JP6126427B2 - Rfidメディアの検査方法及びこれを実施するための検査装置 - Google Patents

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本発明は、物品に密着もしくは近接した形態で使用されることにより共振周波数がずれるRFIDメディアを、物品に密着もしくは近接していない状態にて検査するRFIDメディアの検査方法に関する。
近年、情報化社会の進展に伴って、情報をタグやラベルに記録し、該タグやラベルを商品等に添付して商品等の管理が行われている。このようなタグやラベルを用いた商品等の管理においては、非接触状態にて情報の書き込み及び読み取りを行うことが可能なICが搭載された非接触型ICタグや非接触型ICラベルがその優れた利便性から急速な普及が進みつつある。
このような非接触型ICタグや非接触型ICラベルといったRFIDメディアにおいては、製品として出荷される前に検査手段となるリーダ/ライタによってRFIDメディアから情報を読み取ることにより、良品/不良品の検査が行われている(例えば、特許文献1,2参照)。また、このようなRFIDメディアの検査においては、共振周波数が所定周波数になっているかの検査が行われている(例えば、特許文献3参照)。
特許第4514374号公報 特許第4532514号公報 特開2012−138041号公報
ところで、近年では、上述したようなRFIDメディアにおいては、その利用用途が広がり、様々な物品に取り付けられた製品が市場に出荷されている。このようなRFIDメディアは物品に取り付けられることによって物品に密着すると共振周波数が低周波側にずれることになるため、RFIDメディア単体の共振周波数を意図的に高周波側にずらして製造する必要がある。このように共振周波数を意図的に高周波側にずらしたものについても、上記同様に、製品として出荷される前に良品/不良品の検査を行う必要がある。また、RFIDメディアを物品に密着させた場合に限らず、共振周波数が低周波側にずれるほどRFIDメディアを物品に近接させた場合においても、上記同様に、共振周波数が低周波側にずれることになるため、RFIDメディア単体の共振周波数を意図的に高周波側にずらして製造する必要がある。
しかしながら、共振周波数が適正にずらされているかを検査するために周波数特性を測定する装置は高価であり、また、周波数特性を測定するためには時間がかかり、RFIDメディアの製造ラインに適用するには不向きであるという問題点がある。
本発明は、上述したような従来の技術が有する問題点に鑑みてなされたものであって、物品に密着もしくは近接した形態で使用されることにより共振周波数が低周波側にずれるRFIDメディアを、物品に密着もしくは近接していない状態にて簡易な方法で検査することができるRFIDメディアの検査方法及びそれを実施するための検査装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明は、
物品に密着もしくは近接した形態で使用され、前記物品に密着もしくは近接することにより共振周波数が低周波側にずれるために、前記物品に密着もしくは近接していない状態における共振周波数が所定周波数から高周波側に予めずらされたRFIDメディアを、前記物品に密着もしくは近接していない状態にて検査するRFIDメディアの検査方法であって、
記共振周波数が低周波側にずれた状態を再現し、当該状態において、前記所定周波数にて要求される通信距離にて通信可能であるかを検査する第1の工程と、
前記RFIDメディアが前記物品に密着もしくは近接していない状態において、前記共振周波数が高周波側にずらされた場合でも前記所定周波数にて通信可能となるべき距離にて通信可能であるかを検査する第2の工程と、
前記RFIDメディアが前記物品に密着もしくは近接していない状態において、前記共振周波数が高周波側にずらされることにより前記所定周波数にて通信不可能となるべき距離にて通信不可能であるかを検査する第3の工程とを有する。
上記のように構成された本発明においては、まず、第1の工程において、RFIDメディアが物品に密着もしくは近接することにより共振周波数が低周波側にずれた状態を再現し、その状態において、所定周波数にて要求される通信距離にて通信可能であるかを検査することにより、使用形態となる物品に密着もしくは近接した状態におけるRFIDメディアの通信性能を検査する。次に、第2の工程において、RFIDメディアが物品に密着もしくは近接していない状態において、共振周波数が高周波側にずらされた場合でも所定周波数にて通信可能となるべき距離にて通信可能であるかを検査し、また、第3の工程において、RFIDメディアが物品に密着もしくは近接していない状態において、共振周波数が高周波側にずらされることにより所定周波数にて通信不可能となるべき距離にて通信不可能であるかを検査することにより、共振周波数が適正にずらされているかどうかを検査する。
このように、まず、RFIDメディアが物品に密着もしくは近接することにより共振周波数が低周波側にずれた状態を再現して使用形態におけるRFIDメディアの通信性能を検査し、その後、RFIDメディアが物品に密着もしくは近接していない状態において、通信可能となるべき距離と通信不可能となるべき距離とのそれぞれにてRFIDメディアが通信可能であるか通信不可能であるかを検査することで共振周波数が適正にずらされているかを検査するという簡易な方法で、物品に密着もしくは近接した形態で使用されるRFIDメディアの検査を行う。
このようなRFIDメディアの検査方法を実施するための検査装置としては、第1の工程におけるRFIDメディアに対する密着もしくは近接状態及び誘電率が、第1の工程におけるRFIDメディアの周波数特性が、RFIDメディアがその後に物品に密着もしくは近接して取り付けられた場合の周波数特性となるように調整され、共振周波数が低周波側にずれた状態を再現するための検査部材と、RFIDメディアと通信を行うリーダ/ライタと、第1〜第3の工程におけるRFIDメディアとリーダ/ライタとの通信状態に基づいて、RFIDメディアの良品/不良品を判定する制御手段とを有する検査装置が考えられる。
本発明によれば、RFIDメディアが物品に密着もしくは近接することにより共振周波数が低周波側にずれた状態を再現して使用形態におけるRFIDメディアの通信性能を検査し、その後、RFIDメディアが物品に密着もしくは近接していない状態において、通信可能となるべき距離と通信不可能となるべき距離とのそれぞれにてRFIDメディアが通信可能であるか通信不可能であるかを検査することで共振周波数が適正にずらされているかを検査することにより、特殊なテスタ等の解析機器を用いることなく簡易な方法で、物品に密着もしくは近接した形態で使用されるRFIDメディアの検査を精度良く行うことができる。
本発明の検査方法にて検査されるRFIDメディアの一例を示す図であり、(a)は表面図、(b)は(a)に示したA−A’断面図である。 図1に示したRFIDタグが物品に密着した場合の共振周波数の変動を示す図である。 本発明のRFIDメディアの検査方法を実施するための検査装置の実施の一形態を示す図である。 図3に示した検査エリアにおける第1の工程でのRFIDタグからの情報の読み取り検査を説明するための図である。 図3に示した検査エリアにおける第2及び第3の工程でのRFIDタグからの情報の読み取り検査を説明するための図である。 本発明のRFIDメディアの検査方法を実施するための検査装置の第2の実施の形態を示す図である。 本発明のRFIDメディアの検査方法を実施するための検査装置の第3の実施の形態及びそれによる検査方法を示す図である。
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
まず、本発明の検査方法にて検査されるRFIDメディアについて説明する。
図1は、本発明の検査方法にて検査されるRFIDメディアの一例を示す図であり、(a)は表面図、(b)は(a)に示したA−A’断面図である。
本例のRFIDメディアは図1に示すように、樹脂や紙等からなるベース基材2上に、アンテナ3a,3bが形成されるとともにICチップ4が搭載されてなるRFIDタグ1である。アンテナ3a,3bはそれぞれ、二等辺三角形の形状を有し、頂点が空隙を介して対向するように形成されている。そして、この頂点が給電点となってICチップ4が接続されている。
上記のように構成されたRFIDタグ1は、外部に設けられたリーダ/ライタに対して通信可能範囲に配置されると、リーダ/ライタからの電波に共振することによってアンテナ3a,3bに電流が流れ、この電流がICチップ4に供給されることにより、ICチップ4に対して非接触状態にて情報が書き込まれたり、読み取られたりすることになる。そのため、その共振周波数としてリーダ/ライタからの電波の周波数が予め設定されている。
ところで、このようなRFIDタグ1は、上述したように物品に取り付けられることにより物品に密着した形態で使用される場合がある。
図2は、図1に示したRFIDタグ1が物品に密着した場合の共振周波数の変動を示す図であり、物品に密着していない状態における周波数特性を図中実線で示し、物品に密着した状態における周波数特性を図中破線で示す。
図2に示すように、図1に示したRFIDタグ1が物品に密着すると、周波数特性が全体的に低周波側にシフトし、それにより、共振周波数が低周波側にずれる。そのため、例えば、所定周波数となるリーダ/ライタからの電波の周波数が920MHzの場合、RFIDタグ1単体では、共振周波数が920MHzよりも高周波側に存在するように予めずらされて設計されている。本発明は、このような共振周波数のずれが適正であるかどうかを検査する方法に関するものである。また、RFIDタグ1を物品に密着させた場合に限らず、共振周波数が低周波側にずれるほどRFIDタグ1を物品に近接させた場合においても、上記同様に共振周波数が低周波側にずれることになるため、RFIDタグ1が物品に近接した形態で使用される場合においても、RFIDタグ1単体の共振周波数がリーダ/ライタからの電波の周波数よりも高周波側に存在するように予めずらされて設計されている。この場合、リーダ/ライタからは、一定の幅を有する周波数帯で電波が送信されているが、本発明は、RFIDタグ1の共振周波数が、リーダ/ライタから送信される電波の周波数の幅を超えて低周波側にずれるほど近接した形態で使用されるものについて検査するものである。なお、RFIDメディアとしては、上述したようなRFIDタグ1に限らず、RFIDラベル等であってもよい。
(第1の実施の形態)
図3は、本発明のRFIDメディアの検査方法を実施するための検査装置の第1の実施の形態を示す図である。
本形態における検査装置は図3に示すように、図1に示したRFIDタグ1が搬送される搬送経路10に、3つの検査エリア40a〜40cを有している。この3つの検査エリア40a〜40cのそれぞれには、搬送経路10に対向してリーダ/ライタ20a〜20cが設けられており、これら3つのリーダ/ライタ20a〜20cは制御部50に接続されている。また、搬送経路10上には、検査エリア40a〜40cのそれぞれにて1つのRFIDタグ1のみがリーダ/ライタ20a〜20c側に表出するような孔部を有するシールド11が設けられている。
検査エリア40aには、搬送経路10上においてRFIDタグ1のリーダ/ライタ20aとは反対側に、RFIDタグ1に密着もしくは近接して検査部材となる誘電体30が配置されており、この密着もしくは近接状態及び誘電体30の誘電率は、検査エリア40aにおけるRFIDタグ1の周波数特性が、RFIDタグ1がその後に物品に密着もしくは近接して取り付けられて製品化された場合の周波数特性となるように調整されている。これにより、RFIDタグ1が物品に密着もしくは近接することにより共振周波数が低周波側にずれた状態が再現されている。また、リーダ/ライタ20aは、検査エリア40aに搬送されてきたRFIDタグ1に対して、RFIDタグ1がその後に物品に取り付けられて製品化された場合に要求される通信距離だけ離れて配置されている。
検査エリア40bに配置されたリーダ/ライタ20bは、検査エリア40bに搬送されてきたRFIDタグ1に対して、RFIDタグ1が物品に取り付けられていない状態において共振周波数が高周波側にずらされた場合でも、リーダ/ライタ20bの電波の周波数にて通信可能となるべき距離だけ離れて配置されている。
検査エリア40cに配置されたリーダ/ライタ20cは、検査エリア40cに搬送されてきたRFIDタグ1に対して、RFIDタグ1が物品に取り付けられていない状態において共振周波数が高周波側にずらされることにより、リーダ/ライタ20cの電波の周波数にて通信不可能となるべき距離だけ離れて配置されている。
以下に、上記のように構成された検査装置におけるRFIDタグ1の検査方法について説明する。なお、以下の説明においても、リーダ/ライタ20a〜20cの電波の周波数を920MHzとする。
図3に示した検査装置においては、RFIDタグ1が搬送経路10上を連続搬送されてくると、まず、第1の工程として、検査エリア40aにおいて、リーダ/ライタ20aにてRFIDタグ1からの情報の読み取り検査が行われる。
図4は、図3に示した検査エリア40aにおける第1の工程でのRFIDタグ1からの情報の読み取り検査を説明するための図である。
検査エリア40aにおいては、上述したように、誘電体30によってRFIDタグ1が物品に取り付けられた状態が再現されており、リーダ/ライタ20aとRFIDタグ1との距離が、RFIDタグ1がその後に物品に取り付けられて製品化された場合に要求される通信距離となっているため、RFIDタグ1が良品であればリーダ/ライタ20aにおいて共振周波数の920MHzにてRFIDタグ1から情報が読み取られるはずである。
そのため、図4に示すように、RFIDタグ1がその後に物品に取り付けられて製品化された場合に要求される通信距離が3.7mである場合に、RFIDタグ1から3.7m離れたリーダ/ライタ20aにおいて、RFIDタグ1から情報が読み取られるかどうかによって、RFIDタグ1が物品に取り付けられた状態において、920MHzにて要求される通信距離にて通信可能であるかというRFIDタグ1の通信性能が検査される。この際、検査対象となるRFIDタグ1のみが、シールド11の孔部からリーダ/ライタ20a側に表出しているため、リーダ/ライタ20aにおいては、搬送経路10上にてこのRFIDタグ1の前後に搬送されてくるRFIDタグ1からは情報が読み取られない。なお、リーダ/ライタ20aにおいて、通信距離が3.7mに相当する電波強度でRFIDタグ1から情報が読み取られるかどうかによって検査を行ってもよい。
その後、検査エリア40b,40cのそれぞれにおいて、リーダ/ライタ20b,20cにてRFIDタグ1からの情報の読み取り検査が行われる。
図5は、図3に示した検査エリア40b,40cにおける第2及び第3の工程でのRFIDタグ1からの情報の読み取り検査を説明するための図である。
検査エリア40bにおいては、誘電体30が配置されていないため、RFIDタグ1が物品に取り付けられていない状態における検査となる。ここで、物品に取り付けられていない状態のRFIDタグ1においては、上述したように共振周波数が高周波側にずらして設計されているため、検査エリア40bにおいて検査されるRFIDタグ1の共振周波数は図5に示すように、920MHzから高周波側にずれている。
そこで、まず、検査エリア40bにおいては、第2の工程として、共振周波数が920MHzから高周波側にずらされた場合でも920MHzにて通信可能となるべき距離にて通信可能であるかが検査される。RFIDタグ1の共振周波数が適正にずらされていればリーダ/ライタ20bにおいて共振周波数の920MHzにてRFIDタグ1から情報が読み取られるはずである。
そのため、図5に示すように、共振周波数が920MHzから高周波側にずらされた場合でも920MHzにて通信可能となるべき距離が2.2mである場合に、RFIDタグ1から2.2m離れたリーダ/ライタ20bにおいて、RFIDタグ1から情報が読み取られるかどうかによって、RFIDタグ1が物品に取り付けられていない状態において、共振周波数が高周波側にずらされた場合でも920MHzにて通信可能となるべき距離にて通信可能であるかが検査される。この際、検査対象となるRFIDタグ1のみが、シールド11の孔部からリーダ/ライタ20b側に表出しているため、リーダ/ライタ20bにおいては、搬送経路10上にてこのRFIDタグ1の前後に搬送されてくるRFIDタグ1からは情報が読み取られない。なお、リーダ/ライタ20bにおいて、通信距離が2.2mに相当する電波強度でRFIDタグ1から情報が読み取られるかどうかによって検査を行ってもよい。
次に、第3の工程として、検査エリア40cにおいて、共振周波数が920MHzから高周波側にずらされることにより920MHzにて通信不可能となるべき距離にて通信不可能であるかが検査される。RFIDタグ1の共振周波数が適正にずらされていればリーダ/ライタ20cにおいて共振周波数の920MHzにてRFIDタグ1から情報が読み取られないはずである。
そのため、図5に示すように、共振周波数が920MHzから高周波側にずらされることにより920MHzにて通信不可能となるべき距離が2.8mである場合に、RFIDタグ1から2.8m離れたリーダ/ライタ20cにおいて、RFIDタグ1から情報が読み取られるかどうかによって、RFIDタグ1が物品に取り付けられていない状態において、共振周波数が高周波側にずらされることにより920MHzにて通信不可能となるべき距離にて通信不可能であるかが検査される。この際、検査対象となるRFIDタグ1のみが、シールド11の孔部からリーダ/ライタ20c側に表出しているため、リーダ/ライタ20cにおいては、搬送経路10上にてこのRFIDタグ1の前後に搬送されてくるRFIDタグ1からは情報が読み取られない。なお、リーダ/ライタ20cにおいて、通信距離が2.8mに相当する電波強度でRFIDタグ1から情報が読み取られるかどうかによって検査を行ってもよい。
リーダ/ライタ20a〜20cにおける検査結果は制御部50に送られる。制御部50においては、RFIDタグ1とリーダ/ライタ20a〜20cとの通信状態に基づいて、RFIDタグ1の良品/不良品が判定される。具体的には、リーダ/ライタ20aにおいてRFIDタグ1から情報が読み取られた場合に、RFIDタグ1が、920MHzにて要求される通信距離にて通信可能であるという通信性能を有していると判定され、また、リーダ/ライタ20bにてRFIDタグ1から情報が読み取られ、かつ、リーダ/ライタ20cにてRFID1から情報が読み取られなかった場合に、RFIDタグ1の共振周波数が適正にずらされていると判定される。そのため、第2及び第3の工程におけるRFIDタグ1とリーダ/ライタ20b,20cとの距離は、RFIDタグ1のずれ量に応じて適宜設定される。そのずれ量に応じて、第2の工程における距離が、RFIDタグ1が物品に取り付けられていない状態において、共振周波数が高周波側にずらされた場合でも920MHzにて通信可能となるべき距離とされ、第3の工程における距離が、RFIDタグ1が物品に取り付けられていない状態において、共振周波数が高周波側にずらされることにより920MHzにて通信不可能となるべき距離とされることになる。これらの距離は、図5に示したように、RFIDタグ1の周波数特性において通信可能距離の変化が急峻なものとなる2点を用いることにより、RFIDタグ1の周波数特性のばらつきがわずかであった場合でも、第2及び第3の工程におけるずれの検査を確実に行うことができる。
このように、RFIDタグ1が物品に取り付けられて物品に密着もしくは近接することにより共振周波数が低周波側にずれた状態を再現して使用形態におけるRFIDタグ1の通信性能を検査し、その後、RFIDタグ1が物品に取り付けられていない状態において、通信可能となるべき距離と通信不可能となるべき距離とのそれぞれにてRFIDタグ1が通信可能であるか通信不可能であるかを検査することで共振周波数が適正にずらされているかを検査するという簡易な方法で、物品に取り付けられた形態で使用されるRFIDタグ1の検査を行うことができる。
なお、本形態においては、検査エリア40a〜40cのそれぞれにおいて、RFIDタグ1からの情報の読み取りが1度ずつしか行われないため、タクトが短く生産効率を向上させることができる。また、検査エリア40a〜40cのそれぞれにおける検査時間が同一であるため、RFIDタグ1の連続搬送による検査もロスなく実施することができる。
(第2の実施の形態)
図6は、本発明のRFIDメディアの検査方法を実施するための検査装置の第2の実施の形態を示す図である。
本形態における検査装置は図6に示すように、図3に示したものに対して、検査エリア40a,40bが2つしか設けられていない点が異なるものである。
図6に示した検査装置においては、まず、第1の工程として、検査エリア40aにおいて第1の実施の形態にて示したものと同様の検査が行われる。
次に、検査エリア40bにおいて、第2の工程として、リーダ/ライタ20bとRFIDタグ1との距離が2.2mとされ、リーダ/ライタ20bにてRFIDタグ1から情報が読み取られ、その後、第3の工程として、リーダ/ライタ20bとRFIDタグ1との距離が2.8mとされ、リーダ/ライタ20bにてRFIDタグ1から情報が読み取られる。
そして、制御部50において、第1の実施の形態にて示したものと同様に、リーダ/ライタ20aにおいてRFIDタグ1から情報が読み取られた場合に、RFIDタグ1が、920MHzにて要求される通信距離にて通信可能であるという通信性能を有していると判定され、また、リーダ/ライタ20bとRFIDタグ1との距離が2.2mとされた場合にリーダ/ライタ20bにてRFIDタグ1から情報が読み取られ、かつ、リーダ/ライタ20bとRFIDタグ1との距離が2.8mとされた場合にリーダ/ライタ20bにてRFID1から情報が読み取られなかった場合に、RFIDタグ1の共振周波数が適正にずらされていると判定される。
本形態においては、2つの検査エリア40a,40bのみで検査を行うことにより、使用する機器や装置の設置スペースを削減することができる。
なお、本形態においては、検査エリア40bにおいてリーダ/ライタ20bとRFIDタグ1との物理的距離を異ならせて第2及び第3の工程を行っているが、リーダ/ライタ20bの出力を切り替えることにより、リーダ/ライタ20bとRFIDタグ1との距離を仮想的に異ならせることも考えられる。
(第3の実施の形態)
図7は、本発明のRFIDメディアの検査方法を実施するための検査装置の第3の実施の形態及びそれによる検査方法を示す図である。
本形態における検査装置は図7に示すように、図3に示したものに対して、検査エリア40が1つしか設けられていない点が異なるものである。
図7に示した検査装置においては、まず、第1の工程として、図7(a)に示すように、図3に示した検査エリア40aと同様に、検査対象となるRFIDタグ1のリーダ/ライタ20とは反対側に誘電体30が設置され、この状態にて図3に示した検査エリア40aと同様の検査が行われる。
次に、第2の工程として、図7(b)に示すように、誘電体30が検査エリア40から離間するとともに、リーダ/ライタ20とRFIDタグ1との距離が2.2mとされ、リーダ/ライタ20にてRFIDタグ1から情報が読み取られる。
その後、第3の工程として、図7(c)に示すように、リーダ/ライタ20とRFIDタグ1との距離が2.8mとされ、リーダ/ライタ20にてRFIDタグ1から情報が読み取られる。
そして、制御部50において、第1の実施の形態にて示したものと同様に、第1の工程においてRFIDタグ1から情報が読み取られた場合に、RFIDタグ1が、920MHzにて要求される通信距離にて通信可能であるという通信性能を有していると判定され、また、第2の工程においてリーダ/ライタ20にてRFIDタグ1から情報が読み取られ、かつ、第3の工程においてリーダ/ライタ20にてRFID1から情報が読み取られなかった場合に、RFIDタグ1の共振周波数が適正にずらされていると判定される。
本形態においては、1つの検査エリア40のみで検査を行うことにより、使用する機器や装置の設置スペースを削減することができる。
なお、本形態においては、検査エリア40においてリーダ/ライタ20とRFIDタグ1との物理的距離を異ならせて第2及び第3の工程を行っているが、リーダ/ライタ20の出力を切り替えることにより、リーダ/ライタ20とRFIDタグ1との距離を仮想的に異ならせることも考えられる。
1 RFIDタグ
2 ベース基材
3a,3b アンテナ
4 ICチップ
10 搬送経路
11 シールド
20,20a〜20c リーダ/ライタ
30 誘電体
40a〜40c 検査エリア
50 制御部

Claims (2)

  1. 物品に密着もしくは近接した形態で使用され、前記物品に密着もしくは近接することにより共振周波数が低周波側にずれるために、前記物品に密着もしくは近接していない状態における共振周波数が所定周波数から高周波側に予めずらされたRFIDメディアを、前記物品に密着もしくは近接していない状態にて検査するRFIDメディアの検査方法であって、
    記共振周波数が低周波側にずれた状態を再現し、当該状態において、前記所定周波数にて要求される通信距離にて通信可能であるかを検査する第1の工程と、
    前記RFIDメディアが前記物品に密着もしくは近接していない状態において、前記共振周波数が高周波側にずらされた場合でも前記所定周波数にて通信可能となるべき距離にて通信可能であるかを検査する第2の工程と、
    前記RFIDメディアが前記物品に密着もしくは近接していない状態において、前記共振周波数が高周波側にずらされることにより前記所定周波数にて通信不可能となるべき距離にて通信不可能であるかを検査する第3の工程とを有する、RFIDメディアの検査方法。
  2. 請求項1に記載のRFIDメディアの検査方法を実施するための検査装置であって、
    前記第1の工程における前記RFIDメディアに対する密着もしくは近接状態及び誘電率が、前記第1の工程における前記RFIDメディアの周波数特性が、RFIDメディアがその後に前記物品に密着もしくは近接して取り付けられた場合の周波数特性となるように調整され、前記共振周波数が低周波側にずれた状態を再現するための検査部材と、
    前記RFIDメディアと通信を行うリーダ/ライタと、
    前記第1〜第3の工程における前記RFIDメディアと前記リーダ/ライタとの通信状態に基づいて、前記RFIDメディアの良品/不良品を判定する制御手段とを有する検査装置。
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