JP6190247B2 - 配線基板 - Google Patents
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[第一の実施の形態]
図1に、本実施形態に係るガラス配線基板の基本構成を示す。図1(a)は上面図、(b)はb−b断面線の断面図、(c)はc−c断面線の断面図、(d)は斜視図である。本実施形態に係るガラス配線基板は、SiO2を主成分とするガラス基板11と、基板11内に形成された光導波路12と、基板11を貫通するビア13と、基板11の上面に蒸着された金属配線14と、貫通ビア13内に蒸着された金属配線15と、基板11の下面に蒸着された金属配線16とを備える。本ガラス配線基板ではグラウンド(GND)、信号(Signal)、GNDの順に配列された3本の金属配線から構成されるコプレーナ線路構造を有する。コプレーナ線路は高周波信号の伝送に優れた特性を有する。
図11に、本実施形態に係るガラス配線基板の断面構造を示す。(a)はレジストによりテーパ構造のビアが形成された状態における断面図、(b)はレジストが除去され配線が蒸着された状態における断面図、(c)および(d)はそれぞれ(b)のビアの部分を拡大した段面図および上面図、(e)は斜視図である。(a)〜(c)はc−c断面線の断面図である。
図12に、本実施形態に係る配線基板の作製プロセスおよび基本構成を示す。本実施形態に係る配線基板は、Si基板30の上面もしくは下面に形成されたガラス膜31と、ガラス膜31内に形成された光導波路32と、ガラス膜31およびSi基板30を貫通するビア33と、貫通ビア33の側壁に堆積されたSiO2を主成分とするガラス膜37、基板の上面に蒸着された金属配線34と、貫通ビア内でガラス膜37の上から蒸着された金属配線35と、基板の下面に蒸着された金属配線36を備える。金属配線の材質はAuであった。図12(a)に示すように最初にプラズマエッチング、ドリル、サンドブラスト等による貫通ビアを形成し、その後、図12(b)に示すように貫通ビア33の側壁にChemical Vapor Deposition(CVD)等によりガラス膜37の堆積を行う。貫通ビア側壁のガラス膜37は、金属配線35とSi基板30との間に絶縁性を確保し、金属配線37を伝搬する高周波信号の特性劣化を最小限に抑制する。しかしながら、高抵抗のSi基板を使用すれば、貫通ビア33の側壁にガラス膜37の形成が無くても短尺であれば高周波の信号を伝搬することが可能である。その後、図12(c)貫通ビアの一部側面のみに金属配線37の蒸着を実施する。
図14に、本実施形態に係る配線基板の基本構成を示す。本実施形態に係る配線基板は第一〜第三の実施の形態の配線基板を多層化した構成である。多層化のための各基板の接合の手法には、樹脂による接合、ウェハボンディングによる接合等がある。接合の際に問題となるのは、金属配線とガラスの熱膨張係数の差による剥離やガラス膜付Siウェハの反りによる密着性不足である。前者については数μm以下の薄膜の金属配線を使用することでその応力を最小限に抑えることで接合が可能となり、後者については接合する二つの基板を全面に渡って押し付け合うことで接合が可能となる。
図18(a)および(b)に、本実施形態に係る配線基板の構成をそれぞれ示す。本実施形態に係る配線基板はガラス基板もしくは、ガラス膜を堆積した半導体基板において、ガラス部分を貫通したビアを有する構成である。該ビアは直上に設置された電子部品に対して電気的な安定性や高い放熱性を得るため、グランドビアもしくは放熱ビアとして機能する。
12 光導波路
13 貫通ビア
14,15,16 金属配線
21 ガラス基板
22 光導波路
23 貫通ビア
24,25,26 金属配線
30 Si基板
31,37 ガラス膜
32 光導波路
33 貫通ビア
34,35,36 金属配線
40 Si基板
41,47 ガラス膜
42 光導波路
43 貫通ビア
44,45,46 金属配線
50 Si基板
51,57 ガラス膜
52 光導波路
53 貫通ビア
54,55,56 金属配線
58 放熱ビア
59 クランドビア
60 アクティブ素子
61 金属ワイヤ
70 金属基板
71 ガラス基板
Claims (8)
- SiO2ガラスを主要組成とするガラス基板と、
前記ガラス基板内に形成された、該ガラス基板より高屈折率のガラス材料のコアの光導波路と、
前記ガラス基板の上面に成膜された金属配線と、
前記ガラス基板の下面に成膜された金属配線と、
を備えた配線基板であって、
前記ガラス基板の上面から下面までを貫通した、前記配線基板の上面から見た形状が直線と半円とを組み合わせた形状である貫通穴と、
前記上面に成膜された金属配線と前記下面に成膜された金属配線とを繋ぐ前記貫通穴内の金属配線と
をさらに備えたことを特徴とする配線基板。 - 半導体基板上に成膜されたSiO2ガラスを主要組成とするガラス膜と、
前記ガラス膜内に形成された、該ガラス膜より高屈折率のガラス材料のコアの光導波路と、
前記ガラス膜および半導体基板の少なくとも一方の表面に成膜された金属配線と
を備えた配線基板であって、
前記半導体基板の上面から下面までを貫通した、前記配線基板の上面から見た形状が直線と半円とを組み合わせた形状である貫通穴と、
前記半導体基板の上面と下面の金属配線を繋ぐ前記貫通穴内の金属配線と
をさらに備えたことを特徴とする配線基板。 - 前記貫通穴内の金属配線が前記貫通穴の壁面の一部のみに成膜されていることを特徴とする請求項1または2記載の配線基板。
- 前記貫通穴の側壁が前記配線基板の水平面に対し垂直では無く、前記貫通穴の側壁の前記金属配線と前記配線基板の上面の金属配線および前記配線基板の下面の金属配線とが90度より大きい角度を有して接続されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の配線基板。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の配線基板を多層接合したことを特徴とする配線基板。
- 多層接続された前記配線基板の光導波路間を繋ぐ光結合部を備えたことを特徴とする請求項5に記載の配線基板。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の配線基板の上面および下面および内部に電子部品を有し、前記電子部品が前記光導波路および前記金属配線と接続されていることを特徴とする光電子融合デバイス。
- 請求項7に記載の光電子融合デバイスにおいて、前記電子部品の直下もしくは周辺部に前記光導波路が形成された層を貫通する放熱ビアおよびグランドビアの少なくとも一方を備えたことを特徴とする光電子融合デバイス。
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JP2013232454A JP6190247B2 (ja) | 2013-11-08 | 2013-11-08 | 配線基板 |
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JP2013232454A Active JP6190247B2 (ja) | 2013-11-08 | 2013-11-08 | 配線基板 |
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-
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- 2013-11-08 JP JP2013232454A patent/JP6190247B2/ja active Active
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