JP6189303B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を以下に付記する。
[1]リソグラフィ装置又は点検装置のような基板処理装置(10)であって、支持フレーム(60)と、処理される基板(70)の上に放射線を投影するための放射線投影システム(20)とを具備し、前記放射線投影システムは、冷却構成体(130)を有し、前記支持フレームによって支持され、前記支持フレームから振動分断され、所定の最大の振動数より上の前記支持フレームの振動が、前記放射線投影システムから実質的に分断され、処理される前記基板を支持するための表面が設けられた基板支持構造(60)を具備し、基板処理装置は、さらに、前記放射線投影システムの前記冷却構成体に流体を供給し、前記冷却構成体から流体を除去するための流体移送システム(150;250)をさらに具備し、前記流体移送システムは、装置内の少なくとも2点で固定された少なくとも1つの管(140;240)を有し、前記流体移送システムは、前記2つの固定点間に延び、前記少なくとも1つの管を含む可撓性部分(140;252)を有し、前記2つの固定点のうち第1の固定点は、前記放射線投影システムに対して固定され、前記2つの固定点のうち第2の固定点は、前記放射線投影システムに対して移動可能であり、前記可撓性部分の少なくとも実体部分は、処理される基板を支持するための前記基板支持構造の表面にほぼ平行な平面上で2次元に延び、前記2点の間の前記可撓性部分の硬さは、前記第2の固定点で、前記第1の固定点から前記所定の最大振動数の上の振動を実質的に分断するように構成されている基板処理装置(10)。
[2]前記固定点のうち前記第2の固定点は、前記支持フレームに対して固定されている[1]の装置。
[3]前記流体移送システムの可撓性部分は、所定の最大の硬さを有する[1]又は[2]の装置。
[4]前記所定の最大の硬さは、500N/m未満、好ましくは400N/m未満である[3]の装置。
[5]前記少なくとも1つの管の長さ、直径及び壁の厚さは、前記流体移送システムの前記可撓性部分の所定の硬さを与えるように選択されている[1]ないし[4]のいずれか1の装置。
[6]前記少なくとも1つの管の湾曲は、前記流体移送システムの前記可撓性部分の所定の硬さを与えるように選択されている[1]ないし[5]のいずれか1の装置。
[7]前記流体移送システムは、さらに、前記流体移送システムの前記可撓性部分の所定の硬さを与えるために、前記流体移送システムの流体の体積及び圧力を調整するための流体供給システムを有する[1]ないし[6]のいずれか1の装置。
[8]前記流体移送システムの1以上の管は、パーフルオロアルコキシエチレンとポリテトラフルオロエチレンとの少なくとも1つを含む材料でできている[1]ないし[7]のいずれか1の装置。
[9]前記冷却構成体は、1以上の導管を有し、前記流体移送システムの1以上の管は、対応する導管に接続されている[1]ないし[8]のいずれか1の装置。
[10]前記支持フレーム、前記放射線投影システム、前記基板支持構造及び前記流体移送システムは、真空チャンバ(50)に配置されている[1]ないし[9]のいずれか1の装置。
[11]前記少なくとも1つの管(140)は、処理される基板を支持するための前記基板支持構造の表面にほぼ平行な平面で湾曲するようにして向けられている[1]ないし[10]のいずれか1の装置。
[12]前記少なくとも1つの管の湾曲は、その製造中に得られる前記少なくとも1つの管の自然な湾曲にほぼ一致する[11]の装置。
[13]その長さに沿った位置で前記少なくとも1つの管を保持するための支持構造を有する少なくとも1つのサスペンションホルダ(160)をさらに具備し、前記支持構造は、処理される基板を支持するための前記基板支持フレームの表面にほぼ平行な平面内の方向で、及び前記平面にほぼ垂直な軸のまわりの方向で振動に対して前記支持フレームから振動分断されている[11]又は[12]の装置。
[14]前記サスペンションホルダは、少なくとも2つの支持柱(220)と、1以上のばね部材(230)とによって前記支持構造に接続されたフレーム(200)を有する[12]の装置。
[15]前記流体移送システムは、複数の管(140)を有し、各管は、2点で固定され、各管は、処理される基板を支持するための前記基板支持構造の表面にほぼ平行に湾曲するようにして向けられ、前記少なくとも1つのサスペンションホルダの前記支持構造は、これらの長さに沿った位置で前記複数の管を保持するように構成され、前記管は互いに接触しない[13]の装置。
[16]前記複数の管は、異なる直径を有し、より大きい直径の管は、前記少なくとも1つのサスペンションホルダの前記支持構造によってより中心に支持されている[15]の装置。
[17]前記少なくとも1つのサスペンションホルダを支持するための前記支持フレームに接続されたさらなる支持フレーム(170)をさらに具備する[15]又は[16]の装置。
[18]前記少なくとも1つの管の端部分は、処理される基板を支持するための前記基板支持構造の表面の平面にほぼ垂直な方向に向けられている[11]ないし[17]のいずれか1の装置。
[19]前記流体移送システムの少なくとも1つの管は、少なくとも2つの直線部分(252)と、前記2点間の少なくとも1つの角部分(254)とを有し、前記少なくとも2つの直線部分は、前記少なくとも1つの角部分と比較して可撓性を有し、前記直線部分の長さは、前記少なくとも1つの管の長さの大部分を構成している[1]ないし[10]のいずれか1の装置。
[20]前記直線部分の長さの合計は、前記少なくとも1つの管の長さの少なくとも70%を占める[19]の装置。
[21]前記流体移送システムは、複数の管を有し、各管は、2点で固定され、少なくとも2つの直線部分(252)と、前記2点間の少なくとも1つの角部分(254)とを有し、前記少なくとも2つの直線部分は、前記少なくとも1つの角部分と比較して可撓性を有する[19]又は[20]の装置。
[22]前記直線部分の長さは、前記管の長さの大部分を構成している[21]の装置。
[23]前記直線部分の長さの合計は、前記管の長さの少なくとも70%を占める[22]の装置。
[24]各管の直線部分は、他の管の直線部分と接触していない[21]ないし[23]のいずれか1装置。
[25]前記少なくとも1つの角部分には、角の近くに流体を移送するための開口部(262)が設けられた補剛部材(260)を有する[21]ないし[24]のいずれか1の装置。
[26]前記補剛部材は、ばね部材(270)によって前記支持フレームに接続されている[25]の装置。
[27]前記支持フレーム、前記放射線投影システム、前記基板支持構造及び前記流体移送システムは、真空チャンバ(50)に配置され、前記流体移送システムは、ハウジング(180)に、好ましくは管状ハウジングに囲まれている[19]ないし[26]のいずれか1の装置。
[28]前記1以上の管(240)が前記冷却構成体(240)に取り付けられた端部で、前記ハウジングには、外部影響から前記ハウジング内の空間を分けるためのメンブレン(300)が設けられ、前記メンブレンには、前記1以上の管が突出する1以上の開口が設けられている[27]の装置。
[29]前記メンブレンには、前記開口内の領域に可撓性部分(305)が設けられ、前記可撓性部分は、前記メンブレンから前記チューブに延びている[28]の装置。
[30]前記ハウジングには、ポンプに接続可能な出口(310)が設けられている[28]又は[29]の装置。
[31]前記放射線投影システムを収容するための支持本体(62)と、少なくとも1つのばね部材(66)によって前記支持フレームに接続された中間本体(64)とをさらに具備し、前記支持本体は、少なくとも1つの振り子ロッド(68)によって前記中間本体に接続されている[1]ないし[30]のいずれか1の装置。
[32]前記少なくとも1つのばね部材は、板ばねである[31]の装置。
[33]前記支持本体には、前記放射線投影システムを囲んでいる側壁(135)が設けられ、前記側壁は、外部電磁場から前記放射線投影システムを保護するための遮蔽物質を含む[31]又は[32]の装置。
[34]前記放射線投影システムは、マルチ小ビーム荷電粒子リソグラフィ装置である[1]ないし[33]のいずれか1の装置。
[35]前記マルチ小ビーム荷電粒子リソグラフィ装置は、複数の荷電粒子小ビームを発生させるためのビーム発生器(21)と、パターンに従って複数の小ビームをパターニングするための小ビームブランカアレイ(22)と、前記ターゲット支持構造に設けられた基板のターゲット面上にパターニングされた小ビームを投影するための投影システム(23)とを有する[34]の装置。
[36]リソグラフィ装置又は点検装置のような基板処理装置(10)であって、支持フレーム(60)と、処理される基板(70)の上に放射線を投影するための放射線投影システム(20)とを具備し、前記放射線投影システムは、前記支持フレームによって支持され、前記支持フレームから振動分断され、所定の最大の振動数より上の前記支持フレームの振動が、前記放射線投影システムから実質的に分断され、前記放射線投影システムに流体を移送し、前記放射線投影システムから流体を除去するための流体移送システム(150;250)と、処理される前記基板を支持するための表面が設けられた基板支持構造(60)とを具備し、前記流体移送システムは、流体を移送するための1以上の管を有し、前記可撓性部分の少なくとも実体部分は、処理される基板を支持するための前記基板支持構造の表面にほぼ平行な平面上で2次元に延びている基板処理装置(10)。
[37]前記1以上の管の一部は、ループの形態で平面に延びている[36]の装置。
[38]前記2次元に延びている前記1以上の管の一部を保持するための少なくとも1つのサスペンションホルダを具備する[37]の装置。
[39]前記少なくとも1つのサスペンションホルダを支持するための前記支持フレームに接続されたさらなる支持フレーム(170)をさらに具備する[38]の装置。
[40]前記放射線投影システムは、冷却構成体(130)を有し、前記流体移送システムは、前記冷却構成体に流体を移送し、前記冷却構成体から流体を除去するように構成されている[35]ないし[39]のいずれか1の装置。
Claims (22)
- 基板処理装置(10)であって、
支持フレーム(60)と、
処理される基板(70)の上に放射線を投影するための放射線投影システム(20)とを具備し、前記放射線投影システムは、冷却構成体(130)を有し、前記支持フレームによって支持され、前記支持フレームから振動分断され、所定の最大振動数より上の前記支持フレームの振動が、前記放射線投影システムから分断され、
処理される前記基板を支持するための表面が設けられた基板支持構造(30)と、
前記放射線投影システムの前記冷却構成体に流体を供給し、前記冷却構成体から流体を除去するための流体移送システム(150;250)とを具備し、前記流体移送システムは、装置内の少なくとも2つの固定点(151,152)で固定された少なくとも1つの管(140;240)を有し、前記2つの固定点のうち第1の固定点(152)は、前記放射線投影システムに対して固定されており、前記2つの固定点のうち第2の固定点(151)は、前記放射線投影システムに対して移動可能であり、
前記流体移送システムは、前記2つの固定点間に延び、前記少なくとも1つの管を含む可撓性部分(140;252)を有し、
前記流体移送システムの前記可撓性部分の少なくとも実体部分は、前記基板支持構造の表面に平行な平面上で2次元に延び、
前記流体移送システムの前記可撓性部分の硬さは、前記2つの固定点のうち前記第2の固定点で、前記2つの固定点のうち前記第1の固定点から前記所定の最大振動数より上の振動を分断するように構成され、
前記流体移送システムの前記少なくとも1つの管(140)は、前記2つの固定点のうち前記第1の固定点と前記2つの固定点のうち前記第2の固定点との間で前記平面での振動を減衰するように、前記基板支持構造の表面に平行な平面で湾曲しているようにして向けられている基板処理装置(10)。 - 前記2つの固定点のうち前記第2の固定点は、前記支持フレームに対して固定されている請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記少なくとも1つの管の長さ、直径及び壁の厚さは、前記流体移送システムの前記可撓性部分の所定の硬さを与えるように選択されている請求項1又は2に記載の基板処理装置。
- 前記流体移送システムは、さらに、前記流体移送システムの前記可撓性部分の所定の硬さを与えるために、前記流体移送システムの流体の体積及び圧力を調整するための流体供給システムを有する請求項1ないし3のいずれか1に記載の基板処理装置。
- 前記支持フレーム、前記放射線投影システム、前記基板支持構造及び前記流体移送システムは、真空チャンバ(50)に配置されている請求項1ないし4のいずれか1に記載の基板処理装置。
- 前記少なくとも1つの管(140)は、ループの形態で前記平面で湾曲しているようにして向けられている請求項1ないし5のいずれか1に記載の基板処理装置。
- 前記少なくとも1つの管の湾曲は、その製造中に得られる前記少なくとも1つの管の自然な湾曲に一致する請求項1に記載の基板処理装置。
- その長さに沿った位置で前記少なくとも1つの管(140)を保持するための支持構造(210)をさらに具備する請求項1又は7に記載の基板処理装置。
- 前記支持構造(210)は、処理される基板を支持するための前記基板支持構造の表面に平行な平面内の方向で、及び前記平面に垂直な軸のまわりの方向で振動に対して前記支持フレームから振動分断されている請求項8に記載の基板処理装置。
- 前記支持構造(210)は、サスペンションホルダ(160)に含まれ、前記サスペンションホルダ(160)は、少なくとも2つの支持柱(220)と、1以上のばね部材(230)とによって前記支持構造(210)に接続されたフレーム(200)を有する請求項9に記載の基板処理装置。
- 前記流体移送システムは、複数の管(140)を有し、各管は、前記2つの固定点で固定され、各管は、処理される基板を支持するための前記基板支持構造の表面に平行な平面で湾曲しているようにして向けられ、前記支持構造は、これらの長さに沿った位置で前記複数の管を保持するように構成され、前記管は互いに接触しない請求項9又は10に記載の基板処理装置。
- 前記複数の管は、異なる直径を有し、より大きい直径の管は、前記支持構造によってより中心に支持されている請求項11に記載の基板処理装置。
- 前記少なくとも1つのサスペンションホルダを支持するための、前記支持フレームに接続されたさらなる支持フレーム(170)をさらに具備する請求項11又は12に記載の基板処理装置。
- 前記少なくとも1つの管の両端部分は、処理される基板を支持するための前記基板支持構造の表面の平面に垂直な方向に向けられている請求項6ないし13のいずれか1に記載の基板処理装置。
- 前記流体移送システムの少なくとも1つの管は、少なくとも2つの直線部分(252)と、前記2点間の少なくとも1つの角部分(254)とを有し、前記少なくとも2つの直線部分は、前記少なくとも1つの角部分と比較して可撓性を有し、前記直線部分の長さは、前記少なくとも1つの管の長さの大部分を構成している請求項1ないし5のいずれか1に記載の基板処理装置。
- 各管の直線部分は、他の管の直線部分と接触していない請求項15に記載の基板処理装置。
- 前記少なくとも1つの角部分は、角の近くに流体を移送するための開口部(262)が設けられた補剛部材(260)を有する請求項15又は16に記載の基板処理装置。
- 前記補剛部材は、ばね部材(270)によって前記支持フレームに接続されている請求項17に記載の基板処理装置。
- 前記放射線投影システムを収容するための支持本体(62)と、
少なくとも1つのばね部材(66)によって前記支持フレームに接続された中間本体(64)とをさらに具備し、
前記支持本体は、少なくとも1つの振り子ロッド(68)によって前記中間本体に接続されている請求項1ないし18のいずれか1に記載の基板処理装置。 - 前記支持本体には、前記放射線投影システムを囲んでいる側壁(135)が設けられ、前記側壁は、外部電磁場から前記放射線投影システムを保護するための遮蔽物質を含む請求項19に記載の基板処理装置。
- 前記放射線投影システムは、マルチ小ビーム荷電粒子リソグラフィ装置の一部を形成しており、前記マルチ小ビーム荷電粒子リソグラフィ装置は、さらに、
複数の荷電粒子小ビームを発生させるためのビーム発生器(21)と、
パターンに従って前記複数の荷電粒子小ビームをパターニングするための小ビームブランカアレイ(22)と、
前記基板支持構造に設けられた基板のターゲット面上にパターニングされた小ビームを投影するための投影システム(23)とを有する請求項20に記載の基板処理装置。 - リソグラフィ装置又は検査装置である、請求項1ないし21のいずれか1に記載の基板処理装置。
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