JP6131008B2 - レーザスキャナを操作する方法及びレーザスキャナを備える加工システム - Google Patents
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Description
本願は、独国にて2011年8月4日に出願された「レーザスキャナを較正する方法及びレーザスキャナを備える加工システム(METHOD FOR CALIBRATING A LASER SCANNER AND PROCESSING SYSTEM WITH LASER SCANNER)」と題する特許出願第10 2011 109 449.4号の優先権を主張し、当該出願の内容の全体を参照により本明細書に援用する。
Claims (17)
- レーザスキャナを操作する方法であって、
前記レーザスキャナを用いて走査経路に沿ってレーザビームを走査し、検出断面に入射する前記レーザビームのレーザ光により生じる光強度を検出するステップであって、前記検出断面は対象物ホルダに設けられ、前記対象物ホルダ上に対象物が、前記検出断面から距離をおいて取り付けられるステップと、
前記検出された光強度に基づき前記レーザスキャナに対する前記検出断面の位置を決定するステップと
を含み、前記走査経路は、前記検出断面を含む平面内にあり、第1部分経路及び第2部分経路を含み、前記第1部分経路及び前記第2部分経路は、前記検出断面を含む平面内の前記検出断面の直径と前記レーザビームの直径とを足したものよりも短い距離であり、また前記検出断面を含む平面内の前記レーザビームの直径の0.3倍よりも大きいか又は前記検出断面の直径の0.3倍よりも大きい距離だけ相互に離れて、相互に隣接して延在する方法。 - 請求項1に記載の方法において、前記第1部分経路に沿った走査中に前記検出断面に入射するレーザ光により生じる検出された第1光強度と、前記第2部分経路に沿った走査中に前記検出断面に入射するレーザ光により生じる検出された第2光強度とを比較するステップをさらに含む方法。
- 請求項2に記載の方法において、前記検出された第1光強度及び前記検出された第2光強度が実質的に等しくなるまで前記第1部分経路及び前記第2部分経路を変位させることにより、前記走査経路を繰り返し変更するステップをさらに含む方法。
- 請求項3に記載の方法において、前記レーザスキャナに対する前記検出断面の位置は、前記第1部分経路と前記第2部分経路との間の中央に位置決めされるよう決定される方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法において、前記第1部分経路及び前記第2部分経路は、相互に一定の距離だけ離れて延在する方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法において、前記第1部分経路及び前記第2部分経路は、それぞれ直線に沿って延在する方法。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法において、前記第1部分経路及び前記第2部部経路は、逆方向に走査される方法。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法において、前記走査経路は、前記検出断面を含む平面内に第3部分経路(223’)及び第4部分経路(225’)を含み、前記第3部分経路及び前記第4部分経路は、前記検出断面を含む平面内の前記検出断面の直径と前記レーザビームの直径とを足したものよりも短い距離であり、また前記検出断面を含む平面内の前記レーザビームの直径の0.3倍よりも大きいか又は前記検出断面の直径の0.3倍よりも大きい距離だけ相互に離れて延在し、
前記第1経路と前記第3部分経路との間の最小角度は、30°よりも大きい、特に50°よりも大きい、特に70°よりも大きい方法。 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載の方法において、前記方法は、前記レーザスキャナに対する前記検出断面の決定された位置に基づき前記レーザスキャナの座標系と前記対象物ホルダの座標系との間の座標変換を求めるステップをさらに含む方法。
- 請求項9に記載の方法において、2つ以上の検出断面が前記対象物ホルダに設けられ、前記レーザスキャナに対する前記2つ以上の検出断面の位置は、前記検出された光強度に基づき決定され、前記座標変換は、前記レーザスキャナに対する前記2つ以上の検出断面の位置に基づき求められる方法。
- 請求項9又は10に記載の方法において、前記対象物を前記レーザスキャナが発生させるレーザビームで加工するステップをさらに含む方法。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の方法を実行するよう構成された、レーザスキャナ及びコントローラを備える加工システム。
- 請求項12に記載の加工システムにおいて、
前記レーザスキャナと、
所定の検出断面に入射するレーザ光を検出するよう構成された検出器と、
前記レーザスキャナを制御し且つ前記検出器から検出信号を受け取るよう構成されたコントローラと
を備え、前記コントローラは、走査経路に沿って前記レーザビームを走査するように前記レーザスキャナを制御するよう構成され、前記走査経路は、前記検出断面を含む平面内に第1部分経路及び第2部分経路を含み、前記第1部分経路及び前記第2部分経路は、前記検出断面を含む平面内の前記検出断面の直径と前記レーザビームの直径とを足したものよりも短い距離であり、また前記検出断面を含む平面内の前記レーザビームの直径の0.3倍よりも大きいか又は前記検出断面の直径の0.3倍よりも大きい距離だけ相互に離れて、相互に隣接して延在し、
前記コントローラは、前記第1部分経路に沿った走査時に前記検出断面に入射する前記レーザ光により生じる検出された第1光強度を、前記第2部分経路に沿った走査時に前記検出断面に入射する前記レーザ光により生じる検出された第2光強度と比較するよう構成された制御モジュールを含む加工システム。 - 請求項13に記載の加工システムにおいて、前記制御モジュールは、前記第1光強度と前記第2光強度との間の差を表す信号を発生するよう構成される加工システム。
- 請求項14に記載の加工システムにおいて、前記コントローラは、前記差が最小になるまで前記第1部分経路及び前記第2部分経路を変位させるように前記レーザスキャナを制御するよう構成される加工システム。
- 請求項12〜15のいずれか1項に記載の加工システムにおいて、少なくとも1つの粒子ビームカラムをさらに備え、該粒子ビームカラムは、該粒子ビームカラムに対する前記検出断面の位置を検出するよう構成される加工システム。
- 請求項16に記載の加工システムにおいて、該加工システムは、前記少なくとも1つの粒子ビームカラムを用いて、対象物に材料を堆積するか又は該対象物から材料を除去するよう構成される加工システム。
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