JP6120743B2

JP6120743B2 - Plate-shaped material transfer device

Info

Publication number: JP6120743B2
Application number: JP2013200419A
Authority: JP
Inventors: 斌呉; 将二郎山田
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2013-09-26
Filing date: 2013-09-26
Publication date: 2017-04-26
Anticipated expiration: 2033-09-26
Also published as: JP2015070001A

Description

本発明は、板状物を搬送する板状物の搬送装置に関する。 The present invention relates to a plate-like material conveying apparatus for conveying a plate-like material.

半導体ウェーハのダイシングを含む製造後工程では、通常、半導体ウェーハおよびリング状に形成された環状フレームがダイシングテープに貼着され、半導体ウェーハがダイシングテープを介して環状フレームに支持された状態で分割される。近年、電気機器の軽量化、小型化を達成するために、半導体ウェーハの厚みをより薄く、例えば５０μｍ程度にするためのいわゆる先ダイシング法と称される分割技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この分割技術では、ダイシング（溝形成）工程において半導体ウェーハを環状フレームに固定することなく、デバイス面側を保持して搬送することとなる。この搬送に用いられる搬送装置として、ベルヌーイの原理を利用してデバイス面を非接触状態で吸引保持するものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。 In a post-manufacturing process including dicing of a semiconductor wafer, a semiconductor wafer and an annular frame formed in a ring shape are usually attached to a dicing tape, and the semiconductor wafer is divided while being supported by the annular frame via the dicing tape. The In recent years, in order to reduce the weight and size of electrical equipment, a dividing technique called a so-called first dicing method for reducing the thickness of a semiconductor wafer to, for example, about 50 μm has been proposed (for example, patents). Reference 1). In this division technique, the semiconductor wafer is transported while holding the device surface side without being fixed to the annular frame in the dicing (groove formation) step. As a transport device used for this transport, a device that suctions and holds the device surface in a non-contact state using the Bernoulli principle has been proposed (for example, see Patent Document 2).

特開平１１−４０５２０号公報JP 11-40520 A 特開平５−３６８１６号公報JP-A-5-36816

ベルヌーイの原理を利用した搬送装置は、上記先ダイシング法に用いられるのみならず、近年開発されたエッジトリミング技術においても、その後の裏面研削工程に不要な環状フレームを省くという目的で用いられるようになってきた。そして、エッジトリミング技術の対象となる半導体ウェーハは、様々な状態のものがあり、なかにはある程度研削されているものや、他の材料が積層されていることにより反っているものもある。例えば、反った半導体ウェーハの場合には、ベルヌーイの原理を利用した搬送装置による搬送の際に、搬送パッドが半導体ウェーハに接触する虞があった。 The conveying device using Bernoulli's principle is used not only for the above-mentioned dicing method, but also for the purpose of omitting an unnecessary annular frame in the subsequent back grinding process in the edge trimming technology developed in recent years. It has become. Semiconductor wafers to be subjected to the edge trimming technique are in various states, and some of them are ground to some extent, and others are warped by being laminated with other materials. For example, in the case of a warped semiconductor wafer, there is a concern that the transport pad may come into contact with the semiconductor wafer when transported by a transport device using the Bernoulli principle.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、搬送装置により搬送される板状物の状態にかかわらず、板状物を吸引保持することができる板状物の搬送装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and provides a plate-like material conveyance device capable of sucking and holding a plate-like material regardless of the state of the plate-like material conveyed by the conveyance device. With the goal.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、板状物を吸引保持する吸引保持手段と、前記吸引保持手段を第１の所定の位置から第２の所定の位置へと移動させる移動手段と、を備える板状物の搬送装置において、前記吸引保持手段は、前記移動手段に連結したベース部と、エアーを噴射して負圧を生成し、非接触状態で板状物を吸引する非接触式吸引保持器と、前記ベース部に前記非接触式吸引保持器を支持する支持手段と、を備え、前記支持手段は、先端が前記非接触式吸引保持器と接続する本体部と、エアー供給源と連通する柔軟なエアー配管が接続される略球状の頭部と、を具備する管継手と、前記ベース部に配設され前記頭部を内部で支持する貫通穴を有する支持部と、を備え、前記貫通穴は、前記管継手の前記頭部が隙間を持って遊嵌する凹部を内側に有し、前記凹部の内壁には、前記管継手の前記頭部を点接触で支持する球状の突出部が少なくとも３個配設され、前記ベース部に対して前記非接触式吸引保持器を遊動可能とし、前記球状の突出部は、前記凹部の内壁から前記管継手の前記頭部に向かって進退可能に配設されたプランジャのボール部であることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention provides a suction holding means for sucking and holding a plate-like object, and the suction holding means from a first predetermined position to a second predetermined position. In the apparatus for transporting a plate-like object, the suction holding means generates a negative pressure by injecting air and a plate-like object in a non-contact state. And a support means for supporting the non-contact type suction holder on the base portion, and the support means has a body whose tip is connected to the non-contact type suction holder. And a substantially spherical head to which a flexible air pipe communicating with an air supply source is connected, and a through hole that is disposed in the base and supports the head inside A support portion, wherein the through hole is the head portion of the pipe joint. There is a concave portion that fits loosely with a gap inside, and at least three spherical protrusions that support the head portion of the pipe joint by point contact are disposed on the inner wall of the concave portion, and the base portion has On the other hand, the non-contact type suction holder can be moved freely, and the spherical protruding portion is a plunger ball portion disposed so as to be able to advance and retract from the inner wall of the concave portion toward the head portion of the pipe joint. It is characterized by.

また、上記板状物の搬送装置において、前記ベース部に支持され、前記非接触式吸引保持器に保持された前記板状物の水平移動を規制する規制手段を、前記板状物の外周領域に備えることが好ましい。 Further, in the plate-like object conveying apparatus, a restricting means for restricting horizontal movement of the plate-like object supported by the base portion and held by the non-contact type suction holder is an outer peripheral region of the plate-like object. It is preferable to prepare for.

本発明によれば、非接触式吸引保持器を遊動可能としたので、搬送装置により搬送される板状物の状態にかかわらず、板状物を非接触状態で吸引保持することができるという効果を奏する。 According to the present invention, since the non-contact suction holder can be moved freely, the plate-like object can be sucked and held in a non-contact state regardless of the state of the plate-like object conveyed by the conveying device. Play.

図１は、実施形態に係る板状物の搬送装置の構成例を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a plate-shaped article transport device according to an embodiment. 図２は、吸引保持手段を示す分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view showing the suction holding means. 図３は、平坦な板状物を保持した状態の吸引保持手段を示す図である。FIG. 3 is a view showing the suction holding means in a state where a flat plate-like object is held. 図４は、湾曲した板状物を保持した状態の吸引保持手段を示す図である。FIG. 4 is a view showing the suction holding means in a state where a curved plate-like object is held.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the structures described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.

〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る板状物の搬送装置の構成例を示す図である。図２は、吸引保持手段を示す分解斜視図である。図３は、平坦な板状物を保持した状態の吸引保持手段を示す図である。図４は、湾曲した板状物を保持した状態の吸引保持手段を示す図である。なお、図３および図４は、図１に示すＡ−Ａ断面の断面図であり、一部が省略された図である。 Embodiment
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a plate-shaped article transport device according to an embodiment. FIG. 2 is an exploded perspective view showing the suction holding means. FIG. 3 is a view showing the suction holding means in a state where a flat plate-like object is held. FIG. 4 is a view showing the suction holding means in a state where a curved plate-like object is held. 3 and 4 are cross-sectional views taken along the line AA shown in FIG. 1 and are partially omitted.

搬送装置１は、板状物Ｗを搬送するものであり、図１に示すように、吸引保持手段２と、移動手段３とを備え、板状物Ｗを非接触で吸引保持することで搬送するものである。搬送装置１は、板状物Ｗの加工処理において前工程（例えば、切削工程、研削・研磨工程、位置合わせ工程など）が終了した板状物Ｗを前工程の領域から後工程（例えば、洗浄・乾燥工程、板状物Ｗの収容工程など）を行う領域まで搬送するものである。ここで、板状物Ｗは、特に限定されないが、例えば、シリコンウェーハ、ガリウムヒ素、シリコンカーバイト等の半導体ウェーハや、半導体製品のパッケージ、セラミックス、ガラス、サファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）系の無機材料基板、液晶ディスプレイドライバ等の各種電子部品、さらには、ミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料が挙げられ、搬送装置１により搬送可能な形状のものである。なお、本実施形態では、円盤状の板状物Ｗを搬送する場合について説明する。 The conveying device 1 conveys the plate-like object W, and as shown in FIG. 1, includes a suction holding means 2 and a moving means 3, and conveys the plate-like object W by sucking and holding it without contact. To do. The conveying device 1 removes the plate-like object W, which has been subjected to the previous process (for example, the cutting process, the grinding / polishing process, the alignment process) in the processing of the plate-like object W from the area of the previous process (for example, cleaning). -It conveys to the area | region which performs a drying process, the accommodation process of the plate-shaped article W, etc.). Here, the plate-like object W is not particularly limited. For example, a semiconductor wafer such as a silicon wafer, gallium arsenide, or silicon carbide, a semiconductor product package, ceramics, glass, sapphire (Al ₂ O ₃ ) inorganic Various kinds of electronic parts such as a material substrate and a liquid crystal display driver, and various kinds of processing materials that require a processing position accuracy on the order of microns can be cited, and the shape can be conveyed by the conveying device 1. In the present embodiment, a case where a disk-shaped plate-like object W is conveyed will be described.

吸引保持手段２は、板状物Ｗを吸引保持するものであり、図２に示すように、ベース部２１と、非接触式吸引保持器２２と、支持手段２３とを含み、さらに規制手段２４を含んで構成されている。ベース部２１は、移動手段３と連結されており、移動手段３の動作に応じて移動するものである。ベース部２１は、円盤状に形成されており、非接触式吸引保持器２２と、支持手段２３と、規制手段２４とが配設されている。ベース部２１は、一組の非接触式吸引保持器２２および支持手段２３に対応する位置に開口部２１ａが形成されている。開口部２１ａは、後述する非接触式吸引保持器２２がベース部２１に対して回動した際に、管継手２５がベース部２１に接触しない大きさに形成されている。ベース部２１は、開口部２１ａの周囲に締結穴２１ｂが形成されている。ここで、一組の非接触式吸引保持器２２および支持手段２３は、ベース部２１に配設される数について限定はないが、１つの場合はベース部２１の中央部、２つ以上の場合は周方向に等間隔に配設されていることが好ましい。また、規制手段２４は、ベース部２１に配設される数について限定はないが、ベース部２１の外周端部でかつ板状物Ｗと接触することができる位置に配設されていれば、１以上（２以上の場合は周方向に等間隔に）配設されていればよい。また、締結穴２１ｂは、数について限定はないが、後述する締結部材２８により支持手段２３をベース部２１に固定することができれば１以上（２以上の場合は周方向に等間隔に）形成されていればよい。本実施形態では、一組の非接触式吸引保持器２２および支持手段２３が等間隔に３箇所配設され、規制手段２４が等間隔に３箇所で、かつ周方向に隣り合う一組の非接触式吸引保持器２２および支持手段２３の間に配設され、締結穴２１ｂが等間隔に３箇所形成されている場合について説明する。 The suction holding means 2 sucks and holds the plate-like object W. As shown in FIG. 2, the suction holding means 2 includes a base portion 21, a non-contact type suction holder 22, and a support means 23, and further restricting means 24. It is comprised including. The base portion 21 is connected to the moving means 3 and moves according to the operation of the moving means 3. The base portion 21 is formed in a disk shape, and a non-contact type suction holder 22, a support unit 23, and a regulation unit 24 are disposed. The base 21 has an opening 21 a at a position corresponding to a set of non-contact type suction holder 22 and support means 23. The opening 21 a is formed in such a size that the pipe joint 25 does not come into contact with the base portion 21 when a non-contact type suction holder 22 described later rotates with respect to the base portion 21. The base portion 21 has a fastening hole 21b formed around the opening 21a. Here, the number of the non-contact type suction holders 22 and the support means 23 arranged in the base portion 21 is not limited, but in the case of one, the central portion of the base portion 21 and in the case of two or more Are preferably arranged at equal intervals in the circumferential direction. Further, the number of the restricting means 24 disposed on the base portion 21 is not limited. However, as long as the restricting means 24 is disposed at the outer peripheral end of the base portion 21 and at a position where it can contact the plate-like object W, 1 or more (in the case of 2 or more, it should just be arrange | positioned at equal intervals in the circumferential direction). Further, the number of the fastening holes 21b is not limited. However, if the support means 23 can be fixed to the base portion 21 by a fastening member 28 to be described later, one or more fastening holes 21b are formed (equal intervals in the circumferential direction in the case of two or more). It only has to be. In the present embodiment, a set of non-contact type suction holders 22 and support means 23 are arranged at three equal intervals, and a regulation means 24 is set at three equal intervals and a set of non-adjacent sets adjacent to each other in the circumferential direction. The case where it is arrange | positioned between the contact-type suction holder 22 and the support means 23, and the three fastening holes 21b are formed at equal intervals is demonstrated.

非接触式吸引保持器２２は、エアーを噴射して負圧を形成し、非接触状態で、板状物Ｗを吸引するものである。非接触式吸引保持器２２は、ベルヌーイの原理によって板状物Ｗを吸引保持するものであり、円盤状の本体部２２ａを有する。本体部２２ａには、図３に示すように、内部にエアー流入部２２ｂと、エアー通路部２２ｃと、エアー噴出部２２ｄと、案内部２２ｅとが形成されている。エアー流入部２２ｂは、非接触式吸引保持器２２にエアーを流入させるものであり、ベース部２１と対向する面である上面に形成されている。エアー流入部２２ｂは、図１に示すエアー供給源４から供給されるエアーが流入する。エアー通路部２２ｃは、図３に示すように、エアー流入部２２ｂとエアー噴出部２２ｄとを連通するものである。エアー噴出部２２ｄは、流入したエアーを対向する板状物Ｗに向けて噴射するものであり、板状物Ｗと対向する面である下面に形成されている。エアー噴出部２２ｄは、非接触式吸引保持器２２を下面から見た場合に円形状に形成された開口部であり、中央部に案内部２２ｅが設けられ、同図矢印Ｂに示すように、流入したエアーを放射状に外部に噴出する。 The non-contact type suction holder 22 injects air to form a negative pressure and sucks the plate-like object W in a non-contact state. The non-contact suction holder 22 sucks and holds the plate-like object W according to Bernoulli's principle, and has a disk-shaped main body portion 22a. As shown in FIG. 3, an air inflow portion 22b, an air passage portion 22c, an air ejection portion 22d, and a guide portion 22e are formed in the main body portion 22a. The air inflow portion 22 b allows air to flow into the non-contact suction holder 22, and is formed on the upper surface that is a surface facing the base portion 21. Air supplied from the air supply source 4 shown in FIG. 1 flows into the air inflow portion 22b. As shown in FIG. 3, the air passage portion 22c communicates the air inflow portion 22b and the air ejection portion 22d. The air ejection part 22d ejects the inflowed air toward the opposing plate-like object W, and is formed on the lower surface that is the surface facing the plate-like object W. The air ejection part 22d is an opening formed in a circular shape when the non-contact type suction holder 22 is viewed from the lower surface, and a guide part 22e is provided in the center part. The inflowing air is ejected radially outward.

支持手段２３は、ベース部２１に非接触式吸引保持器２２を回転自在に支持するものであり、図２および図３に示すように、管継手２５と、第１支持部２６と第２支持部２７とからなる支持部とを含んで構成されている。管継手２５は、エアー供給源４からのエアーを非接触式吸引保持器２２に供給するものであり、本体部２５ａと、頭部２５ｂとを含んで構成され、内部にエアー通路部２５ｃが本体部２５ａの先端（頭部２５ｂ側と反対側の端部）まで形成されている。本体部２５ａは、非接触式吸引保持器２２と接続されるものであり、円筒形状に形成され、先端が非接触式吸引保持器２２と接続されている。本実施形態では、本体部２５ａがエアー流入部２２ｂに挿入された状態で、締結手段、例えば本体部２５ａの先端外周に形成された雄ねじが、エアー流入部２２ｂに形成された雌ねじに螺合することで締結される。これにより、エアー通路部２５ｃとエアー流入部２２ｂとが連通する。頭部２５ｂは、支持部に回転自在に支持される部分であり、略球状（球の上下を切り欠いた形状）に形成されている。頭部２５ｂは、その外周面のうち球状の表面が鏡面状に形成されていることが好ましい。頭部２５ｂは、エアー配管５と接続されるものであり、エアー通路部２５ｃと連通するエアー流入部２５ｄが本体部２５ａと反対側の面である上面に形成されている。本実施形態では、エアー配管５の先端がエアー流入部２５ｄに挿入された状態で、締結手段、例えばエアー配管５の先端外周に形成された雄ねじが、エアー流入部２５ｄに形成された雌ねじに螺合することで締結される。これにより、エアー配管５とエアー流入部２５ｄとが連通する。 The support means 23 rotatably supports the non-contact type suction holder 22 on the base portion 21, and as shown in FIGS. 2 and 3, a pipe joint 25, a first support portion 26, and a second support. And a support portion composed of the portion 27. The pipe joint 25 supplies air from the air supply source 4 to the non-contact type suction holder 22, and includes a main body portion 25 a and a head portion 25 b, and the air passage portion 25 c is included in the main body. It is formed up to the tip of the portion 25a (the end opposite to the head 25b side). The main body portion 25 a is connected to the non-contact type suction holder 22, is formed in a cylindrical shape, and has a tip connected to the non-contact type suction holder 22. In this embodiment, with the main body portion 25a inserted into the air inflow portion 22b, the fastening means, for example, a male screw formed on the outer periphery of the front end of the main body portion 25a, is screwed into a female screw formed in the air inflow portion 22b. It is concluded by that. Thereby, the air passage part 25c and the air inflow part 22b communicate. The head portion 25b is a portion that is rotatably supported by the support portion, and is formed in a substantially spherical shape (a shape obtained by cutting the top and bottom of the sphere). The head 25b preferably has a spherical surface of the outer peripheral surface formed in a mirror shape. The head portion 25b is connected to the air pipe 5, and an air inflow portion 25d communicating with the air passage portion 25c is formed on the upper surface which is the surface opposite to the main body portion 25a. In the present embodiment, in a state where the tip of the air pipe 5 is inserted into the air inflow portion 25d, a male screw formed on the outer periphery of the fastening means, for example, the tip of the air pipe 5, is screwed into the female screw formed in the air inflow portion 25d. It is concluded by joining. Thereby, the air piping 5 and the air inflow part 25d communicate.

ここで、エアー配管５は、図１に示すエアー供給源４に接続されており、管継手２５を介してエアー供給源４から供給されるエアーを非接触式吸引保持器２２に供給するものであり、内部にエアー通路部５ａを有する配管であり、例えばフレキシブルチューブなどの柔軟な配管である。従って、エアー配管５は、後述するベース部２１に対する非接触式吸引保持器２２の姿勢が変化する際に、この姿勢変化を規制することを抑制する、つまり姿勢変化を許容することができる。なお、エアー配管５は、移動手段３により追従できるように支持されていてもよい。また、エアー供給源４と非接触式吸引保持器２２との間には、図１に示すエアー制御弁６が設けられており、図示しない制御装置によりエアー制御弁６の開閉制御を行うことにより、非接触式吸引保持器２２に供給されるエアー供給量を制御、すなわち非接触式吸引保持器２２の吸引力を制御することができる。 Here, the air pipe 5 is connected to the air supply source 4 shown in FIG. 1, and supplies air supplied from the air supply source 4 to the non-contact type suction holder 22 through the pipe joint 25. Yes, it is a pipe having an air passage portion 5a inside, for example, a flexible pipe such as a flexible tube. Therefore, the air pipe 5 can suppress restriction of the posture change, that is, allow the posture change when the posture of the non-contact suction holder 22 changes with respect to the base portion 21 described later. The air pipe 5 may be supported so that it can be followed by the moving means 3. Further, an air control valve 6 shown in FIG. 1 is provided between the air supply source 4 and the non-contact type suction holder 22, and opening / closing control of the air control valve 6 is performed by a control device (not shown). The air supply amount supplied to the non-contact type suction holder 22 can be controlled, that is, the suction force of the non-contact type suction holder 22 can be controlled.

第１支持部２６と第２支持部２７とからなる支持部は、ベース部２１に配設され、第１貫通穴２６ａと第２貫通穴２７ａとからなる貫通穴を有する。貫通穴である第１貫通穴２６ａと第２貫通穴２７ａは、内部で管継手２５の頭部２５ｂを回動可能に支持するものである。第１支持部２６は、ベース部２１に直接配設されるものであり、円盤形状に形成され、中央部に第１貫通穴２６ａが形成されている。第１支持部２６は、ベース部２１の締結穴２１ｂにそれぞれ対応する連通穴２６ｂが第１貫通穴２６ａの周囲に形成されている。第２支持部２７は、第１支持部２６に積層されて配設されるものであり、円盤形状に形成され、中央部に第２貫通穴２７ａが形成されている。第２支持部２７は、第１支持部２６の連通穴２６ｂにそれぞれ対応する連通穴２７ｂが第２貫通穴２７ａの周囲に形成されている。 The support part composed of the first support part 26 and the second support part 27 is disposed in the base part 21 and has a through hole made up of the first through hole 26a and the second through hole 27a. The 1st through-hole 26a and 2nd through-hole 27a which are through-holes support the head 25b of the pipe joint 25 so that rotation is possible inside. The 1st support part 26 is directly arrange | positioned by the base part 21, is formed in a disk shape, and the 1st through-hole 26a is formed in the center part. In the first support portion 26, communication holes 26 b corresponding to the fastening holes 21 b of the base portion 21 are formed around the first through holes 26 a. The 2nd support part 27 is laminated | stacked and arrange | positioned by the 1st support part 26, is formed in a disk shape, and the 2nd through-hole 27a is formed in the center part. In the second support portion 27, communication holes 27b corresponding to the communication holes 26b of the first support portion 26 are formed around the second through holes 27a.

ここで、第１貫通穴２６ａと第２貫通穴２７ａとからなる貫通穴は、内側に凹部を有する。本実施形態では、第１貫通穴２６ａと第２貫通穴２７ａは、凹部である第１凹部２６ｃおよび第２凹部２７ｃをそれぞれ内側に有している。第１凹部２６ｃおよび第２凹部２７ｃは、第１貫通穴２６ａおよび第２貫通穴２７ａの一部を拡径することで形成されており、第１支持部２６と第２支持部２７とをベース部２１に配設した際に、互いに連通する。本実施形態では、第１凹部２６ｃと第２凹部２７ｃは、径の大きい底面と径の小さい上面とこれらを接続する側面（内壁）とからなる円錐台形状に形成され、底面が互いに対向した状態で連通している。第１凹部２６ｃおよび第２凹部２７ｃは、それぞれ内壁によって頭部２５ｂよりも広い空間を形成する。第１凹部２６ｃおよび第２凹部２７ｃは、第１凹部２６ｃの内壁から後述する突出部２６ｄが最大突出した状態で内部に頭部２５ｂが位置し、突出部２６ｄが頭部２５ｂを支持した際、頭部２５ｂが隙間を持って回動可能に遊嵌するように形成されている。ここで、頭部２５ｂが回動できる方向には、管継手２５の軸方向まわりの回転方向および鉛直方向を含む平面において、鉛直方向に対して傾斜することができる方向が含まれる。 Here, the through hole made up of the first through hole 26a and the second through hole 27a has a concave portion inside. In the present embodiment, the first through hole 26a and the second through hole 27a each have a first concave portion 26c and a second concave portion 27c that are concave portions on the inner side. The first concave portion 26c and the second concave portion 27c are formed by expanding a part of the first through hole 26a and the second through hole 27a, and are based on the first support portion 26 and the second support portion 27. When arranged in the portion 21, they communicate with each other. In the present embodiment, the first recess 26c and the second recess 27c are formed in a truncated cone shape including a bottom surface having a large diameter, a top surface having a small diameter, and a side surface (inner wall) connecting them, and the bottom surfaces face each other. It communicates with. The first recess 26c and the second recess 27c each form a space wider than the head 25b by the inner wall. When the first concave portion 26c and the second concave portion 27c have a protruding portion 26d described later that protrudes from the inner wall of the first concave portion 26c to the maximum, the head portion 25b is located inside, and the protruding portion 26d supports the head portion 25b. The head 25b is formed so as to be loosely fitted with a gap. Here, the direction in which the head portion 25b can rotate includes a direction that can be inclined with respect to the vertical direction on a plane including the rotational direction around the axial direction of the pipe joint 25 and the vertical direction.

第１凹部２６ｃの内壁には、突出部２６ｄが配設されている。本実施形態では、突出部２６ｄは、第１凹部２６ｃの内壁の周方向に等間隔に３個配設されている。突出部２６ｄは、常に内壁から突出するものである。突出部２６ｄは、いわゆるボールプランジャのボール部である。ボールプランジャは、ボール部である突出部２６ｄと、リング状部２６ｅと、スプリング部２６ｆと、スペーサ部２６ｇとを含み、各部２６ｄ〜２６ｇがプランジャ穴２６ｈに内装されて構成されている。突出部２６ｄは、球状に形成されており、略球状に形成された頭部２５ｂと点接触可能である。リング状部２６ｅは、突出部２６ｄよりも小さい開口を有する環状に形成されている。リング状部２６ｅは、内壁と面一でプランジャ穴２６ｈに嵌め込まれている。スプリング部２６ｆは、プランジャ穴２６ｈの底部と突出部２６ｄとの間に設けられている。スプリング部２６ｆは、いわゆる圧縮コイルばねで構成されており、プランジャ穴２６ｈの底部とは反対側に突出部２６ｄを付勢している。スプリング部２６ｆは、非接触式吸引保持器２２が板状物Ｗを吸引保持する際に生じる吸引力に応じて圧縮可能なばね定数を有している。スペーサ部２６ｇは、スプリング部２６ｆと突出部２６ｄとの間に設けられている。スペーサ部２６ｇは、プランジャ穴２６ｈの穴径よりも小さい円形状の板状に形成されている。プランジャ穴２６ｈは、第１貫通穴２６ａの一部を拡径して形成された第１凹部２６ｃの内壁にあけられた穴であり、内装されたスプリング部２６ｆにより、突出部２６ｄを下から上へ付勢し、かつ、突出部２６ｄを外周から内周へ付勢する方向にあけられた穴である。プランジャ穴２６ｈは、第１凹部２６ｃの内壁の周方向に等間隔に３個配設されており、各プランジャ穴２６ｈの軸線が上記貫通穴の軸線上の一点（突出部２６ｄにより支持された頭部２５ｂの回動中心付近）で交差するように配設されていることが好ましい。プランジャ穴２６ｈは、突出部２６ｄの外形よりも大きい穴径で形成されている。プランジャ穴２６ｈは、その底部までの深さが突出部２６ｄの直径よりも深く形成されており、突出部２６ｄ、スペーサ部２６ｇ、スプリング部２６ｆを収容した状態で、スプリング部２６ｆが伸縮可能となる深さで形成されている。ここで、本実施形態では、突出部２６ｄが第１凹部２６ｃの内壁から頭部２５ｂに向かって進退可能であり、第１凹部２６ｃおよび第２凹部２７ｃのそれぞれ内壁が頭部２５ｂよりも広い空間を形成し、球状に形成された突出部２６ｄが頭部２５ｂを支持するので、支持手段２３および管継手２５を介してベース部２１に支持される非接触式吸引保持器２２がベース部２１に対して遊動可能となる。従って、上記貫通穴は、ベース部２１に対して非接触式吸引保持器２２を遊動可能とする。また、第１凹部２６ｃの内壁の周方向に等間隔に３個配設されたボールプランジャのボール部である突出部２６ｄにより、頭部２５ｂが上記貫通穴と同軸上に位置付けられ、本体部２２ａの自重でその下面が板状物Ｗに対して平行になるように遊動する。 A protrusion 26d is disposed on the inner wall of the first recess 26c. In the present embodiment, three protrusions 26d are arranged at equal intervals in the circumferential direction of the inner wall of the first recess 26c. The protruding portion 26d always protrudes from the inner wall. The protrusion 26d is a ball portion of a so-called ball plunger. The ball plunger includes a protruding portion 26d, which is a ball portion, a ring-shaped portion 26e, a spring portion 26f, and a spacer portion 26g, and each portion 26d to 26g is built in the plunger hole 26h. The protruding portion 26d is formed in a spherical shape, and can make point contact with the head portion 25b formed in a substantially spherical shape. The ring-shaped part 26e is formed in an annular shape having an opening smaller than the protruding part 26d. The ring-shaped part 26e is fitted in the plunger hole 26h flush with the inner wall. The spring portion 26f is provided between the bottom portion of the plunger hole 26h and the protruding portion 26d. The spring portion 26f is formed of a so-called compression coil spring, and biases the protruding portion 26d on the opposite side of the bottom of the plunger hole 26h. The spring portion 26f has a spring constant that can be compressed in accordance with the suction force generated when the non-contact suction holder 22 sucks and holds the plate-like object W. The spacer part 26g is provided between the spring part 26f and the protruding part 26d. The spacer part 26g is formed in a circular plate shape smaller than the hole diameter of the plunger hole 26h. The plunger hole 26h is a hole formed in the inner wall of the first concave portion 26c formed by expanding a part of the first through hole 26a, and the protruding portion 26d is moved upward from below by an internally mounted spring portion 26f. And a hole formed in a direction in which the protrusion 26d is urged from the outer periphery to the inner periphery. Three plunger holes 26h are arranged at equal intervals in the circumferential direction of the inner wall of the first recess 26c, and the axis of each plunger hole 26h is a point on the axis of the through hole (the head supported by the protrusion 26d). It is preferable that they are arranged so as to intersect each other at the vicinity of the rotation center of the portion 25b. The plunger hole 26h is formed with a larger hole diameter than the outer shape of the protruding portion 26d. The plunger hole 26h is formed so that the depth to the bottom thereof is deeper than the diameter of the protruding portion 26d, and the spring portion 26f can be expanded and contracted in a state where the protruding portion 26d, the spacer portion 26g, and the spring portion 26f are accommodated. It is formed with depth. Here, in the present embodiment, the protruding portion 26d can move forward and backward from the inner wall of the first recess 26c toward the head 25b, and the inner walls of the first recess 26c and the second recess 27c are wider than the head 25b. The projecting portion 26d formed in a spherical shape supports the head portion 25b, so that the non-contact type suction holder 22 supported by the base portion 21 via the support means 23 and the pipe joint 25 is attached to the base portion 21. On the other hand, it becomes possible to play. Accordingly, the through hole allows the non-contact type suction holder 22 to move freely with respect to the base portion 21. Further, the head portion 25b is positioned coaxially with the through hole by the projecting portions 26d, which are ball portions of the ball plunger, which are arranged at equal intervals in the circumferential direction of the inner wall of the first concave portion 26c, and the main body portion 22a. , And the lower surface thereof moves so as to be parallel to the plate-like object W.

ここで、非接触式吸引保持器２２および支持手段２３のベース部２１に対する組み付けについて説明する。まず、図２に示すように、第１支持部２６をベース部２１のうち、非接触式吸引保持器２２が対向する面とは反対側の面に、第１貫通穴２６ａと開口部２１ａとが連通するように載置する。次に、第１貫通穴２６ａに管継手２５の本体部２５ａまで挿入し、本体部２５ａの先端をベース部２１のうち非接触式吸引保持器２２が対向する面から突出させる。次に、本体部２５ａの先端外周に形成された雄ねじをエアー流入部２２ｂに形成された雌ねじに螺合することで、本体部２５ａの先端を非接触式吸引保持器２２に接続する。次に、エアー配管５を第２支持部２７に通した状態、すなわちエアー配管５を第２貫通穴２７ａに挿入した状態で、エアー配管５の先端外周に形成された雄ねじを、エアー流入部２５ｄに形成された雌ねじに螺合することで、頭部２５ｂをエアー配管５に接続する。次に、頭部２５ｂが第２貫通穴２７ａに挿入されるように、第２支持部２７を第１支持部２６に載置する。そして、締結部材２８を連通穴２７ｂ、連通穴２６ｂ、締結穴２１ｂに挿入し、締結部材２８の雄ねじを締結穴２１ｂの雌ねじに螺合することで、支持手段２３をベース部２１に固定する。 Here, the assembly | attachment with respect to the base part 21 of the non-contact-type suction holder 22 and the support means 23 is demonstrated. First, as shown in FIG. 2, the first support portion 26 is formed on the surface of the base portion 21 opposite to the surface facing the non-contact suction holder 22, and the first through hole 26 a and the opening 21 a Is placed so that can communicate. Next, the main body portion 25a of the pipe joint 25 is inserted into the first through hole 26a, and the tip of the main body portion 25a is protruded from the surface of the base portion 21 to which the non-contact type suction holder 22 faces. Next, the front end of the main body portion 25a is connected to the non-contact suction holder 22 by screwing a male screw formed on the outer periphery of the front end of the main body portion 25a with a female screw formed on the air inflow portion 22b. Next, in a state where the air pipe 5 is passed through the second support part 27, that is, in a state where the air pipe 5 is inserted into the second through hole 27a, the male screw formed on the outer periphery of the front end of the air pipe 5 is connected to the air inflow part 25d. The head portion 25 b is connected to the air pipe 5 by being screwed into the female screw formed in the above. Next, the second support portion 27 is placed on the first support portion 26 such that the head portion 25b is inserted into the second through hole 27a. The fastening member 28 is inserted into the communication hole 27b, the communication hole 26b, and the fastening hole 21b, and the male screw of the fastening member 28 is screwed into the female screw of the fastening hole 21b, thereby fixing the support means 23 to the base portion 21.

規制手段２４は、図１に示すように、板状物Ｗの水平移動を規制するものであり、搬送装置１が搬送する板状物Ｗの外周領域と対向する位置に配設されている。ここで、外周領域とは、板状物Ｗの少なくとも外周を含む領域であり、好ましくは外周よりも半径方向内側の部分、例えば、デバイスが形成されていない余剰領域の一部も含む。規制手段２４は、図３に示すように、軸部２４ａと、つば部２４ｂと、ブロック２４ｃとを含んで構成されている。軸部２４ａは、ベース部２１に形成された軸部貫通穴２１ｃに軸方向、すなわち上下方向に移動自在に挿入されている。軸部２４ａは、上方の端部につば部２４ｂが固定され、下方の端部にブロック２４ｃが挿入固定されている。つまり、規制手段２４は、ベース部２１に支持されている。つば部２４ｂは、軸部貫通穴２１ｃよりも水平方向における幅が広く設定されており、軸部２４ａが軸部貫通穴２１ｃから抜け落ちることを防止する。ブロック２４ｃは、非接触式吸引保持器２２により保持された板状物Ｗと対向し、接触するものである。ブロック２４ｃの保持された板状物Ｗと対向する面は、保持された板状物Ｗの径方向内側に向かうに伴いベース部２１側に向かう、すなわち上昇する傾斜面２４ｄに形成されている。傾斜面２４ｄは、非接触式吸引保持器２２により板状物Ｗが保持される際に水平方向に移動することが規制できる程度の摩擦係数を有する。傾斜面２４ｄは、例えば、ラバーシートなどの摩擦部材を敷設することで形成されていてもよい。 As shown in FIG. 1, the regulating means 24 regulates the horizontal movement of the plate-like object W, and is disposed at a position facing the outer peripheral area of the plate-like object W that the conveyance device 1 conveys. Here, the outer peripheral region is a region including at least the outer periphery of the plate-like object W, and preferably includes a portion radially inward of the outer periphery, for example, a part of a surplus region where no device is formed. As shown in FIG. 3, the restricting means 24 includes a shaft portion 24a, a collar portion 24b, and a block 24c. The shaft portion 24a is inserted into a shaft portion through hole 21c formed in the base portion 21 so as to be movable in the axial direction, that is, in the vertical direction. As for the shaft part 24a, the collar part 24b is fixed to the upper end part, and the block 24c is inserted and fixed to the lower end part. That is, the restricting means 24 is supported by the base portion 21. The collar portion 24b is set wider in the horizontal direction than the shaft portion through hole 21c, and prevents the shaft portion 24a from falling off the shaft portion through hole 21c. The block 24c faces and contacts the plate-like object W held by the non-contact type suction holder 22. The surface of the block 24c that faces the held plate-like object W is formed as an inclined surface 24d that goes toward the base portion 21 as it goes inward in the radial direction of the held plate-like object W, that is, rises. The inclined surface 24d has a friction coefficient that can restrict the horizontal movement when the plate-like object W is held by the non-contact suction holder 22. For example, the inclined surface 24d may be formed by laying a friction member such as a rubber sheet.

移動手段３は、第１の所定の位置から第２の所定の位置へと吸引保持手段２を移動させるものである。移動手段３は、図１に示すように、アーム部３１と、昇降手段３２と、旋回手段３３とを含んで構成されている。アーム部３１の一方の端部には、ベース部２１を連結する連結部材３１ａが形成されている。昇降手段３２は、アーム部３１の他方の端部が連結され、例えばエアーピストンであり、アーム部３１を昇降させることで、吸引保持手段２を上下方向（同図矢印Ｃ）に昇降させるものである。旋回手段３３は、昇降手段３２に連結され、回転運動可能なモータなどを駆動源に含み、昇降手段３２およびアーム部３１を旋回させることで、吸引保持手段２を水平方向（同図矢印Ｄ）に旋回させるものである。 The moving means 3 moves the suction holding means 2 from the first predetermined position to the second predetermined position. As shown in FIG. 1, the moving means 3 includes an arm portion 31, an elevating means 32, and a turning means 33. A connecting member 31 a that connects the base portion 21 is formed at one end of the arm portion 31. The lifting / lowering means 32 is connected to the other end of the arm portion 31 and is, for example, an air piston. The lifting / lowering means 32 moves the suction / holding means 2 up and down (arrow C in the figure) by raising and lowering the arm portion 31. is there. The swivel means 33 is connected to the lift means 32 and includes a motor capable of rotational movement as a drive source. By swiveling the lift means 32 and the arm portion 31, the suction holding means 2 is moved in the horizontal direction (arrow D in the figure). It is intended to turn.

次に、搬送装置１による板状物Ｗの搬送動作について説明する。まず、ここでは、平坦な板状物Ｗを搬送する場合について説明する。板状物Ｗが吸引保持されていない吸引保持手段２を、例えば移動手段３の旋回手段３３により旋回させることで、第１の所定の位置、例えば、前工程における板状物Ｗを複数収容するカセットや板状物Ｗが保持されている保持テーブルの上方まで移動させる。次に、前工程の保持テーブルの上方に位置する吸引保持手段２を移動手段３の昇降手段３２により下降させ、規制手段２４を板状物Ｗに接触させる。従って、非接触式吸引保持器２２が板状物Ｗを吸引保持する前に、板状物Ｗの水平方向への移動が規制される。これにより、非接触式吸引保持器２２により板状物Ｗを確実に吸引保持することができる。また、ブロック２４ｃは、上述のように、傾斜面２４ｄが板状物Ｗの外周と接触するので、板状物Ｗに対する接触面積を少なくすることができ、板状物Ｗに形成されたデバイス領域に規制手段２４が接触することで発生するデバイス領域への影響を抑制することができる。 Next, the conveying operation of the plate-like object W by the conveying device 1 will be described. First, the case where the flat plate-shaped object W is conveyed is demonstrated here. The suction holding means 2 on which the plate-like object W is not sucked and held is turned by, for example, the turning means 33 of the moving means 3 to accommodate a plurality of plate-like objects W in the first predetermined position, for example, the previous step. The cassette and the plate-like object W are moved up above the holding table. Next, the suction holding means 2 positioned above the holding table in the previous process is lowered by the raising / lowering means 32 of the moving means 3, and the regulating means 24 is brought into contact with the plate-like object W. Therefore, before the non-contact type suction holder 22 sucks and holds the plate-like object W, the movement of the plate-like object W in the horizontal direction is restricted. Accordingly, the plate-like object W can be reliably sucked and held by the non-contact suction holder 22. Moreover, since the inclined surface 24d contacts the outer periphery of the plate-like object W as described above, the block 24c can reduce the contact area with the plate-like object W, and the device region formed in the plate-like object W It is possible to suppress the influence on the device region that occurs when the regulating means 24 comes into contact with the device.

次に、吸引保持手段２をさらに下降させると、ブロック２４ｃが板状物Ｗに接触した状態でベース部２１に向けて上昇するとともに、図３に示すように、非接触式吸引保持器２２が板状物Ｗに近接する。ここで、非接触式吸引保持器２２は、エアー噴出部２２ｄから放射状にエアーが外部に噴射されると本体部２２ａの下面の中心部に負圧が発生しており（同図に示す点線矢印）、非接触式吸引保持器２２に近接した板状物Ｗは負圧によって本体部２２ａの下面に引き寄せられる。板状物Ｗが負圧によって本体部２２ａの下面に引き寄せられすぎると、本体部２２ａと板状物Ｗとの間に流れるエアーが反発力として作用し、本体部２２ａと板状物Ｗとの接触が阻止されるため、非接触式吸引保持器２２が板状物Ｗを非接触状態で吸引保持することができる。また、非接触式吸引保持器２２は、管継手２５を介して遊動可能に支持手段２３に支持されており、本体部２２ａの下面に板状物Ｗが引き寄せられる力（吸引力）が作用すると、管継手２５に頭部２５ｂから本体部２５ａに向かって引き寄せられる力が作用し、この力によりスプリング部２６ｆが圧縮され、突出部２６ｄがプランジャ穴２６ｈに向かって後退し、管継手２５が上下方向の下方へ移動する。このため、板状物Ｗに向かって本体部２２ａを移動することができ、非接触式吸引保持器２２の下面に板状物Ｗが引き寄せられる際の衝撃を緩衝することができる。 Next, when the suction holding means 2 is further lowered, the block 24c rises toward the base portion 21 in contact with the plate-like object W, and as shown in FIG. Proximity to the plate-like object W. Here, the non-contact type suction holder 22 generates negative pressure at the center of the lower surface of the main body portion 22a when air is radially ejected from the air ejection portion 22d (dotted arrow shown in the figure). ), The plate-like object W adjacent to the non-contact type suction holder 22 is attracted to the lower surface of the main body 22a by negative pressure. If the plate-like object W is attracted too much by the negative pressure to the lower surface of the main body part 22a, the air flowing between the main body part 22a and the plate-like object W acts as a repulsive force, and the main body part 22a and the plate-like object W Since the contact is prevented, the non-contact type suction holder 22 can suck and hold the plate-like object W in a non-contact state. Further, the non-contact type suction holder 22 is supported by the support means 23 so as to be freely movable via the pipe joint 25, and when a force (suction force) for attracting the plate-like object W is applied to the lower surface of the main body portion 22a. The pipe joint 25 is subjected to a force attracted from the head portion 25b toward the main body portion 25a, the spring portion 26f is compressed by this force, the projecting portion 26d is retracted toward the plunger hole 26h, and the pipe joint 25 is moved up and down. Move down in the direction. For this reason, the main-body part 22a can be moved toward the plate-shaped object W, and the impact at the time of the plate-shaped object W being drawn to the lower surface of the non-contact type suction holder 22 can be buffered.

次に、板状物Ｗを吸引保持した吸引保持手段２を移動手段３の昇降手段３２により上昇させ、板状物Ｗを保持テーブルから上昇させる。板状物Ｗを吸引保持した吸引保持手段２を、例えば移動手段３の旋回手段３３により旋回させることで、第２の所定の位置、例えば、後工程において板状物Ｗを保持する保持テーブルや板状物Ｗを複数収容するカセットの上方まで移動させる。次に、後工程の保持テーブルの上方に位置する吸引保持手段２を板状物Ｗが保持テーブルに接触するまで下降させ、エアー供給源４からのエアーの供給をエアー制御弁６により遮断する。これにより、本体部２２ａの下面の中心部に発生していた負圧が消滅し、吸引保持手段２による板状物Ｗの吸引保持が解除される。 Next, the suction holding means 2 that sucks and holds the plate-like object W is raised by the elevating means 32 of the moving means 3, and the plate-like object W is raised from the holding table. The suction holding means 2 that sucks and holds the plate-like object W is turned by, for example, the turning means 33 of the moving means 3, so that a holding table for holding the plate-like object W in a second predetermined position, for example, a post process, The plate-shaped object W is moved to the upper side of a cassette that accommodates a plurality of plate-like objects W. Next, the suction holding means 2 positioned above the holding table in the subsequent process is lowered until the plate-like object W comes into contact with the holding table, and the air supply from the air supply source 4 is shut off by the air control valve 6. As a result, the negative pressure generated at the center of the lower surface of the main body portion 22a disappears, and the suction holding of the plate-like object W by the suction holding means 2 is released.

ここで、板状物Ｗが平坦ではなく、反っている場合もある。図４に示すように、ベース部２１に向かって凸となるように反った板状物Ｗ’を吸引保持手段２により吸引保持する場合について説明する。まず、前工程の保持テーブルの上方に位置する吸引保持手段２を移動手段３の昇降手段３２により下降させ、規制手段２４に反った板状物Ｗ’を接触させる。従って、非接触式吸引保持器２２が板状物Ｗ’を吸引保持する前に、板状物Ｗ’の水平方向への移動が規制される。これにより、非接触式吸引保持器２２により板状物Ｗ’を確実に吸引保持することができる。また、ブロック２４ｃの反った板状物Ｗ’と接触する部分が傾斜面２４ｄであるため、ブロック２４ｃの反った板状物Ｗ’が平坦の場合と比較して、反った板状物Ｗ’に対する接触面積を少なくすることができ、板状物Ｗ’が反っていてもデバイス領域に規制手段２４が接触することで発生するデバイス領域への影響を抑制することができる。 Here, the plate-like object W may be not flat but warped. As shown in FIG. 4, a description will be given of a case where the plate-like object W ′ that is warped so as to protrude toward the base portion 21 is sucked and held by the suction holding means 2. First, the suction holding means 2 positioned above the holding table in the previous process is lowered by the raising / lowering means 32 of the moving means 3, and the plate-like object W 'warped against the regulating means 24 is brought into contact. Therefore, before the non-contact type suction holder 22 sucks and holds the plate-like object W ′, the movement of the plate-like object W ′ in the horizontal direction is restricted. Thereby, the plate-like object W ′ can be reliably sucked and held by the non-contact suction holder 22. Further, since the portion of the block 24c that contacts the warped plate-like object W ′ is the inclined surface 24d, the warped plate-like object W ′ is compared with the case where the warped plate-like object W ′ of the block 24c is flat. The contact area with respect to the device region can be reduced, and even if the plate-like object W ′ is warped, it is possible to suppress the influence on the device region that occurs when the regulating means 24 contacts the device region.

次に、吸引保持手段２をさらに下降させると、ブロック２４ｃが反った板状物Ｗ’に接触した状態でベース部２１に向けて上昇するとともに、非接触式吸引保持器２２が反った板状物Ｗ’に近接する。非接触式吸引保持器２２が反った板状物Ｗ’に近接した当初は、本体部２２ａの下面と反った板状物Ｗ’とが平行ではない。さらに、発生した負圧（同図に示す点線矢印）により本体部２２ａと反った板状物Ｗ’とが接触しようとすると、本体部２２ａと反った板状物Ｗ’との間に流れるエアーが反発力として作用するため、管継手２５が遊動することで、非接触式吸引保持器２２が遊動（例えば、同図矢印Ｇで示す上下方向や同図矢印Ｆで示す首振り方向などに遊動）し、本体部２２ａの下面と反った板状物Ｗ’とが接触しないように間隔を維持する。ここで、非接触式吸引保持器２２は、その下面と反った板状物Ｗ’とが平行となり、本体部２２ａの下面の中心部に発生している負圧の圧力分布が均等になるように、負圧の小さい方から大きい方へと非接触式吸引保持器２２が断続的や連続的に回転する（同図矢印Ｅで示す方向）。 Next, when the suction holding means 2 is further lowered, the block 24c rises toward the base portion 21 in contact with the warped plate-like object W ′, and the non-contact suction holder 22 warps. Proximity to the object W ′. When the non-contact type suction holder 22 comes close to the warped plate W ', the lower surface of the main body 22a and the warped plate W' are not parallel. Further, when the generated negative pressure (dotted arrow shown in the figure) attempts to contact the main body 22a and the warped plate W ', the air flowing between the main body 22a and the warped plate W'. Acts as a repulsive force, so that the non-contact suction retainer 22 moves freely (for example, in the up-down direction indicated by the arrow G in FIG. And the interval is maintained so that the lower surface of the main body portion 22a does not contact the warped plate-like object W ′. Here, the non-contact type suction holder 22 is parallel to the warped plate-like object W ′ so that the pressure distribution of the negative pressure generated at the center of the lower surface of the main body portion 22a is uniform. In addition, the non-contact type suction holder 22 rotates intermittently or continuously from the smaller negative pressure to the larger negative pressure (direction indicated by arrow E in the figure).

なお、ベース部２１に向かって凹となるように反った板状物であっても、同様に、本体部２２ａと反った板状物とが接触しようとすると、本体部２２ａと反った板状物との間に流れるエアーが反発力として作用するため、エアー噴出部２２ｄから均等に放射状にエアーが外部に噴射されるように非接触式吸引保持器２２が遊動し、本体部２２ａの下面と反った板状部とが接触しないように間隔を維持する。 In addition, even if it is a plate-shaped object warped so as to be concave toward the base portion 21, similarly, if the main body portion 22a and the warped plate-shaped object try to come into contact with each other, a plate shape warped from the main body portion 22a. Since the air flowing between the objects acts as a repulsive force, the non-contact type suction holder 22 floats so that the air is uniformly ejected radially outward from the air ejection portion 22d, and the lower surface of the main body portion 22a The interval is maintained so that the warped plate-like portion does not come into contact.

以上のように、本実施形態に係る板状物Ｗの搬送装置１では、支持手段２３により非接触式吸引保持器２２がベース部２１に対して遊動可能に支持されているので、搬送対象の板状物Ｗの反りにあわせて非接触式吸引保持器２２が遊動し、非接触式吸引保持器２２が板状物Ｗに接触しないように、非接触式吸引保持器２２と板状物Ｗとの間隔を維持することができる。従って、搬送装置１により搬送される板状物Ｗの状態にかかわらず、板状物Ｗを非接触状態で吸引保持することができるという効果を奏する。また、搬送対象の板状物Ｗの反りにあわせて、非接触式吸引保持器２２の板状物Ｗに対する傾きを自動的に調整することができる。また、非接触式吸引保持器２２と板状物Ｗとの間隔を維持することで、非接触式吸引保持器２２と板状物Ｗとの間で発生する吸引力が不均衡となることを抑制することができるので、搬送装置１により搬送される板状物Ｗの状態にかかわらず、非接触式吸引保持器２２により確実に吸引保持することができる。さらに、搬送装置１により搬送される板状物Ｗの状態にかかわらず、板状物Ｗを非接触状態で吸引保持することができるので、搬送装置１による搬送工程において、平坦な板状物Ｗと反った板状物Ｗ’とが混在していても、安定した搬送性能を実現することができる。 As described above, in the transport apparatus 1 for the plate-like object W according to the present embodiment, the non-contact type suction holder 22 is supported by the support means 23 so as to be freely movable with respect to the base portion 21. The non-contact type suction holder 22 and the plate-like object W are moved so that the non-contact type suction holder 22 moves freely according to the warpage of the plate-like object W and the non-contact type suction holder 22 does not contact the plate-like object W. And maintain a distance. Therefore, regardless of the state of the plate-like object W conveyed by the conveyance device 1, the plate-like object W can be sucked and held in a non-contact state. Further, the inclination of the non-contact type suction holder 22 with respect to the plate-like object W can be automatically adjusted in accordance with the warp of the plate-like object W to be conveyed. In addition, by maintaining the distance between the non-contact type suction holder 22 and the plate-like object W, the suction force generated between the non-contact type suction holder 22 and the plate-like object W becomes unbalanced. Since it can suppress, irrespective of the state of the plate-like object W conveyed by the conveying apparatus 1, it can be reliably suction-held by the non-contact type suction holder 22. Further, since the plate-like object W can be sucked and held in a non-contact state regardless of the state of the plate-like object W conveyed by the conveyance device 1, the flat plate-like object W in the conveyance process by the conveyance device 1. Even if the warped plate-like object W ′ is mixed, stable conveyance performance can be realized.

また、突出部２６ｄが内壁に配設されておらず頭部２５ｂが内壁に線接触や面接触する場合では搬送対象の板状物Ｗの反りにあわせて非接触式吸引保持器２２が遊動する際に、頭部２５ｂが内壁と摺動して頭部２５ｂや内壁が摩耗し、この摩耗が進むと頭部２５ｂと内壁との摩擦力が増加して、頭部２５ｂの円滑な遊動が阻害される虞があるが、本実施形態に係る板状物Ｗの搬送装置１では、第１凹部２６ｃの内壁に３個配設された突出部２６ｄにより頭部２５ｂが点接触状態で遊動可能に支持されているので、頭部２５ｂが内壁に対して非接触状態であり、搬送対象の板状物Ｗの反りにあわせて非接触式吸引保持器２２が遊動する際、頭部２５ｂと突出部２６ｄとの摩擦力を低減することができる。従って、突出部２６ｄが内壁に配設されておらず頭部２５ｂが内壁に線接触や面接触する場合よりも、頭部２５ｂの接触面積を大幅に削減し、頭部２５ｂを円滑に遊動することで、非接触式吸引保持器２２を円滑に遊動することができるという効果を奏する。 Further, when the projecting portion 26d is not disposed on the inner wall and the head portion 25b is in line contact or surface contact with the inner wall, the non-contact type suction holder 22 idles in accordance with the warp of the plate-like object W to be transported. At this time, the head 25b slides on the inner wall and wears the head 25b and the inner wall. When this wear proceeds, the frictional force between the head 25b and the inner wall increases, and the smooth movement of the head 25b is obstructed. In the transport apparatus 1 for the plate-like object W according to the present embodiment, the head 25b can be moved freely in a point contact state by three protrusions 26d arranged on the inner wall of the first recess 26c. Since it is supported, the head 25b is in a non-contact state with respect to the inner wall, and when the non-contact type suction holder 22 floats in accordance with the warp of the plate-like object W to be conveyed, the head 25b and the protruding portion The frictional force with 26d can be reduced. Accordingly, the contact area of the head portion 25b is greatly reduced and the head portion 25b is smoothly moved as compared with the case where the protruding portion 26d is not disposed on the inner wall and the head portion 25b is in line contact or surface contact with the inner wall. Thus, there is an effect that the non-contact type suction holder 22 can be smoothly moved.

また、板状物Ｗの搬送装置１によれば、頭部２５ｂが突出部２６ｄにより回転自在かつ進退可能に支持されるので、頭部２５ｂの上下動が可能になり、頭部２５ｂが遊動する可動域を拡げることができる。従って、非接触式吸引保持器２２の板状物Ｗに対する傾きを調整することができる範囲を拡げることができるという効果を奏する。また、非接触式吸引保持器２２の板状物Ｗに対する傾きを調整することができる範囲を拡げることができるので、非接触式吸引保持器２２が板状物Ｗの反りに対応できる範囲を拡げることができ、搬送装置１による搬送工程において、平坦な板状物Ｗと反った板状物Ｗ’とが混在していても、より安定した搬送性能を実現することができる。また、頭部２５ｂが突出部２６ｄにより回転自在に支持されるので、頭部２５ｂをより円滑に遊動することができ、非接触式吸引保持器２２をより円滑に遊動することができる。また、非接触式吸引保持器２２をより円滑に遊動することができるので、頭部２５ｂおよび突出部２６ｄの摩擦力をより低減することができる。また、頭部２５ｂおよび突出部２６ｄの摩擦力をより低減することができるので、頭部２５ｂの摩耗を大幅に低減することができ、平坦な板状物Ｗや反った板状物Ｗ’に対する搬送装置１の搬送性能を維持することができる期間を延ばすことができる。 Further, according to the transport device 1 for the plate-like object W, the head portion 25b is supported by the protruding portion 26d so that the head portion 25b is rotatable and can be advanced and retracted. The range of motion can be expanded. Therefore, there is an effect that the range in which the inclination of the non-contact type suction holder 22 with respect to the plate-like object W can be adjusted can be expanded. Moreover, since the range which can adjust the inclination with respect to the plate-shaped object W of the non-contact-type suction holder 22 can be expanded, the range which the non-contact type suction holder 22 can respond to the curvature of the plate-shaped object W is expanded. Even if the flat plate-like object W and the warped plate-like object W ′ are mixed in the transfer process by the transfer device 1, more stable transfer performance can be realized. Further, since the head portion 25b is rotatably supported by the protruding portion 26d, the head portion 25b can be moved more smoothly and the non-contact type suction holder 22 can be moved more smoothly. In addition, since the non-contact suction holder 22 can be moved more smoothly, the frictional force between the head 25b and the protruding portion 26d can be further reduced. Further, since the frictional force of the head 25b and the protrusion 26d can be further reduced, the wear of the head 25b can be greatly reduced, and the flat plate-like object W or the warped plate-like object W ′ can be reduced. The period during which the transport performance of the transport apparatus 1 can be maintained can be extended.

なお、上記実施形態では、第２支持部２７の第２凹部２７ｃの内壁にはボールプランジャのボール部（突出部２６ｄ）が配設されていなかったが、第１支持部２６と同様にボールプランジャのボール部を設けてもよい。これにより、頭部２５ｂが第２凹部２７ｃの内壁に接触することを防ぐことができる。 In the above embodiment, the ball portion (projecting portion 26 d) of the ball plunger is not disposed on the inner wall of the second recess 27 c of the second support portion 27, but the ball plunger is the same as the first support portion 26. A ball portion may be provided. Thereby, it can prevent that the head 25b contacts the inner wall of the 2nd recessed part 27c.

また、上記実施形態では、第１凹部２６ｃの内壁に突出部２６ｄが３個配設されていたが、突出部２６ｄは３個に限定して配設されるものではなく、頭部２５ｂが内壁に接触しないように支持できる個数が配設されていればよい。すなわち、第１凹部２６ｃの内壁に少なくとも３個配設されていればよい。なお、突出部２６ｄは、製造コストを増加させないために、第１凹部２６ｃの内壁に３個〜５個配設されていることが好ましい。 In the above embodiment, the three protrusions 26d are disposed on the inner wall of the first recess 26c. However, the protrusion 26d is not limited to three, and the head 25b is disposed on the inner wall. It suffices if the number that can be supported so as not to come into contact with is provided. That is, it is sufficient that at least three are disposed on the inner wall of the first recess 26c. In addition, in order not to increase the manufacturing cost, it is preferable that 3 to 5 protrusions 26d are disposed on the inner wall of the first recess 26c.

また、上記実施形態では、規制手段２４は、板状物Ｗが水平方向に移動することが規制できる程度の摩擦係数を有するが、規制手段２４の重さを調整するための錘をつば部２４ｂ上に設けてもよい。これにより、つば部２４ｂに設けられる錘で規制手段２４の摩擦力を調整することができる。 Further, in the above embodiment, the restricting means 24 has a friction coefficient that can restrict the plate-like object W from moving in the horizontal direction, but the weight for adjusting the weight of the restricting means 24 is provided on the collar portion 24b. It may be provided above. Thereby, the frictional force of the restricting means 24 can be adjusted with the weight provided in the collar part 24b.

また、上記実施形態では、規制手段２４として、ベース部２１に対して上下方向に移動可能なブロック２４ｃを用いたが本発明はこれに限定されるものではなく、非接触式吸引保持器２２により板状物Ｗを吸引保持する際に、板状物Ｗが水平方向に移動することを規制することができるものであればよい。例えば、規制手段２４は、ベース部２１に回動自在に支持されたアームであってもよい。この場合、アームは、ベース部２１の外周近傍に設けられており、待機状態では吸引保持手段２の上昇下降時に板状物Ｗの外周と接触しないように位置し、吸引保持手段２による板状物Ｗの吸引保持時に、アームの回動先端が板状物Ｗの外周領域に接触する位置まで回動する。これにより、アームが板状物Ｗの水平方向への移動を規制する。 Moreover, in the said embodiment, although the block 24c which can move to an up-down direction with respect to the base part 21 was used as the control means 24, this invention is not limited to this, The non-contact-type suction holder 22 is used. What is necessary is just to be able to regulate the movement of the plate-like object W in the horizontal direction when sucking and holding the plate-like object W. For example, the restricting means 24 may be an arm that is rotatably supported by the base portion 21. In this case, the arm is provided in the vicinity of the outer periphery of the base portion 21 and is positioned so as not to come into contact with the outer periphery of the plate-like object W when the suction holding means 2 is raised and lowered in the standby state. When the object W is sucked and held, the arm is rotated to a position where the tip of the arm contacts the outer peripheral area of the plate-like object W. As a result, the arm restricts the movement of the plate-like object W in the horizontal direction.

１搬送装置
２吸引保持手段
２１ベース部
２２非接触式吸引保持器
２３支持手段
２４規制手段
２５管継手
２５ａ本体部
２５ｂ頭部
２６第１支持部（支持部）
２６ａ第１貫通穴（貫通穴）
２６ｃ第１凹部（凹部）
２６ｄ突出部（プランジャのボール部）
２７第２支持部（支持部）
２７ａ第２貫通穴（貫通穴）
２７ｃ第２凹部（凹部）
３移動手段
４エアー供給源
５エアー配管
６エアー制御弁 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conveyance apparatus 2 Suction holding means 21 Base part 22 Non-contact type suction holder 23 Support means 24 Control means 25 Pipe joint 25a Main body part 25b Head part 26 First support part (support part)
26a First through hole (through hole)
26c 1st recessed part (recessed part)
26d Protrusion (plunger ball)
27 Second support part (support part)
27a Second through hole (through hole)
27c Second recess (recess)
3 Moving means 4 Air supply source 5 Air piping 6 Air control valve

Claims

In a plate-like object conveying apparatus comprising: a suction holding means for sucking and holding a plate-like object; and a moving means for moving the suction holding means from a first predetermined position to a second predetermined position.
The suction holding means includes
A base connected to the moving means;
A non-contact type suction holder that injects air to generate a negative pressure and sucks a plate-like object in a non-contact state;
Supporting means for supporting the non-contact type suction holder on the base portion,
The support means is
A pipe joint comprising: a main body having a tip connected to the non-contact suction holder; and a substantially spherical head to which a flexible air pipe communicating with an air supply source is connected;
A support portion disposed in the base portion and having a through hole for supporting the head portion therein;
The through hole is
The head of the pipe joint has a recess on the inside that fits loosely with a gap,
On the inner wall of the recess, at least three spherical protrusions that support the head portion of the pipe joint in a point contact are disposed, and the non-contact type suction holder can be moved freely with respect to the base portion ,
Front protrusions Symbol spherical, conveying apparatus of the platelet you characterized in that the inner wall of the recess is a ball portion of the plunger which is retractably disposed toward the head of the fitting.

Is supported by the base portion, the restricting means for restricting the horizontal movement of the plate-like object held by said non-contact sucking and holding unit, to claim 1, characterized in that it comprises a peripheral region of the platelet The plate-shaped article conveying apparatus according to the description.