JP6086099B2 - 表面形状測定装置及びその方法 - Google Patents
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Description
本発明は、上記のような問題点に着目してなされたものであり、測定対象物の表面全面で測定領域内の統計誤差を同等にすることで測定対象物の表面形状を適正に評価することが可能な表面形状測定装置及びその方法を提供することを目的とするものである。
ρ:目標点群数(基準平面単位面積当たりの点群密度)[1/m2]
z:三次元スキャナの基準平面からの高さ[m]
r:各測定領域の中心と三次元スキャナとの基準平面に投影された距離[m]
rF:三次元スキャナから最も遠い測定領域までの距離[m]
Δθ:三次元スキャナの分解能[rad]
次にステップS2に移行して、ステップS1で得られた鋼板Sの表面の位置データ及び高さデータから表面形状測定対象物、即ち鋼板Sの表面を投影する基準平面を設定する。この基準平面は、例えば取得した位置データ及び高さデータを用いて例えば最小二乗法などによって鋼板Sの表面状態に応じた平均的な平面を設定する。
次にステップS5に移行して、例えば図2に示すように、三次元スキャナ1から最も遠い測定領域までの距離rFを用いて、後述する1式に基づいて、各測定領域と三次元スキャナとの基準平面に投影した距離rに応じた高さデータの目標点群数を算出する。
次にステップS7に移行して、全測定領域の高さデータの点群から表面形状を回帰曲面(平滑化スプライン曲面)により評価してから復帰する。高さデータの点群から回帰曲面(平滑化スプライン曲面)を求める方法は、前述の特許文献2に詳しいので、ここでは詳細な説明を省略する。
また、実施形態では、表面形状測定対象物として、ラインで圧延された鋼板についてのみ詳述したが、本発明の表面形状測定装置及びその方法は、鋼板に限らず、測定対象表面上の点群データを取得できる測定対象物であれば、如何様なものにも適用することができる。
2 コンピュータ(計算機)
S 鋼板(測定対象物)
Claims (2)
- 演算処理機能を有する計算機及び三次元スキャナを用いて測定対象物の表面形状を評価する表面形状測定装置であって、
前記三次元スキャナの分解能Δθで前記三次元スキャナから前記測定対象物の表面までの距離を測定し、その距離データを前記測定対象物の表面の位置データ及び高さデータに分解するデータ分解部と、
前記分解された測定対象物の表面の位置データ及び高さデータから前記測定対象物の表面を投影する基準平面を設定する基準平面設定部と、
前記基準平面に投影した前記測定対象物の表面を予め設定された大きさの測定領域に分割し、分割された各測定領域の高さデータの点群数を算出する測定領域分割部と、
前記分割された各測定領域の中心と前記三次元スキャナとの前記基準平面に投影された距離rを算出する測定領域距離算出部と、
前記算出された前記三次元スキャナから最も遠い測定領域までの距離rFを用いて各測定領域と前記三次元スキャナとの前記距離rに応じた各測定領域の高さデータの目標点群数ρを下記(1)式に従って算出する目標点群数算出部と、
前記各測定領域の高さデータの点群数が前記算出された各測定領域の高さデータの目標点群数ρより多い場合には当該目標点群数まで当該測定領域の高さデータの点群数を間引き処理する間引き処理部と、
前記各測定領域の高さデータの点群から表面形状を回帰曲面により評価する表面形状評価部と
を備えたことを特徴とする表面形状測定装置。
ρ:目標点群数(基準平面単位面積当たりの点群密度)[1/m2]
z:三次元スキャナの基準平面からの高さ[m]
r:各測定領域の中心と三次元スキャナとの基準平面に投影された距離[m]
rF:三次元スキャナから最も遠い測定領域までの距離[m]
Δθ:三次元スキャナの分解能[rad] - 演算処理機能を有する計算機及び三次元スキャナを用いて測定対象物の表面形状を評価する表面形状測定方法であって、
前記三次元スキャナの分解能Δθで前記三次元スキャナから前記測定対象物の表面までの距離を測定し、その距離データを前記測定対象物の表面の位置データ及び高さデータに分解するステップと、
前記分解された測定対象物の表面の位置データ及び高さデータから前記測定対象物の表面を投影する基準平面を設定するステップと、
前記基準平面に投影した前記測定対象物の表面を予め設定された大きさの測定領域に分割し、分割された各測定領域の高さデータの点群数を算出するステップと、
前記分割された各測定領域の中心と前記三次元スキャナとの前記基準平面に投影された距離rを算出するステップと、
前記算出された前記三次元スキャナから最も遠い測定領域までの距離rFを用いて各測定領域と前記三次元スキャナとの前記距離rに応じた各測定領域の高さデータの目標点群数ρを下記(1)式に従って算出するステップと、
前記各測定領域の高さデータの点群数が前記算出された各測定領域の高さデータの目標点群数ρより多い場合には当該目標点群数まで当該測定領域の高さデータの点群数を間引き処理するステップと、
前記各測定領域の高さデータの点群から表面形状を回帰曲面により評価するステップと
を備えたことを特徴とする表面形状測定方法。
ρ:目標点群数(基準平面単位面積当たりの点群密度)[1/m2]
z:三次元スキャナの基準平面からの高さ[m]
r:各測定領域の中心と三次元スキャナとの基準平面に投影された距離[m]
rF:三次元スキャナから最も遠い測定領域までの距離[m]
Δθ:三次元スキャナの分解能[rad]
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