JP6188278B2 - ロータを有する真空ポンプ - Google Patents
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Description
4・・・室フランジ
6・・・ガス出口配管
10・・・真空ポンプ
12・・・ポンプ電子装置
14・・・電子装置構成部品
16・・・指示要素
20・・・ロータ
22・・・軸
24・・・ディスク・ハブ
26・・・羽根
28・・・釣鐘状本体(釣鐘)
30・・・ホルベック・ハブ
32・・・ホルベック・シリンダ
36・・・拘束軸受
38・・・モータ・ステータ
40・・・モータ磁石(モータ・ロータ)
44・・・永久磁気軸受
46・・・軸受ステータ
48・・・軸受ロータ
50・・・転がり軸受(玉軸受)
52・・・振動センサ
60・・・上部ラジアル軸受ステータ
62・・・上部ラジアル・センサ(ラジアル軸受隙間センサ)
64・・・下部ラジアル軸受ステータ
66・・・下部ラジアル・センサ(ラジアル軸受隙間センサ)
68・・・アキシアル軸受ステータ
70・・・アキシアル軸受ディスク
80、82・・・カバー
84・・・遮断ガス入口
100・・・凹み(マーキング、切込み)
102、106、110、112、114、156・・・釣合い内孔
104、104a−104d、108・・・釣合いおもり
130・・・駆動装置制御ユニット
132・・・ロータ位置検出ユニット
134・・・評価ユニット
136・・・磁気軸受制御ユニット
140・・・通電ライン
142・・・位置検出分岐ライン
144・・・センサ・ライン
146・・・ライン
148・・・位置検出ライン
150・・・結合ねじ
152・・・非対称結合ねじ
154・・・調節位置
158・・・羽根端縁
200・・・回転軸線
202・・・代表方向
204、206・・・釣合い面
208・・・不釣合い
210・・・不釣合い面
212、214・・・方向
220・・・内孔間隔
222・・・短縮された間隔
230・・・製造時釣合い状態
232・・・初期釣合い状態
234・・・堆積物
236・・・新たな釣合い状態
240a−240d・・・初期状態
242a−242d・・・釣合い後の質量
244a−244d・・・質量変化
250・・・釣合い経過
260・・・間隔
262・・・より短い間隔
Claims (13)
- 釣合い手段を含むロータ(20)と、
前記ロータを回転させる駆動装置(38、40)と、
前記ロータを支持するための軸受(44、50;60、64、68、70)と、
前記ロータの釣合い状態、即ちロータの質量重心を測定し、且つ、前記釣合い状態(232)の変化を検出するように適合されている評価ユニット(134)と協働するセンサ手段と
を備える真空ポンプ(10)であって、
該真空ポンプは、前記ロータの位置、即ちロータの回転位置を決定するために、ロータ位置検出ユニット(132)と協働するものにおいて、
前記釣合い状態の変化に対処するために前記釣合い手段の調整が可能なように、前記ロータの位置、即ちロータの回転位置に前記ロータの釣合い状態、即ちロータの質量重心を割り当てるために前記評価ユニットによって前記釣合い手段の必要な変化を導くときに、前記釣合い手段のロータ上の位置の基準として使用され、前記釣合い手段に対して固定的な位置にある割当て手段が設けられ、前記釣合い手段は、それぞれ1つの釣合いおもり(104、108;104a、104b、104c、104d)を受け入れるための、前記ロータ上に分布された複数の釣合い内孔(102、106;110、112、114、156)を含み、前記割当て手段は、前記釣合い手段の非回転対称形状としてもしくは前記釣合い内孔(114)の非回転対称分布としてロータ上において位置が固定されて形成されている、真空ポンプ。 - 前記軸受の1つが、前記ロータ(20)を径方向に支持する玉軸受(50)を含む、請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記軸受が、能動的ラジアル磁気軸受(60、64)を含む、請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記センサ手段は、振動センサ(52)を含み、該センサ手段は、少なくとも1つの方向内の振動を測定するように設けられている、請求項1ないし3のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記センサ手段は、ラジアル軸受隙間センサ(62、66)を含む、請求項3に記載の真空ポンプ。
- 前記釣合い状態は、不釣合い(208)の絶対値および位置を含む、請求項1ないし5のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記釣合い状態は、不釣合い(208)の相対変化を含む、請求項1ないし5のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記割当て手段は、前記ロータ上のマーキングを含む、請求項1ないし7のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記マーキングは、前記ロータ上の凹み(100)を含む、請求項8に記載の真空ポンプ。
- 前記釣合い手段もしくは前記釣合い内孔(102、106;110、112、114、156)は、プロセス堆積物から保護されている、請求項1ないし9のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記割当て手段は、前記ロータの要素の1つへの前記釣合い手段の割当てが行われるように、回転軸線の周りに分布されている前記ロータの要素を含む、請求項1ないし10のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 釣合い手段を含むロータ(20)と、
前記ロータを回転させる駆動装置(38、40)と、
前記ロータを支持するための軸受(44、50;60、64、68、70)と、
前記ロータの釣合い状態(232)、即ちロータの質量重心を測定するためのセンサ手段と、
前記釣合い状態の変化を検出するように適合されている評価ユニット(134)と、
前記ロータの位置、即ちロータの回転位置を決定するためのロータ位置検出ユニット(132)と
を有する真空ポンプ(10)を備えた装置において、
前記真空ポンプは、前記釣合い状態の変化に対処するために釣合い手段の調整が可能なように、前記ロータの位置、即ちロータの回転位置に前記ロータの釣合い状態、即ちロータの質量重心を割り当てるために前記評価ユニットによって前記釣合い手段の必要な変化を導くときに、前記釣合い手段のロータ上の位置の基準として使用され、前記釣合い手段に対して固定的な位置にある割当て手段を備え、前記釣合い手段は、それぞれ1つの釣合いおもり(104、108;104a、104b、104c、104d)を受け入れるための、前記ロータ上に分布された複数の釣合い内孔(102、106;110、112、114、156)を含み、前記割当て手段は、前記釣合い手段の非回転対称形状としてもしくは前記釣合い内孔(114)の非回転対称分布としてロータ上において位置が固定されて形成されている、装置。 - 初期釣合い状態(232)にもたらされている、請求項1ないし11のいずれかに記載の真空ポンプ(10)のロータ(20)の釣合いをとる方法において、
前記ロータの釣合い状態、即ちロータの質量重心がモニタリングされ、
前記ロータの釣合い状態、即ちロータの質量重心がロータの位置、即ちロータの回転位置に割り当てられ、
前記釣合い状態が変化したとき、前記真空ポンプの休止中に、前記割当て手段を基準にして前記釣合い手段を探し出し、前記評価ユニットによって導かれた前記釣合い手段の必要な変化に基づいて前記釣合い手段が修正されることで、該釣合い状態を改善する、真空ポンプのロータの釣合いをとる方法。
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