JP6084520B2 - 半導体メモリおよび半導体メモリの試験方法 - Google Patents
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Description
(付記1)
複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルに接続されたワード線と、
前記複数のメモリセルの各々に接続された複数のビット線と、
電圧制御信号に応答して、前記ワード線に供給する電圧を生成する電圧生成部と、
前記複数のメモリセルに連続してアクセスするアクセス要求に応答して、所定の回数の前記電圧制御信号を生成し、前記電圧制御信号の生成毎に前記複数のビット線を順次に選択する選択信号を生成し、前記各電圧制御信号の生成から所定時間内に前記電圧が基準電圧に到達しない場合にエラー信号を出力する制御部と
を備えていることを特徴とする半導体メモリ。
(付記2)
前記制御部は、前記アクセス要求に応答して、前記選択信号を生成するアドレスを順次に生成し、前記アドレスの生成毎に前記電圧制御信号を生成する試験部を備え、
前記アクセス要求は、前記試験制御部を動作させる試験コマンドであること
を特徴とする付記1記載の半導体メモリ。
(付記3)
前記複数のメモリセルの各々は、コントロールゲートとフローティングゲートとを含むセルトランジスタを有する不揮発性のメモリセルであり、
前記制御部は、前記複数のメモリセルにデータを書き込むプログラム動作後に実行される前記セルトランジスタの閾値電圧を確認するプログラムベリファイ動作で使用される前記電圧を前記電圧生成部に生成させる前記電圧制御信号を生成すること
を特徴とする付記1または付記2記載の半導体メモリ。
(付記4)
前記電圧生成部が生成する前記電圧と前記基準電圧とを比較し、前記電圧が前記基準電圧に到達した場合に到達信号を出力する比較部と、
前記電圧制御信号に応答して前記所定時間を計測し、前記所定時間が経過したことを示す経過信号を出力するタイマと、
前記到達信号より前に経過信号を受けた場合に、前記エラー信号を出力する判定部と
を備えることを特徴とする付記1ないし付記3のいずれか1項記載の半導体メモリ。
(付記5)
前記制御部は、前記エラー信号を出力する場合に、前記電圧制御信号の生成に対応して選択した前記ビット線を示すアドレスをエラーアドレスとして出力する出力部を備えること
を特徴とする付記1ないし付記4のいずれか1項記載の半導体メモリ。
(付記6)
前記複数のメモリセルを救済するための冗長メモリセルを備え、
前記制御部は、前記エラー信号を出力する場合に、前記電圧制御信号の生成に対応して選択した前記ビット線に接続されたメモリセルを救済する救済部を備えること
を特徴とする付記1ないし付記5のいずれか1項記載の半導体メモリ。
(付記7)
前記制御部は、前記エラー信号の出力後、前記電圧制御信号および前記選択信号の生成を停止すること
を特徴とする付記1ないし付記6のいずれか1項記載の半導体メモリ。
(付記8)
前記制御部は、前記エラー信号の出力の有無に拘わらず、所定の回数の前記電圧制御信号の生成および前記選択信号の生成を継続すること
を特徴とする付記1ないし付記6のいずれか1項記載の半導体メモリ。
(付記9)
複数のメモリセルに連続してアクセスするアクセス要求に応答して、所定の回数の電圧制御信号を生成し、
前記電圧制御信号に応答して、前記複数のメモリセルに接続されたワード線に供給する電圧を生成し、
前記電圧制御信号の生成毎に前記複数のメモリセルの各々に接続された複数のビット線を順次に選択する選択信号を生成し、
前記各電圧制御信号の生成から所定時間内に前記電圧が基準電圧に到達しない場合にエラー信号を出力すること
を特徴とする半導体メモリの試験方法。
Claims (5)
- 複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルに接続されたワード線と、
前記複数のメモリセルの各々に接続された複数のビット線と、
電圧制御信号に応答して、前記ワード線に供給する電圧を生成する電圧生成部と、
前記複数のメモリセルに連続してアクセスするアクセス要求に応答して、所定の回数の前記電圧制御信号を生成し、前記電圧制御信号の生成毎に前記複数のビット線を順次に選択する選択信号を生成し、前記各電圧制御信号の生成から所定時間内に前記電圧が基準電圧に到達しない場合にエラー信号を出力する制御部と
を備えていることを特徴とする半導体メモリ。 - 前記制御部は、前記アクセス要求に応答して、前記選択信号を生成するアドレスを順次に生成し、前記アドレスの生成毎に前記電圧制御信号を生成する試験部を備え、
前記アクセス要求は、前記試験部を動作させる試験コマンドであること
を特徴とする請求項1記載の半導体メモリ。 - 前記複数のメモリセルの各々は、コントロールゲートとフローティングゲートとを含むセルトランジスタを有する不揮発性のメモリセルであり、
前記制御部は、前記複数のメモリセルにデータを書き込むプログラム動作後に実行される前記セルトランジスタの閾値電圧を確認するプログラムベリファイ動作で使用される前記電圧を前記電圧生成部に生成させる前記電圧制御信号を生成すること
を特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体メモリ。 - 前記電圧生成部が生成する前記電圧と前記基準電圧とを比較し、前記電圧が前記基準電圧に到達した場合に到達信号を出力する比較部と、
前記電圧制御信号に応答して前記所定時間を計測し、前記所定時間が経過したことを示す経過信号を出力するタイマと、
前記到達信号より前に経過信号を受けた場合に、前記エラー信号を出力する判定部と
を備えることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項記載の半導体メモリ。 - 複数のメモリセルに連続してアクセスするアクセス要求に応答して、所定の回数の電圧制御信号を生成し、
前記電圧制御信号に応答して、前記複数のメモリセルに接続されたワード線に供給する電圧を生成し、
前記電圧制御信号の生成毎に前記複数のメモリセルの各々に接続された複数のビット線を順次に選択する選択信号を生成し、
前記各電圧制御信号の生成から所定時間内に前記電圧が基準電圧に到達しない場合にエラー信号を出力すること
を特徴とする半導体メモリの試験方法。
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