JP6130705B2 - バルブハウジングおよびその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、真空バルブ用のバルブハウジングおよびその製造方法に関する。

バルブハウジングと、当該バルブハウジングのハウジング要素に連結されているフランジと、当該フランジにより囲まれている軸線を有する対向しあうバルブ開口部と、を有する真空バルブが知られている（特許文献１および２参照）。バルブハウジングは、軸線に対して対称性を有し、かつ、当接線に沿って溶接されている板金製のハウジング要素を備えている。各ハウジング要素は、フランジが溶接により連結される領域に開口部を有している。フランジは対向しあうバルブ開口部を囲み、バルブ開口部のそれぞれの軸線は同一直線上に存在している。このため、バルブハウジングは、真空バルブの開状態において開放される直線状の通路を有する。

各フランジは各ハウジング要素に対して溶接されている連結部と、ハウジング要素から離間している端部において当該連結部に対して溶接されている堅固なフランジリングと、を備えている。フランジリングが連結部よりも外側に張り出しており、当該張出領域の全周にわたり連結ボルトが螺合されるボルト貫通孔を構成する開口部が設けられている。さらに、バルブハウジングの荷重耐性を向上させるため、スペーサが対向しあうフランジの堅固なフランジリングの間に配置され、かつ、当該２つのフランジリングを介して溶接されている。

この種のフランジはＩＳＯ−Ｆフランジ（またはＩＳＯ ＬＦＢフランジ）として知られている。当該フランジはＩＳＯ規格 １６０９：１９８６、ＤＩＮ２８４０３およびＰｎｅｕｒｏｐ ６６０６／１９８１により規格化されている。ボルト孔を有するＩＳＯ−Ｆフランジは、公称幅が同じ他のＩＳＯ−ＦフランジまたはＩＳＯ−Ｋフランジ（ＩＳＯ ＬＦフランジとしても知られている。）に対して、センタリングリングに配置されているシール部材によって相対的に位置決めされた上で連結されうる。ＩＳＯ−Ｆフランジは、マッシュルーム状のヘッドを有するアンカーボルトまたはカラーフランジを用いて、残りのリングがＩＳＯ−Ｋフランジの外側に延在する溝部に挿入されている状態で、ＩＳＯ−Ｋフランジに対して連結される。

板金製のバルブが知られている（特許文献３参照）。バルブは２つのハウジング要素と、バリヤープレートを案内するための密着案内ハウジングと、を備えている。密着案内ハウジングは、バリヤープレートのシール要素とともに、ビーズ様の凸状、スライドリングおよびスライドポストを収容する。ハウジング要素は外側フランジを介してボルトにより接続されている。流体開口部の外側で、固定用スリーブがハウジング要素の縦面に取り付けられている。ハウジング要素はこのような形態でバルブハウジングのフランジを構成している。

当該バルブは真空用に設計されていない。基本的にバルブのバルブハウジングは、真空バルブ用のシール部材とともに用いられる。ハウジング要素がバルブハウジングのフランジとして採用され、かつ、密着ガイドハウジングがバルブハウジングのハウジング要素として採用された場合、前記板金製のバルブは前述のバルブハウジングとしてみなされる。当該バルブハウジングは、特に、構造が複雑であり、かつ、強度が比較的低いという問題がある。

堅固なフランジリングを有するＩＳＯ−Ｆフランジは、板金製のバルブハウジング同士を連結するために用いられるのみならず、ブロック製のバルブハウジング同士を連結するためにも用いられる。

米国特許公報 ＵＳ ７０１１２９４ Ｂ１ 国際公開公報 ＷＯ ２０１１／０８８４８２ Ａ１ 独国特許公開公報 ＤＥ ２９２７３６９ Ａ１

本発明は、低コストで製造可能なバルブハウジングを提供することを目的とする。

本発明は、軸線を有し、かつ、前記バルブハウジングを構成するバルブハウジング要素に対して連結されているフランジにより囲まれている対向しあうバルブ開口部を備え、前記フランジのそれぞれが板金要素を有するまたは板金要素により形成され、前記板金要素が、前記フランジを通り、前記バルブ開口部の前記軸線に対して平行な縦中心断面において、開放側を前記ハウジング要素に向けたＵ字形状に形成され、前記バルブ開口部の前記軸線を環状に囲み、かつ、前記ハウジング要素に当接する端部に沿って前記ハウジング要素に対して溶接またはロウ付けされている内側分岐材と、前記内側分岐材よりも前記バルブ開口部の前記軸線から遠くにある外側分岐材と、前記ハウジング要素から離間し、前記内側分岐材および前記外側分岐材を連結するように構成されている基礎横材と、を有する真空バルブ用のバルブハウジングに関する。

本発明のバルブハウジングは、前記外側分岐材が前記バルブ開口部の前記軸線を環状に囲むように構成されていることを特徴とする。

本発明のバルブハウジングによれば、各バルブ開口部を囲む板金要素は、バルブ開口部の軸線を囲む内側分岐材に加えて、当該内側分岐材よりも当該軸線から遠い位置でバルブ開口部の軸線を囲む外側分岐材と、ハウジング要素から離間し、内側および外側分岐材を連結する基礎横材とを備えている。板金要素は、フランジを通り、バルブ開口部の軸線に対して平行な任意の縦中心断面においてＵ字形状に形成され、かつ、開放側をハウジング要素に向けている。

Ｕ字形状の板金要素の内側分岐材および外側分岐材は、周囲を閉じるように、すなわち、バルブ開口部の軸線を全周にわたって囲むように形成される。

本発明のフランジの構成によれば、堅固なフランジを有する真空バルブと比較して、十分な強度を確保しながらもコストが節約される。堅固なフランジリングによってコスト節約が図られる。加工対象箇所の数が低減されうる。さらに、Ｕ字形状の板金要素の製造が自動化されうる。

Ｕ字形状の各板金要素の基礎横材および各分岐材の間に９０°の屈曲部分が存在する。すなわち、基礎横材および各分岐材は相互に垂直に配置されている。屈曲部分の角度は９０±３０°等、９０°からずれていてもよい。この場合も板金要素はＵ字形状と定義される。

基礎横材が各分岐材に対して連結されている曲率半径は、板金要素の厚さの２倍以下、さらには１．５倍以下であることが好ましい。

板金要素の厚さは５［ｍｍ］以下、さらには３［ｍｍ］以下であることが好ましい。板金の厚さを最低限に抑えながら十分な強度を確保するため、板金の厚さがフランジの公称幅を実現するために利用され、厚い板金にフランジに資する程度の大きな公称幅をもたせることができる。

各バルブ開口部の軸線は同一直線状に存在し、各バルブ開口部は同形かつ同寸法であることが好ましい。

各フランジを他の真空ユニットのフランジに対して（シール部材を介在させて）連結するため、基礎横材はボルトに連結するためのボルト貫通孔を有している。変形態様として、各ボルト貫通孔の作製中に、ネジ溝が切られている環状拡張部が、特にたがねの力を借りて塑性変形により作製されてもよい。このように作製されたネジ孔に連結ボルトが螺合される。この場合、各フランジの全体が板金要素により構成されてもよい。

そのほか、ナットが基礎横材に対して固定されてもよい。たとえば、基礎横材のうちハウジング要素に面している側にナットが溶接またはロウ付けされてもよい。基礎横材のバルブ開口部へのビーディングまたは圧入等の他の方法によりナットが基礎横材に対して固定されてもよい。ここで、ナットは基礎横材のうちハウジング要素から離れた側から離間して配置されまたは同じ高さとされる。基礎横材のボルト貫通孔を通じてボルトがナットに螺合される。

本発明の好適な態様において、Ｕ字形状の各板金要素のうちバルブ開口部に向いており、当該バルブ開口部を画定する面に、ハウジング要素から離間した端部においてバルブ開口部の周囲に延在する溝部が設けられる。フランジに挿入されたセンタリングリングの中心位置決めのため、当該溝部の底部は、エラストマーリングシール部材を支持するセンタリングリングの当接面を構成する。この当接面はバルブ開口部の軸線の周囲で筒状に延在している。

本発明の構成によれば、たとえばＩＳＯ−Ｆ規格にしたがったフランジを有するバルブハウジングが製造される。ＡＳＡ−ＬＰ等の他の規格にしたがったフランジを有するバルブハウジングも製造されうる。

Ｕ字形状の板金要素が固定されるハウジング要素は、加工された板金により構成されることが好ましい。全体的に簡易にかつ特に経済的にバルブハウジングが作製されうる。

フランジを構成するＵ字形状の板金要素は、平坦な板金に深絞り加工が施されることにより形成されることが好ましい。各分岐材および基礎横材の間の最小曲率半径を実現する高精度成形のため、深絞り加工に続いてプレス加工が実行される。

深絞り部分に対する付加的工程は、車体部品を製造するための自動車産業等において用いられている。

Ｕ字形状の板金要素においてバルブ開口部の軸線に向いている面の溝部は、センタリングリングの当接面を形成するため、旋削工具またはフライス工具等を用いて加工工程において形成される。

当該工程において、フランジに関する「内側」および「外側」という記載が用いられる場合、バルブ開口部の軸線に対する位置に基づいている。相対的に内側に配置されている要素は、相対的に外側に配置されている要素よりも各バルブ開口部の軸線に対して近くにある。

本発明のさらなる詳細及び特徴は以下の図面に示されている本発明の実施形態によって説明される。

本発明のバルブハウジングの説明図。 図１のＡ−Ａ線に沿った断面図。 図１のバルブハウジングの分解図。 リングシールおよび外側リングと共に中心リングが挿入されている状態の図１のバルブハウジングの説明図。 図４に示されている部分の側面図。 バルブハウジングに対して真空ユニットが取り付けられている状態における図４のＢ−Ｂ線に沿った断面図。 図６のＣ部分の拡大説明図。 本発明のバルブハウジングを構成要素とする真空バルブの開状態における説明図。 図８のＤ−Ｄ線に沿った断面図。 真空バルブの閉状態における図９に相当する断面図。

図１〜図３に示されている本発明の一実施形態としてのバルブハウジングは、板金により形成されている、軸線対称性を有する２つのハウジング要素１および２により構成されている主要部３２を備えている。ハウジング要素１および２は、ハウジング要素１および２を構成している板金の細幅側が相互に当接している当接線３に沿って溶接またはロウ付けされている。当接線３は中心面に存在する。各ハウジング要素１、２は、本実施形態では同形の円形状であって、かつ、中心面に対して垂直な方向について相互に配列されている開口部４、５を有している。開口部４および５は異なるサイズを有していてもよいが、軸線が共通であることが好ましい。

バルブハウジングは、対向しあうバルブ開口部８および９のそれぞれを囲むように対向しあうフランジ６および７を有している。バルブハウジングは、バルブ開口部８および９を通じて外部空間に対して開放される。各バルブ開口部８、９は、同一の直線上に延在し、かつ、バルブハウジングの中心面に対して垂直な各軸線（縦軸線）１０、１１を有している。

各フランジ６、７は、加工板金により構成されている各板金要素１２、１３を有している。各板金要素１２、１３は、各バルブ開口部８、９の各軸線１０、１１に対して平行な、かつ、フランジ６および７を通る縦中心断面において略Ｕ字形状である（図２参照）。

各板金要素１２、１３は内側分岐材１４を備えている。内側分岐材１４は、各バルブ開口部８、９の各軸線１０、１１を、環状（本実施形態では円環状）に囲んでいる。内側分岐材１４は、各ハウジング要素１、２に対してその端部当接箇所において全周にわたり溶接またはロウ付けされている。この場合、当該端部は各ハウジング要素１、２の各開口部４、５の縁部に対して当接している。

各ハウジング要素１、２に対して離間している他方の端部において、内側分岐材１４は板金要素１２および１３の約９０°の屈曲部分を介して基礎横材１６に対して連結されている。基礎横材１６は、板金要素１２および１３のそれぞれの約９０°の屈曲部分を介して、内側分岐材１４を外側分岐材１５に対して連結している。外側分岐材１５はバルブ開口部８および９のそれぞれの軸線１０および１１のそれぞれを、内側分岐材１４よりも当該軸線から離れた位置で環状（本実施形態では円環状）に囲んでいる。

同様に基礎横材１６は、自らが形成するリングの面に主面が存在するように環状（本実施形態では円環状）に延在している。基礎横材１６は各ハウジング要素１、２から離間している。Ｕ字形状の板金要素１２および１３のそれぞれの開放側は、各ハウジング要素１、２に向いている。

内側分岐材１４および外側分岐材１５ならびに基礎横材１６のそれぞれは、各バルブ開口部８、９の各軸線１０および１１のそれぞれに対して平行な縦中心断面において直線状に延在している。この場合、基礎横材１６は当該軸線に対して垂直に配置されている。各板金要素１２、１３の内側分岐材１４および外側分岐材１５は当該軸線に対して平行に配置されている。

板金要素１２および１３は、図示されているように軸線について対称性を有することが好ましい。

各板金要素１２、１３の外側分岐材１５は、各ハウジング要素１、２に対して当接している端面において、全周にわたる連続溶接シーム、スポット溶接またはロウ付けにより、全周のうち少なくとも部分的にハウジング要素１および２に対して連結されている。

バルブハウジングの各バルブ開口部８、９の各軸線１０、１１の方向について、板金要素１２および１３の周縁部はハウジング要素１および２を越えて径方向外側に延設されている（図１参照）。各板金要素１２、１３の周縁部の少なくとも一部の領域にわたり、外側分岐材１５のほうが長く、当該長さの分だけハウジング要素１および２の横に張り出している。この場合、外側分岐材１５の基礎横材１６から離間している端面が相互に当接し、かつ、たとえばスポット溶接、全周のうち少なくとも部分的な連続溶接シームまたはロウ付けによって直接的に連結されている。

各板金要素１２、１３の環状の基礎横材１６は、連結ボルト１８を通すための、周方向に均等に配置されているボルト貫通孔１７を有している（図６参照）。各ハウジング要素１、２に面しており、内側分岐材１４および外側分岐材１５の間隙に存在する基礎横材１６の側部に複数のナット１９が溶接されている。連結ボルト１８は当該ナット１９に螺合される。連結ボルト１８は、他の真空ユニット（図６において壁部２１の一部のみが示されている。）のフランジ２０に対して、バルブハウジングの各フランジ６、７を連結するために用いられる。この場合、他の真空ユニットはたとえば真空チャンバである。他の真空ユニットは真空ポンプ、連結部材または連結管であってもよい。

本実施形態においては、各フランジ６、７は、各板金要素１２、１３と、基礎横材１６に溶接されたナット１９とにより構成されている。他の実施形態として、ボルト貫通孔１７にネジ溝が直接的に形成されていてもよい。ネジ溝形成のために板金の壁部の厚さが不足である場合、内壁部に連結ボルト１８用のネジ溝が形成される短い連結部が構成されるように、当該板金がボルト貫通孔１７の周辺で全周にわたり内側に折り曲げられてもよい。各フランジ６、７は、各板金要素１２、１３のみによって一体的に形成されている。

Ｕ字形状の各板金要素１２、１３のうち、各バルブ開口部８、９の各軸線１０、１１に向いている面には、各ハウジング要素１、２から離間している箇所において溝部２２が形成されている。溝部２２は、バルブ開口部８の周囲に延在し、かつ、底部を有する。底部の面の一部は、縦中心断面において平坦な当接面２３を構成する（図７参照）。底部の面の一部は、各バルブ開口部８、９の各軸線１０、１１を筒状に囲んでいる。溝部２２によって、内側分岐材１４を基礎横材１６に対して連結するための屈曲部分が（内側分岐材１４および外側分岐材１５の間隙から離れた側において）小さく済む。

当接面２３を有する溝部２２は、エラストマ素材からなるリングシール部材２５を支持するセンタリングリング２４の挿入に用いられる（リングシール部材２５が弛緩状態にある図７参照）。リングシール部材２５は、リングシール部材２５を支持するとともに連結対象であるフランジを保持するために用いられる外側リング２６により囲まれている。外側リング２６は付加的構成要素であり、省略されてもよい。

センタリングリング２４は、その中心開口部に取り付けられ、両側に突出する突出部２４ａを有している。突出部２４ａの一方側の突出部分は溝部２２に挿入され、当接面２３に当接している。

溝部２２の底部により構成されている当接面２３はセンタリングリング２４を各フランジ６、７において中心位置調整する（図４〜図７参照）。基礎横材１６を内側分岐材１４に対して連結する屈曲部分の曲率半径（Ｕ字形状の板金要素１２および１３を形成するために板金が加工される際に生成される。）は無制限ではなく、最小限に抑制される。Ｕ字形状の各板金要素１２、１３を形成するため、平坦な板金が深絞りされることが好ましい。深絞り工程に続いてさらなるプレス工程が実行されることにより、曲率半径の最小化が実現され、かつ、板金要素１２および１３の寸法精度が向上する。それから切削加工により溝部２２が形成される。

溝部２２の形成のため、板金の加工に際して形成される曲率半径に関わらず、センタリングリング２４のための筒状連結面が一方側で確保される。このため、センタリングリング２４が曲率半径の終端部に当接していない。さらに、板金要素１２および１３の屈曲部分に対する、リングシール部材２５の当接領域の十分な間隔が確保される。このため、リングシール部材２５が、板金要素１２および１３の筒状面に当接する一方、屈曲部分の終端部において板金要素１２および１３に当接していない。よって、シール部材２５のためのシール面２７を構成する筒状面は、各ハウジング要素１、２に対して離間している各板金要素１２、１３の基礎横材１６によって構成されている。

フランジ６および７は、ＩＳＯ−Ｆフランジまたは同等なフランジにより構成されている。センタリングリングおよびリングシール部材、ならびに必要な場合には外側リングもＩＳＯ−Ｆ規格にしたがって構成されている。

本実施形態では、溶接されることでバルブハウジングの拡張部２８を構成するハウジング要素１および２は、当該バルブハウジングの内部空間２９が伸長されることにより拡張部２８に対して連結されている。拡張部２８は、本実施形態ではＩＳＯ−ＫＦ規格にしたがって構成されている取付フランジ３１を有する取付開口部３０を備えている。バルブ駆動部の駆動部は、図８〜図１０を参照しながら後で説明するように取付フランジ３１に対して連結されていてもよい。

拡張部２８を主要部３２に対して連結するため、主要部３２の連結フランジ３３および拡張部２８の連結フランジ３４が用いられる。本実施形態では、当該目的のため、各フランジリング３５、３６が主要部３２および拡張部２８のそれぞれに対して溶接され、かつ、連結ボルト３７を通すための開口部を有している。フランジリング３５および３６は板金から断面においてＵ字形状に形成され、かつ、開口側が相手方に向けられている。堅固なフランジリングが使用されてもよい。

本実施形態では、平坦な板金が深絞りされることにより拡張部２８が形成されている。取付フランジ３１および連結フランジ３４は当該板金に対して溶接またはロウ付けされている。

環状シール部材３８が主要部３２および拡張部２８の間を封止するために用いられている。本実施形態におけるシール部材３８は、隅角が丸い矩形状である。シール部材３８は平坦なシールとして設計されている。すなわち、シール部材３８は、自らにより形成される環の平面に主面が存在するシート状の素材により構成されている。

主要部３２および拡張部２８のそれぞれのシール面３９および４０の間にシール部材３８が設けられている。主要部３２のシール面３９は、ハウジング要素１および２を形成している板金要素の幅細縁部（端面）により構成されている。拡張部２８のシール面４０は、拡張部２８を形成している板金要素の幅細縁部により構成されている。

シール部材３８を中心位置調整するため、当該シール部材３８が図示されているように連結ボルト３７が進入している開口部３８ａを有していることが好ましい。

図８〜図１０は前記バルブハウジングを有する真空バルブの実施例を示している。閉塞要素４１が内部空間２９に配置され、かつ、環状シール部材４２を支持している。環状シール部材４２は真空バルブを直接的に封止する。閉状態において、シール部材４２は、開口部４を囲むハウジング要素１の内側面に対して押し付けられる。当該面は、当該シール部材４２のシール面を形成するとともにバルブシートを構成する。反対側において、閉塞要素４１はハウジング要素２により支持されている。支持要素およびスライド要素（図示略）が、当該実施形態では楔形状に形成されている閉塞要素４１に対して一体的に設けられてもよい。図９および図１０において簡略的に示されている閉塞要素は、たとえば前記特許文献１に記載されているように、先行技術と同様に構成されていてもよい。

真空バルブを開くため、閉塞要素４１がバルブ開口部８、９の軸線１０，１１に対して垂直方向に動かされ、これによって当該バルブ開口部８、９が開放され、バルブが通る直線経路が形成される（図９参照）。

真空バルブの開閉のため、本実施形態ではピストンシリンダユニットにより構成されているバルブ駆動装置４３が用いられる。ピストンシリンダユニットのバルブ駆動部４３ａを構成するシリンダには、ＩＳＯ−ＫＦフランジ等のフランジ４３ｂが設けられ、当該シリンダはフランジ４３ｂを介してバルブハウジングの取付フランジ３１に対して取り付けられている。シリンダから突出するように動き、かつ、固定用ボルト４４等により閉塞要素４１が固定されているピストンロッド４３ｄは、シリンダの内部に配置されているピストン４３ｃに対して取り付けられている。

前記特許文献２に記載されているように相互に離反するように広がっている部分を有する閉塞要素等、他の構成の閉塞要素４１が本発明のバルブハウジングに用いられてもよい。

本発明の真空バルブは、断面形状が楔形状とは異なる閉塞要素４１に適用されるように設計されてもよい。ハウジング要素１および２は適応的に設計変更されうる。

バルブハウジングが用いられる真空バルブの設計仕様に依存して、ハウジング要素１および２は、開口部４および５の領域において図示されているように相互に楔形状に延在する設計ではなく、相互に平行に延在していてもよい。外側分岐材１５および内側分岐材１４は適応的に設計変更されうる。外側分岐材１５および内側分岐材１４は、ハウジング要素１および２のそれぞれに対して当接するすべての延在領域において同じ長さであってもよい。すなわち、基礎横材１６から離反する方向についての拡張部分のサイズが同じであってもよい。

拡張部２８が省略され、かつ、バルブ駆動部４３ａが連結フランジ３３に対して直接的に取り付けられてもよい。この場合、連結フランジ３３が前記のように構成されるほか構成が変更されてもよい。

内部空間２９のサイズを十分に大きく確保するため、ハウジング要素１および２が閉塞要素４１の運動方向に拡張されていてもよい。

バルブハウジングは付加的なハウジング要素またはその他のハウジング要素を備えていてもよい。

真空バルブの開状態および閉状態の間の全経路において閉塞要素が直線的に変位可能な構成に代えて、Ｌ字形状等の他の形状の経路に沿って閉塞要素が駆動されるような構成が採用されてもよい。

１‥ハウジング要素、２‥ハウジング要素、３‥当接線、４‥開口部、５‥開口部、６‥フランジ、７‥フランジ、８‥バルブ開口部、９‥バルブ開口部、１０‥軸線、１１‥軸線、１２‥板金要素、１３‥板金要素、１４‥内側分岐材、１５‥外側分岐材、１６‥基礎横材、１７‥ボルト貫通孔、１８‥連結ボルト、１９‥ナット、２０‥フランジ、２１‥壁部、２２‥溝部、２３‥停止面、２４‥中心リング、２５‥シール、２６‥外側リング、２７‥シール面、２８‥拡張部、２９‥内部空間、３０‥取付開口部、３１‥取付フランジ、３２‥主要部、３３‥連結フランジ、３４‥連結フランジ、３５‥フランジリング、３６‥フランジリング、３７‥連結ボルト、３８‥シール部材、３８ａ‥開口部、３９‥シール面、４０‥シール面、４１‥閉塞要素、４２‥シール部材、４３‥バルブ駆動装置、４３ａ‥バルブ駆動部、４３ｂ‥フランジ、４３ｃ‥ピストン、４３ｄ‥ピストンロッド、４４‥固定ボルト。

Claims (13)

1. 真空バルブ用のバルブハウジングであって、
   軸線（１０）（１１）を有し、かつ、前記バルブハウジングを構成するバルブハウジング要素（１）（２）に対して連結されている一対のフランジ（６）（７）により囲まれている対向しあうバルブ開口部（８）（９）を備え、
   前記一対のフランジ（６）（７）のそれぞれが板金要素（１２）（１３）を有するまたは板金要素（１２）（１３）により形成され、
   前記板金要素（１２）（１３）が、前記一対のフランジ（６）（７）を通り、前記バルブ開口部（８）（９）の前記軸線（１０）（１１）に対して平行な縦中心断面において、開放側を前記ハウジング要素（１）（２）に向けたＵ字形状に形成され、
   前記バルブ開口部（８）（９）の前記軸線（１０）（１１）を環状に囲み、かつ、前記ハウジング要素（１）（２）に当接する端部に沿って前記ハウジング要素（１）（２）に対して溶接またはロウ付けされている内側分岐 材（１４）と、
   前記内側分岐材（１４）よりも前記バルブ開口部（８）（９）の前記軸線（１０）（１１）から遠くにある外側分岐材（１５）と、
   前記ハウジング要素（１）（２）から離間し、前記内側分岐材（１４）および前記外側分岐材（１５）を連結するように構成されている基礎 横材（１６）と、を有し、
   前記外側分岐材（１５）が前記バルブ開口部（８）（９）の前記軸線（１０）（１１）を環状に囲むように構成され、
   前記基礎横材（１６）が前記バルブ開口部（８）（９）の前記軸線（１０）（１１）を環状に囲むように構成され、前記基礎横材（１６）の主面が当該環を含む面に存在し、
   前記基礎横材（１６）が前記一対のフランジ（６）（７）を他の真空ユニットのフランジ（２０）に対して連結するための連結ボルト（１８）のためのボルト貫通孔（１７）を備えていることを特徴とするバルブハウジング。
2. 請求項１記載のバルブハウジングにおいて、
   前記内側分岐材（１４）および前記外側分岐材（１５）が、前記バルブ開口部（８）（９）の前記軸線（１０）（１１）に対して平行に配置され、前記基礎横材（１６）が前記バルブ開口部（８）（９）の前記軸線（１０）（１１）に対して垂直 に配置されていることを特徴とするバルブハウジング。
3. 請求項１または２記載のバルブハウジングにおいて、
   前記ボルト貫通孔（１７）にネジ溝が設けられている、または、ナット（１９）が前記基礎横材（１６）に対して固定されていることを特徴とするバルブハウジング。
4. 請求項１〜３のうちいずれか１つに記載のバルブハウジングにおいて、
   前記板金要素（１２）（１３）のそれぞれの前記外側分岐材（１５）が少なくともその周縁にわたり、当該周縁領域で前記ハウジング要素（１）（２）を支持している端面において前記ハウジング要素（１）（２）に対して連結されていることを特徴とするバルブハウジング。
5. 請求項１〜４のうちいずれか１つに記載のバルブハウジングにおいて、
   前記バルブ開口部（８）（９）のうち一方の前記軸線（１０）（１１）の方向に前記バルブハウジングを見た場合、前記Ｕ字形状の板金要素（１２）（１３）が全周にわたり前記ハウジング要素（１）（２）を越えて径方向外側に張り出し、前記一対のフランジ（６）（７）の前記板金要素（１２）（１３）の前記外側分岐材（１５）が相互に当接し、かつ、前記Ｕ字形状の板金要素（１２）（１３）の周縁の少なくとも一部おいて連結されていることを特徴とするバルブハウジング。
6. 請求項１〜５のうちいずれか１つに記載のバルブハウジングにおいて、
   前記Ｕ字形状の板金要素（１２）（１３）のうち、前記バルブ開口部（８）（９）を画定し、かつ、前記バルブ開口部（８）（９）の前記軸線（１０）（１１）に向いている面に、前記ハウジング要素（１）（２）の反対側の端部において前記バルブ開口部（８）（９）の周囲に延在する溝部（２２）が設けられ、
   前記溝部（２２）が環状シール部材(２５）を支持するセンタリングリング（２４）のための当接面（２３）を構成する底部を有していることを特徴とするバルブハウジング。
7. 請求項１〜６のうちいずれか１つに記載のバルブハウジングにおいて、
   前記フランジ（６）（７）がＩＳＯ−Ｆフランジまたは同等のフランジにより構成されていることを特徴とするバルブハウジング。
8. 請求項１〜７のうちいずれか１つに記載のバルブハウジングにおいて、
   前記一対のフランジ（６）（７）が連結されている前記ハウジング要素（１）（２）が板金により構成され、かつ、当接線（３）に沿って溶接またはロウ付けされていることを特徴とするバルブハウジング。
9. 請求項８記載のバルブハウジングにおいて、
   連結されている前記ハウジング要素（１）（２）が前記バルブハウジングの主要部（３２）を構成し、前記主要部（３２）が前記バルブハウジングのバルブ駆動部（４３ａ）を取り付け可能に構成されている拡張部（２８）に対して連結され、シール部材（３８）が前記主要部（３２）および前記拡張部（２８）のシール面（３９）（４０）の間に挿入されていることを特徴とするバルブハウジング。
10. 請求項９記載のバルブハウジングにおいて、
    前記主要部（３２）の前記シール面（３９）が前記主要部（３２）を構成する前記板金の細幅側端 部により構成されていることを特徴とするバルブハウジング。
11. 請求項９または１０記載のバルブハウジングにおいて、
    前記拡張部（２８）が板金により構成され、かつ、前記拡張部（２８）の前記シール面（４０）が前記拡張部（２８）を構成する前記板金の細幅側端部により構成されていることを特徴とするバルブハウジング。
12. 請求項１〜１１のうちいずれか１つに記載のバルブハウジングの製造方法であって、
    前記Ｕ字形状の板金要素（１２）（１３）の前記一対のフランジ（６）（７）のそれぞれを形成するように、板金の平坦部 が深絞りされていることを特徴とする方法 。
13. 請求項１２記載の方法において、リングシール部材（２５）を支持するセンタリングリング（２４）の当接面（２３）を構成する底部を有する溝部（２２）が、前記Ｕ字形状の板金要素（１２）（１３）のうち、前記バルブ開口部（８）（９）を画定し、かつ、前記バルブ開口部（８）（９）の前記軸線（１０）（１１）に向いている面に加工工程により設けられることを特徴とする方法。