JP6151605B2 - プラズマエッチング装置 - Google Patents
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Description
2 ハウジング
4 下部電極ユニット
5 上部電極ユニット
6 反応物カバー
21 側壁部
23 底部
24 天井部
29 減圧手段
42 被加工物保持テーブル
46 保持面
53 ガス噴出テーブル
54 拡散板材(ガス噴出部)
61 立設部
62 環状底部
64 ヒーター
65 外部電源(電源)
66 放射温度センサ
81 コネクタ被係合部
83 ピン穴
84 コネクタ係合部
86 電極ピン
W 被加工物
Claims (1)
- ハウジングと、該ハウジング内に配設され上面に被加工物を保持する保持面を有する被加工物保持テーブルを備えた下部電極ユニットと、該下部電極ユニットの該被加工物保持テーブルと対向して配設され該被加工物保持テーブルに向けてプラズマ発生用ガスを噴出する噴出口を有するガス噴出部を備えた上部電極ユニットと、該ハウジング内を減圧する減圧手段と、を具備するプラズマエッチング装置において、
該ハウジングは、該上部電極ユニットが配設された天井部と側壁部と底部とからなり、該天井部は該側壁部に開閉自在に構成され、
該ハウジングの該側壁部の内側には、プラズマ処理による反応生成物を付着させる反応物カバーが該側壁部に対して着脱自在に固定されており、
該反応物カバーは、該側壁部の内壁に沿って立設した立設部と該立設部の下端から該下部電極ユニットの外周まで覆いプラズマを捕捉してガスのみを該減圧手段に通過させる環状底部とを備え、
該反応物カバーの該立設部には、内部に複数個のヒーターが配設され、該立設部内の温度を放射温度センサによって測定し、
該ハウジングの該天井部には電気配線を介して電源に接続されたコネクタ係合部を有し、
該反応物カバーの該立設部の上端には、該ヒーターに電気的に接続されて該ハウジングの該天井部の開閉により該コネクタ係合部に着脱自在なコネクタ被係合部を有していることを特徴とするプラズマエッチング装置。
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Family Applications (1)
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- 2013-08-14 JP JP2013168648A patent/JP6151605B2/ja active Active
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