の第1の端子と接続されている。トランジス
タ101の第2端子は、スイッチ201の第2の端子、及びスイッチ202の第1の端子
と接続されている。スイッチ202の第2の端子は、表示素子105の第1の端子と接続
されている。表示素子105の第2の端子は、配線106と接続されている。
スイッチを追加することが望ましい。ただし、これに限定されない。スイッチを追加した
例を図8(B)、図8(C)に示す。図8(B)では、スイッチ602が追加され、その
第1の端子はトランジスタ101のゲートに接続され、第2の端子は、配線606に接続
されている。図8(C)では、スイッチ602が追加され、スイッチ603の第1の端子
はトランジスタ101の第2の端子に接続され、スイッチ603の第2の端子は、配線6
06に接続されている。このような構成にすることにより、初期化のときなどにおいて、
表示素子105に余分な電流が流れてしまうことを低減することが出来る。そのため、黒
を表示する際の輝度をより低減することが出来るため、コントラストを向上することがで
きる。
、配線106と配線606とを共有して、配線106のみで構成した場合の例を図8(D
)に示す。スイッチ602の第1の端子はトランジスタ101のゲートに接続され、第2
の端子は、配線106に接続されている。このように、スイッチ602の第2の端子の接
続先は、限定されず、様々な配線に接続させることが可能である。そして、別の配線と共
有することにより、配線数を低減することが出来る。なお、容量素子102Bの第2の端
子及びトランジスタ101の第1の端子は配線103と接続されているが、それぞれ別の
配線に接続されていることが可能である。
置されていれば、様々な場所に、スイッチやトランジスタなどを配置することによって、
様々な構成の回路を実現することが出来る。
。さらに、他の構成においても、同様に、具体例を構成することが出来る。
では、スイッチ603の第2の端子は、配線107に接続されている。なお、図8(F)
では、容量素子102Bの第2の端子は、配線107に接続されている。ただし、これに
限定されない。
第1の端子は、トランジスタ101の第2の端子に接続され、容量素子402Bの第2の
端子は、配線106に接続されている。
グとを制御することによって、スイッチ203を削減することが可能である。例えば、ス
イッチ203を削減した場合の例を図9(B)に示す。このように、スイッチ203の有
無は特に限定されず、削減することが可能である。そして、スイッチ203を削減するこ
とにより、画素を構成する素子数を削減することが出来る。
、削減することが可能である。例えば、容量素子102B及びスイッチ203を削減した
場合の例を図9(C)に示す。このように、容量素子102B及びスイッチ203の有無
は特に限定されず、削除することが可能である。そして、容量素子102A及びスイッチ
203を削減することにより、画素を構成する素子数を削減することが出来る。
、それ以外の例についても、同様に構成することが出来る。
外の回路についても、同様な動作方法を用いることが出来る。なお図7(A)乃至図7(
E)中での各素子の符号については、図8(A)と同様であり、ここでは省略している。
また、図7(A)乃至図7(E)中に示す点線矢印は、それぞれの期間における電流の流
れを、可視化するために示したものである。
タ101のゲート、第1端子、及び第2端子の電位を、所定の電位に設定する動作である
。これにより、トランジスタ101を導通状態とすることが出来る。または、容量素子1
02Aに、所定の電圧が供給される。または、容量素子102Aに保持される電荷の初期
化がなされる。そのため、容量素子102Aは、電荷が保持されることとなる。スイッチ
201、スイッチ202、スイッチ203は導通状態になっている。スイッチ601につ
いては、非導通状態になっていることが望ましい。ただし、これに限定されない。
限定されない。また、これらの電位は、トランジスタ101がpチャネル型の場合である
。よって、トランジスタ101の極性がnチャネル型の場合は、電位の上下関係は逆であ
ることが望ましい。
するための動作を行う。なお当該期間は、図1(A)の期間に相当する期間である。これ
は、トランジスタ101のしきい値電圧に応じた電圧を、容量素子で保持することとなる
。スイッチ201、スイッチ203は、導通状態になっている。スイッチ202、スイッ
チ601は、非導通状態になっていることが望ましい。このとき、容量素子102Aは、
図7(A)の期間において蓄積された電荷があるため、その電荷が放電されていく。その
ため、トランジスタ101のゲートの電位は上昇していき、トランジスタ101のゲート
とソースの間にトランジスタ101のしきい値電圧(負の値)を保持するための電位に近
づいていく。つまり、配線103より供給される電位よりも、トランジスタ101のしき
い値電圧の絶対値の分だけ低い電位に近づいていく。そして、このとき、トランジスタ1
01のゲートとソースの間の電圧は、トランジスタ101のしきい値電圧に近づいていく
。これらの動作により、しきい値電圧の取得を行うことが出来る。
その場合、トランジスタ101は、ほとんど電流が流れなくなっているため、トランジス
タ101のゲートとソースの間の電圧は、トランジスタ101のしきい値電圧に非常に近
い大きさになっている。ただし、完全に放電する前に、放電を止めることも可能である。
ても、大きな問題はない。なぜなら、ある程度の時間が経過すれば、ほぼ完全に放電され
てしまうため、期間に長さが違っても、動作に与える影響は小さいからである。したがっ
て、この動作は、線順次ではなく、点順次を用いて駆動させることが出来る。したがって
、駆動回路の構成が簡単な構成で実現できる。そのため、図8に示すような回路を1つの
画素としたとき、その画素がマトリクス状に配置された画素部と、画素部に信号を供給す
る駆動回路部とについて、両者を同じ種類のトランジスタを用いて構成すること、または
同じ基板上に形成することが可能となる。ただしこれに限定されず、線順次駆動を用いた
り、画素部と駆動回路部とを別々の基板上に形成することも可能である。
01は、導通状態になっている。スイッチ201、スイッチ202、スイッチ203は、
非導通状態になっている。そして、配線104より容量素子102Bに映像信号が供給さ
れる。このとき、容量素子102Aの第2の端子と容量素子102Bの第1の端子が接続
されるノードでは、映像信号に応じた電位の下降が行われる。つまり容量素子102Bに
映像信号電圧が入力されることとなる。そして容量素子102Aの第1の端子側の電位は
容量結合により、容量素子102Aに保持された電圧分だけ下降することとなる。そのた
め、トランジスタ101のゲートの電位は、配線104より供給される映像信号と、トラ
ンジスタ101のしきい値電圧(負の値)を足し合わせた電位に近づいていく。これらの
動作により、映像信号の入力(映像信号電圧の取得)と、しきい値電圧の取得とを行うこ
とが出来る。
圧とを足し合わせた電圧が供給され、その電圧に応じた電荷が蓄積されることとなる。
きの補正を行う。なお当該期間は、図1(B)の期間に相当する期間である。スイッチ2
01は、導通状態になっている。スイッチ202、スイッチ203、及びスイッチ601
は、非導通状態になっている。このような状態にすることにより、容量素子102A及び
容量素子102Bに蓄積された電荷が、トランジスタ101を介して放電されていく。こ
のようにして、トランジスタ101を介してわずかに放電させることにより、トランジス
タ101の電流のばらつきの影響を低減することが出来る。
を供給する。なお当該期間は、図1(C)の期間に相当する期間である。スイッチ203
は、導通状態になっている。スイッチ201、スイッチ202、及びスイッチ601は、
非導通状態になっている。このとき、トランジスタ101のゲートとソースの間の電圧は
、しきい値電圧に応じた電圧と映像信号電圧との和の電圧から、トランジスタ101の電
流特性に応じた電圧が差し引かれた電圧となっている。したがって、トランジスタ101
の電流特性のばらつきの影響を低減することができ、表示素子105には、適切な大きさ
の電流を供給することが出来る。
、スイッチ602を介して、トランジスタ101の第2の端子の電位を制御することが可
能である。そして、スイッチ202については、非導通状態とすることが望ましい。スイ
ッチ602を介して初期化を行うことにより、表示素子側に流れる電流をなくすことが出
来る。なお、図7(B)以降については、同様に動作させればよい。
の期間が設けられていることも可能である。例えば、図7(D)に示すような状態を、図
7(A)と図7(B)の間に設けても良い。このような期間を設けても、支障がないため
、問題はない。
対して、適宜、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行うことができる。
本実施の形態では、実施の形態1で述べた回路および駆動方法の別の具体例または変形例
について示す。
では、配線1101、配線1102、配線1103、配線1104、容量素子1105、
トランジスタ1106、トランジスタ1107、表示素子1108について示している。
なお、配線1101は、図9(C)での配線103に対応する。なお、配線1102は、
図9(C)での配線106に対応する。なお、配線1104は、図9(C)での配線10
4に対応する。なお、容量素子1105は、図9(C)での容量素子102Bに対応する
。なお、トランジスタ1106は、図9(C)でのトランジスタ101に対応する。なお
、トランジスタ1107は、図9(C)での表示素子105に対応する。なおトランジス
タ1106及びトランジスタ1107は共にpチャネル型であるとして説明する。なお表
示素子としてEL素子を一例としてあげて説明を行うものとする。
動作の説明を行う。次に、図11(B)では、第1の期間T1、第2の期間T2、第3の
期間T3、第4の期間T4、第5の期間T5、第6の期間T6、第7の期間T7に分けて
、各配線の電位について説明する。なお配線1101、配線1102の電位は、「VDD
」(高電源電位に基づく信号、H信号)、「0」(グラウンド電位に基づく信号、GND
)、「VSS」(低電源電位に基づく信号、L信号)の3段階として説明するものとする
。また、配線1103は、表示部の走査線として機能しうる配線であり、表示部は実際に
は走査線の数に対応して、1103_1乃至1103_N(Nは自然数)を有する。図1
1(B)では、配線1103_1、及び配線1103_2の電位は、「VgH」、「Vg
L」の2段階として説明するものとする。なお、以下の説明では、配線1103_1に着
目して説明することとする。また配線1104は、表示部の信号線として機能しうる配線
であり、配線1104の電位は、「VdH」から「VdL」の範囲の値を取るものとして
説明する。なお、各配線が取り得る電位は、これに限定されず、特に動作に支障がなけれ
ば、他の電位であってもよい。
1102がVDD、配線1103_1がVgL、配線1104がVdLとなる。その結果
、容量素子1105に蓄えられた電荷が放電され、各ノードの電位が初期化されることと
なる。次に第2の期間T2について説明する。第2の期間T2では、配線1101がVS
S、配線1102がVDD、配線1103_1がVgH、配線1104がVdHとなる。
その結果、容量素子1105への電荷の充電がなされることとなる。次に第3の期間T3
について説明する。第3の期間T3では、配線1101が「0」、配線1102が「0」
、配線1103_1がVgL、配線1104がVdHとなる。その結果、容量素子110
5からの電荷の放電が行われ、トランジスタ1106のゲート−ソース間の寄生容量に、
トランジスタ1106のしきい値電圧が保持されることとなる。すなわち、第3の期間T
3では、トランジスタのしきい値電圧を取得している期間(図1(A))に相当するもの
となる。次に第4の期間T4について説明する。第4の期間T4では、配線1101が「
0」、配線1102が「0」となる。このとき、配線1103_2は、配線1103_1
と引き続いて、走査が行われる。そして、配線1104では各画素に入力される電位が切
り替わっていき、各画素へのデータの書き込みが行われることとなる。次に第5の期間T
5について説明する。第5の期間T5では、配線1101がVSS、配線1102がVS
S、配線1103_1がVgH、配線1104がVdHとなる。その結果、表示素子11
08に蓄積された電荷の初期化を行うこととなる。次に第6の期間T6について説明する
。第6の期間T6では、配線1101がVSS、配線1102が「0」、配線1103_
1がVgL、配線1104がVdHとなる。その結果、容量素子1105から、トランジ
スタの移動度などの電流特性のばらつきに応じて、電荷の放電を行い、トランジスタ11
06の移動度などの電流特性のばらつきを補正することとなる。すなわち、第6の期間T
6では、トランジスタの移動度などの電流特性のばらつきを補正する期間(図1(B))
に相当するものとなる。次に第7の期間T7について説明する。第7の期間T7では、配
線1101がVDD、配線1102が「0」、配線1103_1がVgH、配線1104
がVdHとなる。その結果、表示素子1108に電流を流すこととなる。すなわち、第7
の期間T7では、表示を行う期間(図1(C))に相当するものとなる。
置されていれば、様々な場所に、スイッチやトランジスタなどを配置することによって、
様々な構成の回路を実現することが出来る。
チャネル型とした際の回路を示している。トランジスタ1106及びトランジスタ110
7の極性を反転させた際には、スイッチとなるトランジスタ1107の導通または非導通
を制御するために、配線1103に入力される信号の電位を反転させて用い、表示素子1
108を配線1101に接続されるように設けることが好ましい。
。さらに、図1、図9(C)、図10(C)の具体例について示したが、他の図において
も、同様に、具体例を構成することが出来る。
対して、適宜、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行うことができる。
本実施の形態では、実施の形態1乃至実施の形態3で述べた回路について、具体例を示す
。
されている場合の例について、図12に示す。なお、図12では、スイッチは、pチャネ
ル型のトランジスタを用いて実現している。ただし、これに限定されず、別の極性のトラ
ンジスタを用いたり、両方の極性のトランジスタを用いたり、ダイオードまたはダイオー
ド接続されたトランジスタなどを用いたりすることも可能である。
00Mと同様な構成の画素が、画素1200N、画素1200P、画素1200Qとして
、マトリクス状に配置されている。各画素では、上下、左右の配置に応じて、同じ配線に
接続されている場合がある。
配線104は、配線104Mに対応し、配線103は、配線103Mに対応し、スイッチ
601は、トランジスタ601Mに対応し、スイッチ201は、トランジスタ201Mに
対応し、トランジスタ101は、トランジスタ101Mに対応し、スイッチ202は、ト
ランジスタ202Mに対応し、スイッチ203は、トランジスタ203Mに対応し、容量
素子102Aは容量素子102AMに対応し、容量素子102Bは容量素子102BMに
対応し、表示素子105は、発光素子105Mに対応し、配線106は、配線106Mに
対応する。
1Mのゲートは、配線1202Mと接続されている。トランジスタ202Mのゲートは、
配線1203Mと接続されている。トランジスタ203Mのゲートは、配線1204Mと
接続されている。
画素の別の配線に接続されていることが可能である。
可能である。
対して、適宜、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行うことができる。
次に、表示装置の別の構成例およびその駆動方法について説明する。本実施の形態におい
ては、表示装置の外部から入力される画像(入力画像)の動きを補間する画像を、複数の
入力画像を基にして表示装置の内部で生成し、当該生成された画像(生成画像)と、入力
画像とを順次表示させる方法について説明する。なお、生成画像を、入力画像の動きを補
間するような画像とすることで、動画の動きを滑らかにすることができ、さらに、ホール
ド駆動による残像等によって動画の品質が低下する問題を改善できる。ここで、動画の補
間について、以下に説明する。動画の表示は、理想的には、個々の画素の輝度をリアルタ
イムに制御することで実現されるものであるが、画素のリアルタイム個別制御は、制御回
路の数が膨大なものとなる問題、配線スペースの問題、および入力画像のデータ量が膨大
なものとなる問題等が存在し、実現が困難である。したがって、表示装置による動画の表
示は、複数の静止画を一定の周期で順次表示することで、表示が動画に見えるようにして
行なわれている。この周期(本実施の形態においては入力画像信号周期と呼び、Tinと
表す)は規格化されており、例として、NTSC規格では1/60秒、PAL規格では1
/50秒である。この程度の周期でも、インパルス型表示装置であるCRTにおいては動
画表示に問題は起こらなかった。しかし、ホールド型表示装置においては、これらの規格
に準じた動画をそのまま表示すると、ホールド型であることに起因する残像等により表示
が不鮮明となる不具合(ホールドぼけ:hold blur)が発生してしまう。ホール
ドぼけは、人間の目の追従による無意識的な動きの補間と、ホールド型の表示との不一致
(discrepancy)で認識されるものであるので、従来の規格よりも入力画像信
号周期を短くする(画素のリアルタイム個別制御に近づける)ことで低減させることがで
きるが、入力画像信号周期を短くすることは規格の変更を伴い、さらに、データ量も増大
することになるので、困難である。しかしながら、規格化された入力画像信号を基にして
、入力画像の動きを補間するような画像を表示装置内部で生成し、当該生成画像によって
入力画像を補間して表示することで、規格の変更またはデータ量の増大なしに、ホールド
ぼけを低減できる。このように、入力画像信号を基にして表示装置内部で画像信号を生成
し、入力画像の動きを補間することを、動画の補間と呼ぶこととする。
実施の形態における動画の補間方法は、画像生成方法と画像表示方法に分けることができ
る。そして、特定のパターンの動きについては別の画像生成方法および/または画像表示
方法を用いることで、効果的に動画ぼけを低減させることができる。図13(A)および
(B)は、本実施の形態における動画の補間方法の一例を説明するための模式図である。
図13(A)および(B)において、横軸は時間であり、横方向の位置によって、それぞ
れの画像が扱われるタイミングを表している。「入力」と記された部分は、入力画像信号
が入力されるタイミングを表している。ここでは、時間的に隣接する2つの画像として、
画像5121および画像5122に着目している。入力画像は、周期Tinの間隔で入力
される。なお、周期Tin1つ分の長さを、1フレームもしくは1フレーム期間と記すこ
とがある。「生成」と記された部分は、入力画像信号から新しく画像が生成されるタイミ
ングを表している。ここでは、画像5121および画像5122を基にして生成される生
成画像である、画像5123に着目している。「表示」と記された部分は、表示装置に画
像が表示されるタイミングを表している。なお、着目している画像以外の画像については
破線で記しているのみであるが、着目している画像と同様に扱うことによって、本実施の
形態における動画の補間方法の一例を実現できる。
に隣接した2つの入力画像を基にして生成された生成画像を、当該2つの入力画像が表示
されるタイミングの間隙に表示させることで、動画の補間を行うことができる。このとき
、表示画像の表示周期は、入力画像の入力周期の1/2とされることが好ましい。ただし
、これに限定されず、様々な表示周期とすることができる。例えば、表示周期を入力周期
の1/2より短くすることで、動画をより滑らかに表示できる。または、表示周期を入力
周期の1/2より長くすることで、消費電力を低減できる。なお、ここでは、時間的に隣
接した2つの入力画像を基にして画像を生成しているが、基にする入力画像は2つに限定
されず、様々な数を用いることができる。例えば、時間的に隣接した3つ(3つ以上でも
良い)の入力画像を基にして画像を生成すれば、2つの入力画像を基にする場合よりも、
精度の良い生成画像を得ることができる。なお、画像5121の表示タイミングを、画像
5122の入力タイミングと同時刻、すなわち入力タイミングに対する表示タイミングを
1フレーム遅れとしているが、本実施の形態における動画の補間方法における表示タイミ
ングはこれに限定されず、様々な表示タイミングを用いることができる。例えば、入力タ
イミングに対する表示タイミングを1フレーム以上遅らせることができる。こうすること
で、生成画像である画像5123の表示タイミングを遅くすることができるので、画像5
123の生成にかかる時間に余裕を持たせることができ、消費電力および製造コストの低
減につながる。なお、入力タイミングに対する表示タイミングをあまりに遅くすると、入
力画像を保持しておく期間が長くなり、保持にかかるメモリ容量が増大してしまうので、
入力タイミングに対する表示タイミングは、1フレーム遅れから2フレーム遅れ程度が好
ましい。
な生成方法の一例について説明する。動画を補間するためには入力画像の動きを検出する
必要があるが、本実施の形態においては、入力画像の動きの検出のために、ブロックマッ
チング法と呼ばれる方法を用いることができる。ただし、これに限定されず、様々な方法
(画像データの差分をとる方法、フーリエ変換を利用する方法等)を用いることができる
。ブロックマッチング法においては、まず、入力画像1枚分の画像データ(ここでは画像
5121の画像データ)を、データ記憶手段(半導体メモリ、RAM等の記憶回路等)に
記憶させる。そして、次のフレームにおける画像(ここでは画像5122)を、複数の領
域に分割する。なお、分割された領域は、図13(A)のように、同じ形状の矩形とする
ことができるが、これに限定されず、様々なもの(画像によって形状または大きさを変え
る等)とすることができる。その後、分割された領域毎に、データ記憶手段に記憶させた
前のフレームの画像データ(ここでは画像5121の画像データ)とデータの比較を行い
、画像データが似ている領域を探索する。図13(A)の例においては、画像5122に
おける領域5124とデータが似ている領域を画像5121の中から探索し、領域512
6が探索されたものとしている。なお、画像5121の中を探索するとき、探索範囲は限
定されることが好ましい。図13(A)の例においては、探索範囲として、領域5124
の面積の4倍程度の大きさである、領域5125を設定している。なお、探索範囲をこれ
より大きくすることで、動きの速い動画においても検出精度を高くすることができる。た
だし、あまりに広く探索を行なうと探索時間が膨大なものとなってしまい、動きの検出の
実現が困難となるため、領域5125は、領域5124の面積の2倍から6倍程度の大き
さであることが好ましい。その後、探索された領域5126と、画像5122における領
域5124との位置の違いを、動きベクトル5127として求める。動きベクトル512
7は領域5124における画像データの1フレーム期間の動きを表すものである。そして
、動きの中間状態を表す画像を生成するため、動きベクトルの向きはそのままで大きさを
変えた画像生成用ベクトル5128を作り、画像5121における領域5126に含まれ
る画像データを、画像生成用ベクトル5128に従って移動させることで、画像5123
における領域5129内の画像データを形成させる。これらの一連の処理を、画像512
2における全ての領域について行なうことで、画像5123が生成されることができる。
そして、入力画像5121、生成画像5123、入力画像5122を順次表示することで
、動画を補間することができる。なお、画像中の物体5130は、画像5121および画
像5123において位置が異なっている(つまり動いている)が、生成された画像512
3は、画像5121および画像5122における物体の中間点となっている。このような
画像を表示することで、動画の動きを滑らかにすることができ、残像等による動画の不鮮
明さを改善できる。
決められることができる。図13(A)の例においては、画像5123の表示タイミング
は画像5121および画像5122の表示タイミングの中間点(1/2)としているため
、画像生成用ベクトル5128の大きさは動きベクトル5127の1/2としているが、
他にも、例えば、表示タイミングが1/3の時点であれば、大きさを1/3とし、表示タ
イミングが2/3の時点であれば、大きさを2/3とすることができる。
像を作る場合は、移動先の領域内に他の領域が既に移動している部分(重複)や、どこの
領域からも移動されてこない部分(空白)が生じることもある。これらの部分については
、データを補正することができる。重複部分の補正方法としては、例えば、重複データの
平均をとる方法、動きベクトルの方向等で優先度をつけておき、優先度の高いデータを生
成画像内のデータとする方法、色(または明るさ)はどちらかを優先させるが明るさ(ま
たは色)は平均をとる方法、等を用いることができる。空白部分の補正方法としては、画
像5121または画像5122の当該位置における画像データをそのまま生成画像内のデ
ータとする方法、画像5121または画像5122の当該位置における画像データの平均
をとる方法、等を用いることができる。そして、生成された画像5123を、画像生成用
ベクトル5128の大きさに従ったタイミングで表示させることで、動画の動きを滑らか
にすることができ、さらに、ホールド駆動による残像等によって動画の品質が低下する問
題を改善できる。
的に隣接した2つの入力画像を基にして生成された生成画像を、当該2つの入力画像が表
示されるタイミングの間隙に表示させる際に、それぞれの表示画像をさらに複数のサブ画
像に分割して表示することで、動画の補間を行うことができる。この場合、画像表示周期
が短くなることによる利点だけでなく、暗い画像が定期的に表示される(表示方法がイン
パルス型に近づく)ことによる利点も得ることができる。つまり、画像表示周期が画像入
力周期に比べて1/2の長さにするだけの場合よりも、残像等による動画の不鮮明さをさ
らに改善できる。図13(B)の例においては、「入力」および「生成」については図1
3(A)の例と同様な処理を行なうことができるので、説明を省略する。図13(B)の
例における「表示」は、1つの入力画像または/および生成画像を複数のサブ画像に分割
して表示を行うことができる。具体的には、図13(B)に示すように、画像5121を
サブ画像5121aおよび5121bに分割して順次表示することで、人間の目には画像
5121が表示されたように知覚させ、画像5123をサブ画像5123aおよび512
3bに分割して順次表示することで、人間の目には画像5123が表示されたように知覚
させ、画像5122をサブ画像5122aおよび5122bに分割して順次表示すること
で、人間の目には画像5122が表示されたように知覚させる。すなわち、人間の目に知
覚される画像としては図13(A)の例と同様なものとしつつ、表示方法をインパルス型
に近づけることができるので、残像等による動画の不鮮明さをさらに改善できる。なお、
サブ画像の分割数は、図13(B)においては2つとしているが、これに限定されず様々
な分割数を用いることができる。なお、サブ画像が表示されるタイミングは、図13(B
)においては等間隔(1/2)としているが、これに限定されず様々な表示タイミングを
用いることができる。例えば、暗いサブ画像(5121b、5122b、5123b)の
表示タイミングを早くする(具体的には、1/4から1/2のタイミング)ことで、表示
方法をよりインパルス型に近づけることができるため、残像等による動画の不鮮明さをさ
らに改善できる。または、暗いサブ画像の表示タイミングを遅くする(具体的には、1/
2から3/4のタイミング)ことで、明るい画像の表示期間を長くすることができるので
、表示効率を高めることができ、消費電力を低減できる。
し、動いている物体の形状によって異なる処理を行なう例である。図13(C)に示す例
は、図13(B)の例と同様に表示のタイミングを表しているが、表示されている内容が
、動く文字(スクロールテキスト、字幕、テロップ等とも呼ばれる)である場合を示して
いる。なお、「入力」および「生成」については、図13(B)と同様としても良いため
、図示していない。ホールド駆動における動画の不鮮明さは、動いているものの性質によ
って程度が異なることがある。特に、文字が動いている場合に顕著に認識されることが多
い。なぜならば、動く文字を読む際にはどうしても視線を文字に追従させてしまうので、
ホールドぼけが発生しやすくなるためである。さらに、文字は輪郭がはっきりしているこ
とが多いため、ホールドぼけによる不鮮明さがさらに強調されてしまうこともある。すな
わち、画像内を動く物体が文字かどうかを判別し、文字である場合はさらに特別な処理を
行なうことは、ホールドぼけの低減のためには有効である。具体的には、画像内を動いて
いる物体に対し、輪郭検出または/およびパターン検出等を行なって、当該物体が文字で
あると判断された場合は、同じ画像から分割されたサブ画像同士であっても動き補間を行
い、動きの中間状態を表示するようにして、動きを滑らかにすることができる。当該物体
が文字ではないと判断された場合は、図13(B)に示すように、同じ画像から分割され
たサブ画像であれば動いている物体の位置は変えずに表示することができる。図13(C
)の例では、文字であると判断された領域5131が、上方向に動いている場合を示して
いるが、画像5121aと画像5121bとで、領域5131の位置を異ならせている。
画像5123aと画像5123b、画像5122aと画像5122bについても同様であ
る。こうすることで、ホールドぼけが特に認識されやすい動く文字については、通常の動
き補償倍速駆動よりもさらに動きを滑らかにすることができるので、残像等による動画の
不鮮明さをさらに改善できる。
対して、適宜、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行うことができる。
本実施の形態では、表示装置の一例について説明する。
る。液晶表示装置は、回路5361、回路5362、回路5363_1、回路5363_
2、画素部5364、回路5365、及び照明装置5366を有する。画素部5364に
は、複数の配線5371が回路5362から延伸して配置され、複数の配線5372が回
路5363_1、及び回路5363_2から延伸して配置されている。そして、複数の配
線5371と複数の配線5372との交差領域には、各々、液晶素子などの表示素子を有
する画素5367がマトリクス状に配置されている。
363_2、及び回路5365に、信号、電圧、又は電流などを供給する機能を有し、コ
ントローラ、制御回路、タイミングジェネレータ、電源回路、又はレギュレータなどとし
て機能することが可能である。本実施の形態では、一例として、回路5361は、回路5
362に、信号線駆動回路用スタート信号(SSP)、信号線駆動回路用クロック信号(
SCK)、信号線駆動回路用反転クロック信号(SCKB)、ビデオ信号用データ(DA
TA)、ラッチ信号(LAT)を供給するものとする。または、回路5361は、一例と
して、回路5363_1、及び回路5363_2に、走査線駆動回路用スタート信号(G
SP)、走査線駆動回路用クロック信号(GCK)、及び走査線駆動回路用反転クロック
信号(GCKB)を供給するものとする。または、回路5361は、回路5365に、バ
ックライト制御信号(BLC)を供給するものとする。ただし、これに限定されず、回路
5361は、他にも様々な信号、様々な電圧、又は様々な電流などを、回路5362、回
路5363_1、回路5363_2、及び回路5365に供給することが可能である。
、DATA、LAT)に応じて、ビデオ信号を複数の配線5371に出力する機能を有し
、信号線駆動回路として機能することが可能である。回路5363_1、及び回路536
3_2は、回路5361から供給される信号(GSP、GCK、GCKB)に応じて、走
査信号を複数の配線5372に出力する機能を有し、走査線駆動回路として機能すること
が可能である。回路5365は、回路5361から供給される信号(BLC)に応じて、
照明装置5366に供給する電力の量、又は時間などを制御することによって、照明装置
5366の輝度(又は平均輝度)を制御する機能を有し、電源回路として機能することが
可能である。
線、ビデオ信号線、又はソース線などとして機能することが可能である。複数の配線53
72に走査信号が入力される場合、複数の配線5372は、信号線、走査線、又はゲート
線などとして機能することが可能である。ただし、これに限定されない。
れる場合、回路5363_1が複数の配線5372に出力する走査信号と、回路5363
_2が複数の配線5372に出力する走査信号とは、おおむね等しいタイミングとなる場
合が多い。したがって、回路5363_1、及び回路5363_2が駆動する負荷を小さ
くすることができる。よって、表示装置を大きくすることができる。または、表示装置を
高精細にすることができる。または、回路5363_1、及び回路5363_2が有する
トランジスタのチャネル幅を小さくすることができるので、狭額縁な表示装置を得ること
ができる。ただし、これに限定されず、回路5361は、回路5363_1と回路536
3_2とに別々の信号を供給することが可能である。
可能である。そして、回路5361は、これらの配線に信号又は電圧などを出力すること
が可能である。または、回路5363_1又は回路5363_2と同様の回路を新たに追
加し、この新たに追加した回路は、新たに追加した配線に走査信号などの信号を出力する
ことが可能である。
。この場合、図14(B)に示すように、表示素子が発光することが可能なので、回路5
365、及び照明装置5366は省略されることが可能である。そして、表示素子に電力
を供給するために、電源線として機能することが可能な複数の配線5373を画素部53
64に配置することが可能である。回路5361は、電圧(ANO)という電源電圧を配
線5373に供給することが可能である。この配線5373は、画素の色要素別に接続さ
れることが可能であるし、全ての画素に共通して接続されることが可能である。
3_2とに別々の信号を供給する場合の一例を示す。回路5361は、走査線駆動回路用
スタート信号(GSP1)、走査線駆動回路用クロック信号(GCK1)、及び走査線駆
動回路用反転クロック信号(GCKB1)などの信号を回路5363_1に供給する。そ
して、回路5361は、走査線駆動回路用スタート信号(GSP2)、走査線駆動回路用
クロック信号(GCK2)、及び走査線駆動回路用反転クロック信号(GCKB2)など
の信号を回路5363_2に供給する。この場合、回路5363_1は、複数の配線53
72のうち奇数行目の配線のみを走査し、回路5363_2は、複数の配線5372のう
ち偶数行目の配線のみを走査することが可能になる。よって、回路5363_1、及び回
路5363_2の駆動周波数を小さくできるので、消費電力の低減を図ることができる。
または、1段分のフリップフロップをレイアウトすることが可能な面積を大きくすること
ができる。よって、表示装置を高精細にすることができる。または、表示装置を大型にす
ることができる。ただし、これに限定されず、図14(A)と同様に、回路5361は、
回路5363_1と回路5363_2とに同じ信号を出力することが可能である。
_1と回路5363_2とに別々の信号を供給することが可能である。
E)を参照して説明する。
362、回路5363_1、及び回路5363_2など)は、画素部5364と同じ基板
5380に形成される。そして、回路5361は、画素部5364とは別の基板に形成さ
れる。こうして、外部部品の数が減るので、コストの低減を図ることができる。または、
基板5380に入力される信号又は電圧の数が減るので、基板5380と、外部部品との
接続数を減らすことができる。よって、信頼性の向上、又は歩留まりの向上を図ることが
できる。
pe Automated Bonding)方式によってFPC(Flexible
Printed Circuit)に実装されることが可能である。または、当該基板は
、COG(Chip on Glass)方式によって画素部5364と同じ基板538
0に実装することが可能である。
体を用いたトランジスタを形成することが可能である。したがって、当該基板に形成され
る回路は、駆動周波数の向上、駆動電圧の向上、出力信号のばらつきの低減などのメリッ
トを得ることができる。
る場合が多い。
2)は、画素部5364と同じ基板5380に形成される。そして、回路5361、及び
回路5362は、画素部5364とは別の基板に形成される。こうして、移動度が小さい
トランジスタによって、基板5380に形成される回路を構成することが可能になる。よ
って、トランジスタの半導体層として、非単結晶半導体、微結晶半導体、有機半導体、又
は酸化物半導体などを用いることが可能になる。したがって、表示装置の大型化、工程数
の削減、コストの低減、又は歩留まりの向上などを図ることができる。
64と同じ基板5380に形成され、残りの回路5362(回路5362b)が画素部5
364とは別の基板に形成されることが可能である。回路5362aは、移動度が低いト
ランジスタによって構成することが可能な回路(例えば、シフトレジスタ、セレクタ、ス
イッチなど)を有する場合が多い。そして、回路5362bは、移動度が高く、特性ばら
つきが小さいトランジスタによって構成することが好ましい回路(例えば、シフトレジス
タ、ラッチ回路、バッファ回路、DA変換回路、AD変換回路など)を有する場合が多い
。こうすることによって、図15(B)と同様に、トランジスタの半導体層として、非単
結晶半導体、微結晶半導体、有機半導体、又は酸化物半導体などを用いることが可能とな
り、さらに外部部品の削減を図ることができる。
362、回路5363_1、及び回路5363_2など)、及びこれらの回路を制御する
機能を有する回路(例えば、回路5361)は、画素部5364とは別の基板に形成され
る。こうして、画素部と、その周辺回路とを別々の基板に形成することが可能になるので
、歩留まりの向上を図ることができる。
び回路5363_2を画素部5364とは別の基板に形成することが可能である。
5380に形成され、残りの回路5361(回路5361b)が画素部5364とは別の
基板に形成される。回路5361aは、移動度が小さいトランジスタによって構成するこ
とが可能な回路(例えば、スイッチ、セレクタ、レベルシフト回路など)を有する場合が
多い。そして、回路5361bは、移動度が高く、ばらつきが小さいトランジスタを用い
て構成することが好ましい回路(例えば、シフトレジスタ、タイミングジェネレータ、オ
シレータ、レギュレータ、又はアナログバッファなど)を有する場合が多い。
形成し、回路5361bを画素部5364とは別の基板に形成することが可能である。
対して、適宜、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行うことができる。
本実施の形態では、トランジスタ、及び容量素子の作製工程の一例を示す。特に、半導体
層として、酸化物半導体を用いる場合の作製工程について説明する。酸化物半導体層とし
ては、InMO3(ZnO)m(m>0)で表記される層を用いることが可能である。な
お、Mとしては、Ga、Fe、Ni、Mn及びCoから選ばれた一の金属元素又は複数の
金属元素などがある。例えば、Mとして、Gaの場合があることの他、GaとNi又はG
aとFeなど、Ga以外の上記金属元素が含まれる場合がある。なお、酸化物半導体にお
いて、Mとして含まれる金属元素の他に、不純物元素としてFe、Niその他の遷移金属
元素、又は該遷移金属の酸化物が含まれているものがある。このような薄膜をIn−Ga
−Zn−O系非単結晶膜と示すことが可能である。なお、酸化物半導体としては、ZnO
を用いることが可能である。なお、酸化物半導体層の可動イオン、代表的にはナトリウム
の濃度は、5×1018/cm3以下、更には1×1018/cm3以下であると、トラ
ンジスタの電気特性が変化することを抑制することができるため好ましい。ただし、これ
に限定されず、半導体層としては、他に様々な材料の酸化物半導体を用いることが可能で
ある。または、半導体層としては、単結晶半導体、多結晶半導体、微結晶(マイクロクリ
スタル、又はナノクリスタル)半導体、非晶質(アモルファス)半導体、又は、様々な非
単結晶半導体などを用いることが可能である。
て説明する。図16(A)〜(C)には、トランジスタ5441、及び容量素子5442
の作製工程の一例である。トランジスタ5441は、逆スタガ型薄膜トランジスタの一例
であり、酸化物半導体層上にソース電極またはドレイン電極を介して配線が設けられてい
るトランジスタの例である。
第1フォトマスクを用いたフォトリソグラフィ工程により形成したレジストマスクを用い
て、選択的に第1導電層のエッチングを行い、導電層5421、及び導電層5422を形
成する。導電層5421は、ゲート電極として機能することが可能であり、導電層542
2は、容量素子の一方の電極として機能することが可能である。ただし、これに限定され
ず、導電層5421、及び導電層5422は、配線、ゲート電極、又は容量素子の電極と
して機能する部分を有することが可能である。この後、レジストマスクを除去する。
る。絶縁層5423は、ゲート絶縁層として機能することが可能であり、導電層5421
、及び導電層5422を覆うように形成される。なお、絶縁層5423の膜厚は、50n
m〜250nmである場合が多い。
たCVD法により、酸化シリコン層を形成することが可能である。有機シランガスとして
は、珪酸エチル(TEOS:化学式Si(OC2H5)4)、テトラメチルシラン(TM
S:化学式Si(CH3)4)、テトラメチルシクロテトラシロキサン(TMCTS)、
オクタメチルシクロテトラシロキサン(OMCTS)、ヘキサメチルジシラザン(HMD
S)、トリエトキシシラン(SiH(OC2H5)3)、トリスジメチルアミノシラン(
SiH(N(CH3)2)3)等のシリコン含有化合物、又は、酸化イットリウム(Y2
O3)を用いることが可能である。
を用いて、絶縁層5423を選択的にエッチングして導電層5421に達するコンタクト
ホール5424を形成する。この後、レジストマスクを除去する。ただし、これに限定さ
れず、コンタクトホール5424を省略することが可能である。または、酸化物半導体層
の形成後に、コンタクトホール5424を形成することが可能である。ここまでの段階で
の断面図が図16(A)に相当する。
れず、酸化物半導体層をスパッタリング法により形成し、さらにその上にn+層を形成す
ることが可能である。なお、酸化物半導体の膜厚は、5nm〜200nmである場合が多
い。
プラズマを発生させる逆スパッタリングを行うことが好ましい。この逆スパッタリングに
より、絶縁層5423の表面及びコンタクトホール5424の底面に付着しているゴミを
除去することができる。逆スパッタリングとは、ターゲット側に電圧を印加せずに、アル
ゴン雰囲気下で基板側にRF電源を用いて電圧を印加して基板にプラズマを形成して表面
を改質する方法である。ただし、これに限定されず、アルゴン雰囲気に代えて窒素、ヘリ
ウムなどを用いることが可能である。または、アルゴン雰囲気に酸素、水素、N2Oなど
を加えた雰囲気で行うことが可能である。または、アルゴン雰囲気にCl2、CF4など
を加えた雰囲気で行うことが可能である。なお、逆スパッタリングを行うと、絶縁層54
23の表面が好ましくは2〜10nm程度削られる。このようなプラズマ処理後に、大気
に曝すことなく酸化物半導体を形成することによって、ゲート絶縁層と半導体層との界面
にゴミ又は水分を付着させない点で有用である。
、レジストマスクを除去する。
用いたフォトリソグラフィ工程により形成したレジストマスクを用いて選択的に第2導電
層のエッチングを行い、導電層5429、導電層5430、及び導電層5431を形成す
る。導電層5429は、コンタクトホール5424を介して導電層5421と接続される
。導電層5429、及び導電層5430は、ソース電極又はドレイン電極として機能する
ことが可能であり、導電層5431は、容量素子の他方の電極として機能することが可能
である。ただし、これに限定されず、導電層5429、導電層5430、及び導電層54
31は、配線、ソース若しくはドレイン電極、又は容量素子の電極として機能する部分を
含むことが可能である。
耐熱性を第2導電層に持たせることが好ましい。よって、第2導電層としては、Alと、
耐熱性導電性材料(例えば、Ti、Ta、W、Mo、Cr、Nd、Sc、Zr、Ceなど
の元素、これらの元素を組み合わせた合金、又は、これらの元素を成分とする窒化物など
)とを組み合わせた材料であることが好ましい。ただし、これに限定されず、第2導電膜
を積層構造にすることによって、第2導電膜に耐熱性を持たせることができる。例えば、
Alの上下に、Ti、又はMoなどの耐熱性導電性材料を設けることが可能である。
ズマを発生させる逆スパッタリングを行い、絶縁層5423の表面、酸化物半導体層の表
面、及びコンタクトホール5424の底面に付着しているゴミを除去することが好ましい
。ただし、これに限定されず、アルゴン雰囲気に代えて窒素、ヘリウムなどを用いること
が可能である。または、アルゴン雰囲気に酸素、水素、N2Oなどを加えた雰囲気で行う
ことが可能である。または、アルゴン雰囲気にCl2、CF4などを加えた雰囲気で行う
ことが可能である
、酸化物半導体層5425を形成する。このエッチングによって、導電層5421と重な
る部分の酸化物半導体層5425、又は、上方に第2の導電層が形成されていない部分の
酸化物半導体層5425は、削れられるので、薄くなる場合が多い。ただし、これに限定
されず、酸化物半導体層は、エッチングされないことが可能である。ただし、酸化物半導
体層の上にn+層が形成される場合は、酸化物半導体はエッチングされる場合が多い。こ
の後、レジストマスクを除去する。このエッチングが終了した段階でトランジスタ544
1と容量素子5442とが完成する。ここまでの段階での断面図が図16(B)に相当す
る。
絶縁層5423の露出部が好ましくは2〜10nm程度削られることがある。よって、絶
縁層5423に凹部が形成される場合がある。または、第2導電層のエッチングを行い、
導電層5429、導電層5430、及び導電層5431を形成した後、逆スパッタリング
することによって、図16(B)に示すように、導電層5429、導電層5430、及び
導電層5431の端部が湾曲する場合がある。
処理によりIn−Ga−Zn−O系非単結晶層の原子レベルの再配列が行われる。この熱
処理によりキャリアの移動を阻害する歪が解放されるため、ここでの熱処理(光アニール
も含む)は重要である。なお、この加熱処理を行うタイミングは限定されず、酸化物半導
体の形成後であれば、様々なタイミングで行うことが可能である。
が可能であるし、積層構造であることが可能である。例えば、絶縁層5432として有機
絶縁層を用いる場合、有機絶縁層の材料である組成物を塗布し、大気雰囲気下または窒素
雰囲気下で200℃〜600℃の加熱処理を行って、有機絶縁層を形成する。このように
、酸化物半導体層に接する有機絶縁層を形成することにより、電気特性の信頼性の高い薄
膜トランジスタを作製することができる。なお、絶縁層5432として有機絶縁層を用い
る場合、有機絶縁層の下に、窒化珪素膜、又は酸化珪素膜を設けることが可能である。
示すため、コンタクトホールが形成される領域の断面において、絶縁層5432の端部が
角張っている。しかしながら、感光性樹脂を用いて絶縁層5432を形成すると、コンタ
クトホールが形成される領域の断面において、絶縁層5432の端部を湾曲させることが
可能になる。この結果、後に形成される第3導電層又は画素電極の被覆率が向上する。
ジェット法、印刷法、ドクターナイフ、ロールコーター、カーテンコーター、ナイフコー
ター等を用いることが可能である。
加熱処理時に、酸化物半導体層の加熱処理を兼ねることが可能である。
ることが可能である。
ィ工程により形成したレジストマスクを用いて第3導電層を選択的にエッチングして、導
電層5433、及び導電層5434を形成する。ここまでの段階での断面図が図16(C
)に相当する。導電層5433、及び導電層5434は、配線、画素電極、反射電極、透
明電極、又は容量素子の電極として機能することが可能である。特に、導電層5434は
、導電層5422と接続されるので、容量素子5442の電極として機能することが可能
である。ただし、これに限定されず、第1導電層と第2導電層とを接続する機能を有する
ことが可能である。例えば、導電層5433と導電層5434とを接続することによって
、導電層5422と導電層5430とを第3導電層(導電層5433及び導電層5434
)を介して接続されることが可能になる。
1が挟まれる構造になるので、容量素子5442の容量値を大きくすることができる。た
だし、これに限定されず、導電層5422と導電層5434との一方を省略することが可
能である。
気下で200℃〜600℃の加熱処理を行うことが可能である。
。
することが可能である。絶縁層5435は、第2導電層がパターニングされる場合に、酸
化物半導体層が削られることを防止する機能を有し、チャネルストップ膜として機能する
。よって、酸化物半導体層の膜厚を薄くすることができるので、トランジスタの駆動電圧
の低減、オフ電流の低減、ドレイン電流のオンオフ比の向上、又はS値の改善などを図る
ことができる。なお、絶縁層5435は、酸化物半導体層と絶縁層とを連続して全面に形
成し、その後、フォトマスクを用いたフォトリソグラフィ工程により形成したレジストマ
スクを用いて選択的に当該絶縁層をパターニングすることによって、形成されることがで
きる。その後、第2導電層を全面に形成し、第2導電層と同時に酸化物半導体層をパター
ニングする。つまり、同じマスク(レチクル)を用いて、酸化物半導体層と第2導電層と
をパターニングすることが可能になる。この場合、第2導電層の下には、必ず酸化物半導
体層が形成されることになる。こうして、工程数を増やすことなく、絶縁層5435を形
成することができる。このような製造プロセスでは、第2導電層の下に酸化物半導体層が
形成される場合が多い。ただし、これに限定されず、酸化物半導体層をパターニングした
後に、絶縁層を全面に形成し、当該絶縁層をパターニングすることによって、絶縁層54
35を形成することが可能である。
によって、絶縁層5423と酸化物半導体層5436とが挟まれる構造である。ただし、
酸化物半導体層5436を省略することが可能である。そして、導電層5430と導電層
5431とは、第3導電層をパターニングして形成される導電層5437を介して接続さ
れている。このような構造は、一例として、液晶表示装置の画素に用いられることが可能
である。例えば、トランジスタ5441はスイッチングトランジスタとして機能し、容量
素子5442は保持容量として機能することが可能である。そして、導電層5421、導
電層5422、導電層5429、導電層5437は、各々、ゲート線、容量線、ソース線
、画素電極として機能することが可能である。ただし、これに限定されない。なお、図1
6(D)と同様に、図16(C)においても、導電層5430と導電層5431とを第3
導電層を介して接続することが可能である。
5425を形成することが可能である。こうすることによって、第2導電層がパターニン
グされる場合、酸化物半導体は形成されていないので、酸化物半導体層が削られることが
ない。よって、酸化物半導体層の膜厚を薄くすることができるので、トランジスタの駆動
電圧の低減、オフ電流の低減、ドレイン電流のオンオフ比の向上、又はS値の改善などを
図ることができる。なお、酸化物半導体層5425は、第2導電層がパターニングされる
後に、酸化物半導体層が全面に形成され、その後フォトマスクを用いたフォトリソグラフ
ィ工程により形成したレジストマスクを用いて選択的に酸化物半導体層パターニングする
ことによって形成されることができる。
グして形成される導電層5439とによって、絶縁層5423と絶縁層5432とが挟ま
れる構造である。そして、導電層5422と導電層5430とは、第3導電層をパターニ
ングして形成される導電層5438を介して接続される。さらに、導電層5439は、第
2導電層をパターニングして形成される導電層5440と接続される。なお、図16(E
)と同様に、図16(C)及び(D)においても、導電層5430と導電層5422とは
、導電層5438を介して接続されることが可能である。
よりも薄くすることによって、完全空乏化状態を作り出すことが可能になる。こうして、
オフ電流を低減することができる。これを実現するために、酸化物半導体層の膜厚は、2
0nm以下であることが好ましい。より好ましくは10nm以下である。さらに好ましく
は6nm以下であることが好ましい。
上、S値の改善などを図るために、酸化物半導体層の膜厚は、トランジスタを構成する層
の中で、一番薄いことが好ましい。例えば、酸化物半導体層の膜厚は、絶縁層5423よ
りも薄いことが好ましい。より好ましくは、酸化物半導体層の膜厚は、絶縁層5423の
1/2以下であることが好ましい。より好ましくは、1/5以下であることが好ましい。
さらに好ましくは、1/10以下であることが好ましい。ただし、これに限定されず、信
頼性を向上させるために、酸化物半導体層の膜厚は、絶縁層5423よりも厚いことが可
能である。特に、図16(C)のように、酸化物半導体層が削られる場合には、酸化物半
導体層の膜厚は厚いほうが好ましいので、酸化物半導体層の膜厚は、絶縁層5423より
も厚いことが可能である。
も厚いことが好ましい。より好ましくは、絶縁層5423の膜厚は、第1導電層の5/4
以上であることが好ましい。さらに好ましくは、4/3以上であることが好ましい。ただ
し、これに限定されず、トランジスタの移動度を高くするために、絶縁層5423の膜厚
は、第1導電層よりも薄いことが可能である。
述べる材料、又は本明細書において述べる材料と同様なものを用いることが可能である。
対して、適宜、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行うことができる。
本実施の形態では、トランジスタの構造の一例について図17(A)、(B)、及び(C
)を参照して説明する。
ボトムゲート型のトランジスタの構成の一例である。図17(C)は、半導体基板を用い
て作製されるトランジスタの構造の一例である。
絶縁層5261の上に形成され、領域5262a、領域5262b、領域5262c、領
域5262d、及び5262eを有する半導体層5262と、半導体層5262を覆うよ
うに形成される絶縁層5263と、半導体層5262及び絶縁層5263の上に形成され
る導電層5264と、絶縁層5263及び導電層5264の上に形成され、開口部を有す
る絶縁層5265と、絶縁層5265の上及び絶縁層5265の開口部に形成される導電
層5266と、導電層5266の上及び絶縁層5265の上に形成され、開口部を有する
絶縁層5267と、絶縁層5267の上及び絶縁層5267の開口部に形成される導電層
5268と、絶縁層5267の上及び導電層5268の上に形成され、開口部を有する絶
縁層5269と、絶縁層5269の上及び絶縁層5269の開口部に形成される発光層5
270と、絶縁層5269の上及び発光層5270の上に形成される導電層5271とを
示す。
導電層5301を覆うように形成される絶縁層5302と、導電層5301及び絶縁層5
302の上に形成される半導体層5303aと、半導体層5303aの上に形成される半
導体層5303bと、半導体層5303bの上及び絶縁層5302の上に形成される導電
層5304と、絶縁層5302の上及び導電層5304の上に形成され、開口部を有する
絶縁層5305と、絶縁層5305の上及び絶縁層5305の開口部に形成される導電層
5306と、絶縁層5305の上及び導電層5306の上に配置される液晶層5307と
、液晶層5307の上に形成される導電層5308とを示す。
体基板5352の上に形成される絶縁層5356と、半導体基板5352の上に形成され
る絶縁層5354と、絶縁層5356の上に形成される導電層5357と、絶縁層535
4、絶縁層5356、及び導電層5357の上に形成され、開口部を有する絶縁層535
8と、絶縁層5358の上及び絶縁層5358の開口部に形成される導電層5359とを
示す。こうして、領域5350と領域5351とに、各々、トランジスタが作製される。
分離層(例えばフィールド酸化膜)として機能する。絶縁層5263、絶縁層5302、
絶縁層5356は、ゲート絶縁膜として機能することが可能である。導電層5264、導
電層5301、導電層5357は、ゲート電極として機能することが可能である。絶縁層
5265、絶縁層5267、絶縁層5305、及び絶縁層5358は、層間膜、又は平坦
化膜として機能することが可能である。導電層5266、導電層5304、及び導電層5
359は、配線、トランジスタの電極、又は容量素子の電極などとして機能することが可
能である。導電層5268、及び導電層5306は、画素電極、又は反射電極などとして
機能することが可能である。絶縁層5269は、隔壁として機能することが可能である。
導電層5271、及び導電層5308は、対向電極、又は共通電極などとして機能するこ
とが可能である。
例えばシリコン基板)、SOI基板、プラスチック基板、金属基板、ステンレス基板、ス
テンレス・スチル・ホイルを有する基板、タングステン基板、タングステン・ホイルを有
する基板又は可撓性基板などがある。ガラス基板の一例としては、バリウムホウケイ酸ガ
ラス、アルミノホウケイ酸ガラスなどがある。可撓性基板の一例としては、ポリエチレン
テレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルサルフ
ォン(PES)に代表されるプラスチック、又はアクリル等の可撓性を有する合成樹脂な
どがある。他にも、貼り合わせフィルム(ポリプロピレン、ポリエステル、ビニル、ポリ
フッ化ビニル、塩化ビニルなど)、繊維状な材料を含む紙、基材フィルム(ポリエステル
、ポリアミド、ポリイミド、無機蒸着フィルム、紙類等)などがある。
板を用いることが可能である。ただし、これに限定されず、基板5260と同様なものを
用いることが可能である。領域5353は、一例として、半導体基板5352に不純物が
添加された領域であり、ウェルとして機能する。例えば、半導体基板5352がp型の導
電型を有する場合、領域5353は、n型の導電型を有し、nウェルとして機能する。一
方で、半導体基板5352がn型の導電型を有する場合、領域5353は、p型の導電型
を有し、pウェルとして機能する。領域5355は、一例として、不純物が半導体基板5
352に添加された領域であり、ソース領域又はドレイン領域として機能する。なお、半
導体基板5352に、LDD領域を形成することが可能である。
化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)膜、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)膜
などの酸素若しくは窒素を有する膜、又はこれらの積層構造などがある。絶縁層5261
が2層構造で設けられる場合の一例としては、1層目の絶縁層として窒化珪素膜を設け、
2層目の絶縁層として酸化珪素膜を設けることが可能である。絶縁層5261が3層構造
で設けられる場合の一例としては、1層目の絶縁層として酸化珪素膜を設け、2層目の絶
縁層として窒化珪素膜を設け、3層目の絶縁層として酸化珪素膜を設けることが可能であ
る。
結晶半導体(非晶質(アモルファス)シリコン、多結晶シリコン、微結晶シリコンなど)
、単結晶半導体、化合物半導体若しくは酸化物半導体(ZnO、InGaZnO、SiG
e、GaAs、IZO、ITO、SnO、TiO、AlZnSnO(AZTO))、有機
半導体、又はカーボンナノチューブなどがある。
状態であり、チャネル領域として機能する。ただし、領域5262aに微少な不純物を添
加することが可能であり、領域5262aに添加される不純物は、領域5262b、領域
5262c、領域5262d、又は領域5262eに添加される不純物の濃度よりも低い
ことが好ましい。領域5262b、及び領域5262dは、低濃度に不純物が添加された
領域であり、LDD(Lightly Doped Drain:LDD)領域として機
能する。ただし、領域5262b、及び領域5262dを省略することが可能である。領
域5262c、及び領域5262eは、高濃度に不純物が半導体層5262に添加された
領域であり、ソース領域又はドレイン領域として機能する。
n型の導電型を有する。
半導体層5303bを省略することが可能である。
Ox)膜、窒化珪素(SiNx)膜、酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)膜、窒化
酸化珪素(SiNxOy)(x>y)膜などの酸素若しくは窒素を有する膜、又はこれら
の積層構造などがある。
導電層5304、導電層5306、導電層5308、導電層5357、及び導電層535
9の一例としては、単層構造の導電膜、又はこれらの積層構造などがある。当該導電膜の
一例としては、アルミニウム(Al)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、モリブデン
(Mo)、タングステン(W)、ネオジム(Nd)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)
、白金(Pt)、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、マンガン(Mn)、コバルト(
Co)、ニオブ(Nb)、シリコン(Si)、鉄(Fe)、パラジウム(Pd)、炭素(
C)、スカンジウム(Sc)、亜鉛(Zn)、リン(P)、ボロン(B)、ヒ素(As)
、ガリウム(Ga)、インジウム(In)、錫(Sn)、酸素(O)、ジルコニウム(Z
r)、セリウム(Ce)によって構成される群から選ばれた一つの元素の単体膜、又は、
前記群から選ばれた一つ又は複数の元素を含む化合物などがある。当該化合物の一例とし
ては、前記群から選ばれた一つ若しくは複数の元素を含む合金(インジウム錫酸化物(I
TO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物(ITS
O)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化錫(SnO)、酸化錫カドミウム(CTO)、アルミネ
オジム(Al−Nd)、アルミタングステン(Al−W)、アルミジルコニウム(Al−
Zr)、アルミチタン(Al−Ti)、アルミセリウム(Al−Ce)、マグネシウム銀
(Mg−Ag)、モリブデンニオブ(Mo−Nb)、モリブデンタングステン(Mo−W
)、モリブデンタンタル(Mo−Ta)などの合金材料)、前記群から選ばれた一つ若し
くは複数の元素と窒素との化合物(窒化チタン、窒化タンタル、窒化モリブデンなどの窒
化膜)、又は、前記群から選ばれた一つ若しくは複数の元素とシリコンとの化合物(タン
グステンシリサイド、チタンシリサイド、ニッケルシリサイド、アルミシリコン、モリブ
デンシリコンなどのシリサイド膜)などがある。他にも、カーボンナノチューブ、有機ナ
ノチューブ、無機ナノチューブ、又は金属ナノチューブなどのナノチューブ材料がある。
むことが可能である。シリコンが不純物を含むことにより、導電率の向上や、通常の導体
と同様な振る舞いをすることが可能になったりするので、配線、又は電極などとして利用
しやすくなる。
シリコン)など、様々な結晶性を有するシリコン、又は非晶質(アモルファスシリコン)
などの結晶性を有さないシリコンなどを用いることが可能である。シリコンとして、単結
晶シリコンまたは多結晶シリコンを用いることにより、配線、電極、導電層、導電膜、端
子などの抵抗を小さくすることができる。シリコンとして、非晶質シリコンまたは微結晶
シリコンを用いることにより、簡単な工程で配線などを形成することができる。
料をトランジスタが有する半導体層と同時に形成することが可能である。
さらに、アルミニウム、又は銀は、エッチングしやすいので、パターニングしやすく、微
細加工を行うことができる。
いられる場合、密着性を向上させるために積層構造にすることが好ましい。
と接触しても、不良を起こしにくい、エッチングしやすい、耐熱性が高いなどの利点を有
するので、望ましい。よって、酸化物半導体、又はシリコンと接触する導電層としては、
モリブデン又はチタンを用いることが好ましい。
てネオジムとアルミニウムとの合金材料を用いることによって、アルミニウムがヒロック
を起こしにくくなる。ただし、これに限定されず、アルミニウムと、タンタル、ジルコニ
ウム、チタン、又はセリウムとの合金材料を用いることによっても、アルミニウムがヒロ
ックを起こしにくくなる。特に、アルミニウムとセリウムとの合金材料は、アーキングを
大幅に低減することができる。
ューブなどは、透光性を有しているので、これらの材料を画素電極、対向電極、又は共通
電極などの光を透過させる部分に用いることが可能である。特に、IZOは、エッチング
しやすく、加工しやすいため、望ましい。IZOは、エッチングしたときに、残渣が残っ
てしまう、ということが起こりにくい。したがって、画素電極としてIZOを用いると、
液晶素子や発光素子に不具合(ショート、配向乱れなど)をもたらすことを低減すること
ができる。
。単層構造にすることにより、配線、電極、導電層、導電膜、端子などの製造工程を簡略
化することができ、工程日数を少なくでき、コストを低減することができる。一方で、多
層構造にすることにより、それぞれの材料のメリットを生かしつつ、デメリットを低減さ
せ、性能の良い配線、電極などを形成することができる。例えば、低抵抗材料(アルミニ
ウムなど)を多層構造の中に含むことにより、配線の低抵抗化を図ることができる。別の
例として、低耐熱性の材料を、高耐熱性の材料で挟む積層構造にすることにより、低耐熱
性の材料の持つメリットを生かしつつ、配線、電極などの耐熱性を高くすることができる
。このような積層構造の一例としては、アルミニウムを含む層を、モリブデン、チタン、
ネオジムなどを含む層で挟む積層構造にすると望ましい。
ば、一方の配線、電極などが他方の配線、電極など材料の中に入っていって、性質を変え
てしまい、本来の目的を果たせなくなる場合がある。別の例として、高抵抗な部分を形成
又は製造するときに、問題が生じて、正常に製造できなくなる場合がある。このような場
合、他の材料に反応して性質が変わってしまう材料を、当該他の材料に反応しにくい材料
によって挟んだり、覆ったりすることが可能である。例えば、ITOとアルミニウムとを
接続させる場合は、ITOとアルミニウムとの間に、チタン、モリブデン、ネオジム合金
などを挟むことが可能である。例えば、シリコンとアルミニウムとを接続させる場合は、
シリコンとアルミニウムとの間に、チタン、モリブデン、ネオジム合金を挟むことが可能
である。
なお、これらの材料は、配線、電極、導電層、導電膜、端子、ビア、プラグなどにも用い
ることが可能である。
8の一例としては、単層構造の絶縁層、又はこれらの積層構造などがある。当該絶縁層の
一例としては、酸化珪素(SiOx)膜、窒化珪素(SiNx)膜、若しくは酸化窒化珪
素(SiOxNy)(x>y)膜、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)膜等の酸素
若しくは窒素を含む膜、DLC(ダイヤモンドライクカーボン)等の炭素を含む膜、又は
、シロキサン樹脂、エポキシ、ポリイミド、ポリアミド、ポリビニルフェノール、ベンゾ
シクロブテン、若しくはアクリル等の有機材料などがある。
素子の一例としては、正孔注入材料からなる正孔注入層、正孔輸送材料からなる正孔輸送
層、発光材料からなる発光層、電子輸送材料からなる電子輸送層、電子注入材料からなる
電子注入層など、若しくはこれらの材料のうち複数の材料を混合した層の単層構造、若し
くはこれらの積層構造などがある。
晶、ディスコチック液晶、サーモトロピック液晶、リオトロピック液晶、低分子液晶、高
分子液晶、高分子分散型液晶(PDLC)、強誘電液晶、反強誘電液晶、主鎖型液晶、側
鎖型高分子液晶、プラズマアドレス液晶(PALC)、バナナ型液晶などを挙げることが
できる。また、液晶の駆動方式としては、TN(Twisted Nematic)モー
ド、STN(Super Twisted Nematic)モード、IPS(In−P
lane−Switching)モード、FFS(Fringe Field Swit
ching)モード、MVA(Multi−domain Vertical Alig
nment)モード、PVA(Patterned Vertical Alignme
nt)モード、ASV(Advanced Super View)モード、ASM(A
xially Symmetric aligned Micro−cell)モード、
OCB(Optically Compensated Birefringence)
モード、ECB(Electrically Controlled Birefrin
gence)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Cryst
al)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liquid Cry
stal)モード、PDLC(Polymer Dispersed Liquid C
rystal)モード、ゲストホストモード、ブルー相(Blue Phase)モード
などがある。
突起部として機能する絶縁層などを形成することが可能である。
て機能する絶縁層などを形成することが可能である。導電層5308の下には、配向膜と
して機能する絶縁層を形成することが可能である。
5271を省略し、図17(B)に示す液晶層5307、導電層5308を絶縁層526
7の上及び導電層5268の上に形成することが可能である。
17(A)に示す絶縁層5269、発光層5270、及び導電層5271を絶縁層530
5の上及び導電層5306の上に形成することが可能である。
17(A)に示す絶縁層5269、発光層5270、及び導電層5271を形成すること
が可能である。あるいは、図17(B)に示す液晶層5307、導電層5308を絶縁層
5358の上及び導電層5359の上に形成することが可能である。
対して、適宜、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行うことができる。
本実施の形態においては、電子機器の例について説明する。
ある。これらの電子機器は、筐体9630、表示部9631、スピーカ9633、LED
ランプ9634、操作キー9635、接続端子9636、センサ9637(力、変位、位
置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間
、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、におい又は赤外線
を測定する機能を含むもの)、マイクロフォン9638、等を有することができる。
赤外線ポート9671、等を有することができる。図18(B)は記録媒体を備えた携帯
型の画像再生装置(たとえば、DVD再生装置)であり、上述したものの他に、第2表示
部9632、記録媒体読込部9672、等を有することができる。図18(C)はゴーグ
ル型ディスプレイであり、上述したものの他に、第2表示部9632、支持部9673、
イヤホン9674、等を有することができる。図18(D)は携帯型遊技機であり、上述
したものの他に、記録媒体読込部9672、等を有することができる。図18(E)はテ
レビ受像機能付きデジタルカメラであり、上述したものの他に、アンテナ9675、シャ
ッターボタン9676、受像部9677、等を有することができる。図18(F)は携帯
型遊技機であり、上述したものの他に、第2表示部9632、記録媒体読込部9672、
等を有することができる。図18(G)はテレビ受像器であり、上述したものの他に、チ
ューナ、画像処理部、等を有することができる。図18(H)は持ち運び型テレビ受像器
であり、上述したものの他に、信号の送受信が可能な充電器9678、等を有することが
できる。図19(A)はディスプレイであり、上述したものの他に、支持台9679、等
を有することができる。図19(B)はカメラであり、上述したものの他に、外部接続ポ
ート9680、シャッターボタン9676、受像部9677、等を有することができる。
図19(C)はコンピュータであり、上述したものの他に、ポインティングデバイス96
81、外部接続ポート9680、リーダ/ライタ9682、等を有することができる。図
19(D)は携帯電話機であり、上述したものの他に、送信部、受信部、携帯電話・移動
端末向けの1セグメント部分受信サービス用チューナ、等を有することができる。
な機能を有することができる。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)
を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付又は時刻などを表示する
機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理を制御する機能、無線通信機能、
無線通信機能を用いて様々なコンピュータネットワークに接続する機能、無線通信機能を
用いて様々なデータの送信又は受信を行う機能、記録媒体に記録されているプログラム又
はデータを読み出して表示部に表示する機能、等を有することができる。さらに、複数の
表示部を有する電子機器においては、一つの表示部を主として画像情報を表示し、別の一
つの表示部を主として文字情報を表示する機能、または、複数の表示部に視差を考慮した
画像を表示することで立体的な画像を表示する機能、等を有することができる。さらに、
受像部を有する電子機器においては、静止画を撮影する機能、動画を撮影する機能、撮影
した画像を自動または手動で補正する機能、撮影した画像を記録媒体(外部又はカメラに
内蔵)に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能、等を有することができる
。なお、図18(A)乃至図18(H)、図19(A)乃至図19(D)に示す電子機器
が有することのできる機能はこれらに限定されず、様々な機能を有することができる。
ことを特徴とする。電子機器は、表示部において、トランジスタの特性バラツキの影響が
低減されているため、非常に均一な画像を表示させることが出来る。
)は、筐体9730、表示部9731、操作部であるリモコン装置9732、スピーカ9
733等を含む。半導体装置は、壁かけ型として建物と一体となっており、設置するスペ
ースを広く必要とすることなく設置可能である。
す。表示パネル9741は、ユニットバス9742と一体に取り付けられており、入浴者
は表示パネル9741の視聴が可能になる。
態はこれに限定されず、様々な建造物に半導体装置を設置することができる。
9761は、自動車の車体9762に取り付けられており、車体の動作又は車体内外から
入力される情報をオンデマンドに表示することができる。なお、ナビゲーション機能を有
していてもよい。
ある。図19(H)は、旅客用飛行機の座席上部の天井9781に表示パネル9782を
設けたときの、使用時の形状について示した図である。表示パネル9782は、天井97
81とヒンジ部9783を介して一体に取り付けられており、ヒンジ部9783の伸縮に
より乗客は表示パネル9782の視聴が可能になる。表示パネル9782は乗客が操作す
ることで情報を表示する機能を有する。
がこれに限定されず、自動二輪車、自動四輪車(自動車、バス等を含む)、電車(モノレ
ール、鉄道等を含む)、船舶等、様々なものに設置することができる。
対して、適宜、組み合わせ、又は置き換えなどを自由に行うことができる。
102 容量素子
103 配線
104 配線
105 表示素子
106 配線
107 配線
201 スイッチ
202 スイッチ
203 スイッチ
204 スイッチ
205 スイッチ
206 スイッチ
601 スイッチ
602 スイッチ
603 スイッチ
606 配線
101A トランジスタ
101B トランジスタ
101M トランジスタ
102A 容量素子
102B 容量素子
103M 配線
104M 配線
105M 発光素子
106M 配線
106N 配線
106P 配線
106Q 配線
1101 配線
1102 配線
1103 配線
1104 配線
1105 容量素子
1106 トランジスタ
1107 トランジスタ
1108 表示素子
201M トランジスタ
202M トランジスタ
203M トランジスタ
402A 容量素子
402B 容量素子
402C 容量素子
601M トランジスタ
9630 筐体
9631 表示部
9632 表示部
9633 スピーカ
9634 LEDランプ
9635 操作キー
9636 接続端子
9637 センサ
9638 マイクロフォン
9670 スイッチ
9671 赤外線ポート
9672 記録媒体読込部
9673 支持部
9674 イヤホン
9675 アンテナ
9676 シャッターボタン
9677 受像部
9678 充電器
9679 支持台
9680 外部接続ポート
9681 ポインティングデバイス
9682 リーダ/ライタ
9730 筐体
9731 表示部
9732 リモコン装置
9733 スピーカ
9741 表示パネル
9742 ユニットバス
9761 表示パネル
9762 車体
9781 天井
9782 表示パネル
9783 ヒンジ部
102AM 容量素子
102BM 容量素子
1200M 画素
1200N 画素
1200P 画素
1200Q 画素
1201M 配線
1202M 配線
1203M 配線
1204M 配線
5121 画像
5122 画像
5123 画像
5124 領域
5125 領域
5126 領域
5127 ベクトル
5128 画像生成用ベクトル
5129 領域
5130 物体
5131 領域
5260 基板
5261 絶縁層
5262 半導体層
5263 絶縁層
5264 導電層
5265 絶縁層
5266 導電層
5267 絶縁層
5268 導電層
5269 絶縁層
5270 発光層
5271 導電層
5273 絶縁層
5300 基板
5301 導電層
5302 絶縁層
5304 導電層
5305 絶縁層
5306 導電層
5307 液晶層
5308 導電層
5350 領域
5351 領域
5352 半導体基板
5353 領域
5354 絶縁層
5355 領域
5356 絶縁層
5357 導電層
5358 絶縁層
5359 導電層
5360 映像信号
5361 回路
5362 回路
5363 回路
5364 画素部
5365 回路
5366 照明装置
5367 画素
5371 配線
5372 配線
5373 配線
5380 基板
5381 入力端子
5420 基板
5421 導電層
5422 導電層
5423 絶縁層
5424 コンタクトホール
5425 酸化物半導体層
5429 導電層
5430 導電層
5431 導電層
5432 絶縁層
5433 導電層
5434 導電層
5435 絶縁層
5436 酸化物半導体層
5437 導電層
5438 導電層
5439 導電層
5440 導電層
5441 トランジスタ
5442 容量素子
5121a 画像
5121b 画像
5122a 画像
5122b 画像
5123a 画像
5123b 画像
5262a 領域
5262b 領域
5262c 領域
5262d 領域
5262e 領域
5303a 半導体層
5303b 半導体層
5361a 回路
5361b 回路
5362a 回路
5362b 回路
Claims (5)
- トランジスタの移動度およびしきい値電圧のばらつきの影響を低減することができる機能を有する半導体装置であって、
発光素子と、
前記トランジスタと、
第1の容量素子と、
第2の容量素子と、
第3の容量素子と、
第1の配線と、
第2の配線と、
第3の配線と、
第1のスイッチと、
第2のスイッチと、
第3のスイッチと、
を有し、
前記第1の配線は、前記トランジスタを介して、前記発光素子に電流を供給することができる機能を有し、
前記第2の配線は、前記第2の容量素子および前記第3の容量素子に電圧を供給することができる機能を有し、
前記第3の配線は、映像信号を前記第1のスイッチに供給することができる機能を有し、
前記トランジスタのゲートは、前記第1の容量素子の第1の端子と直接接続され、
前記第1のスイッチの第1の端子は、前記第3の配線と直接接続され、
前記第1のスイッチの第2の端子は、前記第1の容量素子の第2の端子と直接接続され、
前記トランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第2のスイッチの第1の端子と直接接続され、
前記第2のスイッチの第2の端子は、前記発光素子と直接接続され、
前記トランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第2の容量素子の第1の端子と直接接続され、
前記トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第1の配線と直接接続され、
前記第3のスイッチの第1の端子は、前記トランジスタのソースまたはドレインの他方と直接接続され、
前記第3のスイッチの第2の端子は、前記第1の容量素子の第2の端子と直接接続され、
前記第2の容量素子の第2の端子は、前記第2の配線と直接接続され、
前記第3の容量素子の第1の端子は、前記第1の容量素子の第2の端子と直接接続され、
前記第3の容量素子の第2の端子は、前記第2の配線と直接接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1において、
前記トランジスタは、Pチャネル型であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1において、
前記トランジスタは、Nチャネル型であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一に記載の半導体装置と、
FPCと、を有することを特徴とする表示モジュール。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一に記載の半導体装置と、
アンテナ、操作スイッチ、スピーカ、マイクロフォン、または、受像部と、を有すること
を特徴とする電子機器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009045603 | 2009-02-27 | ||
| JP2009045603 | 2009-02-27 |
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