JP6097893B2 - 半導体加工用テープ - Google Patents
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Description
粘着テープの応力/基材のみの応力=1以下
であることを特徴とする半導体加工用テープに関する。
(a)回路パターンが形成されたウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(b)前記ウエハ裏面を研削するバックグラインド工程と、
(c)前記ウエハを加熱した状態で、前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(d)前記ウエハ表面から前記表面保護テープを剥離する工程と、
(e)前記ウエハの分割予定部分にレーザー光を照射し、前記ウエハ内部に多光子吸収による改質領域を形成する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記ウエハと前記半導体加工用テープの前記接着剤層とを分断ラインに沿って分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることにより、前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)前記接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、を含む半導体装置の製造方法に使用されることを特徴とする上記半導体加工用テープに関する。
(a)回路パターンが形成されたウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(b)前記ウエハ裏面を研削するバックグラインド工程と、
(c)前記ウエハを加熱した状態で、前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(d)前記ウエハ表面から前記表面保護テープを剥離する工程と、
(e)前記ウエハ表面の分断ラインに沿ってレーザー光を照射し、前記ウエハをチップに分断する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記接着剤層を前記チップ毎に分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることにより、前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)前記接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、を含む半導体装置の製造方法に使用されることを特徴とする上記半導体加工用テープに関する。
(a)回路パターンが形成されたウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(b)前記ウエハ裏面を研削するバックグラインド工程と、
(c)前記ウエハを加熱した状態で、前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(d)前記ウエハ表面から前記表面保護テープを剥離する工程と、
(e)ダイシングブレードを用いて前記ウエハを分断ラインに沿って切削し、チップに分断する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記接着剤層を前記チップ毎に分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることにより、前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)前記接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、を含む半導体装置の製造方法に使用されることを特徴とする上記半導体加工用テープに関する。
(a)回路パタ−ンが形成されたウエハ裏面にダイシングテープを貼合し、ダイシングブレードを用いて分断予定ラインに沿って前記ウエハの厚さ未満の深さまで切削する工程と、
(b)前記ウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(c)前記ダイシングテープを剥がし、前記ウエハ裏面を研削してチップに分断するバックグラインド工程と、
(d)前記ウエハを加熱した状態で、前記チップに分断された前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(e)前記チップに分断された前記ウエハ表面から表面保護テープを剥離する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記接着剤層を前記チップ毎に分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることで前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、を含む半導体装置の製造方法に使用されることを特徴とする上記半導体加工用テープに関する。
(a)回路パターンが形成されたウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(b)前記ウエハの分割予定部分にレーザー光を照射し、前記ウエハ内部に多光子吸収による改質領域を形成する工程と、
(c)前記ウエハ裏面を研削するバックグラインド工程と、
(d)前記ウエハを加熱した状態で、前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(e)前記ウエハ表面から前記表面保護テープを剥離する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記ウエハと前記半導体加工用テープの前記接着剤層とを分断ラインに沿って分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることにより、前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)前記接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、を含む半導体装置の製造方法に使用されることを特徴とする上記半導体加工用テープに関する。
図1は、本発明の実施形態に係る半導体加工用テープ10を示す断面図である。本発明の半導体加工用テープ10は、エキスパンドによりウエハをチップに分断する際に、接着剤層13がチップに沿って分断されるものである。この半導体加工用テープ10は、基材フィルム11と基材フィルム11上に設けられた粘着剤層12とからなる粘着テープ15と、粘着剤層12上に設けられた接着剤層13とを有し、接着剤層13上にウエハの裏面が貼合されるものである。なお、それぞれの層は、使用工程や装置に合わせて予め所定形状に切断(プリカット)されていてもよい。さらに、本発明の半導体加工用テープ10は、ウエハ1枚分ごとに切断された形態であってもよいし、ウエハ1枚分ごとに切断されたものが複数形成された長尺のシートを、ロール状に巻き取った形態であってもよい。
粘着テープの応力/基材のみの応力=1以下
の条件を満たすことが必要である。
なお、上記の「粘着テープの応力」とは、本発明の半導体加工用テープ10を半導体装置の製造方法のエキスパンド工程で採取したものの応力のことである。
また、上記の「基材のみの応力」とは、基材フィルム11に粘着剤層12を設ける前の、基材フィルム11のみの状態のものの応力のことである。
粘着テープの応力/基材のみの応力の値が1を上回る場合、カーフ幅が十分に確保されない、あるいは均一にならず、ピックアップ性に劣る結果となる。
以下に、半導体加工用テープ各層の構成について説明する。
基材フィルム11は、均一かつ等方的な拡張性を有するとエキスパンド工程においてウエハが全方向に偏りなく切断できる点で好ましく、その材質についてはとくに限定されない。一般に、架橋樹脂は、非架橋樹脂と比較して引っ張りに対する復元力が大きく、エキスパンド工程後の引き伸ばされた状態に熱を加えた際の収縮応力が大きい。したがって、エキスパンド工程後にテープに生じた弛みを加熱収縮によって除去し、テープを緊張させて個々のチップの間隔を安定に保持するヒートシュリンク工程の点で優れる。架橋樹脂のなかでも熱可塑性架橋樹脂がより好ましく使用される。一方、非架橋樹脂は、架橋樹脂と比較して引っ張りに対する復元力が小さい。したがって、−15℃〜0℃のような低温領域でのエキスパンド工程後、一度弛緩され、かつ常温に戻されて、ピックアップ工程、マウント工程に向かうときのテープが収縮しにくいため、チップに付着した接着剤層同士が接触することを防止できる点で優れる。非架橋樹脂のなかでもオレフィン系の非架橋樹脂がより好ましく使用される。
粘着剤層12は、基材フィルム11に粘着剤組成物を塗工して形成することができる。
本発明の半導体加工用テープ10を構成する粘着剤層12は、ダイシング時において接着剤層13との剥離を生じず、チップ飛びなどの不良を発生しない程度の保持性や、ピックアップ時において接着剤層13との剥離が容易となる特性を有するものであればよい。
また、重合体(A)の酸価が0.5〜30となるようにCOOH基を残すと、本発明の半導体加工用テープを拡張させた後の粘着剤層の復元後の改善効果が得られ、好ましい。重合体(A)の水酸基価が5以上であると、エネルギー線照射後の粘着力の低減効果の点で優れ、100以下であると、エネルギー線照射後の粘着剤の流動性の点で優れる。また酸価が0.5以上であると、テープ復元性の点で優れ、30以下であると粘着剤の流動性の点で優れる。
本発明の半導体加工用テープ10では、接着剤層13は、ウエハが貼合され、ダイシングされた後、チップをピックアップした際に、粘着剤層12から剥離してチップに付着するものである。そして、チップを基板やリードフレームに固定する際の接着剤として使用される。
また、質量平均分子量が150,000以下であると、加熱圧着時の流動性や他の樹脂との相溶性の点で好ましい。より好ましくは100,000以下である。また、ガラス転移温度が−50℃以上であると、フィルム形成性の点で優れ、より好ましくは0℃以上であり、さらに好ましくは50℃以上である。ガラス転移温度が150℃であると、ダイボンディング時の接着剤層13の接着力が優れ、より好ましくは120℃以下、さらに好ましくは110℃以下である。
上記の複素環含有エポキシ樹脂としては、チバスペシャリティーケミカルズ社製のアラルダイトPT810、UCC社製のERL4234、ERL4299、ERL4221、ERL4206等が挙げられる。これらのエポキシ樹脂は、単独で又は2種類以上を組み合わせても、使用することができる。
このうち、三フッ化ホウ素錯化合物としては、種々のアミン化合物(好ましくは1級アミン化合物)との三フッ化ホウ素−アミン錯体が挙げられ、有機ヒドラジッド化合物としては、イソフタル酸ジヒドラジドが挙げられる。
イミダゾール類としては、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−エチルイミダゾール、1−ベンジル−2−エチル−5−メチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシジメチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。
本発明で用いるフィラーとしては、無機フィラーが好ましい。無機フィラーとしては特に制限は無く、例えば、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、アルミナ、窒化アルミニウム、ほう酸アルミウイスカ、窒化ホウ素、結晶性シリカ、非晶性シリカ、アンチモン酸化物などが使用できる。また、これらは単体あるいは2種類以上を混合して使用することもできる。
ワイヤボンディング時には、ワイヤを打つチップを接着している接着剤層の硬化後の貯蔵弾性率が170℃で20〜1000MPaの範囲に調整されていることが好ましく、フィラーの含有割合が30質量%以上であると接着剤層の硬化後の貯蔵弾性率をこの範囲に調整しやすい。また、フィラーの含有割合が75質量%以下であると、フィルム形成性、ダイボンディング時の接着剤層の加熱流動性に優れる。ダイボンディング時の接着剤層の加熱流動性が向上すると、接着剤層と被着体の密着が良好になり接着力を向上させることができる、また被着体の凹凸を埋めボイドを抑制しやすくなる。より好ましくは70質量%以下であり、さらに好ましくは60質量%以下である。
さらに、フィルム化前の原料混合物の粘度上昇若しくは低下を防止する、未硬化の接着剤層の流動性を最適に制御する、接着剤層の硬化後の接着力を向上させる観点から、平均粒径が0.1〜1.0μmの範囲内にある第1のフィラー、及び、一次粒径の平均粒径が0.005〜0.03μmの範囲内にある第2のフィラーを含むことが好ましい。平均粒径が0.1〜1.0μmの範囲内にあり且つ99%以上の粒子が粒径0.1〜1.0μmの範囲内に分布する第1のフィラー、及び、一次粒径の平均粒径が0.005〜0.03μmの範囲内にあり且つ99%以上の粒子が粒径0.005〜0.1μmの範囲内に分布する第2のフィラーを含むことが好ましい。
本発明における平均粒径は、50体積%の粒子がこの値より小さな直径を有する、累積体積分布曲線のD50値を意味する。本発明において、平均粒径またはD50値はレーザー回折法により、例えばMalvern Instruments社製のMalvern Mastersizer 2000を用いて測定される。この技術において、分散液中の粒子の大きさは、フラウンホーファーまたはミー理論のいずれかの応用に基づき、レーザー光線の回折を用いて測定される。本発明においては、ミー理論または非球状粒子に対する修正ミー理論を利用し、平均粒径またはD50値は入射するレーザー光線に対して0.02〜135°での散乱計測に関する。
また、熱可塑性樹脂の質量平均分子量は5000〜150,000でもよく、10,000〜100,000でもよい。
別の態様では、接着剤層13を構成する粘着剤組成物全体に対して10〜20質量%の重量平均分子量が200,000〜2,000,000の熱可塑性樹脂と、20〜50質量%の熱重合性成分と、30〜75質量%のフィラーを含んでもよい。この実施形態では、フィラーの含有量は30〜60質量%でもよく、30〜50質量%でもよい。また、熱可塑性樹脂の質量平均分子量は200,000〜1,000,000でもよく、200,000〜800,000でもよい。
配合比率を調整することで、接着剤層13の硬化後の貯蔵弾性率及び流動性の最適化ができ、また高温での耐熱性も充分に得られる傾向にある。
本発明の半導体加工用テープ10は、少なくとも拡張により接着剤層13を分断するエキスパンド工程を含む半導体装置の製造方法に使用されるものである。したがって、その他の工程や工程の順序などは特に限定されない。例えば、以下の半導体装置の製造方法(A)〜(E)において好適に使用できる。
(a)回路パターンが形成されたウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(b)前記ウエハ裏面を研削するバックグラインド工程と、
(c)前記ウエハを加熱した状態で、前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(d)前記ウエハ表面から前記表面保護テープを剥離する工程と、
(e)前記ウエハの分割予定部分にレーザー光を照射し、前記ウエハ内部に多光子吸収による改質領域を形成する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記ウエハと前記半導体加工用テープの前記接着剤層とを分断ラインに沿って分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることにより、前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)前記接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、を含む半導体装置の製造方法。
(a)回路パターンが形成されたウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(b)前記ウエハ裏面を研削するバックグラインド工程と、
(c)前記ウエハを加熱した状態で、前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(d)前記ウエハ表面から前記表面保護テープを剥離する工程と、
(e)前記ウエハ表面の分断ラインに沿ってレーザー光を照射し、前記ウエハをチップに分断する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記接着剤層を前記チップ毎に分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることにより、前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)前記接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、
を含む半導体装置の製造方法。
(a)回路パターンが形成されたウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(b)前記ウエハ裏面を研削するバックグラインド工程と、
(c)前記ウエハを加熱した状態で、前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(d)前記ウエハ表面から前記表面保護テープを剥離する工程と、
(e)ダイシングブレードを用いて前記ウエハを分断ラインに沿って切削し、チップに分断する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記接着剤層を前記チップ毎に分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることにより、前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)前記接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、
を含む半導体装置の製造方法。
(a)回路パタ−ンが形成されたウエハ裏面にダイシングテープを貼合し、ダイシングブレードを用いて分断予定ラインに沿って前記ウエハの厚さ未満の深さまで切削する工程と、
(b)前記ウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(c)前記ダイシングテープを剥がし、前記ウエハ裏面を研削してチップに分断するバックグラインド工程と、
(d)前記ウエハを加熱した状態で、前記チップに分断された前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(e)前記チップに分断された前記ウエハ表面から表面保護テープを剥離する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記接着剤層を前記チップ毎に分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることで前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、を含む半導体装置の製造方法。
(a)回路パターンが形成されたウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(b)前記ウエハの分割予定部分にレーザー光を照射し、前記ウエハ内部に多光子吸収による改質領域を形成する工程と、
(c)前記ウエハ裏面を研削するバックグラインド工程と、
(d)前記ウエハを加熱した状態で、前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(e)前記ウエハ表面から前記表面保護テープを剥離する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記ウエハと前記半導体加工用テープの前記接着剤層とを分断ラインに沿って分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることにより、前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)前記接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、
を含む半導体装置の製造方法。
本発明の半導体加工用テープ10を、上記半導体装置の製造方法(A)に適用した場合の、テープの使用方法について、図2〜図5を参照しながら説明する。まず、図2に示すように、回路パターンが形成されたウエハWの表面に、紫外線硬化性成分を粘着剤に含む、回路パターン保護用の表面保護テープ14を貼合し、ウエハWの裏面を研削するバックグラインド工程を実施する。
なお、前述した通り、エキスパンド処理を行う前にエネルギー線硬化処理を行うことも可能であり、好ましい。
次に、本発明の効果をさらに明確にするために、実施例および比較例について詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
(1)基材フィルムの作製
<基材フィルム1A>
ラジカル重合法によって合成されたエチレン−メタアクリル酸−メタアクリル酸エチル(質量比8:1:1)3元共重合体の亜鉛アイオノマーa(密度0.96g/cm3、亜鉛イオン含有量4質量%、塩素含有量1質量%未満、ビカット軟化点56℃、融点86℃)の樹脂ビーズを140℃で溶融し、押出機を用いて厚さ100μmの長尺フィルム状に成形することにより、基材フィルム1Aを作製した。
<基材フィルム2A>
ラジカル重合法によって合成されたエチレン−メタアクリル酸(質量比7.5:2.5)2元共重合体の亜鉛アイオノマーb(密度0.96g/cm3、亜鉛イオン含有量6質量%、塩素含有量1質量%未満、ビカット軟化点65℃、融点88℃)の樹脂ビーズを140℃で溶融し、押出機を用いて厚さ100μmの長尺フィルム状に成形することにより、基材フィルム2Aを作製した。
<基材フィルム3A>
ラジカル重合法によって合成されたエチレン−メタアクリル酸(質量比9:1)2元共重合体の亜鉛アイオノマーc(密度0.95g/cm3、亜鉛イオン含有量3質量%、塩素含有量1質量%未満、ビカット軟化点84℃、融点102℃)の樹脂ビーズを140℃で溶融し、押出機を用いて厚さ100μmの長尺フィルム状に成形することにより、基材フィルム3Aを作製した。
<基材フィルム4A>
日本ポリケム社製 ノバテックPP FW4B(ポリプロピレン)(密度:0.90g/cm3、ビカット軟化点96℃、融点:140℃)の樹脂ビーズを180℃で溶融し、押出機を用いて厚さ100μmの長尺フィルム状に成形することにより、基材フィルム4Aを作製した。
(粘着剤1B)
官能基を有するアクリル系共重合体(A1)として、2−エチルヘキシルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレートおよびメタクリル酸からなり、2−エチルヘキシルアクリレートの比率が55モル%、質量平均分子量75万の共重合体を調製した。次に、ヨウ素価が25となるように、2−イソシアナトエチルメタクリレートを添加して、ガラス転移温度−50℃、水酸基価10gKOH/g、酸価5mgKOH/gのアクリル系共重合体(a−1)を調製した。
アクリル系共重合体(a−1)100質量部に対して、ポリイソシアネートとしてP301−75E(旭化成ケミカルズ社製)を3質量部加え、光重合開始剤としてEsacure KIP 150(Lamberti社製)を3質量部加えた混合物を、酢酸エチルに溶解させ、攪拌して、粘着剤1Bを調製した。
(粘着剤2B)
官能基を有するアクリル系共重合体(A2)として、2−エチルヘキシルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレートおよびメタクリル酸からなり、2−エチルヘキシルアクリレートの比率が55モル%、質量平均分子量75万の共重合体を調製した。次に、ヨウ素価が20となるように、2−イソシアナトエチルメタクリレートを添加して、ガラス転移温度−50℃、水酸基価15gKOH/g、酸価5mgKOH/gのアクリル系共重合体(a−2)を調製した。
アクリル系共重合体(a−2)100質量部に対して、ポリイソシアネートとしてP301−75E(旭化成ケミカルズ社製)を3質量部加え、光重合開始剤としてEsacure KIP 150(Lamberti社製)を3質量部加えた混合物を、酢酸エチルに溶解させ、攪拌して、粘着剤2Bを調製した。
(粘着剤3B)
官能基を有するアクリル系共重合体(A3)として、2−エチルヘキシルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレートおよびメタクリル酸からなり、2−エチルヘキシルアクリレートの比率が55モル%、質量平均分子量75万の共重合体を調製した。次に、ヨウ素価が15となるように、2−イソシアナトエチルメタクリレートを添加して、ガラス転移温度−50℃、水酸基価20gKOH/g、酸価5mgKOH/gのアクリル系共重合体(a−3)を調製した。
アクリル系共重合体(a−3)100質量部に対して、ポリイソシアネートとしてP301−75E(旭化成ケミカルズ社製)を3質量部加え、光重合開始剤としてEsacure KIP 150(Lamberti社製)を3質量部加えた混合物を、酢酸エチルに溶解させ、攪拌して、粘着剤3Bを調製した。
(粘着剤4B)
官能基を有するアクリル系共重合体(A4)として、2−エチルヘキシルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレートおよびメタクリル酸からなり、2−エチルヘキシルアクリレートの比率が55モル%、質量平均分子量75万の共重合体を調製した。次に、ヨウ素価が5となるように、2−イソシアナトエチルメタクリレートを添加して、ガラス転移温度−50℃、水酸基価30mgKOH/g、酸価5mgKOH/gのアクリル系共重合体(a−4)を調製した。
アクリル系共重合体(a−4)100質量部に対して、ポリイソシアネートとしてP301−75E(旭化成ケミカルズ社製)を3質量部加え、光重合開始剤としてEsacure KIP 150(Lamberti社製)を3質量部加えた混合物を、酢酸エチルに溶解させ、攪拌して、粘着剤4Bを調製した。
離型処理したポリエチレン−テレフタレートフィルムよりなる剥離ライナーに、1B〜4Bの粘着剤を、乾燥後の厚さが10μmになるように塗工し、110℃で2分間乾燥させた後、1A〜4Aの基材フィルムと貼り合わせ、基材フィルム上に粘着剤層が形成された粘着シートを作製した。基材フィルム1A〜4Aと粘着剤1B〜4Bとの組み合わせは、実施例における表1で示す。
エポキシ樹脂「1002」(三菱化学(株)製、固形ビスフェノールA型エポキシ樹脂、エポキシ当量600)50質量部、エポキシ樹脂「806」(三菱化学(株)製商品名、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、エポキシ当量160、比重1.20)100質量部、硬化剤「Dyhard100SF」(デグサ製商品名、ジシアンジアミド)5質量部、シリカフィラー「SO−C2」(アドマファイン(株)製商品名、平均粒径0.5μm)150質量部、及び、シリカフィラーである「アエロジルR972」(日本アエロジル(株)製商品名、一次粒径の平均粒径0.016μm)5質量部からなる組成物にMEKを加え、攪拌混合し、均一な組成物とした。
これに、フェノキシ樹脂「PKHH」(INCHEM製商品名、質量平均分子量52,000、ガラス転移温度92℃)100質量部、カップリング剤として「KBM−802」(信越シリコーン(株)製商品名、メルカプトプロピルトリメトキシシラン)0.4質量部、並びに、硬化促進剤としての「キュアゾール2PHZ−PW」(四国化成(株)製商品名、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、分解温度230℃)0.5質量部を加え、均一になるまで攪拌混合した。更にこれを100メッシュのフィルターでろ過し、真空脱泡することにより、接着剤組成物のワニスを得た。
次に、離型処理したポリエチレン−テレフタレートフィルムよりなる剥離ライナーに、上記接着剤組成物を、乾燥後の厚さが20μmになるように塗工し、130℃で3分間乾燥させて、剥離ライナー上に接着剤層が形成された接着フィルムを作製した。
粘着シートをリングフレームに対して開口部を覆うように貼り合わせることができるような図3等に示した形状に裁断した。また、接着フィルムを、ウエハ裏面を覆うことのできるような図3等に示した形状に裁断した。そして、前記粘着シートの粘着剤層側と前記接着フィルムの接着剤層側とを、図3等に示したように接着フィルムの周囲に粘着剤層12が露出する部分が形成されるように貼り合わせ、半導体加工用テープを作製した。
回路パターンが形成されたウエハ表面に表面保護テープを貼合し、
前記ウエハの分割予定部分にレーザー光を照射し、前記ウエハ内部に多光子吸収による改質領域を形成し、
前記ウエハ裏面を研削するバックグラインド工程を施し、
前記ウエハを70〜80℃に加熱した状態で、前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合し、
前記ウエハ表面から前記表面保護テープを剥離し、
前記半導体加工用テープに、出力200mJ/cm2で紫外線照射処理を施し、
前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記ウエハと前記半導体加工用テープの前記接着剤層とを分断ラインに沿って分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程を施し、
前記半導体加工用テープの前記チップと重ならない部分(チップが存在する領域とリングフレームとの間の円環状の領域)を100℃に加熱、収縮させることでエキスパンド工程において生じた弛みを除去し、該チップの間隔を保持する工程を施した半導体加工用テープについて、以下に示す物性の評価を行った。なお、チップサイズは5mm×5mmである。
紫外線照射処理を施さないことを除いては、前記実施例1〜5、比較例1、3〜5と同様の工程を施した半導体加工用テープについて、以下に示す物性の評価を行った。
前記エキスパンドにより接着剤層を分断する工程における粘着テープについて、JIS7162に定められた方法による引張試験を行い、引っ張り伸び10%のときの、基材のみの応力と粘着テープの応力とを測定した。
なお、上記の「粘着テープの応力」とは、本発明の半導体加工用テープ10を半導体装置の製造方法のエキスパンド工程で採取したものの応力のことである。
また、上記の「基材のみの応力」とは、基材フィルム11に粘着剤層12を設ける前の、基材フィルム11のみの状態のものの応力のことである。
半導体チップを半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程を実施し、ピックアップ性を評価した。
具体的には、任意のチップ1000個についてダイスピッカー装置(キヤノンマシナリー社製、商品名CAP−300II)によるピックアップ試験を行い、粘着剤層から剥離した接着剤層が保持されているものをピックアップが成功したものとしてピックアップ成功率を算出し、ピックアップ性を評価した。
ピックアップ成功率が100%のものを優良品として「◎」、
98%以上のものを良品として「○」、
95%以上98%未満のものを許容品として「△」、
95%未満のものを不良品として「×」で評価した。
12インチウエハにおいて、有効チップ(5mm×5mm)の中央部の長手方向および幅方向のカーフ幅を測定し、いずれか小さい方の値が
50μm以上を「◎」、
30μm以上50μm未満を「○」、
15μm以上30μm未満を「△」
15μm未満を「×」、
で評価した。
表2に示すように、粘着テープの応力/基材のみの応力=1以下 を満たす 実施例1〜5は、カーフ幅が十分かつ均一に拡がり、従来技術にはない良好なピックアップ性を示すことが明らかとなった。
一方で、上記条件を満たさない比較例1〜4は、カーフ幅が狭く、あるいは均一にならず、ピックアップ性に劣る評価を示した。
11:基材フィルム
12:粘着剤層
13:接着剤層
14:表面保護テープ
15:補助テープ
20:リングフレーム
21:ステージ
22:突き上げ部材
25:ヒーターテーブル
26:吸着テーブル
27:紫外線(エネルギー線)光源
28:加熱収縮領域
29:温風ノズル
32:改質領域
34:チップ
Claims (7)
- 基材フィルムと、前記基材フィルムの少なくとも一面側に形成された粘着剤層とを備える粘着テープを有し、エキスパンドにより接着剤を分断する工程において、前記粘着テープをJIS7162で定められた方法による引張試験において、引っ張り伸び10%のときの基材のみの応力と粘着テープの応力との関係が、
粘着テープの応力/基材のみの応力≦0.96
であることを特徴とする半導体加工用テープ。 - 前記半導体加工用テープは、
(a)回路パターンが形成されたウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(b)前記ウエハ裏面を研削するバックグラインド工程と、
(c)前記ウエハを加熱した状態で、前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(d)前記ウエハ表面から前記表面保護テープを剥離する工程と、
(e)前記ウエハの分割予定部分にレーザー光を照射し、前記ウエハ内部に多光子吸収による改質領域を形成する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記ウエハと前記半導体加工用テープの前記接着剤層とを分断ラインに沿って分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることにより、前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)前記接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、を含む半導体装置の製造方法に使用されることを特徴とする、請求項1記載の半導体加工用テープ。 - 前記半導体加工用テープは、
(a)回路パターンが形成されたウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(b)前記ウエハ裏面を研削するバックグラインド工程と、
(c)前記ウエハを加熱した状態で、前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(d)前記ウエハ表面から前記表面保護テープを剥離する工程と、
(e)前記ウエハ表面の分断ラインに沿ってレーザー光を照射し、前記ウエハをチップに分断する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記接着剤層を前記チップ毎に分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることにより、前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)前記接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、を含む半導体装置の製造方法に使用されることを特徴とする、請求項1記載の半導体加工用テープ。 - 前記半導体加工用テープは、
(a)回路パターンが形成されたウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(b)前記ウエハ裏面を研削するバックグラインド工程と、
(c)前記ウエハを加熱した状態で、前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(d)前記ウエハ表面から前記表面保護テープを剥離する工程と、
(e)ダイシングブレードを用いて前記ウエハを分断ラインに沿って切削し、チップに分断する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記接着剤層を前記チップ毎に分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることにより、前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)前記接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、を含む半導体装置の製造方法に使用されることを特徴とする、請求項1記載の半導体加工用テープ。 - 前記半導体加工用テープは、
(a)回路パタ−ンが形成されたウエハ裏面にダイシングテープを貼合し、ダイシングブレードを用いて分断予定ラインに沿って前記ウエハの厚さ未満の深さまで切削する工程と、
(b)前記ウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(c)前記ダイシングテープを剥がし、前記ウエハ裏面を研削してチップに分断するバックグラインド工程と、
(d)前記ウエハを加熱した状態で、前記チップに分断された前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(e)前記チップに分断された前記ウエハ表面から表面保護テープを剥離する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記接着剤層を前記チップ毎に分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることで前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、を含む半導体装置の製造方法に使用されることを特徴とする、請求項1記載の半導体加工用テープ。 - 前記半導体加工用テープは、
(a)回路パターンが形成されたウエハ表面に表面保護テープを貼合する工程と、
(b)前記ウエハの分割予定部分にレーザー光を照射し、前記ウエハ内部に多光子吸収による改質領域を形成する工程と、
(c)前記ウエハ裏面を研削するバックグラインド工程と、
(d)前記ウエハを加熱した状態で、前記ウエハ裏面に前記半導体加工用テープの接着剤層を貼合する工程と、
(e)前記ウエハ表面から前記表面保護テープを剥離する工程と、
(f)前記半導体加工用テープを拡張することにより、前記ウエハと前記半導体加工用テープの前記接着剤層とを分断ラインに沿って分断し、前記接着剤層が付いた複数のチップを得るエキスパンド工程と、
(g)拡張後の前記半導体加工用テープにおいて、前記チップと重ならない部分を加熱収縮させることにより、前記エキスパンド工程において生じた弛みを除去し、前記チップの間隔を保持する工程と、
(h)前記接着剤層が付いた前記チップを、前記半導体加工用テープの粘着剤層からピックアップする工程と、を含む半導体装置の製造方法に使用されることを特徴とする、請求項1記載の半導体加工用テープ。 - 請求項1〜6いずれか記載の半導体加工用テープを用いてなる半導体装置。
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