JP6172997B2

JP6172997B2 - Plate-shaped material transfer device

Info

Publication number: JP6172997B2
Application number: JP2013070659A
Authority: JP
Inventors: 斌呉; 将二郎山田
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2013-03-28
Filing date: 2013-03-28
Publication date: 2017-08-02
Anticipated expiration: 2033-03-28
Also published as: JP2014194991A

Description

本発明は、板状物を搬送する板状物の搬送装置に関する。 The present invention relates to a plate-like material conveying apparatus for conveying a plate-like material.

半導体ウェーハのダイシングを含む製造後工程では、通常、半導体ウェーハおよびリング状に形成された環状の環状フレームがダイシングテープに貼着され、半導体ウェーハがダイシングテープを介して環状フレームに支持された状態で分割される。近年、電気機器の軽量化、小型化を達成するために、半導体ウェーハの厚さをより薄く、例えば５０μｍ程度にするための所謂先ダイシング法と称される分割技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この分割技術では、ダイシング（溝形成）工程において半導体ウェーハを環状フレームに固定することなく、デバイス面側を保持して搬送することとなる。この搬送に用いられるのがベルヌーイの原理を利用してデバイス面側を非接触状態で吸引保持する搬送装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。 In a post-manufacturing process including dicing of a semiconductor wafer, the semiconductor wafer and an annular annular frame formed in a ring shape are usually attached to the dicing tape, and the semiconductor wafer is supported by the annular frame via the dicing tape. Divided. In recent years, in order to achieve a reduction in weight and size of electrical equipment, a dividing technique called a so-called first dicing method for reducing the thickness of a semiconductor wafer to, for example, about 50 μm has been proposed (for example, Patent Document 1). In this division technique, the semiconductor wafer is transported while holding the device surface side without being fixed to the annular frame in the dicing (groove formation) step. A transport apparatus that uses the Bernoulli principle to suck and hold the device surface side in a non-contact state has been proposed (for example, see Patent Document 2).

特開平１１−４０５２０号公報JP 11-40520 A 特開平５−３６８１６号公報JP-A-5-36816

ベルヌーイの原理を利用した搬送装置は、上記先ダイシング法に用いられるのみならず、近年開発されたエッジトリミング技術においても、その後の裏面研削工程に不要な環状フレームを省くという目的で用いられるようになってきた。そして、エッジトリミング技術の対象となる半導体ウェーハは、様々な状態のものがあり、中にはある程度研削されているものや、他の材料が積層されていることにより反っているものもある。例えば、反った半導体ウェーハの場合は、ベルヌーイの原理を利用した搬送装置による搬送の際に、搬送パッドが半導体ウェーハに接触する虞があった。 The conveying device using Bernoulli's principle is used not only for the above-mentioned dicing method, but also for the purpose of omitting an unnecessary annular frame in the subsequent back grinding process in the edge trimming technology developed in recent years. It has become. Semiconductor wafers to be subjected to the edge trimming technique are in various states, and some of them are ground to some extent, and some of them are warped by being laminated with other materials. For example, in the case of a warped semiconductor wafer, there is a concern that the transfer pad may come into contact with the semiconductor wafer during transfer by a transfer device using the Bernoulli principle.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、搬送装置により搬送される板状物の状態にかかわらず、板状物を吸引保持することができる板状物の搬送装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and provides a plate-like material conveyance device capable of sucking and holding a plate-like material regardless of the state of the plate-like material conveyed by the conveyance device. With the goal.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、板状物を吸引保持する吸引保持手段と、前記吸引保持手段を第１の所定の位置から第２の所定の位置へと移動させる移動手段と、を備える板状物の搬送装置において、前記吸引保持手段は、前記移動手段に連結したベース部と、エアーを噴射して負圧を生成し、非接触状態で、板状物を吸引する非接触式吸引保持器と、前記ベース部に前記非接触式吸引保持器を回動自在に支持する支持手段と、を備え、前記支持手段は、先端が前記非接触式吸引保持器と接続する本体部と、エアー供給源と連通する柔軟なエアー配管が接続される頭部とを具備し、前記頭部が略球状に形成された管継手と、前記ベース部に配設され前記頭部を内部で支持する貫通穴を有する支持部と、を備え、前記貫通穴は、前記非接触式吸引保持器と前記エアー配管とが接続された管継手の前記頭部がわずかな隙間を持って回動可能に遊嵌する凹部を内側に有し、前記凹部は、前記貫通穴の軸方向に対して傾斜する傾斜面を備えることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention provides a suction holding means for sucking and holding a plate-like object, and the suction holding means from a first predetermined position to a second predetermined position. In the plate-like material conveying device, the suction holding means generates a negative pressure by injecting air and generating a negative pressure, in a non-contact state, in a plate shape A non-contact type suction holder for sucking an object; and a support means for rotatably supporting the non-contact type suction holder on the base portion, wherein the tip of the support means is the non-contact type suction holder. A main body portion connected to the vessel, and a head portion to which a flexible air pipe communicating with an air supply source is connected, and the head portion is disposed on the base portion and a pipe joint formed in a substantially spherical shape. A support portion having a through hole for supporting the head portion inside, The through hole has a concave portion in which the head portion of the pipe joint to which the non-contact type suction holder and the air pipe are connected is rotatably fitted with a slight gap, and the concave portion is And an inclined surface that is inclined with respect to the axial direction of the through hole .

また、上記板状物の搬送装置において、前記支持手段は、前記凹部である第１凹部及び第２凹部を備え、前記第１凹部及び前記第２凹部は、前記頭部の外周面がそれぞれ傾斜面と同時に接触しないようにわずかな隙間を持てるように形成されていることが好ましい。 Further, in the plate-like object transporting apparatus, the support means includes a first recess and a second recess that are the recesses, and the first recess and the second recess have inclined outer peripheral surfaces of the head, respectively. It is preferable to form a slight gap so as not to contact the surface at the same time .

また、上記板状物の搬送装置において、前記ベース部に支持され、前記非接触式吸引保持器に保持された前記板状物の水平移動を規制する規制手段を前記板状物の外周領域に備えることが好ましい。 Further, in the plate-like material transfer device, a restricting means for restricting horizontal movement of the plate-like material supported by the base portion and held by the non-contact type suction holder is provided in an outer peripheral region of the plate-like material. It is preferable to provide.

本発明によれば、支持手段が非接触式吸引保持器を回動自在に支持するので、搬送装置により搬送される板状物の状態にかかわらず、板状物を非接触状態で吸引保持することができるという効果を奏する。 According to the present invention, since the supporting means rotatably supports the non-contact type suction holder, the plate-like object is sucked and held in a non-contact state regardless of the state of the plate-like object conveyed by the conveying device. There is an effect that can be.

図１は、実施形態に係る板状物の搬送装置の構成例を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a plate-shaped article transport device according to an embodiment. 図２は、吸引保持手段を示す分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view showing the suction holding means. 図３は、平坦な板状物を保持した状態の吸引保持手段を示す図である。FIG. 3 is a view showing the suction holding means in a state where a flat plate-like object is held. 図４は、湾曲した板状物を保持した状態の吸引保持手段を示す図である。FIG. 4 is a view showing the suction holding means in a state where a curved plate-like object is held.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the structures described below can be combined as appropriate. Various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.

〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る板状物の搬送装置の構成例を示す図である。図２は、吸引保持手段を示す分解斜視図である。図３は、平坦な板状物を保持した状態の吸引保持手段を示す図である。図４は、湾曲した板状物を保持した状態の吸引保持手段を示す図である。なお、図３および図４は、図１に示すＡ−Ａ断面の断面図であり、一部が省略された図である。 Embodiment
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a plate-shaped article transport device according to an embodiment. FIG. 2 is an exploded perspective view showing the suction holding means. FIG. 3 is a view showing the suction holding means in a state where a flat plate-like object is held. FIG. 4 is a view showing the suction holding means in a state where a curved plate-like object is held. 3 and 4 are cross-sectional views taken along the line AA shown in FIG. 1 and are partially omitted.

搬送装置１は、板状物Ｗを搬送するものであり、図１に示すように、吸引保持手段２と、移動手段３とを備え、板状物Ｗを非接触で吸引保持することで搬送するものである。搬送装置１は、板状物Ｗの加工処理において前工程（例えば、切削工程、研削・研磨工程、位置合わせ工程など）が終了した板状物Ｗを前工程の領域から後工程（洗浄・乾燥工程、板状物Ｗの収容工程など）を行う領域まで搬送するものである。ここで、板状物Ｗは、特に限定されないが、例えば、シリコンウェーハ、ガリウムヒ素、シリコンカーバイト等の半導体ウエーハや、半導体製品のパッケージ、セラミックス、ガラス、サファイア（Al₂O₃）系の無機材料基板、液晶ディスプレイドライバー等の各種電子部品、さらには、ミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料が挙げられ、搬送装置１による搬送可能な形状のものである。なお、本実施形態では、円盤状の板状物Ｗを搬送する場合について説明する。 The conveying device 1 conveys the plate-like object W, and as shown in FIG. 1, includes a suction holding means 2 and a moving means 3, and conveys the plate-like object W by sucking and holding it without contact. To do. The conveying device 1 removes the plate-like object W that has been subjected to the previous process (for example, the cutting process, the grinding / polishing process, the alignment process) in the processing of the plate-like object W from the area of the previous process (cleaning / drying). A process, an accommodation process of the plate-like object W, etc.). Here, the plate-like object W is not particularly limited. For example, semiconductor wafers such as silicon wafer, gallium arsenide, and silicon carbide, semiconductor product packages, ceramics, glass, and sapphire (Al ₂ O ₃ ) inorganic Various kinds of electronic components such as a material substrate and a liquid crystal display driver, and various kinds of processing materials that require a processing position accuracy on the order of microns can be cited, and the shape can be conveyed by the conveying device 1. In the present embodiment, a case where a disk-shaped plate-like object W is conveyed will be described.

吸引保持手段２は、板状物Ｗを吸引保持するものであり、図２に示すように、ベース部２１と、非接触式吸引保持器２２と、支持手段２３とを含み、さらに規制手段２４を含んで構成されている。ベース部２１は、移動手段３と連結されており、移動手段３の動作に応じて移動するものである。ベース部２１は、円盤状に形成されており、非接触式吸引保持器２２と、支持手段２３と、規制手段２４とが配設されている。ベース部２１は、一組の非接触式吸引保持器２２および支持手段２３に対応する位置に開口部２１ａが形成されている。開口部２１ａは、後述する非接触式吸引保持器２２がベース部２１に対して回動した際に、管継手２５がベース部２１に接触しない大きさに形成されている。ベース部２１は、開口部２１ａの周囲に締結穴２１ｂが形成されている。ここで、一組の非接触式吸引保持器２２および支持手段２３は、ベース部２１に配設される数について限定はないが、１つの場合はベース部２１の中央部、２以上の場合は周方向に等間隔に配設されていることが好ましい。また、規制手段２４は、ベース部２１に配設される数について限定はないが、ベース部２１の外周端部でかつワークと接触することができる位置に配設されていれば、１以上（２以上の場合は周方向に等間隔に）配設されていればよい。また、締結穴２１ｂは、数について限定はないが、後述する締結部材２８により支持手段２３をベース部２１に固定することができれば１以上（２以上の場合は周方向に等間隔に）形成されていればよい。本実施形態では、一組の非接触式吸引保持器２２および支持手段２３が等間隔に３箇所配設され、規制手段２４が等間隔に３箇所で、かつ周方向に隣り合う一組の非接触式吸引保持器２２および支持手段２３の間に配設され、締結穴２１ｂが等間隔に３箇所形成されている場合について説明する。 The suction holding means 2 sucks and holds the plate-like object W. As shown in FIG. 2, the suction holding means 2 includes a base portion 21, a non-contact type suction holder 22, and a support means 23, and further restricting means 24. It is comprised including. The base portion 21 is connected to the moving means 3 and moves according to the operation of the moving means 3. The base portion 21 is formed in a disk shape, and a non-contact type suction holder 22, a support unit 23, and a regulation unit 24 are disposed. The base 21 has an opening 21 a at a position corresponding to a set of non-contact type suction holder 22 and support means 23. The opening 21 a is formed in such a size that the pipe joint 25 does not come into contact with the base portion 21 when a non-contact type suction holder 22 described later rotates with respect to the base portion 21. The base portion 21 has a fastening hole 21b formed around the opening 21a. Here, the number of the non-contact type suction holders 22 and the support means 23 arranged in the base part 21 is not limited, but in the case of one, the central part of the base part 21 and in the case of two or more It is preferable that they are arranged at equal intervals in the circumferential direction. Further, the number of the restricting means 24 disposed on the base portion 21 is not limited. However, if the restricting means 24 is disposed on the outer peripheral end portion of the base portion 21 and at a position where it can contact the workpiece, one or more ( In the case of 2 or more, it suffices that they are arranged at equal intervals in the circumferential direction. Further, the number of the fastening holes 21b is not limited. However, if the support means 23 can be fixed to the base portion 21 by a fastening member 28 to be described later, one or more fastening holes 21b are formed (equal intervals in the circumferential direction in the case of two or more). It only has to be. In the present embodiment, a set of non-contact type suction holders 22 and support means 23 are arranged at three equal intervals, and a regulation means 24 is set at three equal intervals and a set of non-adjacent sets adjacent to each other in the circumferential direction. The case where it is arrange | positioned between the contact-type suction holder 22 and the support means 23, and the three fastening holes 21b are formed at equal intervals is demonstrated.

非接触式吸引保持器２２は、エアーを噴射して負圧を生成し、非接触状態で、板状物Ｗを吸引するものである。非接触式吸引保持器２２は、ベルヌーイの原理によって板状物Ｗを吸引保持するものであり、円盤状の本体部２２ａを有する。本体部２２ａには、図３に示すように、内部にエアー流入部２２ｂと、エアー通路部２２ｃと、エアー噴出部２２ｄと、案内部２２ｅとが形成されている。エアー流入部２２ｂは、非接触式吸引保持器２２にエアーを流入させるものであり、ベース部２１と対向する面である上面に形成されている。エアー流入部２２ｂは、図１に示すエアー供給源４から供給されるエアーが流入する。エアー通路部２２ｃは、図３に示すように、エアー流入部２２ｂとエアー噴出部２２ｄとを連通するものである。エアー噴出部２２ｄは、流入したエアーを対向する板状物Ｗに向けて噴出するものであり、板状物Ｗと対向する面である下面に形成されている。エアー噴出部２２ｄは、非接触式吸引保持器２２を下面から見た場合に円形状に形成された開口部であり、中央部に案内部２２ｅが設けられ、同図矢印Ｂに示すように、流入したエアーを放射状に外部に噴出する。 The non-contact suction holder 22 generates air and negative pressure to suck the plate-like object W in a non-contact state. The non-contact suction holder 22 sucks and holds the plate-like object W according to Bernoulli's principle, and has a disk-shaped main body portion 22a. As shown in FIG. 3, an air inflow portion 22b, an air passage portion 22c, an air ejection portion 22d, and a guide portion 22e are formed in the main body portion 22a. The air inflow portion 22 b allows air to flow into the non-contact suction holder 22, and is formed on the upper surface that is a surface facing the base portion 21. Air supplied from the air supply source 4 shown in FIG. 1 flows into the air inflow portion 22b. As shown in FIG. 3, the air passage portion 22c communicates the air inflow portion 22b and the air ejection portion 22d. The air ejection portion 22d ejects the inflowed air toward the opposing plate-like object W, and is formed on the lower surface that is the surface facing the plate-like object W. The air ejection part 22d is an opening formed in a circular shape when the non-contact type suction holder 22 is viewed from the lower surface, and a guide part 22e is provided in the center part. The inflowing air is ejected radially outward.

支持手段２３は、ベース部２１に非接触式吸引保持器２２を回転自在に支持するものであり、図２および図３に示すように、管継手２５と、第１支持部２６と第２支持部２７とからなる支持部とを含んで構成されている。管継手２５は、エアー供給源４からのエアーを非接触式吸引保持器２２に供給するものであり、本体部２５ａと、頭部２５ｂとを含んで構成され、内部にエアー通路部２５ｃが本体部２５ａの先端（頭部２５ｂ側と反対側の端部）まで形成されている。本体部２５ａは、非接触式吸引保持器２２と接続されるものであり、円筒形状に形成され、先端が非接触式吸引保持器２２と接続されている。本実施形態では、本体部２５ａがエアー流入部２２ｂに挿入された状態で、締結手段、例えば本体部２５ａの先端外周に形成された雄ネジが、エアー流入部２２ｂに形成された雌ネジに螺合することで締結される。これにより、エアー通路部２５ｃとエアー流入部２２ｂとが連通する。頭部２５ｂは、支持部に回転自在に支持される部分であり、略球状（球の上下を切り欠いた形状）に形成されている。頭部２５ｂは、エアー配管５と接続されるものであり、エアー通路部２５ｃと連通するエアー流入部２５ｄが本体部２５ａと反対側の面である上面に形成されている。本実施形態では、エアー配管５の先端がエアー流入部２５ｄに挿入された状態で、締結手段、例えばエアー配管５の先端外周に形成された雄ネジが、エアー流入部２５ｄに形成された雌ネジに螺合することで締結される。これにより、エアー配管５とエアー流入部２５ｄとが連通する。 The support means 23 rotatably supports the non-contact type suction holder 22 on the base portion 21, and as shown in FIGS. 2 and 3, a pipe joint 25, a first support portion 26, and a second support. And a support portion composed of the portion 27. The pipe joint 25 supplies air from the air supply source 4 to the non-contact type suction holder 22, and includes a main body portion 25 a and a head portion 25 b, and the air passage portion 25 c is included in the main body. It is formed up to the tip of the portion 25a (the end opposite to the head 25b side). The main body portion 25 a is connected to the non-contact type suction holder 22, is formed in a cylindrical shape, and has a tip connected to the non-contact type suction holder 22. In the present embodiment, in the state where the main body portion 25a is inserted into the air inflow portion 22b, a fastening means, for example, a male screw formed on the outer periphery of the front end of the main body portion 25a is screwed into a female screw formed in the air inflow portion 22b. It is concluded by joining. Thereby, the air passage part 25c and the air inflow part 22b communicate. The head portion 25b is a portion that is rotatably supported by the support portion, and is formed in a substantially spherical shape (a shape obtained by cutting the top and bottom of the sphere). The head portion 25b is connected to the air pipe 5, and an air inflow portion 25d communicating with the air passage portion 25c is formed on the upper surface which is the surface opposite to the main body portion 25a. In the present embodiment, a male screw formed on the outer periphery of the distal end of the air pipe 5 is a female screw formed on the air inflow part 25d in a state where the front end of the air pipe 5 is inserted into the air inflow part 25d. It is fastened by being screwed onto. Thereby, the air piping 5 and the air inflow part 25d communicate.

ここで、エアー配管５は、エアー供給源４に接続されており、管継手２５を介してエアー供給源４から供給されるエアーを非接触式吸引保持器２２に供給するものであり、例えばフレキシブルチューブなどの柔軟な配管である。従って、エアー配管５は、後述するベース部２１に対する非接触式吸引保持器２２の姿勢が変化する際に、この姿勢変化を規制することを抑制することができる。なお、エアー配管５は、移動手段３により追従できるように支持されていてもよい。また、エアー供給源４と非接触式吸引保持器２２との間には、エアー制御弁６が設けられており、図示しない制御装置によりエアー制御弁６の開閉制御を行うことにより、非接触式吸引保持器２２に供給されるエアー供給量を制御、すなわち非接触式吸引保持器２２の吸引力を制御することができる。 Here, the air pipe 5 is connected to the air supply source 4 and supplies air supplied from the air supply source 4 to the non-contact type suction holder 22 via the pipe joint 25. Flexible piping such as tubes. Therefore, the air pipe 5 can suppress the restriction of the posture change when the posture of the non-contact suction holder 22 with respect to the base portion 21 described later changes. The air pipe 5 may be supported so that it can be followed by the moving means 3. Further, an air control valve 6 is provided between the air supply source 4 and the non-contact type suction holder 22, and the non-contact type is controlled by performing opening / closing control of the air control valve 6 by a control device (not shown). The air supply amount supplied to the suction holder 22 can be controlled, that is, the suction force of the non-contact type suction holder 22 can be controlled.

第１支持部２６と第２支持部２７とからなる支持部は、ベース部２１に配設され、第１貫通穴２６ａと第２貫通穴２７ａとからなる貫通穴を有する。貫通穴である第１貫通穴２６ａと第２貫通穴２７ａは、内部で管継手２５の頭部２５ｂを回動可能に支持するものである。第１支持部２６は、ベース部２１に直接配設されるものであり、円盤形状に形成され、中央部に第１貫通穴２６ａが形成されている。第１支持部２６は、ベース部２１の締結穴２１ｂにそれぞれ対応する連通穴２６ｂが第１貫通穴２６ａの周囲に形成されている。第２支持部２７は、第１支持部２６に積層されて配設されるものであり、円盤形状に形成され、中央部に第２貫通穴２７ａが形成されている。第２支持部２７は、第１支持部２６の連通穴２６ｂにそれぞれ対応する連通穴２７ｂが第２貫通穴２７ａの周囲に形成されている。ここで、貫通穴は内側に凹部を有する。本実施形態では、第１貫通穴２６ａと第２貫通穴２７ａは、内側に凹部である第１凹部２６ｃおよび第２凹部２７ｃをそれぞれ内側に有している。第１凹部２６ｃおよび第２凹部２７ｃは、第１貫通穴２６ａおよび第２貫通穴２７ａの一部を拡径することで形成されており、第１支持部２６と第２支持部２７をベース部２１に配設した際に、互いに連通する。本実施形態では、第１凹部２６ｃおよび第２凹部２７ｃは、径の大きい底面と径の小さい天井面とこれらを接続する傾斜面とからなる台形錘に形成され、底面が互いに対向した状態で連通している。第１凹部２６ｃおよび第２凹部２７ｃは、内部に頭部２５ｂが位置した際に、頭部２５ｂの外周面がそれぞれ傾斜面と同時に接触しないようにわずかな隙間を持てるように形成されている。従って、第１凹部２６ｃおよび第２凹部２７ｃは、管継手２５の頭部２５ｂがわずかな隙間を持って回動可能に遊嵌するように形成されている。ここで、頭部２５ｂが回動できる方向は、管継手２５の軸方向まわりの回転方向および鉛直方向を含む平面において、鉛直方向に対して傾斜することができる方向が含まれる。なお、第１支持部２６および第２支持部２７は、本実施形態では、同一形状である。これにより、支持手段２３を構成する部品の共通化を図ることができ、製造コストを低減することができる。 The support part composed of the first support part 26 and the second support part 27 is disposed in the base part 21 and has a through hole made up of the first through hole 26a and the second through hole 27a. The 1st through-hole 26a and 2nd through-hole 27a which are through-holes support the head 25b of the pipe joint 25 so that rotation is possible inside. The 1st support part 26 is directly arrange | positioned by the base part 21, is formed in a disk shape, and the 1st through-hole 26a is formed in the center part. In the first support portion 26, communication holes 26 b corresponding to the fastening holes 21 b of the base portion 21 are formed around the first through holes 26 a. The 2nd support part 27 is laminated | stacked and arrange | positioned by the 1st support part 26, is formed in a disk shape, and the 2nd through-hole 27a is formed in the center part. In the second support portion 27, communication holes 27b corresponding to the communication holes 26b of the first support portion 26 are formed around the second through holes 27a. Here, the through hole has a recess inside. In the present embodiment, the first through hole 26a and the second through hole 27a have a first concave portion 26c and a second concave portion 27c, which are concave portions, on the inner side, respectively. The first concave portion 26c and the second concave portion 27c are formed by expanding a part of the first through hole 26a and the second through hole 27a, and the first support portion 26 and the second support portion 27 are formed as base portions. When arranged in the area 21, they communicate with each other. In the present embodiment, the first recess 26c and the second recess 27c are formed in a trapezoidal weight including a bottom surface having a large diameter, a ceiling surface having a small diameter, and an inclined surface connecting them, and communicate with each other with the bottom surfaces facing each other. doing. The first concave portion 26c and the second concave portion 27c are formed so as to have a slight gap so that the outer peripheral surface of the head portion 25b does not contact the inclined surface at the same time when the head portion 25b is located inside. Accordingly, the first concave portion 26c and the second concave portion 27c are formed so that the head portion 25b of the pipe joint 25 is loosely fitted with a slight gap so as to be rotatable. Here, the direction in which the head 25b can rotate includes a direction in which the head 25b can be inclined with respect to the vertical direction on a plane including the rotational direction around the axial direction of the pipe joint 25 and the vertical direction. In addition, the 1st support part 26 and the 2nd support part 27 are the same shapes in this embodiment. As a result, it is possible to share the parts constituting the support means 23 and reduce the manufacturing cost.

ここで、非接触式吸引保持器２２および支持手段２３のベース部２１に対する組み付けについて説明する。まず、図２に示すように、第１支持部２６をベース部２１のうち、非接触式吸引保持器２２が対向する面とは反対側の面に、第１貫通穴２６ａと開口部２１ａとが連通するように載置する。次に、第１貫通穴２６ａに管継手２５まで挿入し、本体部２５ａの先端をベース部２１のうち非接触式吸引保持器２２が対向する面から突出させる。次に、本体部２５ａの先端外周に形成された雄ネジをエアー流入部２２ｂに形成された雌ネジに螺合することで、本体部２５ａの先端を非接触式吸引保持器２２に接続する。次に、エアー配管５を第２支持部２６に通した状態、すなわちエアー配管５を第２貫通穴２７ａに挿入した状態で、エアー配管５の先端外周に形成された雄ネジを、エアー流入部２５ｄに形成された雌ネジに螺合することで、頭部２５ｂをエアー配管５に接続する。次に、頭部２５ｂが第２貫通穴２７ａに挿入されるように、第２支持部２７を第１支持部２６に載置する。そして、締結部材２８を連通穴２７ｂ、連通穴２６ｂ、締結穴２１ｂに挿入し、締結部材２８の雄ネジを締結穴２１ｂの雌ネジに螺合することで、支持手段２３をベース部２１に固定する。 Here, the assembly | attachment with respect to the base part 21 of the non-contact-type suction holder 22 and the support means 23 is demonstrated. First, as shown in FIG. 2, the first support portion 26 is formed on the surface of the base portion 21 opposite to the surface facing the non-contact suction holder 22, and the first through hole 26 a and the opening 21 a Is placed so that can communicate. Next, the pipe joint 25 is inserted into the first through hole 26a, and the tip of the main body portion 25a is protruded from the surface of the base portion 21 to which the non-contact type suction holder 22 faces. Next, the front end of the main body portion 25a is connected to the non-contact suction holder 22 by screwing a male screw formed on the outer periphery of the front end of the main body portion 25a with a female screw formed on the air inflow portion 22b. Next, in a state where the air pipe 5 is passed through the second support portion 26, that is, in a state where the air pipe 5 is inserted into the second through hole 27a, the male screw formed on the outer periphery of the tip end of the air pipe 5 is connected to the air inflow portion. The head portion 25b is connected to the air pipe 5 by screwing into a female screw formed in 25d. Next, the second support portion 27 is placed on the first support portion 26 such that the head portion 25b is inserted into the second through hole 27a. The fastening member 28 is inserted into the communication hole 27b, the communication hole 26b, and the fastening hole 21b, and the male screw of the fastening member 28 is screwed into the female screw of the fastening hole 21b, thereby fixing the support means 23 to the base portion 21. To do.

規制手段２４は、板状物Ｗの水平移動を規制するものであり、搬送装置１が搬送する板状物Ｗの外周領域と対向する位置に配設されている。ここで、外周領域とは、板状物Ｗの少なくとも外周を含む領域であり、好ましくは外周よりも半径方向内側の部分、例えば、デバイスが形成されていない余剰領域の一部も含む。規制手段２４は、軸部２４ａと、つば部２４ｂと、ブロック２４ｃとを含んで構成されている。軸部２４ａは、ベース部２１に形成された軸部貫通穴２１ｃに軸方向、すなわち上下方向に移動自在に挿入されており、上方の端部につば部２４ｂが固定され、下方の端部がブロック２４ｃに挿入固定されている。つまり、規制手段２４は、ベース部２１に支持されている。つば部２４ｂは、軸部貫通穴２１ｃよりも水平方向における幅が広く設定されており、軸部２４ａが軸部貫通穴２１ｃから抜け落ちることを防止する。つば部２４ｂは、規制手段２４の重さを調整するために図示しない重りが設けられていてもよい。ブロック２４ｃは、非接触式吸引保持器２２により保持された板状物Ｗと対向し、接触するものである。ブロック２４ｃの保持された板状物Ｗと対向する面は、保持された板状物Ｗの径方向内側に向かうに伴いベース部２１側に向かう、すなわち上昇する傾斜面２４ｄに形成されている。傾斜面２４ｄは、非接触式吸引保持器２２により板状物Ｗが保持される際に水平方向に移動することが規制できる程度の摩擦係数を有する。例えば、傾斜面２４ｄは、例えばラバーシートなどの摩擦部材を敷設することで形成されていてもよい。なお、傾斜面２４ｄの摩擦力は、上記つば部２４ｂに設けられる重りにより調整することができる。 The regulating means 24 regulates the horizontal movement of the plate-like object W, and is arranged at a position facing the outer peripheral area of the plate-like object W conveyed by the conveyance device 1. Here, the outer peripheral region is a region including at least the outer periphery of the plate-like object W, and preferably includes a portion radially inward of the outer periphery, for example, a part of a surplus region where no device is formed. The restricting means 24 includes a shaft portion 24a, a collar portion 24b, and a block 24c. The shaft portion 24a is inserted into a shaft portion through-hole 21c formed in the base portion 21 so as to be movable in the axial direction, that is, in the vertical direction, the collar portion 24b is fixed to the upper end portion, and the lower end portion is Inserted and fixed to the block 24c. That is, the restricting means 24 is supported by the base portion 21. The collar portion 24b is set wider in the horizontal direction than the shaft portion through hole 21c, and prevents the shaft portion 24a from falling off the shaft portion through hole 21c. The collar portion 24 b may be provided with a weight (not shown) in order to adjust the weight of the regulating means 24. The block 24c faces and contacts the plate-like object W held by the non-contact type suction holder 22. The surface of the block 24c that faces the held plate-like object W is formed as an inclined surface 24d that goes toward the base portion 21 as it goes inward in the radial direction of the held plate-like object W, that is, rises. The inclined surface 24d has a friction coefficient that can restrict the horizontal movement when the plate-like object W is held by the non-contact suction holder 22. For example, the inclined surface 24d may be formed by laying a friction member such as a rubber sheet. Note that the frictional force of the inclined surface 24d can be adjusted by a weight provided on the collar portion 24b.

移動手段３は、第１の所定の位置から第２の所定の位置へと吸引保持手段２を移動させるものである。移動手段３は、図１に示すように、アーム部３１と、昇降手段３２と、旋回手段３３とを含んで構成されている。アーム部３１の一方の端部には、ベース部２１を連結する連結部材３１ａが形成されている。昇降手段３２は、アーム部３１の他方の端部が連結され、例えばエアーピストンであり、アーム部３１を昇降させることで、吸引保持手段２を上下方向（同図矢印Ｃ）に昇降させるものである。旋回手段３３は、昇降手段３２に連結され、回転運動可能なモータなどを駆動源に含み、昇降手段３２およびアーム部３１を旋回させることで、吸引保持手段２を水平方向（同図矢印Ｄ）に旋回させるものである。 The moving means 3 moves the suction holding means 2 from the first predetermined position to the second predetermined position. As shown in FIG. 1, the moving means 3 includes an arm portion 31, an elevating means 32, and a turning means 33. A connecting member 31 a that connects the base portion 21 is formed at one end of the arm portion 31. The lifting / lowering means 32 is connected to the other end of the arm portion 31 and is, for example, an air piston. The lifting / lowering means 32 moves the suction / holding means 2 up and down (arrow C in the figure) by raising and lowering the arm portion 31. is there. The swivel means 33 is connected to the lift means 32 and includes a motor capable of rotational movement as a drive source. By swiveling the lift means 32 and the arm portion 31, the suction holding means 2 is moved in the horizontal direction (arrow D in the figure). It is intended to turn.

次に、搬送装置１による板状物Ｗの搬送動作について説明する。まず、ここでは、平坦な板状物Ｗを搬送する場合について説明する。板状物Ｗが吸引保持されていない吸引保持手段２を、例えば移動手段３の旋回手段３３により旋回させることで、第１所定の位置、例えば、前工程における板状物Ｗを複数収容するカセットや板状物Ｗが保持されている保持テーブルの上方まで移動させる。次に、前工程の保持テーブルの上方に位置する吸引保持手段２を移動手段３の昇降手段３２により下降させ、規制手段２４を板状物Ｗに接触させる。従って、非接触式吸引保持器２２が板状物Ｗを吸引保持する前に、板状物Ｗの水平方向への移動が規制される。これにより、非接触式吸引保持器２２により板状物Ｗを確実に吸引保持することができる。また、ブロック２４ｃは、上述のように、傾斜面２４ｄが板状物Ｗの外周と接触するので、板状物Ｗに対する接触面積を少なくすることができ、板状物Ｗに形成されたデバイス領域に規制手段２４が接触することで発生するデバイス領域への影響を抑制することができる。 Next, the conveying operation of the plate-like object W by the conveying device 1 will be described. First, the case where the flat plate-shaped object W is conveyed is demonstrated here. A cassette that accommodates a plurality of plate-like objects W in a first predetermined position, for example, the previous process by turning the suction-holding means 2 on which the plate-like object W is not sucked and held, for example, by the turning means 33 of the moving means 3. Or the plate-like object W is moved to above the holding table. Next, the suction holding means 2 positioned above the holding table in the previous process is lowered by the raising / lowering means 32 of the moving means 3, and the regulating means 24 is brought into contact with the plate-like object W. Therefore, before the non-contact type suction holder 22 sucks and holds the plate-like object W, the movement of the plate-like object W in the horizontal direction is restricted. Accordingly, the plate-like object W can be reliably sucked and held by the non-contact suction holder 22. Moreover, since the inclined surface 24d contacts the outer periphery of the plate-like object W as described above, the block 24c can reduce the contact area with the plate-like object W, and the device region formed in the plate-like object W It is possible to suppress the influence on the device region that occurs when the regulating means 24 comes into contact with the device.

次に、吸引保持手段２をさらに下降させると、ブロック２４ｃが板状物Ｗに接触したままベース部２１に向けて上昇するとともに、図３に示すように、非接触式吸引保持器２２が板状物Ｗに近接する。ここで、非接触式吸引保持器２２は、エアー噴出部２２ｄから放射状にエアーが外部に噴射されると本体部２２ａの下面の中心部に負圧が発生しており（同図に示す点線矢印）、非接触式吸引保持器２２に近接した板状物Ｗは負圧によって本体部２２ａの下面に引き寄せられる。板状物Ｗが負圧によって本体部２２ａの下面に引き寄せられすぎると、本体部２２ａと板状物Ｗとの間に流れるエアーが反発力として作用し、本体部２２ａと板状物Ｗとの接触が阻止されるため、非接触式吸引保持器２２が板状物Ｗを非接触状態で吸引保持することができる。 Next, when the suction holding means 2 is further lowered, the block 24c is raised toward the base portion 21 while being in contact with the plate-like object W, and as shown in FIG. Proximity to the object W. Here, the non-contact type suction holder 22 generates negative pressure at the center of the lower surface of the main body portion 22a when air is radially ejected from the air ejection portion 22d (dotted arrow shown in the figure). ), The plate-like object W adjacent to the non-contact type suction holder 22 is attracted to the lower surface of the main body 22a by negative pressure. If the plate-like object W is attracted too much by the negative pressure to the lower surface of the main body part 22a, the air flowing between the main body part 22a and the plate-like object W acts as a repulsive force, and the main body part 22a and the plate-like object W Since the contact is prevented, the non-contact type suction holder 22 can suck and hold the plate-like object W in a non-contact state.

次に、板状物Ｗを吸引保持した吸引保持手段２を移動手段３の昇降手段３２により上昇させ、板状物Ｗを保持テーブルから上昇させる。板状物Ｗを吸引保持した吸引保持手段２を、例えば移動手段３の旋回手段３３により旋回させることで、第２所定の位置、例えば、後工程において板状物Ｗを保持する保持テーブルや板状物Ｗを複数収容するカセットの上方まで移動させる。次に、後工程の保持テーブルの上方に位置する吸引保持手段２を板状物Ｗが保持テーブルに接触するまで下降させ、エアー供給源４からのエアーの供給をエアー制御弁６により遮断する。これにより、本体部２５ａの下面の中心部に発生していた負圧が消滅し、吸引保持手段２による板状物Ｗの吸引保持が解除される。 Next, the suction holding means 2 that sucks and holds the plate-like object W is raised by the elevating means 32 of the moving means 3, and the plate-like object W is raised from the holding table. The suction holding means 2 that sucks and holds the plate-like object W is turned by, for example, the turning means 33 of the moving means 3, so that a holding table or a plate that holds the plate-like object W in a second predetermined position, for example, a subsequent process. It moves to the upper part of the cassette which accommodates a plurality of articles W. Next, the suction holding means 2 positioned above the holding table in the subsequent process is lowered until the plate-like object W comes into contact with the holding table, and the air supply from the air supply source 4 is shut off by the air control valve 6. As a result, the negative pressure generated at the central portion of the lower surface of the main body portion 25a disappears, and the suction holding of the plate-like object W by the suction holding means 2 is released.

ここで、板状物Ｗが平坦ではなく、反っている場合もある。図４に示すように、ベース部２１に向かって凸となるように反った板状物Ｗ’を吸引保持手段２により吸引保持する場合について説明する。前工程の保持テーブルの上方に位置する吸引保持手段２を移動手段３の昇降手段３２により下降させ、規制手段２４に反った板状物Ｗ’が接触しても、ブロック２４ｃの反った板状物Ｗ’と接触する部分が傾斜面２４ｄであるため、ブロック２４ｃの反った板状物Ｗ’が平坦の場合と比較して、反った板状物Ｗ’に対する接触面積を少なくすることができ、板状物Ｗ’が反っていてもデバイス領域に規制手段２４が接触することで発生するデバイス領域への影響を抑制することができる。 Here, the plate-like object W may be not flat but warped. As shown in FIG. 4, a description will be given of a case where the plate-like object W ′ that is warped so as to protrude toward the base portion 21 is sucked and held by the suction holding means 2. Even if the suction holding means 2 located above the holding table in the previous process is lowered by the raising / lowering means 32 of the moving means 3 and the plate-like object W ′ warped against the regulating means 24 contacts, the warped plate shape of the block 24c. Since the portion in contact with the object W ′ is the inclined surface 24d, the contact area with respect to the warped plate-like object W ′ can be reduced as compared with the case where the warped plate-like object W ′ of the block 24c is flat. Even if the plate-like object W ′ is warped, it is possible to suppress the influence on the device region that occurs when the regulating means 24 contacts the device region.

次に、吸引保持手段２をさらに下降させると、ブロック２４ｃが反った板状物Ｗ’に接触したままベース部２１に向けて上昇するとともに、非接触式吸引保持器２２が反った板状物Ｗ’に近接する。非接触式吸引保持器２２が反った板状物Ｗ’に近接した当初は、本体部２２ａの下面と反った板状物Ｗ’とが平行ではない。しかしながら、本体部２２ａと反った板状物Ｗ’とが発生した負圧により（同図に示す点線矢印）接触しようとすると、本体部２２ａと反った板状物Ｗ’との間に流れるエアーが反発力として作用するため、管継手２５が回動することで、非接触式吸引保持器２２が回動し、本体部２５ａの下面と反った板状物Ｗ’が接触しないように間隔を維持する。なお、ベース部２１に向かって凹となるように反った板状物Ｗ’であっても、同様に、本体部２２ａと反った板状物Ｗ’とが接触しようとすると、本体部２２ａと反った板状物Ｗ’との間に流れるエアーが反発力として作用するため、非接触式吸引保持器２２が回動し、本体部２２ａの下面と反った板状物Ｗ’が接触しないように間隔を維持する。 Next, when the suction holding means 2 is further lowered, the block 24c rises toward the base portion 21 while being in contact with the warped plate-like object W ′, and the non-contact suction holder 22 is warped. Proximity to W ′. When the non-contact type suction holder 22 comes close to the warped plate W ', the lower surface of the main body 22a and the warped plate W' are not parallel. However, if an attempt is made to make contact with the negative pressure generated by the main body portion 22a and the warped plate-like object W '(dotted line arrow shown in the figure), air flows between the main body portion 22a and the warped plate-like object W'. Therefore, when the pipe joint 25 is rotated, the non-contact type suction holder 22 is rotated, and the interval is set so that the plate-like object W ′ warped against the lower surface of the main body portion 25a does not contact. maintain. Similarly, even if the plate-like object W ′ is warped so as to be concave toward the base part 21, if the main body part 22a and the warped plate-like object W ′ are about to contact, Since the air flowing between the warped plate-like object W ′ acts as a repulsive force, the non-contact suction holder 22 rotates so that the warped plate-like object W ′ does not come into contact with the lower surface of the main body portion 22a. Maintain the spacing.

以上のように、本実施形態に係る板状物Ｗの搬送装置１では、支持手段２３により非接触式吸引保持器２２がベース部２１に対して傾斜可能に支持されているので、搬送対象の板状物Ｗの反りにあわせて非接触式吸引保持器２２が回動し、非接触式吸引保持器２２が板状物Ｗに接触しないように、非接触式吸引保持器２２と板状物Ｗとの間隔を維持することができる。従って、搬送装置１により搬送される板状物Ｗの状態にかかわらず、板状物Ｗを非接触状態で吸引保持することができるという効果を奏する。また、搬送対象の板状物Ｗの反りにあわせて、非接触式吸引保持器２２の板状物Ｗに対する傾きを自動的に調整することができる。また、非接触式吸引保持器２２と板状物Ｗとの間隔を維持することで、非接触式吸引保持器２２と板状物Ｗと間で発生する吸引力が不均衡となることを抑制することができるので、搬送装置１により搬送される板状物Ｗの状態にかかわらず、非接触式吸引保持器２２により確実に吸引保持することができる。さらに、搬送装置１により搬送される板状物Ｗの状態にかかわらず、板状物Ｗを非接触状態で吸引保持することができるので、搬送装置１による搬送工程において、平坦な板状物Ｗと反った板状物Ｗ’とが混在していても、安定した搬送性能を実現することができる。 As described above, in the transport apparatus 1 for the plate-like object W according to the present embodiment, the non-contact type suction holder 22 is supported by the support means 23 so as to be tiltable with respect to the base portion 21. The non-contact type suction holder 22 and the plate-like object are arranged so that the non-contact type suction holder 22 rotates in accordance with the warpage of the plate-like object W and the non-contact type suction holder 22 does not contact the plate-like object W. An interval with W can be maintained. Therefore, regardless of the state of the plate-like object W conveyed by the conveyance device 1, the plate-like object W can be sucked and held in a non-contact state. Further, the inclination of the non-contact type suction holder 22 with respect to the plate-like object W can be automatically adjusted in accordance with the warp of the plate-like object W to be conveyed. Further, by maintaining the distance between the non-contact type suction holder 22 and the plate-like object W, it is possible to prevent the suction force generated between the non-contact type suction holder 22 and the plate-like object W from becoming unbalanced. Therefore, regardless of the state of the plate-like object W conveyed by the conveying device 1, it can be reliably sucked and held by the non-contact type suction holder 22. Further, since the plate-like object W can be sucked and held in a non-contact state regardless of the state of the plate-like object W conveyed by the conveyance device 1, the flat plate-like object W in the conveyance process by the conveyance device 1. Even if the warped plate-like object W ′ is mixed, stable conveyance performance can be realized.

なお、上記実施形態では、規制手段２４として、ベース部２１に対して上下方向に移動可能なブロック２４ｃを用いたが本発明はこれに限定されるものではなく、非接触式吸引保持器２２により板状物Ｗを吸引保持する際に、板状物Ｗが水平方向に移動することを規制することができるものであればよい。例えば、規制手段２４は、ベース部２１に回動自在に支持されたアームであってもよい。この場合、アームは、ベース部２１の外周近傍に設けられており、待機状態では吸引保持手段２の上昇下降時に板状物Ｗの外周と接触しないように位置し、吸引保持手段２による板状物Ｗの吸引保持時に、アームの回動先端が板状物Ｗの外周領域に接触する位置まで回動する。これにより、アームが板状物Ｗの水平方向への移動を規制する。 In the above-described embodiment, the block 24c that is movable in the vertical direction with respect to the base portion 21 is used as the regulating means 24. However, the present invention is not limited to this, and the non-contact type suction holder 22 is used. What is necessary is just to be able to regulate the movement of the plate-like object W in the horizontal direction when sucking and holding the plate-like object W. For example, the restricting means 24 may be an arm that is rotatably supported by the base portion 21. In this case, the arm is provided in the vicinity of the outer periphery of the base portion 21 and is positioned so as not to come into contact with the outer periphery of the plate-like object W when the suction holding means 2 is raised and lowered in the standby state. When the object W is sucked and held, the arm is rotated to a position where the tip of the arm contacts the outer peripheral area of the plate-like object W. As a result, the arm restricts the movement of the plate-like object W in the horizontal direction.

１搬送装置
２吸引保持手段
２１ベース部
２２非接触式吸引保持器
２３支持手段
２４規制手段
２５管継手
２５ａ本体部
２５ｂ頭部
２６第１支持部（支持部）
２６ａ第１貫通穴（貫通穴）
２６ｃ第１凹部（凹部）
２７第２支持部（支持部）
２７ａ第２貫通穴（貫通穴）
２７ｃ第２凹部（凹部）
３移動手段
４エアー供給源
５エアー配管
６エアー制御弁 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conveyance apparatus 2 Suction holding means 21 Base part 22 Non-contact type suction holder 23 Support means 24 Control means 25 Pipe joint 25a Main body part 25b Head part 26 First support part (support part)
26a First through hole (through hole)
26c 1st recessed part (recessed part)
27 Second support part (support part)
27a Second through hole (through hole)
27c Second recess (recess)
3 Moving means 4 Air supply source 5 Air piping 6 Air control valve

Claims

In a plate-like object conveying apparatus comprising: a suction holding means for sucking and holding a plate-like object; and a moving means for moving the suction holding means from a first predetermined position to a second predetermined position.
The suction holding means includes
A base connected to the moving means;
A non-contact type suction holder that generates a negative pressure by jetting air and sucks a plate-like object in a non-contact state;
Support means for rotatably supporting the non-contact type suction holder on the base portion;
With
The support means is
A pipe joint having a main body part connected to the non-contact type suction holder and a head part to which a flexible air pipe communicating with an air supply source is connected, the head part being formed in a substantially spherical shape; ,
A support portion disposed in the base portion and having a through hole for supporting the head portion therein ;
The through holes, possess the non-contact sucking and holding unit and the air pipe and a recess in which the head is loosely fitted rotatably with a slight gap of the connected pipe joint inwardly,
The said recessed part is equipped with the inclined surface which inclines with respect to the axial direction of the said through-hole, The conveying apparatus of the plate-shaped object characterized by the above-mentioned .

The support means includes a first recess and a second recess which are the recesses,
2. The plate according to claim 1, wherein the first recess and the second recess are formed so as to have a slight gap so that an outer peripheral surface of the head does not contact with the inclined surface at the same time. Conveying device for objects.

3. The outer peripheral region of the plate-like object is provided with restriction means for restricting horizontal movement of the plate-like object supported by the base portion and held by the non-contact type suction holder. The plate-shaped article conveying apparatus according to 1.