JP6180902B2 - センサ装置の製造方法 - Google Patents
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- パッケージ内部にセンサチップを搭載したセンサ装置の製造方法において、
複数のセンサチップ搭載部が形成された基板上に、前記センサチップ搭載部それぞれを取り囲むようにパッケージ本体が形成されており、少なくとも開口部形成予定領域の前記パッケージ本体は、第1の凹部と、該第1の凹部と前記センサチップ搭載部間の前記パッケージ本体の一部に、開口部となる前記第1の凹部より浅い第2の凹部とが形成されている集合基板を用意する工程と、
前記センサチップ搭載部それぞれに前記センサチップを実装する工程と、
前記第2の凹部によりパッケージ内部の空間とパッケージ外部が連通する開口部が形成され、前記センサチップ搭載部それぞれを被覆する蓋部を形成する工程と、
前記蓋部、前記第1の凹部表面および前記開口部をシート材で被覆する工程と、
前記シート材による被覆面とは反対面からダイシングソーを用いて、少なくとも前記第1の凹部に達し、前記シート材により前記開口部を被覆したまま、前記集合基板および前記パッケージ本体を切断し、前記第1の凹部の側面からなり、前記開口部を備えた第1の側面部と、切断面からなる第2の側面部と、前記第1の側面部と前記第2の側面部の間の段部とが連続する前記センサ装置の側面部を形成して個片化する工程と、を含むことを特徴とするセンサ装置の製造方法。 - 請求項1記載のセンサ装置の製造方法において、前記個片化工程の後、前記第1の凹部表面から前記シート材を剥離し、パッケージ内部の空間とパッケージ外部が連通した状態で、前記シート材上に個片化したセンサ装置を整列配置する工程を含むことを特徴とするセンサ装置の製造方法。
- 請求項2記載のセンサ装置の製造方法において、前記シート材として、ポリ塩化ビニル基材あるいはポリオレフィン基材上にUV硬化型の接着層を備えたダイシングテープを用い、UV光を照射した後、前記ダイシングテープを加熱処理して収縮させ、前記第1の凹部表面から前記ダイシングテープを剥離する工程を含むことを特徴とするセンサ装置の製造方法。
- 請求項2又は請求項3いずれか記載のセンサ装置の製造方法において、前記シート材上に配列したセンサ装置に、前記センサチップがセンシングする物理量を印加して前記センサ装置の特性テストを行う工程を含むことを特徴とするセンサ装置の製造方法。
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