JP6167270B2 - 変位拡大装置および流量制御弁 - Google Patents
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Description
図1は、第一の実施の形態に係る変位拡大装置を備えた流量制御弁の正面図である。第一の実施の形態の変位拡大装置100は、変位出力部材であるダイヤフラム構造体12に第一の連結球6を介して連結する変位伝達部材と、固定台座11に第二の連結球7を介して連結する第一の圧電アクチュエータ1を備えている。第一の実施の形態では、変位伝達部材として第二の圧電アクチュエータ2を用いた。
図3は、第二の実施の形態に係る変位拡大装置を備えた流量制御弁の正面図である。第二の実施の形態では、ヒンジ部において溝を形成する位置が第一の実施の形態と異なり、それ以外の構成は第一の実施の形態と同じであるので、ヒンジ部の構成のみ説明する。
図4は、第三の実施の形態に係る変位拡大装置を備えた流量制御弁の正面図である。第三の実施の形態において、変位伝達機構として金属棒を用いた以外の構成は第二の実施の形態と同じである。
2 第二の圧電アクチュエータ
3 支柱
4、24、34 ヒンジ部
5、25 アーム
6 第一の連結球
7 第二の連結球
8a、8b 第三の連結球
9a、9b 調節ねじ
10a、10b ロックナット
11、111 固定台座
12、112 ダイヤフラム構造体
13 傾き補正機構
14、114 流路
15、115 弁体
16、116 加圧部
17、117 固定部
32 金属棒
100、200、300 変位拡大装置
101、102 電歪素子
103 固定端部材
104 カップリング機構
Claims (6)
- 変位出力部材に第一の連結球を介して連結される変位伝達部材と、固定台座に第二の連結球を介して連結される第一の圧電アクチュエータを備え、前記変位伝達部材と前記第一の圧電アクチュエータの間に並ぶように支柱が配置され、前記支柱の一端は固定台座に固定され、前記支柱の他端には、ヒンジ部を介して、前記支柱の先端から前記支柱の立設方向に直角で互いに反対となる2方向に延びるアームを具備し、前記アームの一方には前記変位伝達部材の一端が、前記アームの他方には前記第一の圧電アクチュエータの一端がそれぞれ第三の連結球を介して連結されていることを特徴とする変位拡大装置。
- 前記変位伝達部材が第二の圧電アクチュエータであることを特徴とする請求項1に記載の変位拡大装置。
- 前記変位伝達部材が金属棒であることを特徴とする請求項1に記載の変位拡大装置。
- 前記ヒンジ部は、前記支柱の端部の、前記変位伝達部材および前記第一の圧電アクチュエータに対向する面の少なくとも一方に、溝を形成してなることを特徴とする請求項1〜3に記載の変位拡大装置。
- 前記溝の深さは、前記変位伝達部材側が大であることを特徴とする請求項4に記載の変位拡大装置。
- 前記変位出力部材がダイヤフラム構造体であり、請求項1〜5に記載の変位拡大装置を備え、前記ダイヤフラム構造体の動作により流体流路を開閉することを特徴とする流量制御弁。
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