JP6118235B2 - 鱗片状微粉体の製造方法および鱗片状微粉体の製造装置 - Google Patents
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Description
11 エンドレスベルト
12 搬送手段
13 塗布手段
14 成膜手段
15 剥離手段
16 仕切り板
17 イオン性液体室
18 成膜室
20、21 冷却ドラム
22 搬送ロール
23 回転ドラム
24 加熱ロール
25 ワイヤバー
26 イオン性液体
27 浴槽
28 クライオパネル
29 熱交換ガス導入口
30 蒸着源
Claims (3)
- 真空槽内において、エンドレスベルトを連続的に搬送するとともに、前記エンドレスベルトの表面にイオン性液体を形成する塗布工程と、前記イオン性液体の上に金属または金属化合物の薄膜を形成する成膜工程と、前記エンドレスベルトから前記イオン性液体と前記薄膜とを剥離する剥離工程とを、連続して複数回繰り返して行うものであり、前記イオン性液体は、融点が50℃以上150℃以下であり、前記塗布工程は、融点以上の温度に保たれた前記イオン性液体を蓄えた浴槽からエンドレスベルトを引き上げることにより行うものであり、前記剥離工程は、前記浴槽にエンドレスベルトを浸漬することにより行うものであることを特徴とする鱗片状微粉体の製造方法。
- 前記イオン性液体と前記薄膜とを分離して前記薄膜を回収する分離回収工程と、前記薄膜を粉砕する粉砕工程とをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の鱗片状微粉体の製造方法。
- エンドレスベルトと、このエンドレスベルトを搬送する搬送手段と、前記エンドレスベルトの表面にイオン性液体を形成する塗布手段と、前記イオン性液体の上に金属または金属化合物の薄膜を形成する成膜手段と、前記エンドレスベルトから前記イオン性液体と前記薄膜とを剥離する剥離手段とを、真空槽内に備えたものであり、前記塗布手段は、融点以上の温度に保たれた前記イオン性液体を蓄えた浴槽からエンドレスベルトを引き上げることにより行うものであり、前記剥離手段は、前記浴槽にエンドレスベルトを浸漬することにより行うものであることを特徴とする鱗片状微粉体の製造装置。
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