JP6141735B2 - 圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置 - Google Patents

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JPH06181388A (ja) * 1992-12-15 1994-06-28 Mitsubishi Electric Corp 多層セラミック基板の製造方法
JP3206243B2 (ja) * 1993-09-20 2001-09-10 富士通株式会社 ボンディングパッド及びその形成方法
JP2003305852A (ja) * 2002-02-18 2003-10-28 Brother Ind Ltd インクジェットヘッド及びこれを有するインクジェットプリンタ
JP4526244B2 (ja) * 2003-06-30 2010-08-18 ブラザー工業株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ並びにインクジェットヘッドの製造方法
JP2005044927A (ja) * 2003-07-25 2005-02-17 Kyocera Corp 圧電アクチュエータ及びその製造方法並びに液体吐出装置
JP2006032442A (ja) * 2004-07-13 2006-02-02 Murata Mfg Co Ltd 多層基板及びその製造方法
US7980680B2 (en) * 2007-03-30 2011-07-19 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Method for manufacturing piezoelectric actuator, method for manufacturing liquid transporting apparatus, piezoelectric actuator, and liquid transporting apparatus
JP2009126167A (ja) * 2007-11-28 2009-06-11 Brother Ind Ltd 圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータを含む液体吐出ヘッドの製造方法、圧電アクチュエータ、及び、これを含む液体吐出ヘッド
JP2012201009A (ja) * 2011-03-25 2012-10-22 Kyocera Corp 液体吐出ヘッド用圧電アクチュエータユニット、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置

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