JP6121806B2 - 窒化物半導体ウェーハ、窒化物半導体素子及び窒化物半導体ウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の別の実施形態によれば、シリコン基板と、第1層と、第2層と、第3層と、第4層と、第5層と、第6層と、第1シリコン含有部と、を備えた窒化物半導体ウェーハが提供される。前記第1層は、前記シリコン基板の上に設けられ、Al x1 Ga 1−x1 N(0.8≦x1≦1)で組成が一定である。前記第2層は、前記第1層の上に設けられ、Al x2 Ga 1−x2 N(0.7≦x2<0.8)で組成が一定である。前記第3層は、前記第2層の上に設けられ、Al x3 Ga 1−x3 N(0.4≦x3≦0.6)で組成が一定である。前記第4層は、前記第3層の上に設けられ、Al x4 Ga 1−x4 Nである。前記第5層は、前記第4層の上に設けられ、Al x5 Ga 1−x5 N(0.1≦x5≦0.2)で組成が一定である。前記第6層は、前記第5層の上に設けられ、Al x6 Ga 1−x6 N(0≦x6<x5)で組成が一定である。前記第1シリコン含有部は、前記第5層と前記第6層との間に設けられ、シリコンを含む。前記第2層は、前記第1層に接し、前記第3層は、前記第2層に接し、前記第4層は、前記第3層に接し、前記第5層は、前記第4層に接し、前記第1シリコン含有部は、前記第5層に接し、前記第6層は、前記第1シリコン含有部に接する。前記第4層の組成比x4は、前記第3層から前記第5層に向かう第1方向において減少する。前記組成比x4の最大値は、前記第3層の組成比x3以下である。前記組成比x4の最小値は、前記第5層の組成比x5以上である。
本発明の別の実施形態によれば、シリコン基板と、第1層と、第2層と、第3層と、第4層と、第5層と、第6層と、第7層と、第1シリコン含有部と、第2シリコン含有部と、を備えた窒化物半導体ウェーハが提供される。前記第1層は、前記シリコン基板の上に設けられ、Al x1 Ga 1−x1 N(0.8≦x1≦1)で組成が一定である。前記第2層は、前記第1層の上に設けられ、Al x2 Ga 1−x2 N(0.7≦x2<0.8)で組成が一定である。前記第3層は、前記第2層の上に設けられ、Al x3 Ga 1−x3 N(0.4≦x3≦0.6)で組成が一定である。前記第4層は、前記第3層の上に設けられ、Al x4 Ga 1−x4 Nである。前記第5層は、前記第4層の上に設けられ、Al x5 Ga 1−x5 N(0.1≦x5≦0.2)で組成が一定である。前記第6層は、前記第5層の上に設けられ、Al x6 Ga 1−x6 N(0≦x6<x5)で組成が一定である。前記第1シリコン含有部は、前記第5層と前記第6層との間に設けられ、シリコンを含む。前記第7層は、前記第1シリコン含有部と前記第6層との間に設けられ、Al x7 Ga 1−x7 N(0≦x7<x5)を含む。前記第2シリコン含有部は、前記第6層と前記第7層との間に設けられ、シリコンを含む。前記第2層は、前記第1層に接し、前記第3層は、前記第2層に接し、前記第4層は、前記第3層に接し、前記第5層は、前記第4層に接し、前記第1シリコン含有部は、前記第5層に接し、前記第7層は、前記第1シリコン含有部に接し、前記第2シリコン含有部は、前記第7層に接し、前記第6層は、前記第2シリコン含有部に接する。前記第4層の組成比x4は、前記第3層から前記第5層に向かう第1方向において減少する。前記組成比x4の最大値は、前記第3層の組成比x3以下である。前記組成比x4の最小値は、前記第5層の組成比x5以上である。
本発明の別の実施形態によれば、下地層の上に形成され、窒化物半導体を含む機能層を備えた窒化物半導体素子が提供される。前記下地層は、シリコン基板の上に形成され、Al x1 Ga 1−x1 N(0.8≦x1≦1)で組成が一定の第1層と、前記第1層の上に形成され、Al x2 Ga 1−x2 N(0.7≦x2<0.8)で組成が一定の第2層と、前記第2層の上に形成され、Al x3 Ga 1−x3 N(0.4≦x3≦0.6)で組成が一定の第3層と、前記第3層の上に形成され、Al x4 Ga 1−x4 Nの第4層と、前記第4層の上に形成され、Al x5 Ga 1−x5 N(0.1≦x5≦0.2)で組成が一定の第5層と、前記第5層の上に形成され、Al x6 Ga 1−x6 N(0≦x6<x5)で組成が一定の第6層と、を含む。前記第2層は、前記第1層に接し、前記第3層は、前記第2層に接し、前記第4層は、前記第3層に接し、前記第5層は、前記第4層に接し、前記第6層は、前記第5層に接する。前記第4層の組成比x4は、前記第3層から前記第5層に向かう第1方向において減少する。前記組成比x4の最大値は、前記第3層の組成比x3以下である。前記組成比x4の最小値は、前記第5層の組成比x5以上である。
本発明の別の実施形態によれば、シリコン基板の上に、Al x1 Ga 1−x1 N(0.8≦x1≦1)で組成が一定の第1層を形成する工程と、前記第1層の上に、Al x2 Ga 1−x2 N(0.7≦x2<0.8)で組成が一定の第2層を形成する工程と、前記第2層の上に、Al x3 Ga 1−x3 N(0.4≦x3≦0.6)で組成が一定の第3層を形成する工程と、前記第3層の上に、Al x4 Ga 1−x4 Nの第4層を形成する工程と、前記第4層の上に、Al x5 Ga 1−x5 N(0.1≦x5≦0.2)で組成が一定の第5層を形成する工程と、前記第5層の上に、Al x6 Ga 1−x6 N(0≦x6<x5)で組成が一定の第6層を形成する工程と、を備えた窒化物半導体ウェーハの製造方法が提供される。前記第2層は、前記第1層に接し、前記第3層は、前記第2層に接し、前記第4層は、前記第3層に接し、前記第5層は、前記第4層に接し、前記第6層は、前記第5層に接する。前記第4層を形成する前記工程は、前記第4層の組成比x4を前記第3層から前記第5層に向かう第1方向において減少させ、前記組成比x4の最大値を前記第3層の組成比x3以下とし、前記組成比x4の最小値を前記第5層の組成比x5以上とすることを含む。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
本実施形態に係る窒化物半導体ウェーハ110は、例えば、半導体発光素子、半導体受光素子、または、電子デバイスなどの窒化物半導体素子の製造に用いられる。半導体発光素子は、例えば、発光ダイオード(LED)及びレーザダイオード(LD)などを含む。半導体受光素子は、例えば、フォトダイオード(PD)などを含む。電子デバイスは、例えば、高電子移動度トランジスタ(HEMT)、ヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBT)、電界トランジスタ(FET)及びショットキーバリアダイオード(SBD)などを含む。
図1に表したように、窒化物半導体ウェーハ110は、基板40と、第1層51と、第2層52と、第3層53と、第4層54と、第5層55と、第6層56と、を備える。
基板40は、シリコンを含む。基板40は、例えば、シリコン基板である。
図2は、第1層51〜第6層56のAlの組成比を模式的に表す。図2の縦軸は、第1層51〜第6層56のAlの組成比CRであり、横軸は、第1層51〜第6層56のZ軸方向(厚さ方向)の位置Tである。
図2に表したように、この例において、第1層51のAlの組成比x1は、1である。第2層52のAlの組成比x2は、0.7である。第3層53のAlの組成比x3は、0.5である。第5層55のAlの組成比x5は、0.15である。第6層56のAlの組成比x6は、0である。
組成比x2は、例えば、0.7≦x2<0.8である。
組成比x3は、例えば、0.4≦x3≦0.6である。
組成比x5は、例えば、0.1≦x5≦0.2である。
組成比x6は、例えば、0≦x6<x5である。
図3(a)は、窒化物半導体ウェーハ110の特性の一例を表す逆格子空間マッピング図である。
図3(b)は、逆格子空間マッピング図から求めた第1層51〜第6層56の緩和率SR及び格子不整合率LM(%)を表す表である。図3(b)は、第2層52〜第6層56の直下の層との緩和率SR及び格子不整合率LMを表す。
図3(c)は、逆格子空間マッピング図の作成に用いられるX線回折(X‐ray diffraction:XRD)の測定結果の一例を表すグラフ図である。
図3(a)に表したように、窒化物半導体ウェーハ110では、第1層51(AlN層)と第6層56(GaN層)とのa軸方向の格子定数の差を、第2層52〜第5層55のAlGaN層で段階的に変化させる。
図4は、SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry:二次イオン質量分析法)による窒化物半導体ウェーハ110の解析結果の一例を表す。
図4の左側の縦軸は、窒化物半導体ウェーハ110のAl及びGaの組成比CR(%)である。図4の右側の縦軸は、窒化物半導体ウェーハ110の二次イオン強度SII(counts/sec)である。図4の横軸は、窒化物半導体ウェーハ110のZ軸方向の位置T(nm)である。
図5は、図2のグラフの第4層54の部分を拡大して表すグラフ図である。
図5に表したように、第4層54の製造においては、非常に細かいステップで段階的にAlの組成比を変化させることにより、実質的に連続的に減少する組成比x4を形成することが考えられる。例えば、MOCVD装置などの反応室内に供給するAlの原料ガスの流量を、非常に細かいステップで段階的に減少させることにより、組成比x4を形成することが考えられる。
図6(a)は、第1層51の厚さとX線回折から求めた螺旋成分の転位密度との関係を表す。図6(a)の縦軸は、第1層51の螺旋転位密度Ns1(cm−2)であり、図6(a)の横軸は、第1層51の厚さt1(nm)である。
図6(b)は、第1層51の厚さとX線回折から求めた刃状成分の転位密度との関係を表す。図6(b)の縦軸は、第1層51の刃状転位密度Ne1(cm−2)であり、図6(b)の横軸は、第1層51の厚さt1(nm)である。
図7(a)は、第2層52の厚さとX線回折から求めた螺旋成分の転位密度との関係を表す。図7(a)の縦軸は、第2層52の螺旋転位密度Ns2(cm−2)であり、図7(a)の横軸は、第2層52の厚さt2(nm)である。
図7(b)は、第2層52の厚さとX線回折から求めた刃状成分の転位密度との関係を表す。図7(b)の縦軸は、第2層52の刃状転位密度Ne2(cm−2)であり、図7(b)の横軸は、第2層52の厚さt2(nm)である。
図8(a)は、第5層55の厚さとX線回折から求めた螺旋成分の転位密度との関係を表す。図8(a)の縦軸は、第5層55の螺旋転位密度Ns5(cm−2)であり、図8(a)の横軸は、第5層55の厚さt5(nm)である。
図8(b)は、第5層55の厚さとX線回折から求めた刃状成分の転位密度との関係を表す。図8(b)の縦軸は、第5層55の刃状転位密度Ne5(cm−2)であり、図8(b)の横軸は、第5層55の厚さt5(nm)である。
図9(a)は、バッファ部BUの厚さとバッファ部BUの上面の表面粗さとの関係を表す。この例において、バッファ部BUの上面は、すなわち第5層55の上面である。また、バッファ部BUの厚さは、第2層52の厚さと、第3層53の厚さと、第4層54の厚さと、第5層55の厚さと、の和である。図9(a)の縦軸は、バッファ部BUの上面の表面粗さRa(nm)であり、図9(a)の横軸は、バッファ部BUの厚さta(μm)である。
図10に表したように、窒化物半導体ウェーハ112は、機能層10sをさらに備える。機能層10sは、第6層56の上に設けられる。この例において、機能層10sは、第1半導体層10と、第2半導体層20と、発光層30と、積層部32と、を含む。すなわち、窒化物半導体ウェーハ112は、半導体発光素子を窒化物半導体素子として製造するためのウェーハである。より詳しくは、LEDを製造するためのウェーハである。
図11(a)に表したように、発光層30は、複数の障壁層33と、複数の障壁層33どうしの間に設けられた井戸層34と、を含む。例えば、複数の障壁層33と複数の井戸層34とが、Z軸方向に沿って交互に積層される。
積層部32は、例えば、超格子層である。
図12(a)は、第1参考例の窒化物半導体ウェーハref1の特性を表す。図12(b)は、第2参考例の窒化物半導体ウェーハref2の特性を表す。図12(a)及び図12(b)において、縦軸及び横軸の関係は、図2の縦軸及び横軸と実質的に同じである。
図13は、窒化物半導体ウェーハ112、窒化物半導体ウェーハref1、及び、窒化物半導体ウェーハref2のそれぞれについて、螺旋成分の転位密度Ns(cm−2)、刃状成分の転位密度Ne(cm−2)、及び、光出力LOを求めた結果を表す。各転位密度Ns、Neは、X線回折で求めた。
図14に表したように、窒化物半導体ウェーハ114は、第1シリコン含有部61をさらに含む。第1シリコン含有部61は、第5層55の上に設けられる。窒化物半導体ウェーハ114では、第1シリコン含有部61の上に第6層56が設けられる。すなわち、第1シリコン含有部61は、第5層55と第6層56との間に設けられる。第1シリコン含有部61は、AlGaNを含むバッファ部BUと、GaNを含む第6層56との間に設けられる。この例では、例えば、第1シリコン含有部61が第5層55に接し、第6層56が第1シリコン含有部61に接する。
図15(a)〜図15(g)は、窒化物半導体ウェーハ114の製造手順を模式的に表す。図15(a)〜図15(g)に表す製造手順は、第1シリコン含有部61の部分を除いて窒化物半導体ウェーハ110、112の製造にも適用することができる。窒化物半導体ウェーハ114において、各層51〜56の結晶成長方法には、例えば、MOCVD法が用いられる。
図16(a)は、第1シリコン含有部61の堆積時間DT1と、第6層56の刃状成分の転位密度Ne6と、の関係を表す。図16(a)の縦軸は、第6層56の刃状成分の転位密度Ne6(cm−2)であり、横軸は、第1シリコン含有部61の堆積時間DT1(秒)である。
第5層55の厚さを変化させると、第5層55の上面の平坦性が変化する。例えば、厚さが薄いと、上面には小さな塊が密集したモフォロジーで、厚くなるにつれて塊が大きくなっていく。この上に第1シリコン含有部61を積層させた後、第6層56を成長させる。第6層56のGaNは、始め島状成長し、次第に横方向成長が進む。そして、やがて島同士が一体化し、平坦化する。島同士の一体化がスムーズである場合には、転位が減少する。一方、島のファセット面がずれていたり、島サイズがバラバラだと、反対に転位は増加する。
図17に表したように、窒化物半導体ウェーハ116は、第7層57と第2シリコン含有部62とをさらに含む。このように、第1及び第2の2つのシリコン含有部61、62を設けてもよい。これにより、例えば、転位密度をより低減させることができる。
以上により、窒化物半導体ウェーハ116が完成する。
図18は、第2シリコン含有部62の堆積時間DT2と、第6層56の刃状成分の転位密度Ne6と、の関係を表す。図18の縦軸は、第6層56の刃状成分の転位密度Ne6(cm−2)であり、図18の横軸は、第2シリコン含有部62の堆積時間DT2(秒)である。
図19(a)に表したように、窒化物半導体ウェーハ114aは、窒化物半導体ウェーハ114の上に機能層10sを設けたものである。
図19(b)に表したように、窒化物半導体ウェーハ116aは、窒化物半導体ウェーハ116の上に機能層10sを設けたものである。
第1シリコン含有部61や第2シリコン含有部62を設けた場合においても、機能層10sは、例えば、第6層56の上に設けられる。
図20は、第2の実施形態に係る窒化物半導体素子を模式的に表す断面図である。
図20に表したように、本実施形態に係る窒化物半導体素子210は、機能層10sを備える。
窒化物半導体素子210は、窒化物半導体ウェーハ110によって製造される。機能層10sは、下地層50の上に形成される。下地層50は、例えば、基板と、第1層51〜第6層56と、を含む。基板40、第1層51〜第6層56及び機能層10sに関しては、第1の実施形態に関して説明したものを適用することができる。
これにより、機能層10sのクラックを抑制した窒化物半導体素子210が提供される。
図21は、第3の実施形態に係る窒化物半導体ウェーハの製造方法を例示するフローチャート図である。
図21に表したように、実施形態に係る窒化物半導体ウェーハの製造方法は、第1層51を形成するステップS110と、第2層52を形成するステップS120と、第3層53を形成するステップS130と、第4層54を形成するステップS140と、第5層55を形成するステップS150と、第6層56を形成するステップS160と、を含む。
これにより、第6層56のクラックを抑制した窒化物半導体ウェーハが製造される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
Claims (17)
- シリコン基板と、
前記シリコン基板の上に設けられ、Alx1Ga1−x1N(0.8≦x1≦1)で組成が一定の第1層と、
前記第1層の上に設けられ、Alx2Ga1−x2N(0.7≦x2<0.8)で組成が一定の第2層と、
前記第2層の上に設けられ、Alx3Ga1−x3N(0.4≦x3≦0.6)で組成が一定の第3層と、
前記第3層の上に設けられ、Alx4Ga1−x4Nの第4層と、
前記第4層の上に設けられ、Alx5Ga1−x5N(0.1≦x5≦0.2)で組成が一定の第5層と、
前記第5層の上に設けられ、Alx6Ga1−x6N(0≦x6<x5)で組成が一定の第6層と、
を備え、
前記第2層は、前記第1層に接し、
前記第3層は、前記第2層に接し、
前記第4層は、前記第3層に接し、
前記第5層は、前記第4層に接し、
前記第6層は、前記第5層に接し、
前記第4層の組成比x4は、前記第3層から前記第5層に向かう第1方向において減少し、
前記組成比x4の最大値は、前記第3層の組成比x3以下であり、
前記組成比x4の最小値は、前記第5層の組成比x5以上である窒化物半導体ウェーハ。 - 前記第1層の前記第1方向の長さは、150nm以上250nm以下である請求項1記載の窒化物半導体ウェーハ。
- 前記第2層の前記第1方向の長さは、80nm以上200nm以下である請求項1または2に記載の窒化物半導体ウェーハ。
- 前記第3層の前記第1方向の長さは、80nm以上200nm以下である請求項1〜3のいずれか1つに記載の窒化物半導体ウェーハ。
- 前記第4層の前記第1方向の長さは、500nm以上700nm以下である請求項1〜4のいずれか1つに記載の窒化物半導体ウェーハ。
- 前記第5層の前記第1方向の長さは、100nm以上250nm以下である請求項1〜5のいずれか1つに記載の窒化物半導体ウェーハ。
- 前記第2層の前記第1方向の長さと、前記第3層の前記第1方向の長さと、前記第4層の前記第1方向の長さと、前記第5層の前記第1方向の長さと、の和は、800nm以上1200nm以下である請求項1〜6のいずれか1つに記載の窒化物半導体ウェーハ。
- シリコン基板と、
前記シリコン基板の上に設けられ、Al x1 Ga 1−x1 N(0.8≦x1≦1)で組成が一定の第1層と、
前記第1層の上に設けられ、Al x2 Ga 1−x2 N(0.7≦x2<0.8)で組成が一定の第2層と、
前記第2層の上に設けられ、Al x3 Ga 1−x3 N(0.4≦x3≦0.6)で組成が一定の第3層と、
前記第3層の上に設けられ、Al x4 Ga 1−x4 Nの第4層と、
前記第4層の上に設けられ、Al x5 Ga 1−x5 N(0.1≦x5≦0.2)で組成が一定の第5層と、
前記第5層の上に設けられ、Al x6 Ga 1−x6 N(0≦x6<x5)で組成が一定の第6層と、
前記第5層と前記第6層との間に設けられ、シリコンを含む第1シリコン含有部と、
を備え、
前記第2層は、前記第1層に接し、
前記第3層は、前記第2層に接し、
前記第4層は、前記第3層に接し、
前記第5層は、前記第4層に接し、
前記第1シリコン含有部は、前記第5層に接し、
前記第6層は、前記第1シリコン含有部に接し、
前記第4層の組成比x4は、前記第3層から前記第5層に向かう第1方向において減少し、
前記組成比x4の最大値は、前記第3層の組成比x3以下であり、
前記組成比x4の最小値は、前記第5層の組成比x5以上である、窒化物半導体ウェーハ。 - シリコン基板と、
前記シリコン基板の上に設けられ、Al x1 Ga 1−x1 N(0.8≦x1≦1)で組成が一定の第1層と、
前記第1層の上に設けられ、Al x2 Ga 1−x2 N(0.7≦x2<0.8)で組成が一定の第2層と、
前記第2層の上に設けられ、Al x3 Ga 1−x3 N(0.4≦x3≦0.6)で組成が一定の第3層と、
前記第3層の上に設けられ、Al x4 Ga 1−x4 Nの第4層と、
前記第4層の上に設けられ、Al x5 Ga 1−x5 N(0.1≦x5≦0.2)で組成が一定の第5層と、
前記第5層の上に設けられ、Al x6 Ga 1−x6 N(0≦x6<x5)で組成が一定の第6層と、
前記第5層と前記第6層との間に設けられ、シリコンを含む第1シリコン含有部と、
前記第1シリコン含有部と前記第6層との間に設けられ、Alx7Ga1−x7N(0≦x7<x5)を含む第7層と、
前記第6層と前記第7層との間に設けられ、シリコンを含む第2シリコン含有部と、
を備え、
前記第2層は、前記第1層に接し、
前記第3層は、前記第2層に接し、
前記第4層は、前記第3層に接し、
前記第5層は、前記第4層に接し、
前記第1シリコン含有部は、前記第5層に接し、
前記第7層は、前記第1シリコン含有部に接し、
前記第2シリコン含有部は、前記第7層に接し、
前記第6層は、前記第2シリコン含有部に接し、
前記第4層の組成比x4は、前記第3層から前記第5層に向かう第1方向において減少し、
前記組成比x4の最大値は、前記第3層の組成比x3以下であり、
前記組成比x4の最小値は、前記第5層の組成比x5以上である、窒化物半導体ウェーハ。 - 前記組成比x4の最大値は、前記第3層の組成比x3と同じであり、
前記組成比x4の最小値は、前記第5層の組成比x5と同じである請求項1〜9のいずれか1つに記載の窒化物半導体ウェーハ。 - 前記第6層の上に設けられ、窒化物半導体を含む機能層をさらに備えた請求項1〜10のいずれか1つに記載の窒化物半導体ウェーハ。
- 前記機能層は、
第1導電形の第1半導体層と、
前記第1半導体層の上に設けられた発光層と、
前記発光層の上に設けられ、第2導電形の第2半導体層と、
を含む請求項11記載の窒化物半導体ウェーハ。 - 前記発光層は、
複数の障壁層と、
複数の井戸層と、
を含み、
前記複数の障壁層と前記複数の井戸層とは、前記第1方向に交互に積層され、
前記複数の障壁層のそれぞれのバンドギャップエネルギーは、前記複数の井戸層のそれぞれのバンドギャップエネルギーよりも大きい請求項12記載の窒化物半導体ウェーハ。 - 前記機能層は、前記第1半導体層と前記発光層との間に設けられた積層部をさらに含み、
前記積層部は、
複数の高バンドギャップエネルギー層と、
複数の低バンドギャップエネルギー層と、
を含み、
前記複数の高バンドギャップエネルギー層と前記複数の低バンドギャップエネルギー層とは、前記第1方向に交互に積層され、
前記複数の低バンドギャップエネルギー層のそれぞれのバンドギャップエネルギーは、前記複数の高バンドギャップエネルギー層のそれぞれのバンドギャップエネルギーよりも低い請求項12または13に記載の窒化物半導体ウェーハ。 - 下地層の上に形成され、窒化物半導体を含む機能層を備え、
前記下地層は、
シリコン基板の上に形成され、Alx1Ga1−x1N(0.8≦x1≦1)で組成が一定の第1層と、
前記第1層の上に形成され、Alx2Ga1−x2N(0.7≦x2<0.8)で組成が一定の第2層と、
前記第2層の上に形成され、Alx3Ga1−x3N(0.4≦x3≦0.6)で組成が一定の第3層と、
前記第3層の上に形成され、Alx4Ga1−x4Nの第4層と、
前記第4層の上に形成され、Alx5Ga1−x5N(0.1≦x5≦0.2)で組成が一定の第5層と、
前記第5層の上に形成され、Alx6Ga1−x6N(0≦x6<x5)で組成が一定の第6層と、
を含み、
前記第2層は、前記第1層に接し、
前記第3層は、前記第2層に接し、
前記第4層は、前記第3層に接し、
前記第5層は、前記第4層に接し、
前記第6層は、前記第5層に接し、
前記第4層の組成比x4は、前記第3層から前記第5層に向かう第1方向において減少し、
前記組成比x4の最大値は、前記第3層の組成比x3以下であり、
前記組成比x4の最小値は、前記第5層の組成比x5以上である窒化物半導体素子。 - シリコン基板の上に、Alx1Ga1−x1N(0.8≦x1≦1)で組成が一定の第1層を形成する工程と、
前記第1層の上に、Alx2Ga1−x2N(0.7≦x2<0.8)で組成が一定の第2層を形成する工程と、
前記第2層の上に、Alx3Ga1−x3N(0.4≦x3≦0.6)で組成が一定の第3層を形成する工程と、
前記第3層の上に、Alx4Ga1−x4Nの第4層を形成する工程と、
前記第4層の上に、Alx5Ga1−x5N(0.1≦x5≦0.2)で組成が一定の第5層を形成する工程と、
前記第5層の上に、Alx6Ga1−x6N(0≦x6<x5)で組成が一定の第6層を形成する工程と、
を備え、
前記第2層は、前記第1層に接し、
前記第3層は、前記第2層に接し、
前記第4層は、前記第3層に接し、
前記第5層は、前記第4層に接し、
前記第6層は、前記第5層に接し、
前記第4層を形成する前記工程は、前記第4層の組成比x4を前記第3層から前記第5層に向かう第1方向において減少させ、前記組成比x4の最大値を前記第3層の組成比x3以下とし、前記組成比x4の最小値を前記第5層の組成比x5以上とすることを含む窒化物半導体ウェーハの製造方法。 - 前記Alx1Ga1−x1Nの成長温度は、1000℃以上1300℃以下である請求項16記載の窒化物半導体ウェーハの製造方法。
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