JP6080694B2

JP6080694B2 - 真空バルブ

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Publication number: JP6080694B2
Application number: JP2013113560A
Authority: JP
Inventors: 将司川田
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2013-05-30
Filing date: 2013-05-30
Publication date: 2017-02-15
Anticipated expiration: 2033-05-30
Also published as: JP2014232675A

Description

この発明は、風車形接点を組み込んだ真空バルブに関するもので、電流遮断時のアークによるアークシールドの損傷を抑制し、遮断寿命及び遮断後の耐電圧性能を向上させるものである。

従来の真空バルブは、アルミナセラミックス等から形成された絶縁円筒を真空容器とし、絶縁円筒の両端に生成されたメタライズ層に容器内を高真空で気密保持すべく、金属フランジが、真空ロウ付けによって固着されている。絶縁円筒両端に固着された金属フランジにはそれぞれ固定側電極棒、可動側電極棒が同軸上に対向して取り付けられており、各電極棒の対向面にはそれぞれ固定側接点と可動側接点が固着されている。また、可動側接点が気密を保持しながら絶縁容器軸心上を動作できるよう可動側電極棒と金属フランジ間にベローズが設けられるが、電流遮断時に発生したアークによってベローズが汚損されることを防ぐために設けられた傘状のベローズカバーが可動側電極棒に固着されており、ベローズ自体は接点側がベローズカバーもしくはベローズカバーと可動側電極棒にロウ付接合され、接点の反対側には可動側フランジに取り付けられている。また、絶縁容器内部にはアークシールドが対向する接点を囲繞するように設けられており、絶縁容器の内沿面が電流遮断時に発生するアークによって汚損されることを防いでいる。可動側はその開閉の過程において軸心上で円滑に動作するために軸受け機能を有するガイドが可動側端部に取り付けられている（特許文献１）。

前述の接点の種類に風車形接点がある。風車形接点には図１に示すように、中心部から周縁部に向けて渦巻状の溝１が切り込まれ、複数個（図１では４個）の円弧部２を形成している。真空バルブにおいて閉極して電流が通電されている場合、固定側接点と可動側接点における円弧部２が互いに接触している。電流を遮断する場合には固定側接点と可動側接点を開極させることによって、固定側接点と可動側接点の円弧部２上の任意点にアーク３が発生する。風車形接点に通電された電流Ｉｘは図１のように中心から円弧部２の形状に沿って流れ、さらにアーク３を介して対向する風車形接点の円弧部２に流れていく。この際に、電流Ｉｘによって図１には図示しない磁束密度Ｂｘが発生する。アーク３はこの磁束密度Ｂｘに比例した駆動力Ｆｘを受け、円弧部２上を左回りに高速で回転移動する。アーク３が風車形接点上を高速で回転移動することで電流ゼロ点を迎えるまで、アークによる局部的な熱の集中を防止し、接点の損傷を軽減させることができ、遮断性能を向上させることができる。

特公平６−２４０９０号公報

風車形接点を組み込んだ真空バルブにおいては、駆動力Ｆｘにより接点上でアークを高速で回転移動させ、電流ゼロ点を迎えるまで接点の損傷を軽減させて遮断性能を向上させているが、真空バルブを遮断器に組み込んだ後は、外部導体からの磁界により駆動力Ｆｘに反する向きに電磁力が発生し、アークの移動が停滞する箇所が発生する。アークシールドでは、アークの熱により損傷を受けるが、アークの移動が停滞する箇所では、それ以外の箇所と比較して損傷が増大し、遮断性能及び遮断後の耐電圧性能が低下してしまう。電流遮断時のアークによるアークシールドの損傷を抑制し、風車形接点を組み込んだ真空バルブの遮断性能を向上させることが本発明における課題である。

この発明による真空バルブは、互いに対向する端部を真空容器内に配設される対をなす電極棒の対向面にそれぞれ固着され接離自在である風車形接点、前記絶縁筒内に前記風車形接点を囲繞するように設けられたアークシールドを備えた真空バルブにおいて、前記アークシールドには周方向の一部に厚みを増大した箇所が設けられるとともに、前記アークシールドの厚みが増大している箇所を、前記風車形接点上において外部からの電磁力によりアークの移動が停滞する箇所と同じ周方向位置に配置するようにしたものである。

この発明によれば、アークシールドの厚みを持たせて熱容量が増大した箇所をアークが停滞する箇所と同じ周方向位置に配置させることで、アークの熱によるアークシールドの損傷が軽減され、遮断寿命及び遮断後の耐電圧性能の向上に繋がる。

この発明における真空バルブの風車型接点の構造を示す概略図。この発明における実施の形態１に関わる真空バルブの構成を示す概略断面図。図２に示す真空バルブにおけるアークシールドを形成する板材形状を示す概略図。図２に示す真空バルブにおけるアークシールドの構造を示す概略図。真空バルブを遮断器に組み込んだ状態を示す概略図。この発明における実施の形態１に関わるアークシールドと接点の半径方向の位置関係を示す図５のVI−VI方向に見た概略図。この発明の図６においてアークの駆動方向を説明する図。この発明における実施の形態２に関わるアークシールドを形成する板材形状を示す概略図。この発明における実施の形態２に関わるアークシールドを示す概略図。この発明における実施の形態２に関わるアークシールドと接点の半径方向の位置関係を示す概略図。この発明における実施の形態３に関わる真空バルブの構成を示す概略断面図。この発明における実施の形態３に関わるアークシールドを形成する板材形状を示す概略図。図１１に示す真空バルブにおけるアークシールドを示す概略図。この発明における実施の形態３に関わる図１３とは異なるアークシールドを形成する板材形状を示す概略図。この発明における実施の形態３に関わる図１３とは異なるアークシールドを示す概略図。

以下に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。本発明は真空容器内に接離自在に取り付けられた固定側電極と可動側電極を擁する真空バルブに関わる。

実施の形態１．
この発明における実施の形態１を図１から図７までについて説明する。
この発明の実施の形態１を示す図２の真空バルブ概略断面図において、真空バルブは、アルミナセラミック等の絶縁物を材質とする円筒状の絶縁筒４に対し、その両端には容器を形成し、かつ容器内部を高真空で気密保持すべく、ステンレス鋼等の金属を材質とする固定側フランジ５と可動側フランジ６が取り付けられ、これら固定側フランジ５と可動側フランジ６は絶縁筒４の両端に形成されたメタライズ層７に真空ロウ付けによって絶縁筒４と同軸上に固着されている。絶縁筒４の一端に固着された固定側フランジ５には固定側電極棒８が固着され、可動側フランジ６には可動側電極棒９がベローズ１０を介して取り付けられている。ベローズ１０の一端と可動側フランジ６は固着されており、ベローズ１０の他端と可動側電極棒９は電流遮断時に発生するアークによるベローズ１０の汚損防止を目的として設けたベローズカバー１１を介して固着されている。

固定側電極棒８と可動側電極棒９の対向面には風車形の固定側接点１２および可動側接点１３がそれぞれ固着されている。これら固定側接点１２および可動側接点１３の裏側には補強板１４が設けられており、固定側接点１２と可動側接点１３の機械的強度を補う役割をしている。可動側接点１３は固着している可動側電極棒９がベローズ１０を介して可動側フランジ６に取り付けられているため、気密を保持したまま絶縁筒４の軸心上で、固定側接点１２と接離自在となっている。
ここで、固定側電極棒８と可動側電極棒９の対向面にそれぞれ固着され互いに接離自在とされる風車形の固定側接点１２および可動側接点１３における互いの接触面はそれぞれ図１に示すような平面形状を有している。
それぞれ全体として円盤状の形状をなし互いに円形状平面を対向する風車形の各接点１２，１３には、中心部から周縁部に向けて渦巻状に周方向へ湾曲して外径方向へ伸びるように切り込まれた複数の溝１と、溝１によって区切られた複数の弧状部２とが形成されている。真空バルブの開放動作時における接点１２，１３の開離過程においてアーク３が発生し、接点１２，１３の接触面部分に電流Ｉｘが流通しているものとすると、電流Ｉｘによる磁束とアーク３の通電電流との電磁作用によりアーク３は駆動力Ｆｘを受け、弧状部２の外周先端部分へ駆動されて回転移動し消弧されるものである。
絶縁筒４の内沿面には電流遮断時に電極間で発生するアークによる絶縁筒内沿面の汚損防止を目的としたアークシールド１５が対向配置された固定側接点１２と可動側接点１３を囲繞するように設けられている。ガイド１６は熱可塑性合成樹脂等から製作されており、真空ロウ付による真空封止後、可動側フランジ６に取り付けられている。可動側電極棒９とガイド１６が摺動部となることにより、ガイド１６に軸受け機能を持たせている。

前述のとおり、アークシールド１５は固定側接点１２と可動側接点１３を囲繞するように設けられている。図４にこの発明の実施の形態１に関わるアークシールド１５の構造を示す。本発明における実施の形態１に関わるアークシールド１５は、例えばステンレス鋼等の金属の板材から作製される。板材の一端を図３に示すようにプレス加工等によりＬ字に折り曲げ、折曲部１５ａを形成する。そして、図３に示すような板材を円筒形状とすべく丸める際に、板材の他端と折曲部１５ａを図４に示すように重ね合わせて接続することによって、アークシールド１５の一部に厚みを持たせて熱容量を増大させた重合部１５ｂを形成する。
重合部１５ｂは折曲部１５ａと他端とが接しているのみであるが、重合部１５ｂの継ぎ目を溶接やロウ付等により完全に接合しても構わない。また、本実施の形態では、アークシールド１５は円筒形状を成しているが、円筒形状形成後に筒の底部をしぼる等、形状を変更することが可能であることは言うまでもない。

次に、真空バルブ１７が遮断器に組み込まれた場合を考える。図５は真空バルブ１７を遮断器に組み込んだ状態を示す概略図であり、真空バルブ１７の周囲には外部導体１８が配置されている。外部導体１８は真空バルブ１７の電極棒８，９に接続され、真空バルブ１７の上方に水平配置された外部導体１８と、垂直方向に配置された真空バルブ１７の電極棒８，９と、真空バルブ１７の下方に水平配置された外部導体１８とによって図５の右方向に開口するコ字状の通電経路を形成するものである。外部導体１８には電流Ｉｙが通電されるため、このコ字状の通電経路によって図示しない磁束密度Ｂｙが発生し、真空バルブ１７内において電極棒８，９の対向面に固着された風車形接点１２，１３上で発生するアーク３は、外部導体１８の導出方向（図７のＢ方向）とは反対の方向（図７のＣ方向）にこの磁束密度Ｂｙに比例した電磁力Ｆｙを受ける。従って、風車形接点１２，１３の円弧部２を図７のＤ方向すなわち周回方向（図７においては反時計方向）に回転移動していたアーク３が外部導体１８による電磁力Ｆｙ（図７のＣ方向）によって速やかに移動できない箇所１９（図６参照）が発生する。これは、風車形接点１２，１３上を、周回方向（図７のＤ方向）に移動しているアークが、図７の上半分ではＤ方向の電磁力Ｆｙによって運動が加速されるが、図７の下半分ではＤ方向の電磁力Ｆｙによって運動が減速され、図７に示した範囲１９においてアークの運動が停滞する。このため、外部導体１８が図５に示すように真空バルブ１７から右方向に水平配置されているものとすると、前述したコ字状の通電経路による磁束作用によってアーク３は図５における左方向に電磁力を受け、この電磁力が風車形接点１２，１３によるアーク回転駆動力に対抗する阻害駆動力となって、アーク３は停滞を余儀なくされるものである。このようにアーク３の移動が停滞する箇所では、アーク３による局部的な熱集中を引き起こし、アークシールド１５を損傷させ遮断性能を低下させてしまう。そこで、本発明では図６に示すように、接点上においてアークの移動が停滞するアーク停滞箇所１９とアークシールド１５において厚みを持たせて熱容量を増大させた重合部１５ｂとを半径方向において同じ角度位置、すなわち同じ周方向位置に配置させるようにしている。

アーク停滞箇所１９と重合部１５ｂとを半径方向において同じ角度位置、すなわち同じ周方向位置に配置させたことで、電流遮断時にアークが停滞しても、熱容量が増大した重合部１５ｂで熱を吸収し、熱的なダメージを軽減させるため、遮断性能が向上する。アークによる熱的なダメージを軽減できることから、遮断寿命が延長される他、遮断後の耐電圧性能も向上する。アークシールド１５の板厚の厚みはアーク停滞箇所１９のように熱的損傷の大きい箇所を考慮し決定されるが、本実施の形態１のアークシールド１５は熱的損傷の大きな箇所に限定して板厚を厚くし、熱容量を増大させることが可能であるため、アークシールド全体の板厚を厚くしたり、銅クロムのような熱伝導率の良好な材料に変更したりする必要が無くなる。従って、軽量化が図れるとともに、材料費の高騰を抑制し、低コスト化を実現できる。また、本実施の形態におけるアークシールド１５は、プレス加工により容易に作成可能であるため、材料の加工費用も安価に抑えられる。

本実施の形態における真空バルブは、両端にメタライズ層を有し真空容器を構成する絶縁筒４の一端が封止される固定側フランジ５、前記絶縁筒４の他端が封止される可動側フランジ６、前記固定側フランジ５に固着された固定側電極棒８、前記可動側フランジ６に固着されるベローズ１０、このベローズ１０がベローズカバー１１を介して保持する可動側電極棒９、前記固定側電極棒８と可動側電極棒９の対向面に固着され、前記絶縁筒４の軸心上で接離自在である風車形接点１２，１３、前記絶縁筒４内に前記風車形接点１２，１３部分を囲繞するように設けられたアークシールド１５、及び前記可動側フランジ６に取り付けられ軸受機能を果たす熱可塑性樹脂からなるガイド１６を備えた真空バルブにおいて、前記アークシールド１５は、長方形の板材を巻き込み円筒形に丸めて一方の先端部と他方の先端部が所定幅にわたって重ね合わされ、かつ重ね合わされた箇所１５ｂのみ板厚を厚くするとともに、前記アークシールドの厚みが増大している箇所１５ｂを、風車形接点１２，１３上において外部からの電磁力によりアークの移動が停滞する箇所１９と半径方向において同じ角度位置、すなわち同じ周方向位置に配置したことを特徴とするものである。
この構成により、アークシールド１５の厚みを持たせて熱容量が増大した箇所１５ｂをアークが停滞する箇所１９と半径方向において同じ角度位置、すなわち同じ周方向位置に配置させることで、アークの熱によるアークシールド１５の損傷が軽減され、遮断寿命及び遮断後の耐電圧性能を向上することができる。

実施の形態２．
この発明における実施の形態２を図８から図１０までについて説明する。
この発明における実施の形態２に係る真空バルブの構造は実施の形態１の図２に示す真空バルブ概略断面図において、アークシールド１５の形状が、その実施例において異なるのみであり、それ以外の構造は実施の形態１と同様であるため、詳細な説明は省略する。

図９にこの発明の実施の形態２に関わるアークシールド１５の構造を示す。本発明における実施の形態２に関わるアークシールド１５は、実施の形態１と同様、ステンレス鋼等の金属の板材から作製される。図８に示すような所定の幅ｗを持つ長さｘの長手の板材を長手方向に巻き込んで丸め円周寸法がｘで軸方向寸法がｗのアークシールド１５を構成する円筒形状を形成するものである。そして、板材の一端を図７に示すようにプレス加工等により反対側に折り返して、折返部１５ｃを形成している。そして、図８に示すような板材を円筒形状とすべく丸める際に、板材の他端と折返部１５ｃを図９に示すように接続させ、アークシールド１５を形成させている。本実施の形態２では折返部１５ｃが厚みを持たせて熱容量を増大させた箇所となる。折返部１５ｃは他端と接しているのみであり、溶接やロウ付等により接合されていないものであるが、その継ぎ目を溶接やロウ付等により完全に接合しても構わない。また、実施の形態１と同様に、円筒形状形成後に筒の底部をしぼる等、形状を変更することが可能であることは言うまでもない。

図１０は本実施の形態２における真空バルブ中の接点とアークシールド１５の配置を示している。本例においては、接点上においてアークの移動が停滞するアーク停滞箇所１９と本実施の形態２のアークシールド１５において厚みを持たせて熱容量を増大させた折返部１５ｃとを半径方向において同じ角度位置、すなわち同じ周方向位置に配置させている。

アーク停滞箇所１９と折返部１５ｃとを半径方向において同じ角度位置、すなわち同じ周方向位置に配置させたことで、電流遮断時にアークが停滞しても、熱容量が増大した折返部１５ｃで熱を吸収し、実施の形態１と同様、熱的なダメージを軽減させるため、遮断性能が向上する。アークによる熱的なダメージを軽減できることから、遮断寿命が延長される他、遮断後の耐電圧性能も向上する。
本実施の形態２においても、アークシールド１５は熱的損傷の大きな箇所に限定して板厚を厚くし、熱容量を増大させることが可能であるため、アークシールド全体の板厚を厚くしたり、銅クロムのような熱伝導率の良好な材料に変更したりする必要が無くなり、軽量化が図れるとともに、材料費の高騰を抑制し、低コスト化を実現できる。また、本実施の形態２におけるアークシールドもプレス加工により容易に作成可能であるため、材料の加工費用も安価に抑えられる。

実施の形態３．
この発明における実施の形態３を図１１から図１５までについて説明する。
図１１はこの発明の実施の形態３における真空バルブの構造を示す概略断面図である。この発明の実施の形態３における真空バルブの構造は実施の形態１において説明した真空バルブの構造において、アークシールド１５の形状が、その実施例において異なるのみであり、それ以外の構造は実施の形態１と同様であるため、詳細な説明は省略する。

図１３にこの発明の実施の形態３に関わるアークシールド１５の構造を示す。本発明における実施の形態３に関わるアークシールド１５は、ステンレス鋼等の金属の板材から作製される。図１２に示すような所定の幅ｗを持つ長さｘの長手の板材を長手方向に巻き込んで丸め円周寸法がｘで軸方向寸法がｗのアークシールド１５を構成する円筒形状を形成するものであって、板材の一端の凸部をプレス加工等によりＬ字に折り曲げ、折曲部１５ａを形成し、板材のもう一端に四角形切り欠き形状に打ち抜かれた打抜部１５ｄを設けている。そして、図１２に示すような板材を円筒形状とすべく丸める際に、図１２（ｃ）に示す板材の一端部に設けた折曲部１５ａの打抜部接続位置に板材の打抜部１５ｄを嵌合し接続させることで、板材の他端と折曲部１５ａが重ね合わされ、重合部１５ｂを形成する。

ここで、重合部１５ｂを形成する折曲部１５ａの幅方向の寸法を図１２（ｄ）で示すようにａとする。電流遮断時に発生するアークは真空バルブ１７の接点１２，１３間において発生するため、真空バルブ１７の開極時における風車形接点１２，１３の相互間隔で示される真空バルブ１７の開極寸法をｄとすると、折曲部１５ａの幅の寸法ａはａ＞ｄとすることが望ましい。また、打抜部１５ｄの幅方向の寸法をｂ、巻き込み方向の寸法をｃ、板厚をｔ、折曲部１５ａの曲げ半径寸法をＲとした時、ｂ＝ａ、ｃ＝ｔ＋Ｒとすることが望ましい（但し、寸法公差は含まない）。本実施の形態３においては、実施の形態１と同様に、接点上におけるアーク停滞箇所１９とアークシールド１５における重合部１５ｂとを半径方向において同じ角度位置、すなわち同じ周方向位置に配置させている。

本実施の形態３では、アークシールド１５を図１５のような形状としても良い。この場合、図１２の板材形状とは異なり、板材の一端を図１３に示すように、折曲部１５ａを形成するのではなく、反対側に折り返して折返部１５ｃを形成する。そして図１４に示すような長手の板材を長手方向に巻き込んで円筒形状とすべく丸める際に、図１４（ｃ）に示す打抜部接続位置に板材の打抜部１５ｄを嵌合し接続させる。
ここで、折返部１５ｃの幅方向の寸法を図１４（ｄ）で示すようにｅとすると、真空バルブの開極寸法ｄとの関係をｅ＞ｄとすることが望ましい。また、この場合の打抜部１５ｄの幅方向の寸法をｂ、巻き込み方向の寸法をｃ、板厚をｔとした時、ｂ＝ｅ、ｃ＝ｔとすることが望ましい（但し、寸法公差は含まない）。本実施の形態３においては、実施の形態２と同様に、接点上におけるアーク停滞箇所１９とアークシールド１５における折返部１５ｃとを半径方向において同じ角度位置、すなわち同じ周方向位置に配置させている。

本実施の形態３においても、継ぎ目部分を溶接やロウ付等により完全に接合しても構わない。また、円筒形状形成後に筒の底部をしぼる等、形状を変更することが可能であることは言うまでもない。

本実施の形態３においても、アーク停滞箇所１９と重合部１５ｂもしくは折返部１５ｃ等熱容量を増大させた箇所を半径方向において同じ角度位置、すなわち同じ周方向位置に配置させたことで、電流遮断時にアークが停滞しても、熱容量が増大した箇所で熱を吸収し、熱的なダメージを軽減させるため、遮断性能が向上する。アークによる熱的なダメージを軽減できることから、遮断寿命が延長される他、遮断後の耐電圧性能も向上する。
本実施の形態３においても、アークシールド１５は熱的損傷の大きな箇所に限定して板厚を厚くし、熱容量を増大させることが可能であるため、アークシールド全体の板厚を厚くしたり、銅クロムのような熱伝導率の良好な材料に変更したりする必要が無くなり、材料費の高騰を抑制し、低コスト化を実現できる。
また、本実施の形態３においては、アークシールド１５において板厚の厚みを厚くし、熱容量を増大させた箇所を接点間近辺により限定させているため、真空バルブの更なる軽量化が望める。また、本実施の形態３におけるアークシールド１５もプレス加工により容易に作成可能であるため、材料の加工費用も安価に抑えられる。

なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態の一部または全部を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。

１溝部、２円弧部、３アーク、４絶縁筒、５固定側フランジ、６可動側フランジ、７メタライズ層、８固定側電極棒、９可動側電極棒、１０ベローズ、１１ベローズカバー、１２固定側接点、１３可動側接点、１４補強板、１５アークシールド、１５ａ折曲部、１５ｂ重合部、１５ｃ折返部、１５ｄ打抜部、１６ガイド、１７真空バルブ、１８外部導体、１９アーク停滞箇所。

Claims

互いに対向する端部を真空容器内に配設される対をなす電極棒の対向面にそれぞれ固着され接離自在である風車形接点、前記真空容器内に前記風車形接点を囲繞するように設けられたアークシールドを備えた真空バルブにおいて、前記アークシールドには周方向の一部に厚みを増大した箇所が設けられるとともに、前記アークシールドの厚みが増大している箇所を、前記風車形接点上において外部からの電磁力によりアークの移動が停滞する箇所と同じ周方向位置に配置したことを特徴とする真空バルブ。
前記アークシールドは、一端部に折り曲げにより段差部が形成された長手の板材を円筒形に丸めて、一端部の段差部と他端部の先端部が重ね合わされた箇所のみ板厚を厚くしたことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
前記アークシールドは、長手の板材の一端部を反対側に折り返して折返部を形成し、前記板材を長手方向に丸めて円筒形状を成し、前記板材の他端部と前記折返部が接することで、前記アークシールドに厚みが増大している箇所を持たせたことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
前記アークシールドは、所定の幅を持つ長手の板材の一端部に段差が生じるように折り曲げられた折曲部を形成し、前記板材の他端部を四角形切り欠き形状に打ち抜いて打抜部を形成し、前記板材を巻き込んで丸め円筒形状を成して、前記打抜部に前記折曲部を嵌合し前記板材の一端部に形成された前記折曲部と前記板材の他端部とが重ね合わされることで、アークシールドに厚みが増大している箇所を持たせたことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
前記アークシールドにおいて、上記折曲部の幅方向の寸法をａ、真空バルブの開極寸法をｄとした時に、ａ＞ｄが成り立つことを特徴とする請求項４に記載の真空バルブ。
前記アークシールドにおいて、上記折曲部の幅の寸法をａ、打抜部の幅方向の寸法をｂ、巻き込み方向の寸法をｃ、アークシールドを形成する板材の板厚をｔ、折曲部の曲げ半径寸法をＲとした時、ｂ＝ａ、ｃ＝ｔ＋Ｒが成り立つことを特徴とする請求項４に記載の真空バルブ。
前記アークシールドが、所定の幅を持つ長手の板材の一端の凸部を反対側に折り返して、折返部を形成し、前記板材の他端を四角形切り欠き形状に打ち抜いて打抜部を形成して、前記板材を長手方向に巻き込んで丸め円筒形状を成し前記折返部を前記打抜部に嵌合して、前記アークシールドに厚みが増大している箇所を持たせたことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
前記アークシールドにおいて、前記折返部の幅の寸法をｅ、真空バルブの開極寸法をｄとした時に、ｅ＞ｄが成り立つことを特徴とする請求項７に記載の真空バルブ。
前記アークシールドにおいて、前記折返部の幅方向の寸法をｅ、打抜部の幅方向の寸法をｂ、巻き込み方向の寸法をｃ、アークシールドを形成する板材の板厚をｔとした時、ｂ＝ｅ、ｃ＝ｔが成り立つことを特徴とする請求項７に記載の真空バルブ。
前記アークシールドにおいて、前記板材が丸められ円筒形状を成した継ぎ目を有するものであって、前記継ぎ目は前記板材の一端部と他端部とが接しているのみであることを特徴とする請求項２から請求項９の何れかに記載の真空バルブ。
前記アークシールドにおいて、前記板材が丸められ円筒形状を成した継ぎ目を有するものであって、前記継ぎ目が溶接やロウ付等で接合されていることを特徴とする請求項２から請求項９の何れかに記載の真空バルブ。