JP6216262B2

JP6216262B2 - Cutting equipment

Info

Publication number: JP6216262B2
Application number: JP2014029751A
Authority: JP
Inventors: 斌呉
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2014-02-19
Filing date: 2014-02-19
Publication date: 2017-10-18
Anticipated expiration: 2034-02-19
Also published as: JP2015154056A

Description

本発明は、切削装置に関する。 The present invention relates to a cutting apparatus.

半導体ウェーハやガラス等の光部品（被加工物）の切削において、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary MOS）等、切削屑が付着することを極端に嫌うデバイスがある。通常、切削加工時には切削水を供給しつつ被加工物に対して切削加工を施すことで、切削屑の付着をある程度は防いでいるが、こうしたデバイスの場合、切削屑のわずかな付着も許容できないため、様々な工夫が試みられ、そのなかでも被加工物を切削水中に没した状態で切削するダイサが開発された（例えば、特許文献１参照）。 In the cutting of optical components (workpieces) such as semiconductor wafers and glass, there are devices that extremely dislike the attachment of cutting debris such as CCD (Charge Coupled Device) and CMOS (Complementary MOS). Normally, cutting is applied to the work piece while cutting water is supplied during cutting to prevent cutting chips from adhering to a certain extent. For this reason, various devices have been attempted, and among them, a dicer has been developed that cuts a workpiece while being submerged in cutting water (see, for example, Patent Document 1).

特開２００１−１３５５９６号公報JP 2001-135596 A

しかしながら、被加工物を水没状態で切削するダイサでは、チャックテーブル全体が余裕を持って入る大きさの水槽を備え、その水槽の容量が大容量となっており、このような大容量の水槽に被加工物が没する水位まで切削水を満たすには、相当の時間がかかる。また、切削水に没した被加工物をチャックテーブルから取り出す際には、被加工物上に乗った切削水の重さにより被加工物を取り出しにくかったり、それを解決するために被加工物を取り出す前に水槽から切削水を排水するには、水槽の排水口を開放したりする手間がかかる。 However, a dicer that cuts a workpiece in a submerged state has a water tank large enough to allow the entire chuck table to enter, and the capacity of the water tank is large. It takes a considerable amount of time to fill the cutting water up to the water level at which the workpiece is submerged. Also, when removing a workpiece immersed in the cutting water from the chuck table, it is difficult to remove the workpiece due to the weight of the cutting water on the workpiece, or to remove the workpiece to solve it In order to drain the cutting water from the water tank before taking it out, it takes time and effort to open the water outlet of the water tank.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、被加工物を水没させることができる切削水の容量を抑えることができ、被加工物の着脱と切削水の貯排水とにかかる手間を抑えることができる切削装置を提供することを目的とする。 This invention is made in view of the above, Comprising: The capacity | capacitance of the cutting water which can submerge a workpiece can be suppressed, and the effort concerning attachment and detachment of a workpiece and storage and drainage of cutting water is taken. It aims at providing the cutting device which can be suppressed.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、貼着テープを介して環状フレームの開口部に被加工物を支持したフレームユニットを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給する切削水供給手段と、を備えた切削装置であって、チャックテーブルは、被加工物を保持面で保持する本体部と、本体部を囲繞し、環状フレームを保持面より低い位置で支持する基台部と、基台部から立設して環状フレームを囲繞し、上端の位置が保持面より高い堤防壁と、を有し、堤防壁は、主要堤防壁と、補助堤防壁とから構成され、補助堤防壁は、環状フレームを基台部と挟持するフレーム押部と、フレーム押部が環状フレームを挟持する挟持位置と環状フレームを開放する解放位置とに位置付ける駆動部と、を備えたフレームクランプのフレーム押部に一体的に配設され、挟持位置では主要堤防壁と補助堤防壁が連結して環状の堤防壁を形成し切削水を堰き止めて被加工物を水没させ、解放位置では主要堤防壁と補助堤防壁との連結が解除され堰き止めた切削水が排水されることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention includes a chuck table that holds a frame unit that supports a workpiece in an opening of an annular frame via an adhesive tape, and is held by the chuck table. A cutting apparatus comprising: a cutting means for cutting the workpiece and a cutting water supply means for supplying cutting water to the workpiece held on the chuck table, wherein the chuck table holds the workpiece A main body part that is held by a surface, a base part that surrounds the main body part and supports the annular frame at a position lower than the holding surface, and stands from the base part to surround the annular frame, and the upper end position is the holding surface. A levee wall comprising a main levee wall and an auxiliary levee wall, and the auxiliary levee wall includes a frame pressing portion that sandwiches the annular frame with the base portion, and a frame pressing portion. Hold the annular frame And a drive unit positioned at a clamping position and a release position that opens the annular frame, and is integrally disposed on a frame pressing portion of a frame clamp, and the main levee wall and the auxiliary levee wall are coupled to each other at the clamping position. A levee wall is formed, the cutting water is dammed and the workpiece is submerged, and at the release position, the connection between the main levee wall and the auxiliary levee wall is released and the dammed cutting water is drained.

また、上記切削装置において、主要堤防壁と補助堤防壁との連結部には、弾性部材からなるシール材が配設されていることが好ましい。 Moreover, in the said cutting device, it is preferable that the sealing material which consists of an elastic member is arrange | positioned in the connection part of a main levee wall and an auxiliary levee wall.

本発明によれば、環状フレームを囲繞できる程度の堤防壁によって切削水を堰き止めて被加工物を水没させるので、切削水の容量を抑えることができ、また、補助堤防壁がフレームクランプのフレーム押部に一体的に配設されているので、環状フレームの挟持または開放のタイミングと、切削水の貯水または排水のタイミングとを合わせることができる。したがって、本発明によれば、被加工物を水没させることができる切削水の容量を抑えることができ、被加工物の着脱と切削水の貯排水とにかかる手間を抑えることができるという効果を奏する。 According to the present invention, the cutting water is blocked by the embankment wall that can surround the annular frame and the workpiece is submerged, so that the capacity of the cutting water can be suppressed, and the auxiliary embankment wall is a frame clamp frame. Since it is disposed integrally with the pressing portion, the timing of holding or opening the annular frame can be matched with the timing of storing or draining the cutting water. Therefore, according to the present invention, it is possible to reduce the volume of cutting water that can submerge the workpiece, and to reduce the time and effort required to attach and detach the workpiece and store and drain the cutting water. Play.

図１は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration example of a cutting apparatus according to an embodiment. 図２は、実施形態に係る切削装置のチャックテーブルに切削水を貯水する状態を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a state in which cutting water is stored in the chuck table of the cutting apparatus according to the embodiment. 図３は、実施形態に係る切削装置のチャックテーブルに切削水を貯水する状態を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view illustrating a state in which cutting water is stored in the chuck table of the cutting apparatus according to the embodiment. 図４は、実施形態に係る切削装置のチャックテーブルから切削水を排水する状態を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a state in which cutting water is drained from the chuck table of the cutting apparatus according to the embodiment. 図５は、実施形態に係る切削装置のチャックテーブルから切削水を排水する状態を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view illustrating a state in which cutting water is drained from the chuck table of the cutting apparatus according to the embodiment.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the structures described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.

〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態に係る切削装置のチャックテーブルに切削水を貯水する状態を示す断面図である。図３は、実施形態に係る切削装置のチャックテーブルに切削水を貯水する状態を示す平面図である。図４は、実施形態に係る切削装置のチャックテーブルから切削水を排水する状態を示す断面図である。図５は、実施形態に係る切削装置のチャックテーブルから切削水を排水する状態を示す平面図である。図１に示す切削装置１は、被加工物Ｗ（図２参照）に対して切削加工を施す加工装置である。切削装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と、切削手段２０と、切削水供給手段３０と、Ｘ軸移動手段４０と、Ｙ軸移動手段５０と、Ｚ軸移動手段６０と、洗浄・乾燥手段７０と、を含んで構成されている。 Embodiment
FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration example of a cutting apparatus according to an embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a state in which cutting water is stored in the chuck table of the cutting apparatus according to the embodiment. FIG. 3 is a plan view illustrating a state in which cutting water is stored in the chuck table of the cutting apparatus according to the embodiment. FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a state in which cutting water is drained from the chuck table of the cutting apparatus according to the embodiment. FIG. 5 is a plan view illustrating a state in which cutting water is drained from the chuck table of the cutting apparatus according to the embodiment. A cutting apparatus 1 shown in FIG. 1 is a processing apparatus that performs a cutting process on a workpiece W (see FIG. 2). As shown in FIG. 1, the cutting apparatus 1 includes a chuck table 10, a cutting means 20, a cutting water supply means 30, an X-axis moving means 40, a Y-axis moving means 50, a Z-axis moving means 60, And a cleaning / drying means 70.

ここで、被加工物Ｗは、特に限定はされないが、例えば、シリコン、サファイア、ガリウム等を母材とする半導体ウェーハや光デバイスウェーハであり、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary MOS）等、切削加工において切削屑が付着することを極端に嫌うデバイスが形成された加工材料である。また、被加工物Ｗは、図２および図３に示すように、円板状に形成されており、貼着テープＴを介して環状フレームＦの開口部に支持されている。貼着テープＴは、被加工物Ｗにおいてデバイスが形成された面（デバイス面Ｗａ）とは反対側の面（裏面Ｗｂ）に貼着される保護部材であり、いわゆるダイシングテープと称されるものである。貼着テープＴは、伸縮性を有している。また、貼着テープＴは、両面のうち一方の面に粘着剤が設けられており、粘着剤が設けられた面（粘着面）に被加工物Ｗと環状フレームＦとが貼着される。なお、本実施形態では、貼着テープＴを介して環状フレームＦの開口部に被加工物Ｗを支持するものを、フレームユニットＵと称する。 Here, the workpiece W is not particularly limited, but is, for example, a semiconductor wafer or an optical device wafer based on silicon, sapphire, gallium, or the like, such as a CCD (Charge Coupled Device) or a CMOS (Complementary MOS). It is a processed material in which a device that is extremely disliked by the adhering of cutting waste in the cutting process is formed. 2 and 3, the workpiece W is formed in a disc shape and is supported by the opening of the annular frame F via the adhesive tape T. The adhesive tape T is a protective member that is adhered to a surface (back surface Wb) opposite to the surface (device surface Wa) on which the device is formed in the workpiece W, and is called a so-called dicing tape. It is. The sticking tape T has elasticity. Moreover, the adhesive tape T is provided with an adhesive on one surface of both surfaces, and the workpiece W and the annular frame F are attached to the surface (adhesive surface) provided with the adhesive. In the present embodiment, what supports the workpiece W in the opening of the annular frame F via the adhesive tape T is referred to as a frame unit U.

チャックテーブル１０は、フレームユニットＵを保持するものである。チャックテーブル１０は、図１に示すように、Ｘ軸移動手段４０の後述するＸ軸移動基台４１に支持されている。チャックテーブル１０は、図示しないθ軸回転手段により鉛直方向に対して平行となる軸（θ軸）周りに回転可能、つまり水平面内で回転可能である。つまり、チャックテーブル１０は、装置本体２に対して、θ軸周りに相対回転可能である。チャックテーブル１０は、被加工物Ｗを保持する本体部１１と、環状フレームＦを支持する基台部１２と、環状フレームＦを囲繞する堤防壁１３と、支持部１４と、を備えている。 The chuck table 10 holds the frame unit U. As shown in FIG. 1, the chuck table 10 is supported by an X-axis movement base 41 described later of the X-axis movement unit 40. The chuck table 10 can be rotated around an axis (θ axis) parallel to the vertical direction by a θ axis rotating means (not shown), that is, can be rotated in a horizontal plane. That is, the chuck table 10 can rotate relative to the apparatus main body 2 around the θ axis. The chuck table 10 includes a main body portion 11 that holds the workpiece W, a base portion 12 that supports the annular frame F, a bank wall 13 that surrounds the annular frame F, and a support portion 14.

本体部１１は、例えばポーラスセラミックで構成され、円盤状に形成されている。本体部１１は、被加工物Ｗを保持面１１ａで保持するものである。保持面１１ａは、本体部１１の鉛直方向の上端に形成されている。保持面１１ａは、水平面に対して平行に形成され、平坦に形成されている。保持面１１ａは、図示しない真空吸引源と連通されており、真空吸引源の負圧により、フレームユニットＵの貼着テープＴを介して被加工物Ｗを吸引保持する。つまり、保持面１１ａは、被加工物Ｗを保持する。 The main body 11 is made of, for example, porous ceramic and is formed in a disk shape. The main body 11 holds the workpiece W with the holding surface 11a. The holding surface 11 a is formed at the upper end of the main body portion 11 in the vertical direction. The holding surface 11a is formed parallel to the horizontal plane and is formed flat. The holding surface 11a communicates with a vacuum suction source (not shown), and sucks and holds the workpiece W via the adhesive tape T of the frame unit U by the negative pressure of the vacuum suction source. That is, the holding surface 11a holds the workpiece W.

基台部１２は、図３に示すように、鉛直方向視で本体部１１を囲繞し、図２に示すように、環状フレームＦを保持面１１ａより鉛直方向の低い位置で支持するものである。基台部１２は、図２および図３に示すように、水平面に対して平行となる平板状で、本体部１１を囲繞する環状に形成されている。基台部１２は、鉛直方向視において、本体部１１の径方向の外側に配置され、本体部１１の外周に対して同心円状に配置されている。基台部１２の内径は、本体部１１の直径より大きく、基台部１２の外径は、環状フレームＦの外径より大きい。基台部１２の鉛直方向の上面１２ａは、保持面１１ａより鉛直方向の下方に位置している。上面１２ａの径方向の幅は、環状フレームＦに対応する幅であり、環状フレームＦを支持することができる幅である。基台部１２は、フレームユニットＵをチャックテーブル１０で保持した際に、貼着テープＴを介して環状フレームＦを支持する。 The base 12 surrounds the main body 11 as viewed in the vertical direction as shown in FIG. 3, and supports the annular frame F at a position lower in the vertical direction than the holding surface 11a as shown in FIG. . As shown in FIGS. 2 and 3, the base 12 is a flat plate that is parallel to the horizontal plane, and is formed in an annular shape surrounding the main body 11. The base part 12 is arranged on the outer side in the radial direction of the main body part 11 when viewed in the vertical direction, and is arranged concentrically with respect to the outer periphery of the main body part 11. The inner diameter of the base portion 12 is larger than the diameter of the main body portion 11, and the outer diameter of the base portion 12 is larger than the outer diameter of the annular frame F. The upper surface 12a in the vertical direction of the base portion 12 is located below the holding surface 11a in the vertical direction. The width in the radial direction of the upper surface 12a is a width corresponding to the annular frame F, and is a width that can support the annular frame F. The base 12 supports the annular frame F via the adhesive tape T when the frame unit U is held by the chuck table 10.

堤防壁１３は、基台部１２から立設して環状フレームＦを囲繞するものである。また、堤防壁１３は、フレームユニットＵをチャックテーブル１０で保持した際に、フレームユニットＵの貼着テープＴとで、切削水ＤＷが溜められる水槽を形成するものである。堤防壁１３は、図２および図３に示すように、基台部１２の上面１２ａの外周側の縁に沿って鉛直方向の上方に向けて立設されており、環状に形成されている。堤防壁１３は、鉛直方向視において、本体部１１の径方向の外側に配置され、本体部１１の外周に対して同心円状に配置されている。堤防壁１３の内径は、環状フレームＦの外径より大きく、堤防壁１３の外径は、基台部１２の外径と同等である。本実施形態では、堤防壁１３の内径は、環状フレームＦを基台部１２に支持することができる程度の大きさである。堤防壁１３の鉛直方向の上端は、保持面１１ａより鉛直方向の上方に位置する。また、堤防壁１３の上端は、フレームユニットＵをチャックテーブル１０で保持した際に、保持面１１ａに保持される被加工物Ｗのデバイス面Ｗａより鉛直方向の上方に位置する。つまり、堤防壁１３の上端は、保持面１１ａより高く、デバイス面Ｗａより高い。堤防壁１３の上端の位置は、フレームユニットＵをチャックテーブル１０で保持した際に、保持面１１ａに保持される被加工物Ｗを、堤防壁１３内に溜められる切削水ＤＷにより水没させることができる位置に設定されている。堤防壁１３の上端の位置は、鉛直方向において、例えば、保持面１１ａより数ｍｍ程度高い。堤防壁１３は、図１に示すように、主要堤防壁１３１と、補助堤防壁１３２とから構成されている。 The levee wall 13 stands up from the base portion 12 and surrounds the annular frame F. Moreover, when the frame unit U is held by the chuck table 10, the bank wall 13 forms a water tank in which the cutting water DW is stored with the adhesive tape T of the frame unit U. As shown in FIGS. 2 and 3, the bank wall 13 is erected upward in the vertical direction along the outer peripheral edge of the upper surface 12 a of the base portion 12, and is formed in an annular shape. The embankment wall 13 is arranged on the outer side in the radial direction of the main body part 11 in the vertical direction view, and is arranged concentrically with respect to the outer periphery of the main body part 11. The inner diameter of the bank wall 13 is larger than the outer diameter of the annular frame F, and the outer diameter of the bank wall 13 is equal to the outer diameter of the base portion 12. In the present embodiment, the inner diameter of the bank wall 13 is large enough to support the annular frame F on the base portion 12. The upper end of the dike wall 13 in the vertical direction is located above the holding surface 11a in the vertical direction. In addition, when the frame unit U is held by the chuck table 10, the upper end of the bank wall 13 is positioned above the device surface Wa of the workpiece W held on the holding surface 11 a in the vertical direction. That is, the upper end of the bank wall 13 is higher than the holding surface 11a and higher than the device surface Wa. The position of the upper end of the bank wall 13 is that the workpiece W held on the holding surface 11a is submerged by the cutting water DW stored in the bank wall 13 when the frame unit U is held by the chuck table 10. It is set to a position where it can. The position of the upper end of the bank wall 13 is, for example, about several mm higher than the holding surface 11a in the vertical direction. As shown in FIG. 1, the embankment wall 13 is composed of a main embankment wall 131 and an auxiliary embankment wall 132.

主要堤防壁１３１は、円弧状に形成されており、周方向に等間隔をおいて４つ配設されている。主要堤防壁１３１は、基台部１２に対して、堤防壁１３内に溜められる切削水ＤＷが漏水しないように設けられている。 The main embankment wall 131 is formed in an arc shape, and four main embankment walls 131 are arranged at equal intervals in the circumferential direction. The main levee wall 131 is provided to the base portion 12 so that the cutting water DW stored in the levee wall 13 does not leak.

補助堤防壁１３２は、隣り合う主要堤防壁１３１同士の間に配設されており、周方向に等間隔をおいて４つ配設されている。補助堤防壁１３２は、主要堤防壁１３１に対して、堤防壁１３内に溜められる切削水ＤＷが漏水しないように設けられている。補助堤防壁１３２は、隣り合う主要堤防壁１３１に対して、起伏可能に設けられ、かつ連結可能に設けられている。補助堤防壁１３２は、隣り合う主要堤防壁１３１に対して起立した起立状態では、主要堤防壁１３１と連結し、環状の堤防壁１３を形成し、切削水ＤＷを堰き止める。また、補助堤防壁１３２は、隣り合う主要堤防壁１３１に対して倒伏した倒伏状態では、主要堤防壁１３１との連結を解除し、堰き止めた切削水ＤＷを排水する。補助堤防壁１３２は、円弧状に形成されている。補助堤防壁１３２は、フレーム押部１３２ａと、駆動部１３２ｂと、シール材１３２ｃと、を備えている。 The auxiliary levee walls 132 are disposed between adjacent main levee walls 131, and four are arranged at equal intervals in the circumferential direction. The auxiliary bank wall 132 is provided so that the cutting water DW stored in the bank wall 13 does not leak with respect to the main bank wall 131. The auxiliary bank wall 132 is provided so as to be able to undulate and be connected to the adjacent main bank wall 131. The auxiliary levee wall 132 is connected to the main levee wall 131 in the standing state standing up with respect to the adjacent main levee wall 131 to form an annular levee wall 13 to block the cutting water DW. In addition, the auxiliary levee wall 132 releases the connection with the main levee wall 131 and drains the cutting water DW that has been dammed in the lying state where the auxiliary levee wall 132 has fallen with respect to the adjacent main levee wall 131. The auxiliary bank wall 132 is formed in an arc shape. The auxiliary bank wall 132 includes a frame pressing portion 132a, a driving portion 132b, and a sealing material 132c.

フレーム押部１３２ａは、補助堤防壁１３２の内周に配設され、補助堤防壁１３２と一体となっている。つまり、補助堤防壁１３２は、フレーム押部１３２ａに一体的に配設されている。フレーム押部１３２ａは、補助堤防壁１３２の内周に対して直交し、かつ補助堤防壁１３２の内周の周方向に平行に延在される平板状に形成されている。フレーム押部１３２ａは、補助堤防壁１３２の内周の周方向の全幅にわたって設けられている。フレーム押部１３２ａの径方向の幅は、フレームユニットＵをチャックテーブル１０で保持した際に、基台部１２に支持される環状フレームＦを、駆動部１３２ｂとで挟持することができる幅に設定されている。補助堤防壁１３２に対するフレーム押部１３２ａの鉛直方向の相対位置は、フレームユニットＵをチャックテーブル１０で保持した際に、基台部１２に支持される環状フレームＦを、駆動部１３２ｂとで挟持することができる位置で本体部１１の保持面１１ａより下方に設定されている。また、フレーム押部１３２ａは、補助堤防壁１３２が倒伏した状態では、図４に示すように、基台部１２に支持される環状フレームＦより鉛直方向の下方に位置する。 The frame pressing portion 132 a is disposed on the inner periphery of the auxiliary bank wall 132 and is integrated with the auxiliary bank wall 132. That is, the auxiliary bank wall 132 is integrally disposed on the frame pressing portion 132a. The frame pressing portion 132 a is formed in a flat plate shape that is orthogonal to the inner periphery of the auxiliary levee wall 132 and extends parallel to the circumferential direction of the inner periphery of the auxiliary levee wall 132. The frame pressing portion 132 a is provided over the entire circumferential width of the inner periphery of the auxiliary bank wall 132. The width in the radial direction of the frame pressing portion 132a is set to a width that allows the annular frame F supported by the base portion 12 to be held between the driving portion 132b when the frame unit U is held by the chuck table 10. Has been. The relative position in the vertical direction of the frame pressing portion 132a with respect to the auxiliary levee wall 132 is such that when the frame unit U is held by the chuck table 10, the annular frame F supported by the base portion 12 is sandwiched between the driving portion 132b. It is set below the holding surface 11a of the main body 11 at a position where it can be used. In addition, the frame pressing part 132a is positioned below the annular frame F supported by the base part 12 in the vertical direction as shown in FIG.

駆動部１３２ｂは、フレームユニットＵをチャックテーブル１０で保持した際に、基台部１２に支持される環状フレームＦをフレーム押部１３２ａで挟持する挟持位置（図２に示す位置）、または基台部１２に支持される環状フレームＦを開放する解放位置（図４に示す位置）に、フレーム押部１３２ａを位置付けるものである。つまり、駆動部１３２ｂは、フレーム押部１３２ａが環状フレームＦを挟持する挟持位置と環状フレームＦを開放する解放位置とに位置付けるものである。駆動部１３２ｂは、図２に示すように、支持部１４に配設されている。駆動部１３２ｂは、図５に示すように、補助堤防壁１３２に応じて配置されており、基台部１２に対して、周方向に等間隔をおいて４つ配設されている。駆動部１３２ｂの鉛直方向の上端は、図２に示すように、基台部１２の上面１２ａと面一となる平坦面に形成されている。このため、フレームユニットＵをチャックテーブル１０で保持した際に、フレーム押部１３２ａが挟持位置に位置付けられると、基台部１２と駆動部１３２ｂとによって、環状フレームＦが一体的に挟持される。つまり、フレーム押部１３２ａは、フレームユニットＵをチャックテーブル１０で保持した際に挟持位置に位置付けられると、基台部１２とで環状フレームＦを挟持する。また、フレームユニットＵをチャックテーブル１０で保持した際に、フレーム押部１３２ａが挟持位置に位置付けられると、基台部１２と駆動部１３２ｂとに対して、貼着テープＴの外周側が全周にわたって密着し、堤防壁１３内に溜められる切削水ＤＷに対する水密性が向上する。 When the frame unit U is held by the chuck table 10, the driving unit 132 b holds the annular frame F supported by the base unit 12 with the frame pressing unit 132 a (the position shown in FIG. 2), or the base The frame pressing portion 132a is positioned at a release position (position shown in FIG. 4) where the annular frame F supported by the portion 12 is opened. That is, the drive part 132b is positioned at the holding position where the frame pressing part 132a holds the annular frame F and the release position where the annular frame F is opened. The drive part 132b is arrange | positioned at the support part 14, as shown in FIG. As shown in FIG. 5, the driving units 132 b are arranged according to the auxiliary bank wall 132, and four driving units 132 b are arranged at equal intervals in the circumferential direction with respect to the base unit 12. As shown in FIG. 2, the upper end of the drive unit 132 b in the vertical direction is formed on a flat surface that is flush with the upper surface 12 a of the base unit 12. Therefore, when the frame unit U is held by the chuck table 10, if the frame pressing portion 132 a is positioned at the clamping position, the annular frame F is clamped integrally by the base portion 12 and the drive portion 132 b. That is, when the frame pressing unit 132 a is positioned at the clamping position when the frame unit U is held by the chuck table 10, the frame pressing unit 132 a clamps the annular frame F with the base unit 12. Further, when the frame unit U is held by the chuck table 10, when the frame pressing portion 132a is positioned at the clamping position, the outer peripheral side of the adhesive tape T extends over the entire circumference with respect to the base portion 12 and the driving portion 132b. The water tightness with respect to the cutting water DW which closely_contact | adheres and is stored in the bank wall 13 improves.

また、駆動部１３２ｂは、隣り合う主要堤防壁１３１に対して、補助堤防壁１３２を起伏可能に支持している。駆動部１３２ｂは、補助堤防壁１３２の内周側から外周側に向けて、つまり堤防壁１３の内側から外側に向けて補助堤防壁１３２を倒伏させ、補助堤防壁１３２の外周側から内周側に向けて、つまり堤防壁１３の外側から内側に向けて補助堤防壁１３２を起立させる。 Moreover, the drive part 132b is supporting the auxiliary dike wall 132 with respect to the adjacent main dike wall 131 so that raising / lowering is possible. The drive unit 132b lies down from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the auxiliary levee wall 132, that is, from the inner side to the outer side of the levee wall 13, and from the outer peripheral side to the inner peripheral side of the auxiliary levee wall 132. The auxiliary levee wall 132 is erected toward the inner side, that is, from the outer side to the inner side of the dyke wall 13.

なお、本実施形態では、フレーム押部１３２ａと駆動部１３２ｂとでフレームクランプＦＣが構成されている。すなわち、フレームクランプＦＣは、環状フレームＦを基台部１２とで挟持するフレーム押部１３２ａと、フレーム押部１３２ａが環状フレームＦを挟持する挟持位置と環状フレームＦを開放する解放位置とに位置付ける駆動部１３２ｂと、を備えている。フレームクランプＦＣは、隣り合う主要堤防壁１３１に対して補助堤防壁１３２が駆動部１３２ｂにより起伏されることで、基台部１２に支持される環状フレームＦを挟持したり、基台部１２に支持される環状フレームＦを開放したりする。 In the present embodiment, the frame pressing part 132a and the driving part 132b constitute a frame clamp FC. That is, the frame clamp FC is positioned at a frame pressing portion 132a that holds the annular frame F with the base portion 12, a holding position where the frame pressing portion 132a holds the annular frame F, and a release position where the annular frame F is released. And a drive unit 132b. The frame clamp FC sandwiches the annular frame F supported by the base part 12 by the auxiliary bank wall 132 being raised and lowered by the drive part 132b with respect to the adjacent main bank wall 131, or The annular frame F to be supported is opened.

シール材１３２ｃは、弾性部材からなるシール材である。シール材１３２ｃは、図３および図５に示すように、補助堤防壁１３２の外周の周方向の両端側に配設されている。シール材１３２ｃは、主要堤防壁１３１と補助堤防壁１３２とが連結すると、周方向において、補助堤防壁１３２を挟んで隣り合う主要堤防壁１３１の外周の端部を押圧する。つまり、シール材１３２ｃは、主要堤防壁１３１と補助堤防壁１３２とが連結する連結部に配設されている。シール材１３２ｃは、主要堤防壁１３１と補助堤防壁１３２とが連結する連結部から、堤防壁１３内に溜められる切削水ＤＷが漏れないようにする部材である。弾性部材としては、例えば、堤防壁１３内に溜められる切削水ＤＷに対するコンタミネーションが抑えられたゴム材料などが用いられる。 The sealing material 132c is a sealing material made of an elastic member. As shown in FIGS. 3 and 5, the sealing material 132 c is disposed on both ends in the circumferential direction of the outer periphery of the auxiliary bank wall 132. When the main embankment wall 131 and the auxiliary embankment wall 132 are connected, the sealing material 132c presses the outer peripheral end of the adjacent main embankment wall 131 with the auxiliary embankment wall 132 interposed therebetween in the circumferential direction. That is, the sealing material 132c is disposed at a connecting portion where the main bank wall 131 and the auxiliary bank wall 132 are connected. The sealing material 132c is a member that prevents the cutting water DW stored in the levee wall 13 from leaking from a connecting portion where the main levee wall 131 and the auxiliary levee wall 132 are connected. As the elastic member, for example, a rubber material or the like in which contamination with the cutting water DW accumulated in the bank wall 13 is suppressed is used.

支持部１４は、図２に示すように、本体部１１の軸部１１ｂに設けられている。支持部１４には、基台部１２と駆動部１３２ｂとが設けられている。支持部１４は、軸部１１ｂに支持されており、基台部１２および駆動部１３２ｂを支持している。支持部１４は、本体部１１と一体回転する。 The support part 14 is provided in the shaft part 11b of the main body part 11 as shown in FIG. The support part 14 is provided with a base part 12 and a drive part 132b. The support part 14 is supported by the shaft part 11b, and supports the base part 12 and the drive part 132b. The support portion 14 rotates integrally with the main body portion 11.

切削手段２０は、チャックテーブル１０に保持されたフレームユニットＵの被加工物Ｗを切削するものである。切削手段２０は、図１に示すように、切削ブレード２１と、スピンドル２２と、ハウジング２３と、を備えている。切削ブレード２１は、極薄の円板状かつ環状に形成された切削砥石である。スピンドル２２は、切削ブレード２１を着脱可能に装着する。ハウジング２３は、モータ等の駆動源を有しており、Ｙ軸方向の回転軸周り（図２に示す矢印ａ）に回転自在にスピンドル２２を支持する。 The cutting means 20 cuts the workpiece W of the frame unit U held on the chuck table 10. As shown in FIG. 1, the cutting means 20 includes a cutting blade 21, a spindle 22, and a housing 23. The cutting blade 21 is a cutting grindstone formed in an extremely thin disk shape and in an annular shape. The spindle 22 is detachably mounted with the cutting blade 21. The housing 23 has a drive source such as a motor, and supports the spindle 22 so as to be rotatable around a rotation axis in the Y-axis direction (arrow a shown in FIG. 2).

切削水供給手段３０は、チャックテーブル１０に保持されたフレームユニットＵの被加工物Ｗに切削水ＤＷを供給するものである。切削水供給手段３０は、切削手段２０に併設されている。切削水供給手段３０は、図示しない切削水供給源と連通しており、切削水供給手段３０から供給される切削水ＤＷを切削ブレード２１に向けて噴射する。切削水ＤＷは、例えば純水等である。 The cutting water supply means 30 supplies cutting water DW to the workpiece W of the frame unit U held by the chuck table 10. The cutting water supply means 30 is provided along with the cutting means 20. The cutting water supply means 30 communicates with a cutting water supply source (not shown) and injects the cutting water DW supplied from the cutting water supply means 30 toward the cutting blade 21. The cutting water DW is, for example, pure water.

Ｘ軸移動手段４０は、Ｘ軸移動基台４１をＸ軸方向（加工送り方向）に移動可能に支持している。Ｘ軸移動手段４０は、例えば、Ｘ軸方向に対して平行に延在されるボールねじ、パルスモータ等で構成される駆動源を有しており、Ｘ軸移動基台４１を装置本体２に対してＸ軸方向に相対移動させる。Ｘ軸移動基台４１は、装置本体２に支持されており、チャックテーブル１０を支持している。このため、チャックテーブル１０は、装置本体２に対して、Ｘ軸方向に相対移動可能である。 The X-axis moving means 40 supports an X-axis moving base 41 so as to be movable in the X-axis direction (machining feed direction). The X-axis moving means 40 has a drive source composed of, for example, a ball screw extending in parallel with the X-axis direction, a pulse motor, and the like, and the X-axis moving base 41 is attached to the apparatus main body 2. On the other hand, it is relatively moved in the X-axis direction. The X-axis moving base 41 is supported by the apparatus main body 2 and supports the chuck table 10. For this reason, the chuck table 10 can be moved relative to the apparatus main body 2 in the X-axis direction.

Ｙ軸移動手段５０は、Ｙ軸移動基台５１をＹ軸方向（割り出し送り方向に相当）に移動可能に支持している。Ｙ軸移動手段５０は、例えば、Ｙ軸方向に対して平行に延在されるボールねじ、パルスモータ等で構成される駆動源を有しており、Ｙ軸移動基台５１を装置本体２に対してＹ軸方向に相対移動させる。Ｙ軸移動基台５１は、装置本体２の鉛直方向の上端から立設された門型の支持基台３に支持されており、Ｚ軸移動手段６０を支持している。 The Y-axis moving means 50 supports the Y-axis moving base 51 so as to be movable in the Y-axis direction (corresponding to the index feed direction). The Y-axis moving means 50 has a drive source composed of, for example, a ball screw and a pulse motor that extend parallel to the Y-axis direction, and the Y-axis moving base 51 is attached to the apparatus main body 2. On the other hand, it is relatively moved in the Y-axis direction. The Y-axis movement base 51 is supported by a portal-type support base 3 erected from the upper end of the apparatus main body 2 in the vertical direction, and supports the Z-axis movement means 60.

Ｚ軸移動手段６０は、Ｚ軸移動基台６１をＺ軸方向（切り込み送り方向に相当）に移動可能に支持している。Ｚ軸移動手段６０は、例えば、Ｚ軸方向に対して平行に延在されるボールねじ、パルスモータ等で構成される駆動源を有しており、Ｚ軸移動基台６１を装置本体２に対してＺ軸方向に相対移動させる。Ｚ軸移動基台６１は、Ｙ軸移動基台５１に支持されており、切削手段２０を支持している。このため、切削手段２０は、Ｙ軸移動手段５０とＺ軸移動手段６０とにより、装置本体２に対して、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に相対移動可能である。 The Z-axis moving means 60 supports the Z-axis moving base 61 so as to be movable in the Z-axis direction (corresponding to the cutting feed direction). The Z-axis moving means 60 has, for example, a drive source constituted by a ball screw, a pulse motor, or the like that extends parallel to the Z-axis direction, and the Z-axis moving base 61 is attached to the apparatus main body 2. On the other hand, it is relatively moved in the Z-axis direction. The Z-axis movement base 61 is supported by the Y-axis movement base 51 and supports the cutting means 20. Therefore, the cutting means 20 can be moved relative to the apparatus main body 2 in the Y-axis direction and the Z-axis direction by the Y-axis moving means 50 and the Z-axis moving means 60.

洗浄・乾燥手段７０は、被加工物Ｗに対して切削加工が施されたフレームユニットＵを洗浄し、乾燥させるものである。洗浄・乾燥手段７０は、スピンナテーブル７１と、洗浄流体供給ノズル７２と、を備えている。スピンナテーブル７１は、チャックテーブル１０の保持面１１ａと同様に、真空吸引源に連通されており、真空吸引源の負圧により、貼着テープＴを介して被加工物Ｗを吸引保持する。スピンナテーブル７１は、図示しないモータ等の駆動源により、水平面内で回転する。スピンナテーブル７１は、その回転に伴って生じる遠心力によって環状フレームＦを挟持するフレームチャックを有している。洗浄流体供給ノズル７２は、洗浄時には、純水等の洗浄水を被加工物Ｗに向けて噴射し、被加工物Ｗを洗浄し、乾燥時には、清浄なエアー等を被加工物Ｗに向けて噴射し、被加工物Ｗを乾燥させる。 The cleaning / drying means 70 cleans and dries the frame unit U on which the workpiece W has been cut. The cleaning / drying means 70 includes a spinner table 71 and a cleaning fluid supply nozzle 72. Similar to the holding surface 11a of the chuck table 10, the spinner table 71 communicates with a vacuum suction source, and sucks and holds the workpiece W via the adhesive tape T by the negative pressure of the vacuum suction source. The spinner table 71 is rotated in a horizontal plane by a driving source such as a motor (not shown). The spinner table 71 has a frame chuck that holds the annular frame F by a centrifugal force generated by the rotation thereof. The cleaning fluid supply nozzle 72 sprays cleaning water such as pure water toward the workpiece W during cleaning, cleans the workpiece W, and directs clean air or the like toward the workpiece W during drying. Spray and dry the workpiece W.

次に、以上のように構成された切削装置１の動作について説明する。なお、本実施形態では、切削装置１は、貼着テープＴの鉛直方向の上端側の一部まで切削ブレード２１を切り込ませる、いわゆるフルカットにより、被加工物Ｗに対して切削加工を施すものとする。 Next, operation | movement of the cutting device 1 comprised as mentioned above is demonstrated. In the present embodiment, the cutting apparatus 1 performs cutting on the workpiece W by so-called full cutting, in which the cutting blade 21 is cut to a part of the upper end side in the vertical direction of the sticking tape T. Shall.

切削装置１は、例えば作業員による切削加工の指示入力に基づいて、図示しない搬送手段によりフレームユニットＵをチャックテーブル１０に載置する。ここで、切削装置１では、図２および図３に示すように、駆動部１３２ｂにより補助堤防壁１３２が起立させられ、主要堤防壁１３１と補助堤防壁１３２とが連結されて堤防壁１３が形成される。また、切削装置１では、真空吸引源の負圧が作用する保持面１１ａにより、貼着テープＴを介して被加工物Ｗが吸引保持される。また、切削装置１では、駆動部１３２ｂにより補助堤防壁１３２が起立させられると、フレーム押部１３２ａが環状フレームＦを鉛直方向の下方に押圧（環状フレームＦを基台部１２側へ向けて押圧）し、フレーム押部１３２ａと基台部１２とで環状フレームＦが挟持される。つまり、切削装置１では、基台部１２に支持される環状フレームＦをフレーム押部１３２ａで挟持する挟持位置に、フレーム押部１３２ａが位置付けられる。また、切削装置１では、フレーム押部１３２ａが挟持位置に位置付けられると、環状フレームＦが保持面１１ａより鉛直方向の下方に位置し、貼着テープＴが伸びる。また、切削装置１では、貼着テープＴの外周側の全周、つまり環状フレームＦと貼着している全周が基台部１２および駆動部１３２ｂ側へ向けて押圧されて密着し、貼着テープＴと基台部１２および駆動部１３２ｂとの間が水密される。このため、切削装置１では、堤防壁１３と貼着テープＴとにより、切削水ＤＷを溜めることができる有底円筒状の水槽（ここでは底部が鉛直方向の上方に凸となる円錐台形状に形成された円筒状の水槽）が形成される。 The cutting apparatus 1 places the frame unit U on the chuck table 10 by a conveying means (not shown) based on, for example, a cutting instruction input by an operator. Here, in the cutting apparatus 1, as shown in FIGS. 2 and 3, the auxiliary bank wall 132 is erected by the drive unit 132 b, and the main bank wall 131 and the auxiliary bank wall 132 are connected to form the bank wall 13. Is done. In the cutting apparatus 1, the workpiece W is sucked and held via the sticking tape T by the holding surface 11 a to which the negative pressure of the vacuum suction source acts. Further, in the cutting device 1, when the auxiliary bank wall 132 is raised by the drive unit 132b, the frame pressing unit 132a presses the annular frame F downward in the vertical direction (presses the annular frame F toward the base unit 12 side). The annular frame F is held between the frame pressing portion 132a and the base portion 12. In other words, in the cutting apparatus 1, the frame pressing portion 132a is positioned at a clamping position where the annular frame F supported by the base portion 12 is clamped by the frame pressing portion 132a. Further, in the cutting device 1, when the frame pressing portion 132a is positioned at the clamping position, the annular frame F is positioned below the holding surface 11a in the vertical direction, and the adhesive tape T extends. Further, in the cutting device 1, the entire circumference on the outer peripheral side of the adhesive tape T, that is, the entire circumference adhered to the annular frame F is pressed toward the base portion 12 and the drive portion 132b, and is adhered and adhered. The space between the adhesive tape T and the base portion 12 and the drive portion 132b is watertight. For this reason, in the cutting apparatus 1, the bottomed cylindrical water tank (here, the bottom is convex in the shape of a truncated cone with the bottom projecting upward in the vertical direction) can be stored by the embankment wall 13 and the adhesive tape T. A formed cylindrical water tank) is formed.

切削装置１は、チャックテーブル１０に保持されたフレームユニットＵの被加工物Ｗに対する切削ブレード２１のアライメント調整を実施した後、鉛直方向視において堤防壁１３の内側に切削水供給手段３０が位置するように、各移動手段４０、５０、６０によりチャックテーブル１０と切削水供給手段３０との位置を調整した後、切削水供給手段３０から切削ブレード２１に向けて切削水ＤＷを噴射する。ここで、切削装置１では、切削ブレード２１に向けて噴射された切削水ＤＷが鉛直方向の下方に流れ落ち、堤防壁１３内に切削水ＤＷが堰き止められる。ここで、切削装置１では、堤防壁１３の内径が、環状フレームＦを基台部１２で支持することができる程度の大きさであり、かつ貼着テープＴが鉛直方向の上方に凸となる円錐台形状であるので、堤防壁１３内に溜めることができる切削水ＤＷの容量が抑えられる。 In the cutting apparatus 1, after adjusting the alignment of the cutting blade 21 with respect to the workpiece W of the frame unit U held on the chuck table 10, the cutting water supply means 30 is located inside the levee wall 13 in the vertical direction. As described above, after the positions of the chuck table 10 and the cutting water supply means 30 are adjusted by the moving means 40, 50, 60, the cutting water DW is jetted from the cutting water supply means 30 toward the cutting blade 21. Here, in the cutting device 1, the cutting water DW sprayed toward the cutting blade 21 flows down in the vertical direction, and the cutting water DW is dammed in the bank wall 13. Here, in the cutting device 1, the inner diameter of the bank wall 13 is large enough to support the annular frame F with the base portion 12, and the sticking tape T is convex upward in the vertical direction. Since it has a truncated cone shape, the volume of the cutting water DW that can be accumulated in the bank wall 13 is suppressed.

切削装置１は、切削水供給手段３０から噴射された切削水ＤＷの供給量が被加工物Ｗを水没させる供給量に達すると、被加工物Ｗが切削水ＤＷ中に没した状態（水没状態）であると判断し、各移動手段４０、５０、６０により、切削加工を開始するための位置にチャックテーブル１０と切削手段２０とを位置付けた後、切削水供給手段３０から切削ブレード２１に切削水ＤＷを噴射しつつ、切削ブレード２１を高速で回転させ、被加工物Ｗに対して切削ブレード２１を切り込ませる。ここで、切削装置１では、被加工物Ｗの水没状態が維持されるように、切削水供給手段３０により切削水ＤＷが供給され、被加工物Ｗが水没状態で、切削ブレード２１により被加工物Ｗに対して切削加工が施される。 When the supply amount of the cutting water DW sprayed from the cutting water supply means 30 reaches the supply amount that causes the workpiece W to be submerged, the cutting apparatus 1 is immersed in the cutting water DW (submerged state) After the chuck table 10 and the cutting means 20 are positioned at the position for starting the cutting by the moving means 40, 50, 60, the cutting blade 21 is cut by the cutting water supply means 30. While jetting water DW, the cutting blade 21 is rotated at a high speed to cut the cutting blade 21 into the workpiece W. Here, in the cutting device 1, the cutting water DW is supplied by the cutting water supply means 30 so that the submerged state of the workpiece W is maintained, and the workpiece W is submerged and the workpiece is processed by the cutting blade 21. Cutting is performed on the object W.

切削装置１は、被加工物Ｗに対して予定していた切削加工を終えると、Ｚ軸移動手段６０により切削手段２０を鉛直方向の上方に移動（上昇）させ、切削水供給手段３０からの切削水ＤＷの供給を停止させた後、Ｘ軸移動手段４０によりチャックテーブル１０を、フレームユニットＵを着脱するための位置（着脱位置）へ移動させる。 When the cutting apparatus 1 finishes the scheduled cutting process on the workpiece W, the cutting means 20 is moved (raised) upward in the vertical direction by the Z-axis moving means 60, and the cutting water supply means 30 After the supply of the cutting water DW is stopped, the chuck table 10 is moved to a position (attachment / detachment position) for attaching / detaching the frame unit U by the X-axis moving means 40.

切削装置１は、チャックテーブル１０を着脱位置へ移動させる間に、図４および図５に示すように、駆動部１３２ｂにより補助堤防壁１３２を倒伏させる。ここで、切削装置１では、主要堤防壁１３１と補助堤防壁１３２との連結が解除され、堤防壁１３内に堰き止められた切削水ＤＷが排水される。また、切削装置１では、基台部１２に支持される環状フレームＦを開放する解放位置に、フレーム押部１３２ａが位置付けられる。また、切削装置１では、フレーム押部１３２ａが解放位置に位置付けられると、図４に示すように、基台部１２に支持される環状フレームＦに対して、フレーム押部１３２ａが鉛直方向の下方に位置し、排水される切削水ＤＷの流れ（図４に示す矢印ｂ、図５に示す矢印ｃ）を妨げない。なお、切削装置１では、排水された切削水ＤＷは、装置本体２に設けられた排水口を介して切削装置１外へ排出される。 While moving the chuck table 10 to the attachment / detachment position, the cutting device 1 causes the auxiliary bank wall 132 to fall down by the drive unit 132b as shown in FIGS. Here, in the cutting device 1, the connection between the main levee wall 131 and the auxiliary levee wall 132 is released, and the cutting water DW dammed in the levee wall 13 is drained. In the cutting device 1, the frame pressing portion 132 a is positioned at a release position where the annular frame F supported by the base portion 12 is opened. Further, in the cutting apparatus 1, when the frame pressing portion 132a is positioned at the release position, the frame pressing portion 132a is vertically downward with respect to the annular frame F supported by the base portion 12, as shown in FIG. The flow of the cutting water DW to be drained (arrow b shown in FIG. 4, arrow c shown in FIG. 5) is not hindered. In the cutting apparatus 1, the drained cutting water DW is discharged out of the cutting apparatus 1 through a drain port provided in the apparatus main body 2.

切削装置１は、保持面１１ａによる被加工物Ｗの吸引保持を解除した後、搬送手段により、フレームユニットＵをチャックテーブル１０から取り外し、フレームユニットＵをスピンナテーブル７１に載置する。ここで、切削装置１では、チャックテーブル１０に保持されたフレームユニットＵの被加工物Ｗ上から切削水ＤＷが排水されており、搬送手段によってフレームユニットＵをチャックテーブル１０から取り外しやすい。 The cutting apparatus 1 releases the suction and holding of the workpiece W by the holding surface 11 a, then removes the frame unit U from the chuck table 10 by the conveying means, and places the frame unit U on the spinner table 71. Here, in the cutting device 1, the cutting water DW is drained from the workpiece W of the frame unit U held by the chuck table 10, and the frame unit U can be easily detached from the chuck table 10 by the conveying means.

切削装置１は、洗浄・乾燥手段７０によってフレームユニットＵを洗浄・乾燥後、搬送手段により、フレームユニットＵをスピンナテーブル７１から取り外し、フレームユニットＵを後工程へ搬送する。 The cutting apparatus 1 cleans and dries the frame unit U with the cleaning / drying means 70, then removes the frame unit U from the spinner table 71 with the conveying means, and conveys the frame unit U to the subsequent process.

以上のように、実施形態に係る切削装置１によれば、堤防壁１３は、基台部１２に環状フレームＦを支持可能な程度の大きさの内径であり、チャックテーブル１０に保持されたフレームユニットＵの貼着テープＴは、フレーム押部１３２ａが挟持位置に位置付けられると、鉛直方向の上方に凸となる円錐台形状となり、堤防壁１３と貼着テープＴとにより切削水ＤＷを溜めることができる水槽が形成される。このため、切削装置１によれば、堤防壁１３内に溜めることができる切削水ＤＷの容量を抑えることができる。したがって、切削装置１によれば、被加工物Ｗを水没させることができる切削水ＤＷの容量を抑えることができるという効果を奏する。 As described above, according to the cutting device 1 according to the embodiment, the embankment wall 13 has an inner diameter that is large enough to support the annular frame F on the base portion 12, and the frame held on the chuck table 10. When the frame pressing portion 132a is positioned at the holding position, the sticking tape T of the unit U has a truncated cone shape that protrudes upward in the vertical direction, and collects cutting water DW by the levee wall 13 and the sticking tape T. A water tank is formed. For this reason, according to the cutting device 1, the capacity | capacitance of the cutting water DW which can be stored in the bank wall 13 can be suppressed. Therefore, according to the cutting apparatus 1, there exists an effect that the capacity | capacitance of the cutting water DW which can submerge the workpiece W can be suppressed.

また、切削装置１によれば、堤防壁１３が主要堤防壁１３１と補助堤防壁１３２とから構成され、補助堤防壁１３２がフレームクランプＦＣのフレーム押部１３２ａに一体的に配設されているので、駆動部１３２ｂにより補助堤防壁１３２を起立させると、フレーム押部１３２ａが挟持位置に位置付けられ、主要堤防壁１３１と補助堤防壁１３２とが連結され、切削水ＤＷを堰き止めて被加工物Ｗを水没させることができる。また、切削装置１によれば、駆動部１３２ｂにより補助堤防壁１３２を倒伏させると、フレーム押部１３２ａが解放位置に位置付けられ、主要堤防壁１３１と補助堤防壁１３２との連結が解除され、堰き止めた切削水ＤＷを排水させることができる。つまり、切削装置１によれば、補助堤防壁１３２の起伏により、環状フレームＦの挟持または開放のタイミングと、切削水ＤＷの貯水または排水のタイミングとを合わせることができる。また、切削装置１によれば、補助堤防壁１３２を起伏させる動作により、環状フレームＦの挟持または開放の動作、および切削水ＤＷの貯水または排水の動作、の２つの異なる動作を一度に行うことができる。したがって、切削装置１によれば、被加工物Ｗの着脱と切削水ＤＷの貯排水とにかかる手間を抑えることができるという効果を奏する。 Further, according to the cutting apparatus 1, the levee wall 13 is composed of the main levee wall 131 and the auxiliary levee wall 132, and the auxiliary levee wall 132 is integrally disposed on the frame pressing portion 132a of the frame clamp FC. When the auxiliary embankment wall 132 is erected by the drive unit 132b, the frame pressing portion 132a is positioned at the clamping position, the main embankment wall 131 and the auxiliary embankment wall 132 are connected, the cutting water DW is dammed, and the work W Can be submerged. Further, according to the cutting device 1, when the auxiliary bank wall 132 is laid down by the drive part 132b, the frame pressing part 132a is positioned at the release position, the connection between the main bank wall 131 and the auxiliary bank wall 132 is released, and the dam The stopped cutting water DW can be drained. That is, according to the cutting device 1, the timing of holding or opening the annular frame F and the timing of storing or draining the cutting water DW can be matched by the undulation of the auxiliary bank wall 132. Moreover, according to the cutting device 1, two different operations, the operation of holding or opening the annular frame F and the operation of storing or draining the cutting water DW, are performed at a time by the operation of raising and lowering the auxiliary bank wall 132. Can do. Therefore, according to the cutting device 1, there is an effect that it is possible to reduce the time and effort required for the attachment / detachment of the workpiece W and the storage / drainage of the cutting water DW.

また、切削装置１によれば、主要堤防壁１３１と補助堤防壁１３２との連結部には、弾性部材からなるシール材１３２ｃが配設されているので、連結部から切削水ＤＷが漏れることを抑えることができる。このため、切削装置１によれば、連結部から切削水ＤＷが漏れる場合よりも、被加工物Ｗが水没する水位まで切削水ＤＷを溜めるのにかかる時間を短縮することができ、切削水ＤＷの使用量を抑えることができるという効果を奏する。 Moreover, according to the cutting apparatus 1, since the sealing material 132c which consists of an elastic member is arrange | positioned in the connection part of the main levee wall 131 and the auxiliary levee wall 132, it is detected that the cutting water DW leaks from a connection part. Can be suppressed. For this reason, according to the cutting device 1, compared with the case where the cutting water DW leaks from a connection part, the time taken to accumulate the cutting water DW to the water level where the workpiece W submerges can be shortened, and the cutting water DW There is an effect that the amount of use can be suppressed.

なお、上記の実施形態では、切削水供給手段３０は、切削手段２０に併設されていたが、これに限定されず、例えば、堤防壁１３内に切削水ＤＷを直接供給するようにしてもよい。このような場合、堤防壁１３内に供給する切削水ＤＷの供給量を増やすことで、切削水ＤＷにより被加工物Ｗが水没するまでの時間を短縮することができる。 In the above embodiment, the cutting water supply means 30 is provided alongside the cutting means 20, but is not limited thereto, and for example, the cutting water DW may be directly supplied into the bank wall 13. . In such a case, by increasing the supply amount of the cutting water DW supplied into the embankment wall 13, the time until the workpiece W is submerged by the cutting water DW can be shortened.

また、上記の実施形態では、切削水供給手段３０から噴射された切削水ＤＷの供給量が被加工物Ｗを水没させる供給量に達すると、被加工物Ｗが水没状態であると判断していたが、これに限定されず、例えば、堤防壁１３内に溜められる切削水ＤＷの水位を検出する水位センサの検出値に基づいて、堤防壁１３内で被加工物Ｗが水没状態であると判断してもよい。 Further, in the above embodiment, when the supply amount of the cutting water DW sprayed from the cutting water supply means 30 reaches the supply amount that causes the workpiece W to be submerged, the workpiece W is determined to be submerged. However, it is not limited to this, For example, based on the detection value of the water level sensor which detects the water level of the cutting water DW stored in the dike wall 13, the workpiece W is in the submerged state in the dike wall 13 You may judge.

また、上記の実施形態では、切削装置１は、一つの切削手段２０により被加工物Ｗに対して切削加工を施すものであったが、これに限定されず、例えば、二つの切削手段２０の切削ブレード２１同士が対向配置される、いわゆるフェイシングデュアルダイサであってもよいし、二つの切削手段２０のスピンドル２２同士が水平面内で平行に並んで配置される、いわゆるパラレルデュアルダイサであってもよい。 Moreover, in said embodiment, although the cutting device 1 cuts with respect to the workpiece W with the one cutting means 20, it is not limited to this, For example, two cutting means 20 of It may be a so-called facing dual dicer in which the cutting blades 21 are opposed to each other, or a so-called parallel dual dicer in which the spindles 22 of the two cutting means 20 are arranged in parallel in a horizontal plane. Also good.

１切削装置
１０チャックテーブル
１１本体部
１１ａ保持面
１２基台部
１３堤防壁
２０切削手段
３０切削水供給手段
１３１主要堤防壁
１３２補助堤防壁
１３２ａフレーム押部
１３２ｂ駆動部
１３２ｃシール材
ＤＷ切削水
Ｆ環状フレーム
ＦＣフレームクランプ
Ｔ貼着テープ
Ｕフレームユニット
Ｗ被加工物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cutting device 10 Chuck table 11 Main body part 11a Holding surface 12 Base part 13 Dike wall 20 Cutting means 30 Cutting water supply means 131 Main levee wall 132 Auxiliary levee wall 132a Frame pushing part 132b Drive part 132c Seal material DW Cutting water F Annular Frame FC Frame clamp T Adhesive tape U Frame unit W Work piece

Claims

A chuck table that holds a frame unit that supports a workpiece in an opening of an annular frame via an adhesive tape, a cutting means that cuts the workpiece held on the chuck table, and a chuck table that holds the workpiece. A cutting water supply means for supplying cutting water to the workpiece,
The chuck table is
A main body for holding the workpiece on the holding surface;
A base that surrounds the main body and supports the annular frame at a position lower than the holding surface;
A levee wall standing up from the base portion and surrounding the annular frame, the position of the upper end being higher than the holding surface;
The dike wall is
It consists of a main levee and an auxiliary levee,
The auxiliary bank is
A frame clamp comprising: a frame pressing portion that clamps the annular frame with the base portion; and a driving unit that positions the frame pressing portion at a clamping position where the annular frame is clamped and a release position where the annular frame is released. Are integrally disposed on the frame pressing portion,
In the clamping position, the main levee wall and the auxiliary levee wall are connected to form an annular levee wall, the cutting water is blocked to submerge the workpiece, and in the release position, the main levee wall and the auxiliary levee wall are submerged. A cutting apparatus characterized in that the cutting water that has been released from the connection with the levee wall is released and drained.

The cutting device according to claim 1, wherein a seal member made of an elastic member is disposed at a connecting portion between the main levee wall and the auxiliary levee wall.