JP6076337B2 - プラズマチャンバのための伝送線rfアプリケータ - Google Patents
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Description
図1〜図22は、本発明の第1の態様又は第1の実施形態に係る2導体伝送線RFアプリケータ10の様々な実施形態を示している。
2.RF電源への接続
3.誘電体カバーと導体間の誘電体
4.RF放射の空間分布の最適化
5.開口部間の周方向又は横方向のオフセット
6.3導体RFアプリケータ
Claims (19)
- プラズマチャンバであって、
プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーであって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置される誘電体カバーと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する外側導体であって、外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体であって、内側導体の主要部は、外側導体の主要部内に配置され、外側導体の主要部から離間している内側導体と、
誘電体カバーの第1及び第2の端部にそれぞれ当接し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、外側導体の主要部とプラズマチャンバの内部との間の流体連通を防止する第1及び第2のシール装置を含み、
外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)誘電体カバーの主要部の内面に対向する外面と、
(iii)外側導体の内面と外側導体の外面との間に延びる2以上の開口部を含み、
外側導体及び誘電体カバーは、周囲の大気によってのみ分離されているプラズマチャンバ。 - プラズマチャンバであって、
プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーであって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置される誘電体カバーと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する外側導体であって、外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体であって、内側導体の主要部は、外側導体の主要部内に配置され、外側導体の主要部から離間している内側導体と、
誘電体カバーの第1及び第2の端部にそれぞれ当接し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、外側導体の主要部とプラズマチャンバの内部との間の流体連通を防止する第1及び第2のシール装置を含み、
外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)誘電体カバーの主要部の内面に対向する外面と、
(iii)外側導体の内面と外側導体の外面との間に延びる2以上の開口部を含み、
第2のシール装置は、プラズマチャンバの内部に配置され、真空エンクロージャに当接しないプラズマチャンバ。 - プラズマチャンバであって、
プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーであって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置される誘電体カバーと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する外側導体であって、外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体であって、内側導体の主要部は、外側導体の主要部内に配置され、外側導体の主要部から離間している内側導体と、
誘電体カバーの第1及び第2の端部にそれぞれ当接し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、外側導体の主要部とプラズマチャンバの内部との間の流体連通を防止する第1及び第2のシール装置を含み、
外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)誘電体カバーの主要部の内面に対向する外面と、
(iii)外側導体の内面と外側導体の外面との間に延びる2以上の開口部を含み、
前記2以上の開口部は、
外側導体上の異なる長手方向の位置における複数の開口部を含み、
外側導体上の連続する長手方向の位置にある前記複数の開口部の隣接するものは、いかなる開口部によっても遮断されない外側導体の長手方向の寸法に沿った電流の流れのための直線経路を排除するように、外側導体の周方向の寸法に沿ってオフセットされるプラズマチャンバ。 - プラズマチャンバであって、
プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーであって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置される誘電体カバーと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する外側導体であって、外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体であって、内側導体の主要部は、外側導体の主要部内に配置され、外側導体の主要部から離間している内側導体と、
誘電体カバーの第1及び第2の端部にそれぞれ当接し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、外側導体の主要部とプラズマチャンバの内部との間の流体連通を防止する第1及び第2のシール装置を含み、
外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)誘電体カバーの主要部の内面に対向する外面と、
(iii)外側導体の内面と外側導体の外面との間に延びる2以上の開口部を含み、
前記2以上の開口部は、
外側導体の主要部の第1のサブ部分内の第1の複数の開口部と、外側導体の主要部の別の第2のサブ部分内の第2の複数の開口部を含み、
第1のサブ部分は、外側導体の第1の端部から第2のサブ部分へと延びており、
第2のサブ部分は、第1のサブ部分から外側導体の中央部へと延びており、
第2の複数の開口部によって占められている第2の部分の表面積の割合は、第1の複数の開口部によって占められている第1の部分の表面積の割合よりも大きいプラズマチャンバ。 - プラズマチャンバであって、
プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーであって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置される誘電体カバーと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する外側導体であって、外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体であって、内側導体の主要部は、外側導体の主要部内に配置され、外側導体の主要部から離間している内側導体と、
誘電体カバーの第1及び第2の端部にそれぞれ当接し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、外側導体の主要部とプラズマチャンバの内部との間の流体連通を防止する第1及び第2のシール装置を含み、
外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)誘電体カバーの主要部の内面に対向する外面と、
(iii)外側導体の内面と外側導体の外面との間に延びる2以上の開口部を含み、
前記2以上の開口部は、
外側導体の主要部の第1のサブ部分内の第1の複数の開口部と、外側導体の主要部の別の第2のサブ部分内の第2の複数の開口部を含み、
第1のサブ部分は、外側導体の第1の端部から第2のサブ部分へと延びており、
第2のサブ部分は、第1のサブ部分から外側導体の中央部へと延びており、
第2のサブ部分内の開口部の平均面積は、第1のサブ部分内の開口部の平均面積よりも大きいプラズマチャンバ。 - プラズマチャンバであって、
プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーであって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置される誘電体カバーと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する外側導体であって、外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体であって、内側導体の主要部は、外側導体の主要部内に配置され、外側導体の主要部から離間している内側導体と、
誘電体カバーの第1及び第2の端部にそれぞれ当接し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、外側導体の主要部とプラズマチャンバの内部との間の流体連通を防止する第1及び第2のシール装置を含み、
外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)誘電体カバーの主要部の内面に対向する外面と、
(iii)外側導体の内面と外側導体の外面との間に延びる2以上の開口部を含み、
前記2以上の開口部は、
外側導体の主要部の第1のサブ部分内の第1の複数の開口部と、外側導体の主要部の別の第2のサブ部分内の第2の複数の開口部を含み、
第1のサブ部分は、外側導体の第1の端部から第2のサブ部分へと延びており、
第2のサブ部分は、第1のサブ部分から外側導体の中央部へと延びており、
第2のサブ部分内の隣接する開口部間の平均間隔は、第1のサブ部分内の隣接する開口部間の平均間隔よりも小さいプラズマチャンバ。 - プラズマチャンバであって、
プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーであって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置される誘電体カバーと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する外側導体であって、外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体であって、内側導体の主要部は、外側導体の主要部内に配置され、外側導体の主要部から離間している内側導体と、
誘電体カバーの第1及び第2の端部にそれぞれ当接し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、外側導体の主要部とプラズマチャンバの内部との間の流体連通を防止する第1及び第2のシール装置を含み、
外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)誘電体カバーの主要部の内面に対向する外面と、
(iii)外側導体の内面と外側導体の外面との間に延びる2以上の開口部を含み、
前記2以上の開口部は、
外側導体の主要部の第1のサブ部分内の第1の複数の開口部と、外側導体の主要部の別の第2のサブ部分内の第2の複数の開口部を含み、
第1のサブ部分は、外側導体の第1の端部から第2のサブ部分へと延びており、
第2のサブ部分は、第1のサブ部分から外側導体の中央部へと延びており、
それぞれの各開口部は、そのそれぞれの長軸が第2の導体の周方向の寸法に対して向けられたそれぞれの角度によって特徴付けられ、
第2のサブ部分内の開口部の前記角度の平均は、第1のサブ部分内の開口部の前記角度の平均よりも小さいプラズマチャンバ。 - プラズマチャンバであって、
プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーであって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置される誘電体カバーと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する外側導体であって、外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体であって、内側導体の主要部は、外側導体の主要部内に配置され、外側導体の主要部から離間している内側導体と、
誘電体カバーの第1及び第2の端部にそれぞれ当接し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、外側導体の主要部とプラズマチャンバの内部との間の流体連通を防止する第1及び第2のシール装置を含み、
外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)誘電体カバーの主要部の内面に対向する外面と、
(iii)外側導体の内面と外側導体の外面との間に延びる2以上の開口部を含み、
前記2以上の開口部は、
外側導体の主要部上の第1の位置から第2の位置まで進行する連続した位置に複数の開口部を含み、
第1の位置は、第2の位置と外側導体の第1の端部との間にあり、
第2の位置は、第1の位置と外側導体の中央部との間にあり、
第1の位置から第2の位置まで進行するそれぞれの前記位置にあるそれぞれの各開口部は、面積が単調増加するプラズマチャンバ。 - プラズマチャンバであって、
プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーであって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置される誘電体カバーと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する外側導体であって、外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体であって、内側導体の主要部は、外側導体の主要部内に配置され、外側導体の主要部から離間している内側導体と、
誘電体カバーの第1及び第2の端部にそれぞれ当接し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、外側導体の主要部とプラズマチャンバの内部との間の流体連通を防止する第1及び第2のシール装置を含み、
外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)誘電体カバーの主要部の内面に対向する外面と、
(iii)外側導体の内面と外側導体の外面との間に延びる複数の開口部を含み、
前記複数の開口部は、
外側導体の主要部上の第1の位置から第2の位置まで進行する連続した位置に開口部を含み、
第1の位置は、第2の位置と外側導体の第1の端部との間にあり、
第2の位置は、第1の位置と外側導体の中央部との間にあり、
第1の位置から第2の位置まで進行するそれぞれの前記位置にあるそれぞれの各開口部は、隣接する開口部間の間隔が単調減少するプラズマチャンバ。
- プラズマチャンバであって、
プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーであって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置される誘電体カバーと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する外側導体であって、外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体であって、内側導体の主要部は、外側導体の主要部内に配置され、外側導体の主要部から離間している内側導体と、
誘電体カバーの第1及び第2の端部にそれぞれ当接し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、外側導体の主要部とプラズマチャンバの内部との間の流体連通を防止する第1及び第2のシール装置を含み、
外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)誘電体カバーの主要部の内面に対向する外面と、
(iii)外側導体の内面と外側導体の外面との間に延びる2以上の開口部を含み、
前記2以上の開口部は、
外側導体の主要部上の第1の位置から第2の位置まで進行する連続した位置に複数の開口部を含み、
第1の位置は、第2の位置と外側導体の第1の端部との間にあり、
第2の位置は、第1の位置と外側導体の中央部との間にあり、
第1の位置から第2の位置まで進行するそれぞれの前記位置にあるそれぞれの各開口部は、外側導体の周方向の寸法に対して単調減少する角度で長軸を有するプラズマチャンバ。 - プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーであって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置される誘電体カバーと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する第1の外側導体であって、第1の外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される第1の外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する第2の外側導体であって、第2の外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される第2の外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有し、誘電体カバーの主要部の内側に配置された内側導体であって、内側導体の主要部が、第1の外側導体の主要部と第2の外側導体の主要部との間にあり、第1の外側導体の主要部と第2の外側導体の主要部から離間されるように、第1及び第2の外側導体のそれぞれの主要部は配置される内側導体と、
第1及び第2のシール装置を含み、
それぞれの各外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)誘電体カバーの主要部の内面に対向する外面と、
(iii)前記それぞれの外側導体の内面と前記それぞれの外側導体の外面との間に延びる複数の開口部を含み、
第1及び第2のシール装置は、誘電体カバーの第1及び第2の端部にそれぞれ当接し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、プラズマチャンバの内部と第1及び第2の外側導体の開口部との間の流体連通を防止するプラズマチャンバ。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、第1の端部と第2の端部との間に延びる第2の導体とを含み、
第2の導体は、第2の導体の第1の部分内の第1の複数の開口部と、第2の導体の第2の部分内の第2の複数の開口部とを含み、
第1の部分は、第2の導体の第1の端部から第2の部分まで延び、
第2の部分は、第1の部分から第2の導体の中央部まで延び、
第2の複数の開口部によって占められている第2の部分の表面積の割合は、第1の複数の開口部によって占められている第1の部分の表面積の割合よりも大きい伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、第1の端部と第2の端部との間に延びる第2の導体とを含み、
第2の導体は、第2の導体の第1の部分内の第1の複数の開口部と、第2の導体の第2の部分内の第2の複数の開口部とを含み、
第1の部分は、第2の導体の第1の端部から第2の部分まで延び、
第2の部分は、第1の部分から第2の導体の中央部まで延び、
第2の部分内の開口部の平均面積は、第1の部分内の開口部の平均面積よりも大きい伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、第1の端部と第2の端部との間に延びる第2の導体とを含み、
第2の導体は、第2の導体の第1の部分内の第1の複数の開口部と、第2の導体の第2の部分内の第2の複数の開口部とを含み、
第1の部分は、第2の導体の第1の端部から第2の部分まで延び、
第2の部分は、第1の部分から第2の導体の中央部まで延び、
第2の部分内の隣接する開口部間の平均間隔は、第1の部分内の隣接する開口部間の平均間隔よりも小さい伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、第1の端部と第2の端部との間に延びる第2の導体とを含み、
第2の導体は、第2の導体の第1の部分内の第1の複数の開口部と、第2の導体の第2の部分内の第2の複数の開口部とを含み、
第1の部分は、第2の導体の第1の端部から第2の部分まで延び、
第2の部分は、第1の部分から第2の導体の中央まで延び、
それぞれの各開口部は、第2の導体の周方向の寸法に対してそのそれぞれの長軸が向けられたそれぞれの角度によって特徴付けられ、
第2の部分内の開口部の前記角度の平均値は、第1の部分内の開口部の前記角度の平均値よりも小さい伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、第1の端部と第2の端部との間に延びる第2の導体とを含み、
第2の導体は、第1の位置から第2の位置へと進行する連続的な位置に複数の開口部を含み、
第1の位置は、第2の位置と第2の導体の第1の端部との間にあり、
第2の位置は、第1の位置と第2の導体の中心との間にあり、
第1の位置から第2の位置まで進行する前記それぞれの位置にあるそれぞれの各開口部は、面積が単調増加する伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、第1の端部と第2の端部との間に延びる第2の導体とを含み、
第2の導体は、第1の位置から第2の位置へと進行する連続的な位置に複数の開口部を含み、
第1の位置は、第2の位置と第2の導体の第1の端部との間にあり、
第2の位置は、第1の位置と第2の導体の中心との間にあり、
第1の位置から第2の位置まで進行する前記それぞれの位置にあるそれぞれの各開口部は、隣接する開口部間の間隔が単調減少する伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、第1の端部と第2の端部との間に延びる第2の導体とを含み、
第2の導体は、第1の位置から第2の位置へと進行する連続的な位置に複数の開口部を含み、
第1の位置は、第2の位置と第2の導体の第1の端部との間にあり、
第2の位置は、第1の位置と第2の導体の中心との間にあり、
第1の位置から第2の位置まで進行する前記それぞれの位置にあるそれぞれの各開口部は、外側導体の横方向の寸法に対して単調減少する角度で長軸を有する伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体の第1の端部と第2の導体の第1の端部との間にRF電圧を生成するように接続されたRF電源を含む請求項12〜19のいずれか1項記載の伝送線RFアプリケータ。
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