JP6101365B2 - 流量制御弁 - Google Patents
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- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 150
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 27
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims description 9
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims description 9
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 4
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 claims 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 10
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 9
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 8
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 8
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000003317 industrial substance Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 2
- -1 valve corrosion Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000005493 condensed matter Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
Images
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K49/00—Means in or on valves for heating or cooling
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K49/00—Means in or on valves for heating or cooling
- F16K49/005—Circulation means for a separate heat transfer fluid
- F16K49/007—Circulation means for a separate heat transfer fluid located within the obturating element
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/16—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
- F16K1/18—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps
- F16K1/22—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps with axis of rotation crossing the valve member, e.g. butterfly valves
- F16K1/226—Shaping or arrangements of the sealing
- F16K1/2261—Shaping or arrangements of the sealing the sealing being arranged on the valve member
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/04—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members
- F16K3/10—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/0318—Processes
- Y10T137/0402—Cleaning, repairing, or assembling
- Y10T137/0419—Fluid cleaning or flushing
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/6416—With heating or cooling of the system
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
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Description
本願は、2013年1月29日出願の米国特許出願第13/753,019号に対して、米国特許法119条の優先権の利益を主張するものであり、この出願の全開示をここに参照して援用する。
Claims (19)
- 弁アセンブリであって、
前記弁アセンブリを通る第1のガスを送出可能な流路を含む弁体と、
前記流路を通る流れが最大流量となる開位置と前記流路を通る流れが最小流量となる閉位置との間で前記弁体に対して可動である弁流制御要素であって、当該弁流制御要素は、前記弁体と前記弁流制御要素との間に前記第1のガスが流動可能な制御ギャップが設けられる形状となっており、前記制御ギャップの大きさが、前記弁体に対する前記弁流制御要素の位置に依存して変化する、弁流制御要素と、
前記流路を通る前記第1のガスの流れを制御するために前記弁アセンブリを用いる際に、前記制御ギャップ内に第2のガスを選択的に噴射するためのガス噴射器配置と、
を備え、
前記弁アセンブリは、前記弁体に対する前記弁流制御要素の位置に依存するバルブコンダクタンスを有し、
前記ガス噴射器配置は、前記第2のガスを前記制御ギャップへ導くための第2の流路を、前記弁流制御要素内に有し、前記弁流制御要素が前記閉位置またはこれに近い時の、前記弁アセンブリのバルブコンダクタンスを低減するように、前記制御ギャップ内に前記第2のガスを噴射することを特徴とする弁アセンブリ。 - 前記弁アセンブリは蝶形弁であり、前記弁流制御要素は可動式フラッパであることを特徴とする、請求項1に記載の弁アセンブリ。
- 前記弁アセンブリは振り子式弁であり、前記弁流制御要素は可動式ディスクであることを特徴とする、請求項1に記載の弁アセンブリ。
- 弁アセンブリであって、
前記弁アセンブリを通る第1のガスを送出可能な流路を含む弁体と、
前記流路を通る流れが最大流量となる開位置と前記流路を通る流れが最小流量となる閉位置との間で前記弁体に対して可動である弁流制御要素であって、当該弁流制御要素は、前記弁体と前記弁流制御要素との間に前記第1のガスが流動可能な制御ギャップが設けられる形状となっており、前記制御ギャップの大きさが、前記弁体に対する前記弁流制御要素の位置に依存して変化する、弁流制御要素と、
前記流路を通る前記第1のガスの流れを制御するために前記弁アセンブリを用いる際に、前記制御ギャップ内に第2のガスを選択的に噴射するためのガス噴射器配置と、
を備え、
前記第2のガスは、前記第1のガスの凝結温度よりも高い温度で前記第1のガスと前記第2のガスとが混合するように、前記第1のガスよりも高い温度であることを特徴とする弁アセンブリ。 - 前記弁流制御要素は、前記ガス噴射器配置における少なくとも前記第2の流路の部分を規定するように、構成および配置された少なくとも二枚の板を備えることを特徴とする、請求項1に記載の弁アセンブリ。
- 前記二枚の板の間に配設されたスペーサをさらに備えることを特徴とする、請求項5に記載の弁アセンブリ。
- 前記ガス噴射器配置は、前記第2のガスを前記制御ギャップ内へ導くための開口を前記弁流制御要素内に備えることを特徴とする、請求項1に記載の弁アセンブリ。
- 前記弁流制御要素内の前記開口は、前記第2のガスを前記弁流制御要素から径外側方向に導くように配置されることを特徴とする、請求項7に記載の弁アセンブリ。
- 前記弁流制御要素内の前記開口は、前記第2のガスを、前記第1のガスの前記流れと同一の下流方向へ導くように配置されることを特徴とする、請求項7に記載の弁アセンブリ。
- 弁体と、弁アセンブリを通る第1のガスの流量を制御するのに用いる弁流制御要素とを備える前記弁アセンブリをそのままで洗浄する方法であって、
流路を通る前記第1のガスの流量を制御するために前記弁アセンブリが用いられる時、弁流制御要素と前記弁体との間における前記第1のガスが通過可能な制御ギャップへ、第2のガスを選択的に噴射する工程と、
前記第2のガスを前記制御ギャップへ導くように、前記弁流制御要素内の第2の流路を通じて前記ガスを送出する工程と、を備え、
前記弁アセンブリは、前記弁体に対する前記弁流制御要素の位置に依存するバルブコンダクタンスを有し、
前記選択的に噴射する工程は、前記弁流制御要素が閉位置またはこれに近い時の、前記弁アセンブリのバルブコンダクタンスを低減するように、前記制御ギャップ内に前記第2のガスを噴射することを特徴とする方法。 - 前記第2のガスは、前記第1のガスと反応しないガスであることを特徴とする、請求項10に記載の方法。
- 前記弁アセンブリは蝶形弁であり、前記弁流制御要素は可動式フラッパであることを特徴とする、請求項10に記載の方法。
- 前記弁アセンブリは振り子式弁であることを特徴とする、請求項10に記載の方法。
- 弁体と、弁アセンブリを通る第1のガスの流量を制御するのに用いる弁流制御要素とを備える前記弁アセンブリをそのままで洗浄する方法であって、
流路を通る前記第1のガスの流量を制御するために前記弁アセンブリが用いられる時、弁流制御要素と前記弁体との間における前記第1のガスが通過可能な制御ギャップへ、第2のガスを選択的に噴射する工程を備え、
前記第2のガスは、前記第1のガスの凝結温度よりも高い温度で前記第1のガスと前記第2のガスとが混合するように、前記第1のガスよりも高い温度であることを特徴とする方法。 - 前記弁流制御要素は、少なくとも前記第2の流路の部分を規定するように、構成および配置された少なくとも二枚の板を備えることを特徴とする、請求項10に記載の方法。
- 前記二枚の板の間にスペーサを配設する工程をさらに備えることを特徴とする、請求項15に記載の方法。
- 前記制御ギャップへ前記第2のガスを噴射する工程は、前記弁流制御要素内の開口を通る前記第2のガスを、前記制御ギャップ内へ導くことを含むことを特徴とする、請求項15に記載の方法。
- 前記第2のガスを噴射する工程は、前記開口を通る前記第2のガスを、前記弁流制御要素から径外側方向に導くことを特徴とする、請求項17に記載の方法。
- 前記第2のガスを噴射する工程は、前記開口を通る前記第2のガスを、前記第1のガスの流れと同一の下流方向へ導くことを含むことを特徴とする、請求項17に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/753,019 | 2013-01-29 | ||
US13/753,019 US9133960B2 (en) | 2013-01-29 | 2013-01-29 | Fluid control valves |
PCT/US2014/011953 WO2014120474A1 (en) | 2013-01-29 | 2014-01-17 | Fluid control valves |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016509172A JP2016509172A (ja) | 2016-03-24 |
JP6101365B2 true JP6101365B2 (ja) | 2017-03-22 |
Family
ID=51221620
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015556046A Active JP6101365B2 (ja) | 2013-01-29 | 2014-01-17 | 流量制御弁 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9133960B2 (ja) |
EP (1) | EP2951473B1 (ja) |
JP (1) | JP6101365B2 (ja) |
KR (1) | KR101683029B1 (ja) |
CN (1) | CN104919230B (ja) |
SG (1) | SG11201503990PA (ja) |
TW (1) | TWI550220B (ja) |
WO (1) | WO2014120474A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2015383155B2 (en) * | 2015-02-17 | 2018-10-11 | Halliburton Energy Services, Inc. | 3D printed flapper valve |
JP6857491B2 (ja) * | 2016-02-11 | 2021-04-14 | Ckd株式会社 | 真空圧力制御装置 |
US10107417B2 (en) * | 2016-12-14 | 2018-10-23 | Fisher Controls International Llc | Single-piece valve closure members having integral flow paths formed via additive manufacturing |
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US11015524B2 (en) | 2017-08-30 | 2021-05-25 | Parker-Hannifin Corporation | Turbine engine air control valve |
US11085546B2 (en) | 2018-04-10 | 2021-08-10 | Fisher Controls International Llc | Purge apparatus for use with fluid valves |
CN117249271A (zh) * | 2018-11-09 | 2023-12-19 | 芙罗服务管理公司 | 阀和操作阀的方法 |
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---|---|---|---|---|
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-
2013
- 2013-01-29 US US13/753,019 patent/US9133960B2/en active Active
-
2014
- 2014-01-17 CN CN201480005162.2A patent/CN104919230B/zh active Active
- 2014-01-17 SG SG11201503990PA patent/SG11201503990PA/en unknown
- 2014-01-17 KR KR1020157014151A patent/KR101683029B1/ko active IP Right Grant
- 2014-01-17 JP JP2015556046A patent/JP6101365B2/ja active Active
- 2014-01-17 WO PCT/US2014/011953 patent/WO2014120474A1/en active Application Filing
- 2014-01-17 EP EP14746877.1A patent/EP2951473B1/en active Active
- 2014-01-24 TW TW103102582A patent/TWI550220B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140209181A1 (en) | 2014-07-31 |
CN104919230A (zh) | 2015-09-16 |
EP2951473A4 (en) | 2016-09-28 |
WO2014120474A1 (en) | 2014-08-07 |
EP2951473A1 (en) | 2015-12-09 |
KR101683029B1 (ko) | 2016-12-06 |
TW201502403A (zh) | 2015-01-16 |
JP2016509172A (ja) | 2016-03-24 |
KR20150076251A (ko) | 2015-07-06 |
TWI550220B (zh) | 2016-09-21 |
SG11201503990PA (en) | 2015-06-29 |
EP2951473B1 (en) | 2019-10-30 |
CN104919230B (zh) | 2016-11-30 |
US9133960B2 (en) | 2015-09-15 |
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