JP6087113B2 - 金属もしくは半導体細線の製造方法 - Google Patents
金属もしくは半導体細線の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6087113B2 JP6087113B2 JP2012253396A JP2012253396A JP6087113B2 JP 6087113 B2 JP6087113 B2 JP 6087113B2 JP 2012253396 A JP2012253396 A JP 2012253396A JP 2012253396 A JP2012253396 A JP 2012253396A JP 6087113 B2 JP6087113 B2 JP 6087113B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- semiconductor
- producing
- fine
- fine wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 123
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 123
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 91
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 34
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 82
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 39
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 38
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 30
- 238000007743 anodising Methods 0.000 claims description 18
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 14
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 13
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 13
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 claims description 2
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 claims description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 23
- 238000002074 melt spinning Methods 0.000 description 22
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 6
- 229910000925 Cd alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 3
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N perchloric acid Chemical compound OCl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- OQCFWECOQNPQCG-UHFFFAOYSA-N 1,3,4,8-tetrahydropyrimido[4,5-c]oxazin-7-one Chemical compound C1CONC2=C1C=NC(=O)N2 OQCFWECOQNPQCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 239000013590 bulk material Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- ADDQUOLYROTOKS-UHFFFAOYSA-N iodomethanol Chemical compound OCI ADDQUOLYROTOKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Extrusion Of Metal (AREA)
Description
図1は、金属もしくは半導体細線形成の概略プロセス(A)、(B)を示す説明図である。口金形成用の口金素材金属1としてのアルミニウム(Al)の表面を陽極酸化することにより、Al板表面に陽極酸化ポーラスアルミナが形成され、アルミニウム部分が除去されることにより、陽極酸化ポーラスアルミナメンブレンが得られる。そして、ポーラスアルミナメンブレンをマスクプロセスにより部分的に選択溶解除去することで、ミクロンからサブミクロンオーダーの微細開口を有する口金2としてのスルーホールポーラスメンブレンが得られる。このようにして得られたポーラスメンブレンを溶融紡糸法の口金材料として用いる。金属をメンブレンに接触させ(図1(A))、前記金属の融点以上に加熱しながら溶融状態の金属を加圧してメンブレンに押し付けメンブレンの細孔に導入し、メンブレンの微細開口より吐出することで金属もしくは半導体細線3が得られる(図1(B))。Tは口金の厚さ、Dは口金の微細開口の直径、Pは口金の微細開口の配列間隔、Lは細線の長さ、dは細線の直径を、それぞれ示している。
純度99.99%のAl板を、過塩素酸/エタノール浴を用い電解研磨を施した後、0.3Mシュウ酸溶液を電解液として、浴温16℃、弱攪拌条件下、40Vの定電圧条件下にて陽極酸化を16時間行うことで、Al板表面に細孔配列を有するポーラスアルミナを形成した。次に、直径35μmの細孔が500μm間隔で規則配列した構造を有するネオプレン薄膜層をポーラスアルミナメンブレン上に形成し、10wt%リン酸水溶液、浴温30℃に2時間30分間浸漬することで、ネオプレン薄膜の開口部に対応した位置のポーラスアルミナを溶解除去した。陽極酸化されていないAl部分をヨウドメタノールにより溶解除去することで、貫通孔の規則配列構造を有するポーラスアルミナメンブレンを得た。
実施例1と同様の方法で得られた細孔周期500μm、細孔径20μmのポーラスアルミナからなる口金を装置の先端部分に設置し、その上にSnを配置して、300℃に加熱しながら、窒素ガスを用いて約3気圧にて加圧することで、メンブレンのマイクロ細孔中にSnを導入し、アルミナメンブレンの微細開口から溶融状態のSnを空気中に押し出すことで、直径が15μm〜20μm、長さ30cmのSn細線を作製した。
実施例1と同様の方法で得られた細孔周期30μm、細孔径5μmのポーラスアルミナからなる口金を装置の先端部分に設置し、その上にSnを配置して、300℃に加熱しながら、窒素ガスを用いて約10気圧にて加圧することで、メンブレンのマイクロ細孔中にSnを導入し、アルミナメンブレンの微細開口から溶融状態のSnを空気中に押し出すことで、直径が0.8μm〜5μm、長さ5cmのSn細線を作製した。窒素ガスによる印加圧力を小さくし、約2気圧にて加圧することで、メンブレンのマイクロ細孔中にSnを導入し、アルミナメンブレンの微細開口から溶融状態のSnを空気中に押し出すことで、直径約1μm〜30μmのSn微粒子を得た。
実施例1と同様の方法で得られた細孔周期500μm、細孔径35μmのポーラスアルミナからなる口金を装置の先端部分に設置し、その上にAlを配置して、700℃に加熱しながら、窒素ガスを用いて約7気圧にて加圧することで、メンブレンのマイクロ細孔中にAlを導入し、アルミナメンブレンの微細開口から溶融状態のAlを押し出すことで、直径30μm〜35μm、長さ10cmのAl細線を得た。
実施例1と同様の方法で得られた細孔周期500μm、細孔径35μmのポーラスアルミナからなる口金を装置の先端部分に設置し、その上にBi-Pb-Sn-Cd合金を配置して、70℃に加熱しながら、窒素ガスを用いて約3気圧にて加圧することで、メンブレンのマイクロ細孔中にBi-Pb-Sn-Cd合金を導入し、アルミナメンブレンの微細開口から溶融状態のBi-Pb-Sn-Cd合金を押し出すことで、直径約30μm〜35μm、長さ5cmのBi-Pb-Sn-Cd合金細線を得た。
2 微細開口を有する口金
3 細線
4 チャンバー
5 口金台座
6 ヒーター
7 加圧流体
11 溶融状態の金属もしくは半導体
T 口金の厚さ
D 口金の微細開口の直径
P 口金の微細開口の配列間隔
L 細線の長さ
d 細線の直径
Claims (14)
- 金属を陽極酸化することにより形成された多孔性材料に選択的なエッチング処理を施すことで形成されたスルーホールポーラスメンブレンを、細孔を有する口金とし、該口金の吐出側の面に開口を有する台座を用い、金属もしくは半導体を少なくとも融点以上の温度に加熱して溶融状態とし、溶融した金属もしくは半導体を加圧することで前記口金の細孔から吐出し、吐出後に凝固させることにより、金属もしくは半導体の細線を形成することを特徴とする、金属もしくは半導体細線の製造方法。
- 前記多孔性材料を、Al、Ti、Ta、Zn、In、もしくはMg、またはそれらの合金からなる金属基材を陽極酸化処理することで形成する、請求項1に記載の金属もしくは半導体細線の製造方法。
- 前記多孔性材料として、定電圧で長時間陽極酸化を施した後、一旦酸化皮膜を溶解除去し、再び同一条件下で陽極酸化を施すことで作製された陽極酸化ポーラスアルミナを用いることを特徴とする、請求項2に記載の金属もしくは半導体細線の製造方法。
- 前記細孔の開口直径が0.1μm〜100μmの範囲にある、請求項1〜3のいずれかに記載の金属もしくは半導体細線の製造方法。
- 前記細孔の密度が1×102個/cm2〜1×1014個/cm2の範囲にある、請求項1〜4のいずれかに記載の金属もしくは半導体細線の製造方法。
- 前記金属もしくは半導体細線のアスペクト比が1以上である、請求項1〜5のいずれかに記載の金属もしくは半導体細線の製造方法。
- 前記金属もしくは半導体細線のアスペクト比が10以上である、請求項6に記載の金属もしくは半導体細線の製造方法。
- 前記金属もしくは半導体細線のアスペクト比が100以上である、請求項7に記載の金属もしくは半導体細線の製造方法。
- 前記溶融した金属が少なくともSn、Al、Zn、Bi、Te、Pb、In、Au、Ag、Cd、もしくはLi、Naのいずれか、またはそれらの合金からなる、請求項1〜8のいずれかに記載の金属もしくは半導体細線の製造方法。
- 前記半導体が少なくともSi、Geのいずれか、またはそれらの合金からなる、請求項1〜8のいずれかに記載の金属もしくは半導体細線の製造方法。
- 前記加熱の温度を前記金属もしくは半導体の融点の110%以上の温度(℃)とする、請求項1〜10のいずれかに記載の金属もしくは半導体細線の製造方法。
- 前記口金の台座の開口直径が0.1mm〜5mmの範囲にある、請求項1〜11のいずれかに記載の金属もしくは半導体細線の製造方法。
- 前記加熱により溶融した金属もしくは半導体を収容するチャンバーを構成する素材として、ステンレス、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ジルコニアやアルミナなどの耐熱性材料を用いる、請求項1〜12のいずれかに記載の金属もしくは半導体細線の製造方法。
- 溶融状態となった前記金属もしくは半導体素材を、0.5気圧〜300気圧の圧力にて前記口金の細孔から吐出する、請求項1〜13のいずれかに記載の金属もしくは半導体細線の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012253396A JP6087113B2 (ja) | 2012-11-19 | 2012-11-19 | 金属もしくは半導体細線の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012253396A JP6087113B2 (ja) | 2012-11-19 | 2012-11-19 | 金属もしくは半導体細線の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014100722A JP2014100722A (ja) | 2014-06-05 |
JP6087113B2 true JP6087113B2 (ja) | 2017-03-01 |
Family
ID=51023747
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012253396A Active JP6087113B2 (ja) | 2012-11-19 | 2012-11-19 | 金属もしくは半導体細線の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6087113B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4186695A4 (en) | 2020-07-21 | 2024-08-14 | Toyo Boseki | LAMINATE, AND METHOD OF MANUFACTURING FLEXIBLE DEVICE |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4933248B1 (ja) * | 1970-01-26 | 1974-09-05 | ||
US3845805A (en) * | 1972-11-14 | 1974-11-05 | Allied Chem | Liquid quenching of free jet spun metal filaments |
JP2012052188A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Kanagawa Acad Of Sci & Technol | 金属ナノワイヤーおよびその製造方法 |
-
2012
- 2012-11-19 JP JP2012253396A patent/JP6087113B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014100722A (ja) | 2014-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8889226B2 (en) | Method of bonding a metal to a substrate | |
JP5079452B2 (ja) | 表面に凹凸パターンを有するガラス材の製造方法 | |
KR101215536B1 (ko) | 고전계 양극산화장치 | |
JPH11200090A (ja) | ナノ構造体及びその製造方法 | |
TWI285225B (en) | Method of manufacturing aluminum oxide film with arrayed nanometric pores | |
JP6087113B2 (ja) | 金属もしくは半導体細線の製造方法 | |
JP3899413B2 (ja) | ナノ材料作製方法 | |
JP2010156005A (ja) | 金属ナノ構造体アレーの製造方法および複合材料の製造方法 | |
Ayalew et al. | A critical review of additive material manufacturing through electrochemical deposition techniques | |
JP6353330B2 (ja) | 微粒子捕捉用ろ過膜及びその製造方法並びに多孔質膜及びその製造方法 | |
JP5288716B2 (ja) | インプリント用ロール状モールドの製造方法 | |
JP2012162769A (ja) | 陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法並びにその方法により製造された陽極酸化ポーラスアルミナ | |
US6986838B2 (en) | Nanomachined and micromachined electrodes for electrochemical devices | |
JP2012195600A (ja) | インプリント用ロール状モールドおよびその製造方法 | |
JP2012052188A (ja) | 金属ナノワイヤーおよびその製造方法 | |
JP2008156716A (ja) | 微細構造体の製造方法および微細構造体 | |
TWI627316B (zh) | 一種具有奈米或次微米孔洞的管狀鋁陽極處理膜的製作方法 | |
KR20160021047A (ko) | 양각 몰드 제조방법, 양각 몰드를 이용하여 제조한 막 및 그 제조방법 | |
JP2003342791A (ja) | 細孔を有する構造体及びその製造方法 | |
JP6782081B2 (ja) | 微粒子捕捉用ろ過膜及びその製造方法並びに多孔質膜及びその製造方法 | |
JP5176277B2 (ja) | カーボンナノ構造体の製造方法および触媒基体 | |
KR101479211B1 (ko) | 알루미늄의 전기화학적 고온 양극 산화를 통한 극미세 나노 다공성 알루미나 구조체의 제조 방법 | |
EP3294666B1 (en) | Method of forming local nano/micro size structures of anodized metal | |
Boominatha Sellarajan et al. | Synthesis of highly ordered nanoporous anodic aluminium oxide templates and template-based nanomaterials | |
JP2015147969A (ja) | 基板及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151014 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161018 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161025 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170113 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170120 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6087113 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |