JP6163685B2 - 3次元干渉計 - Google Patents
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Description
10…干渉計本体、
20…ガルバノミラー、
30…反射ミラー、
40…折り返しミラー、
50…回転手段、
S1…被検出物、
200…3次元干渉計、
60…補正光学系、
61、62…凹レンズ、
300…3次元干渉計、
31…円錐台内面反射ミラー、
41…円筒内面ミラー、
400…3次元干渉計、
70…補正光学系。
Claims (5)
- 干渉計本体と;
上記干渉計本体が出力したレーザー光を反射するとともに、所定の円を描くように走査する光走査光学系と;
上記円の上に配置されている反射ミラーであって、上記走査光学系が走査したレーザー光を、被検物に向かって反射する複数の反射ミラーと;
上記円の上に配置されている折り返しミラーであって、上記反射ミラーで反射したレーザー光が被検物を透過した光を正対して反射することによって折り返す複数の折り返しミラーと;
を有し、上記複数の反射ミラーの1つと、上記複数の折り返しミラーとによって構成される組が複数設けられ、上記折り返しミラー、上記反射ミラーで反射した反射光を上記干渉計本体に戻し、上記干渉計本体は、上記折り返しミラー、上記反射ミラー、上記光走査光学系を経由して戻った戻り光と参照光とを干渉させ、戻り波面の位相分布を測定することを特徴とする3次元干渉計。 - 干渉計本体と;
上記干渉計本体が出力したレーザー光を反射するとともに、所定の円を描くように走査する光走査光学系と;
上記光走査光学系によって走査された光を、被検物に向けて反射する円錐台内面の反射面を具備する円錐台内面反射ミラーと;
上記円錐台内面反射ミラーで反射され、上記被検物を通過した光を反射し、上記被検物を通過し、上記円錐台内面反射ミラーに向けて反射する円筒内面の反射面を具備する円筒内面ミラーと;
を有し、上記干渉計本体は、上記円筒内面ミラー、上記円錐台内面反射ミラー、上記光走査光学系を経由して戻った戻り光と、参照光とを干渉させ、戻り波面の位相分布を測定することを特徴とする3次元干渉計。 - 請求項2において、
上記円錐台内面反射ミラーは、上記被検物から見て、180度の角度で配置され、
上記円筒内面ミラーは、上記被検物から見て、180度の角度で配置されていることを特徴とする3次元干渉計。 - 請求項2において、
上記円錐台内面反射ミラーが複数設けられ、上記円筒内面ミラーが複数設けられ、上記複数の円錐台内面反射ミラーの1つと上記複数の円筒内面ミラーの1つとが交互に配置され、上記複数の円錐台内面反射ミラーの1つと上記複数の円筒内面ミラーの1つとが、上記被検物を挟んで正対していることを特徴とする3次元干渉計。 - 干渉計本体と;
上記干渉計本体が出力したレーザー光を反射するとともに、所定の円を描くように走査する光走査光学系と;
上記光走査光学系によって走査された光を、被検物に向けて反射する円錐台内面の反射面を具備する円錐台内面反射ミラーと;
上記円錐台内面反射ミラーで反射され、上記被検物を通過した光を反射し、上記被検物を通過し、上記円錐台内面反射ミラーに向けて反射する円筒内面の反射面を具備する円筒内面ミラーと;
上記干渉計本体が射出した光が上記被検物に射入されるまでの光路で光の平行性を失う場合、その平行性をキャンセルする補正光学系と;
を有し、上記干渉計本体は、上記円筒内面ミラー、上記被検物、上記円錐台内面反射ミラー、上記光走査光学系を経由して戻った戻り光と、参照光とを干渉させ、戻り波面の位相分布を測定することを特徴とする3次元干渉計。
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