JP6127419B2 - 印刷装置およびパターン測定方法 - Google Patents

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Description

本発明は、印刷装置およびパターン測定方法に関する。
複数の色を表現可能なカラープリンターが多く使用されている。このようなカラープリンターでは、色の再現性を向上させるためにカラーキャリブレーションが行われる。カラーキャリブレーションを行う際には、下記特許文献1に示すようなカラーキャリブレーション用のテストパターンが印刷される。そして、このテストパターンを測定して色空間における濃度の測定値を取得し、その結果に基づいてプリンターが出力する色のずれを補正している。
特表2012−504060号公報
しかしながら、特許文献1に示すテストパターンを印刷する用紙の両脇には、パターンの検出位置を決めるための位置合わせ用パターンが印刷されることから、テストパターンは位置合わせ用パターンが無い場合と比較して小さく印刷されるため、テストパターンの濃度を測定する測定精度が低下した。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
[適用例1]
本適用例にかかる印刷装置は、第1の方向に濃度が変化するパターンを媒体に印刷する印刷手段と、前記パターンの濃度を前記第1の方向に沿って測定し、前記パターンの濃度を前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って測定する測定手段と、前記第2の方向の測定結果により、前記パターンの位置を特定し、前記位置に基づいて前記第1の方向の測定を前記測定手段に行わせるコントローラーと、を備えることを特徴とする。
このような構成によれば、測定手段による第2の方向の測定結果によりパターンの位置を特定し、特定した位置に基づいてパターンの第1の方向の濃度を測定する。従って、測定位置を決めるためのパターンを更に媒体に印刷することは不要になり、濃度測定するためのパターンを媒体に大きく形成でき、テストパターンの濃度を測定する測定精度の低下を低減できる。
[適用例2]
上記適用例にかかる印刷装置において、前記測定手段は、前記媒体に印刷された前記パターンに対応する第1の開始点から、前記第2の方向に前記パターンを横断して前記パターンの濃度を測定し、前記位置に基づく第2の開始点から前記第1の方向に前記パターンを縦断して前記パターンの濃度を測定しても良い。
このような構成によれば、印刷されたパターンに対応して、第2の方向の測定を開始する位置を特定することができるので、仮にパターンの横断を確認できない場合に第2の方向の測定を再度行うか否かのための判定を行うことができる。
[適用例3]
上記適用例にかかる印刷装置において、前記測定手段は、前記第1の方向に濃度が変化する前記パターンのうち濃度が濃い側を前記第2の方向に沿って測定し、前記コントローラーは、前記パターンの濃度が濃い側における前記第2の方向の測定結果により、前記パターンの位置を特定することを特徴とする。
このような構成によれば、パターンが濃い側を横断してパターンの位置を特定するため、パターンの検出精度が向上してパターンの位置を精度良く特定できる。なお、パターンにおける濃度が濃い側とは、パターンの濃度が最も薄いところの測定結果と、最も濃度が濃いところの測定結果の平均値よりも濃度の測定結果が濃いところをいう。
[適用例4]
上記適用例にかかる印刷装置において、前記印刷手段は、前記測定手段が待機位置から前記第1の開始点までの移動量が少なくなるように、前記パターンを印刷することが好ましい。
このような構成によれば、測定手段の移動量が少なくなることで、測定時間の短縮を図れる。
[適用例5]
上記適用例にかかる印刷装置において、前記印刷手段は前記第1の方向に少なくとも2つの前記パターンを印刷し、2つの前記パターンは、濃淡が変化する方向が互いに対称になるように印刷されることが好ましい。
このような構成によれば、濃度測定の向上を図れる。
[適用例6]
上記適用例にかかる印刷装置において、前記測定手段が前記第2の方向に移動して測定する場合における前記測定手段から前記媒体までの距離は、前記第1の方向に移動して測定する場合における前記測定手段から前記媒体までの距離よりも大きいことが好ましい。
このような構成によれば、媒体が波打った状態であっても、測定手段が媒体に接触することを回避できる。
[適用例7]
本適用例にかかるパターン測定方法は、第1の方向に濃度が変化するパターンを媒体に印刷する印刷工程と、前記媒体に印刷された前記パターンに対応する第1の開始点に測定手段が移動する初期移動工程と、前記測定手段が前記第1の開始点から前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って前記パターンの濃度を測定する工程と、前記第2の方向の測定結果により、前記パターンの位置を特定する位置特定工程と、前記位置に基づく第2の開始点から前記第1の方向に沿って前記パターンの濃度を測定する測定工程と、を備えることを特徴とする。
このような方法によれば、測定手段による第2の方向の測定結果によりパターンの位置を特定し、特定した位置に基づいてパターンの第1の方向の濃度を測定する。従って、測定位置を決めるためのパターンを更に媒体に印刷することは不要になり、濃度測定するためのパターンを媒体に大きく形成でき、テストパターンの濃度を測定する測定精度の低下を低減できる。
本発明の実施形態に係る印刷システムの全体構成を示すブロック図。 プリンターの概略斜視図。 光学センサーを説明する図。 用紙に印刷されたテストパターンの一例を示す図。 テストパターンの濃度を読み取る処理を説明するフローチャート。 濃度検出位置を説明する図。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
(実施形態)
「印刷装置」をインクジェットプリンター(以下、プリンターと呼ぶ)とし、プリンターとコンピューター60が接続された印刷システムを例に挙げて、実施形態を説明する。
図1は、印刷システムの全体構成を示すブロック図である。図2は、プリンター1の概略斜視図である。プリンター1は、コントローラー10と、搬送ユニット20と、キャリッジユニット30と、ヘッドユニット40と、検出器群50と、を有する。プリンター1はコンピューター60と通信可能に接続されており、コンピューター60内にインストールされているプリンタードライバーが、プリンター1に画像を印刷させるための印刷データを作成し、プリンター1に出力する。
プリンター1内のコントローラー10は、プリンター1における全体的な制御を行うためのものである。インターフェイス部11は、外部装置であるコンピューター60との間でデータの送受信を行う。CPU12は、プリンター1の全体的な制御を行うための演算処理装置であり、ユニット制御回路14を介して各ユニットを制御する。メモリー13は、CPU12のプログラムを格納する領域や作業領域等を確保するためのものである。
搬送ユニット20は、用紙Sを印刷可能な位置に給紙し、用紙Sを搬送方向(第2の方向)に搬送するためのものである。なお、プリンター1が画像を印刷する媒体は、用紙Sに限らず、例えば、布やフィルム等でもよい。
キャリッジユニット30は、キャリッジ31に搭載されたヘッド41を、用紙Sの搬送方向と交差する方向である走査方向(第1の方向)に移動するためのものである。なお、交差する方向とは一般的には直交する方向である。
ヘッドユニット40は、印刷手段として用紙Sにインクを吐出して画像を印刷するためのものであり、ヘッド41を有する。ヘッド41の下面(不図示)には、インクを吐出するノズルが多数設けられ、吐出するインクの色ごとにノズル列が形成されている。例えば、ブラックインクKを吐出するブラックノズル列や、シアンインクCを吐出するシアンノズル列、マゼンタインクMを吐出するマゼンタノズル列、イエローインクYを吐出するイエローノズル列等が、ヘッド41の下面に形成されている。各ノズル列では、多数のノズルが搬送方向に所定の間隔で並んでいる。なお、ノズルからのインク吐出方式は、駆動素子(ピエゾ素子)に電圧をかけてインク室を膨張・収縮させることによりノズルからインクを吐出させるピエゾ方式でもよいし、発熱素子を用いてノズル内に気泡を発生させ、その気泡によってノズルからインクを吐出させるサーマル方式でもよい。
検出器群50は、プリンター1内の状況を監視し、その検出結果をコントローラー10に出力するためのものである。例えば、検出器群50は、光学センサー51を有する。光学センサー51は、ヘッド41のノズル面から用紙Sまでの距離や用紙Sの幅を検出したり、用紙Sに印刷されたテストパターンの濃度を検出したりする(詳細は後述)。
このような構成のプリンター1において、コントローラー10は、キャリッジ31によりヘッド41を走査方向に移動させつつノズルからインクを吐出させる吐出動作と、搬送ユニット20により用紙Sを搬送方向の下流側に搬送する搬送動作と、を交互に繰り返す。その結果、先の吐出動作で形成されたドットの位置とは異なる位置に、後の吐出動作でドットが形成されるため、用紙S上に2次元の画像が印刷される。
図3は、測定手段である光学センサー51を説明する図である。光学センサー51は、キャリッジ31に取り付けられており、キャリッジ31と連動して走査方向に移動可能である。また、光学センサー51は、ヘッド41よりも搬送方向の下流側の位置に取り付けられており、ヘッド41により印刷された画像の上を移動することができる。光学センサー51は発光部52と受光部53を有し、発光部52は発光素子52aと駆動回路52bを有し、受光部53は受光素子53aと増幅回路53bとAD変換回路53cを有する。
尚、光学センサー51と用紙S間の距離は調整可能であり、光学センサー51が搬送方向に移動して測定する場合における光学センサー51から用紙Sまでの距離は、走査方向に移動して測定する場合における光学センサー51から用紙Sまでの距離よりも大きくなるように構成されていても良い。
発光素子52aは、用紙Sに向けて光を照射するためのものであり、例えば、発光ダイオード(LED)、レーザーダイオード、白熱電球等が挙げられる。なお、発光素子52aからの照射光の焦点が用紙Sの表面に合わせられたときの照射領域をスポット55と呼び、スポット55の直径をスポット径と呼ぶ。
駆動回路52bは、コントローラー10から受信した光量調整値を示す制御信号に従って、発光素子52aの駆動電流を制御し、発光素子52aの発光量を調整する。
受光素子53aは、発光素子52aから用紙Sに向けて照射された光のうち用紙Sで反射された光を受光し、受光した光量に応じて電流を生成する光電変換素子である。受光素子53aとして、例えば、フォトダイオード、フォトトランジスター等が挙げられる。
増幅回路53bは、受光素子53aからの出力電流を電圧に変換して増幅するためのものである。AD変換回路53cは、増幅回路53bからの出力電圧をAD変換し、用紙Sからの反射光量に応じたデジタル値である反射光量値をコントローラー10に出力する。
受光部53が受光する反射光の量(反射光の強度)は、用紙Sの反射位置における色の濃度によって変動する。従って、用紙Sに印刷された画像に向けて発光部52が光を照射し、その画像からの反射光を受光部53が受光した結果に基づいて、画像の濃度を検出することができる。つまり、光学センサー51を濃度検出器として機能させることができる。
ヘッド41からのインク吐出量の誤差などにより、プリンター1の個体間で色の出力特性が異なってしまう。また、同一のプリンター1であっても、経時変化により色の出力特性が変わってしまうこともある。この色の出力特性差を補正し、プリンター1の色再現性を向上させるために、濃度キャリブレーション処理(濃度補正処理)が行われる。
濃度キャリブレーション処理とは、プリンター1が用紙Sにテストパターンを印刷し、印刷したテストパターンの濃度を読み取った結果と目標濃度とのずれに基づいて、プリンター1が印刷する画像濃度が目標濃度に近付くように補正する処理である。例えば、テストパターンの読取濃度が目標濃度よりも淡い場合、ヘッド41からのインク吐出量が増えるように印刷データを補正し、逆にテストパターンの読取濃度が目標濃度よりも濃い場合、ヘッド41からのインク吐出量が減るように印刷データを補正する。そうすることで、プリンター1が印刷する画像濃度を目標濃度に近付けることができ、プリンター1の色再現性を向上させることができる。尚、濃度キャリブレーション処理の詳細な内容は、本発明の要旨ではないため、省略する(かかる方法については、例えば、特開2008−160340号公報を参照)。
図4は、印刷工程で用紙Sに印刷されたテストパターンの一例を示す。この例では、図示した用紙Sの左上部から走査方向(濃度が変化する第1方向)に向かって形成された6個のパターン(P11〜P16)が第1パターン列PS1を構成している。更に、この用紙Sの搬送方向には、第1パターン列PS1と同様にそれぞれ6個のパターンから成る第2パターン列PS2〜第5パターン列PS5が、所定の間隔を置いて配置されている。尚、図示したテストパターンはモノクロパターンであるが、各パターンは種々のカラーパターンやモノクロパターンを想定する。また、パターンは走査方向に沿って形成されているが、搬送方向に沿って形成されても良い。
また、第1パターン列PS1の各パターン(P11〜P16)のA−A断面での濃度分布が示すように、用紙Sに印刷されたパターンの左半分(P11〜P13)は用紙Sの左側から走査方向の右側に向かって濃度が淡くなり、パターンの右半分(P14〜P16)は用紙Sの右側から走査方向の左側に向かって濃度が淡くなるように形成されている。
図5はテストパターンの濃度を読み取る処理を説明するフローチャートであり、図6の濃度検出位置の説明図を参照して各工程について説明する。
処理が開始されると、CPU12は、スポット55が図6の(1)に示すような第1の開始点である初期位置(A)まで移動させるべく、搬送ユニット20およびキャリッジユニット30に駆動を指示する(ステップS100)<初期移動工程>。尚、初期位置(A)はテストパターンに応じて決定される。この場合、パターンの濃度が濃い側に近くなるようにテストパターンに紐付されて初期位置(A)が予め決定されていても良く、また、テストパターンの印刷時に印刷する位置やパターンに応じて、CPU12が好適な初期位置(A)を算出する態様も想定できる。また、テストパターンは、スポット55が所定の待機位置から初期位置(A)まで移動する移動量が少なくなるように決定されていても良い。具体的には、テストパターンの変化する濃度の濃い側と薄い側とのうち、濃い側の方が待機位置に近くなるようにする。なお、待機位置とは、テストパターンの濃度を読み取る処理を開始するまでの位置であり、一般的にはヘッド41の仮面にキャッピングを行う位置をいう。
尚、CPU12は初期位置(A)において反射光量値を取得し、取得した結果、初期位置(A)が用紙Sの余白位置ではないと判定した場合、初期位置(A)は正しくないと判定し、新しい初期位置(A)を決定することが好ましい。
次に、CPU12は、パターンP11の搬送方向の寸法(幅)を取得する(ステップS102)<位置特定工程>。本実施形態では、CPU12は、スポット55が初期位置(A)から搬送方向に移動してパターンP11を横断するように搬送ユニット20に駆動を指示する。更に、CPU12はスポット55が移動中の反射光量値を取得し、スポット55がパターンP11を横切る際の反射光量値の変化に基づいて、パターンP11の幅を算出する。CPU12はパターンP11の幅を算出した後、スポット55移動の停止を指示する。この結果、スポット55はパターンP11を通過した所定の位置(B)で停止する。これによりパターンP11の位置が特定される。
尚、CPU12は、パターンP11の横断を確認できない場合、用紙Sを所定量送って再度パターンP11の横断を確認することが好ましい。また、パターンP11の横断を確認できない場合、ステップS100から再度実行しても良い。また、スポット55が搬送方向にパターンP11を横断する際には、キャリッジユニット30は走査方向に駆動させない。また、スポット55が搬送方向にパターンP11を横断する際には、用紙Sが搬送に起因して撓み、用紙Sが受光素子53aにぶつかるのを防ぐために、光学センサー51から用紙Sまでの距離を比較的大きくしてある。詳細には、後述で述べる、スポット55が走査方向にパターンP11を縦断する際よりも大きくしてある。
次に、CPU12は、パターンP11の位置、即ち、算出したパターンP11の幅に基づいて、幅方向のスポット55の照射位置を決定し、スポット55を照射位置に移動させるべく、搬送ユニット20に駆動を指示する(ステップS104)。本実施形態では、スポット55の照射位置はパターンP11の幅方向の略中心部になるように決定される。従って、図6の(2)に示すように、スポット55は搬送方向に所定の位置(B)から幅方向の照射位置(C)まで移動する。
続いて、CPU12は、スポット55が図6の(3)に示すような第2の開始点である走査開始位置(D)まで移動させるべく、キャリッジユニット30に駆動を指示する(ステップS106)。本実施形態では、CPU12は、スポット55が幅方向の照射位置(C)からパターンP11の左端部に向かって走査方向に移動するようにキャリッジユニット30に駆動を指示する。更に、CPU12はスポット55が移動中の反射光量値を取得し、スポット55がパターンP11を通過する際の反射光量値の変化に基づいて、パターンP11の左端部位置を検出する。CPU12はパターンP11の左端部位置を検出した後、スポット55移動の停止を指示し、スポット55は走査開始位置(D)で停止する。
尚、CPU12は走査開始位置(D)において反射光量値を取得し、取得した結果、走査開始位置(D)が用紙Sの余白位置ではないと判定した場合、または、走査開始位置(D)を行き過ぎて戻る途中で、何らかの濃度変化を検出した場合、走査開始位置(D)は正しくないと判定し、新しい走査開始位置(D)を探索することが好ましい。
続いて、CPU12は、スポット55が図6の(4)に示すように第1パターン列PS1の各パターン(P11〜P16)上を縦断して移動させるべく、キャリッジユニット30に駆動を指示し、更に、移動中の反射光量値を取得して各パターン(P11〜P16)の濃度を測定する(ステップS108)<測定工程>。CPU12は、スポット55を走査開始位置(D)から走査終了位置(E)まで移動させた後、走査開始位置(D)への復帰を指示する。
尚、CPU12は、走査開始位置(D)から走査終了位置(E)までの間に検出した反射光量値の加速度を算出し、測定したパターンの数を取得する。即ち、算出した加速度が負値であって、かつ、反射光量値が所定の閾値以下である場合、CPU12は1つのパターンの測定を開始したと判定し、開始カウントを1つ増分する。また、スポット55が走査方向にパターンP11を縦断する際には、搬送ユニット20は搬送方向に駆動させない。
また、算出した加速度が正値であって、かつ、反射光量値が所定の閾値を超える場合(パターンP14の終端部を想定)、CPU12はパターン列PS1の各パターン(P11〜P16)の半数の計測が完了したと判定し、終了カウントを1つ増分する。更に、CPU12は、開始カウント分、加速度が正値であって、かつ、反射光量値が所定の閾値以下である位置を探索する。
ここで、開始カウントと終了カウントが同数である場合、パターン列PS1におけるパターンP11の走査開始位置(D)からパターンP16の走査終了位置(E)までの距離をパターン列PS1の幅値とする。尚、本実施形態のテストパターンは、パターン(P11〜P16)の濃いところが一カ所に寄ってしまい、用紙Sのコックリングが大きくならないように左右対称の様態を採用しているが、パターンの濃淡の様態はこれには限定されない。例えば、全てのパターンの濃淡が同一方向に変化しても良く、濃淡の方向がランダムであっても良い。
また、各パターンは同一色であっても良く、異なる色であっても良い。また、ドットサイズは同一であっても良く、異なるサイズであっても良い。
また、開始カウントと終了カウントが同数でない場合、CPU12は、パターン列PS1を超えて用紙Sの端部まで他のパターンを検索すべく、キャリッジユニット30に駆動を指示する。
次に、CPU12は次に測定すべきパターン列が在るか、否かを判定する(ステップS110)。ここで、第2パターン列PS2のように次に測定すべきパターン列が用紙S上に在ると判定した場合(ステップS110でYes)、CPU12は、スポット55を第2パターン列PS2の走査開始位置に移動させるべく、搬送ユニット20に駆動を指示し(ステップS112)、ステップS108に戻る。他方で、次に測定すべきパターン列がないと判定した場合(ステップS110でNo)、一連の処理を終了する。
以上の処理により、用紙Sに印刷されたテストパターンを探索してテストパターン列の好適な測定開始位置を決定し、決定した測定開始位置を起点としてテストパターン列の濃度を測定し、測定した結果に基づいて濃度キャリブレーション処理が施される。従って、測定開始位置を示す位置決め用のパターンを用紙Sに別途形成する必要はなく、用紙Sにテストパターンのみを拡大して印刷でき、その結果、測定精度の向上や測定時間の短縮化が図れる。
尚、濃度キャリブレーション処理には限定されず、測定した結果に基づいて、シリアル走査における双方向印刷の行きと帰りの吐出タイミングの調整や、ノズル詰まりの検出であっても良い。
また、光学センサー51はキャリッジ31と連動して走査方向に移動する様態には限定されず、光学センサー51はキャリッジ31と非連動に移動しても良い。
また、以上のような手法を実施する装置は、単独の装置によって実現される場合もあれば、複数の装置を組み合わせることによって実現される場合もあり、各種の態様を含むものである。
各実施形態における各構成及びそれらの組み合わせは一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の付加、省略、置換およびその他の変更が可能である。また、本発明は実施形態では限定されるものではなく、クレームの範囲によってのみ限定される。
1…プリンター、10…コントローラー、11…インターフェイス部、12…CPU、13…メモリー、14…ユニット制御回路、20…搬送ユニット、30…キャリッジユニット、31…キャリッジ、40…ヘッドユニット、41…ヘッド、50…検出器群、51…光学センサー、52…発光部、52a…発光素子、52b…駆動回路、53…受光部、53a…受光素子、53b…増幅回路、53c…AD変換回路、55…スポット、60…コンピューター、S…用紙。

Claims (7)

  1. 第1の方向に濃度が変化するパターンを媒体に印刷する印刷手段と、
    前記パターンの濃度を前記第1の方向に沿って測定し、前記パターンの濃度を前記第1
    の方向と交差する第2の方向に沿って測定する測定手段と、
    前記第2の方向の測定結果により、前記パターンの位置を特定し、前記位置に基づいて
    前記第1の方向の測定を前記測定手段に行わせるコントローラーと、を備え、
    前記測定手段は、前記媒体に印刷された前記パターンに対応する第1の開始点から、前
    記第2の方向に前記パターンを横断して前記パターンの濃度を測定し、前記位置に基づく
    第2の開始点から前記第1の方向に前記パターンを縦断して前記パターンの濃度を測定す
    ることを特徴とする印刷装置。
  2. 第1の方向に濃度が変化するパターンを媒体に印刷する印刷手段と、
    前記パターンの濃度を前記第1の方向に沿って測定し、前記パターンの濃度を前記第1
    の方向と交差する第2の方向に沿って測定する測定手段と、
    前記第2の方向の測定結果により、前記パターンの位置を特定し、前記位置に基づいて
    前記第1の方向の測定を前記測定手段に行わせるコントローラーと、を備え、
    前記測定手段は、前記第1の方向に濃度が変化する前記パターンのうち濃度が濃い側を
    前記第2の方向に沿って測定し、
    前記コントローラーは、前記パターンの濃度が濃い側における前記第2の方向の測定結
    果により、前記パターンの位置を特定することを特徴とする印刷装置。
  3. 請求項1に記載の印刷装置において、
    前記印刷手段は、前記測定手段が待機位置から前記第1の開始点までの移動量が少なく
    なるように、前記パターンを印刷することを特徴とする印刷装置。
  4. 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の印刷装置において、
    前記印刷手段は前記第1の方向に少なくとも2つ数の前記パターンを印刷し、
    2つの前記パターンは、濃淡が変化する方向が互いに対称になるように印刷されること
    を特徴とする印刷装置。
  5. 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の印刷装置において、
    前記測定手段が前記第2の方向に移動して測定する場合における前記測定手段から前記
    媒体までの距離は、前記第1の方向に移動して測定する場合における前記測定手段から前
    記媒体までの距離よりも大きいことを特徴とする印刷装置。
  6. 第1の方向に濃度が変化するパターンを媒体に印刷する印刷工程と、
    前記媒体に印刷された前記パターンに対応する第1の開始点に測定手段が移動する初期
    移動工程と、
    前記測定手段が前記第1の開始点から前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って前
    記パターンの濃度を測定する工程と、
    前記第2の方向の測定結果により、前記パターンの位置を特定する位置特定工程と、
    前記位置に基づく第2の開始点から前記第1の方向に沿って前記パターンの濃度を測定する工程と、
    前記測定手段が前記第1の開始点から前記第2の方向に前記パターンを横断して前記パターンの濃度を測定する工程と、
    前記位置に基づく第2の開始点から前記第1の方向に前記パターンを縦断して前記パターンの濃度を測定する測定工程と、を備えることを特徴とするパターン測定方法。
  7. 第1の方向に濃度が変化するパターンを媒体に印刷する印刷工程と、
    前記第1の方向に濃度が変化する前記パターンのうち濃度が濃い側へ測定手段が移動す
    る初期移動工程と、
    前記測定手段が前記パターンのうち濃度が濃い側から前記第1の方向と交差する第2の
    方向に沿って前記パターンの濃度を測定する工程と、
    前記第2の方向の測定結果により、前記パターンの位置を特定する位置特定工程と、を
    備えることを特徴とするパターン測定方法。
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