JP2014526113A - プラズマチャンバのための伝送線rfアプリケータ - Google Patents
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Abstract
Description
図1〜図22は、本発明の第1の態様又は第1の実施形態に係る2導体伝送線RFアプリケータ10の様々な実施形態を示している。
2.RF電源への接続
3.誘電体カバーと導体間の誘電体
4.RF放射の空間分布の最適化
5.開口部間の周方向又は横方向のオフセット
6.3導体RFアプリケータ
Claims (35)
- RFアプリケータの外側でプラズマに電力を結合するための伝送線RFアプリケータであって、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体であって、内側導体の主要部は外側導体の主要部内に配置され、外側導体の主要部から離間している内側導体を含み、
外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)外面と、
(iii)外側導体の内面と外側導体の外面との間に延びる複数の開口部を含む伝送線RFアプリケータ。 - 誘電体カバーを含み、
前記内側及び外側導体の各々の主要部は、誘電体カバー内に配置され、
誘電体カバーは、前記導体の各々の主要部の周囲にガスシールを提供し、これによってガスは、誘電体カバーの外部と前記導体のいずれの主要部との間でも流れることができない請求項1記載のアプリケータ。 - 外側導体は、管状の形状を有し、
内側導体及び外側導体は、同軸に配置される請求項1記載のアプリケータ。 - プラズマチャンバであって、
プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーであって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置される誘電体カバーと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する外側導体であって、外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体であって、内側導体の主要部は、外側導体の主要部内に配置され、外側導体の主要部から離間している内側導体と、
誘電体カバーの第1及び第2の端部にそれぞれ当接し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、外側導体の主要部とプラズマチャンバの内部との間の流体連通を防止する第1及び第2のシール装置を含み、
外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)誘電体カバーの主要部の内面に対向する外面と、
(iii)外側導体の内面と外側導体の外面との間に延びる2以上の開口部を含むプラズマチャンバ。 - 内側導体の主要部と外側導体の主要部との間の空間は、周囲の大気に開放されており、これによって前記空間は、プラズマチャンバの内部の圧力にかかわらず、周囲の大気圧のままである請求項4記載のプラズマチャンバ。
- 内側導体の主要部と外側導体の主要部の間の空間は、少なくとも部分的に気体で占められており、
第1及び第2のシール装置は、前記空間とプラズマチャンバの内部との間に気密シールを提供し、これによって前記空間とプラズマチャンバの内部との間で圧力差を可能にする請求項4記載のプラズマチャンバ。 - 第1のシール装置は、誘電体カバーの第1の端部と真空エンクロージャとの間に延びている請求項4記載のプラズマチャンバ。
- 第2のシール装置は、プラズマチャンバの内部に配置され、真空エンクロージャに当接しない請求項4記載のプラズマチャンバ。
- 内側導体と外側導体との間にRF電圧を生成するように接続されるRF電源を含む請求項4記載のプラズマチャンバ。
- 内側導体の第1の端部と外側導体の第1の端部との間に第1のRF電圧を生成するように接続された第1のRF電源と、
内側導体の第2の端部と外側導体の第2の端部との間に第2のRF電圧を生成するように接続された第2のRF電源を含む請求項4記載のプラズマチャンバ。 - 内側導体の第1の端部と外側導体の第1の端部との間にRF電圧を生成するように接続されたRF電源と、
内側導体の第2の端部と外側導体の第2の端部との間に接続された終端インピーダンスを含む請求項4記載のプラズマチャンバ。 - 内側導体と外側導体との間に接続されたRF電力出力を有するRF電源を含み、
RF電力出力は、内側導体の主要部の最長寸法よりも短く、外側導体の主要部の最長寸法よりも短い波長を有する請求項4記載のプラズマチャンバ。 - 前記2以上の開口部は、
外側導体上の異なる長手方向の位置における複数の開口部を含み、
外側導体上の連続する長手方向の位置にある前記複数の開口部の隣接するものは、外側導体の周方向の寸法に沿ってオフセットされる請求項4記載のプラズマチャンバ。 - 前記2以上の開口部は、
外側導体の主要部の第1のサブ部分内の第1の複数の開口部と、外側導体の主要部の別の第2のサブ部分内の第2の複数の開口部を含み、
第1のサブ部分は、外側導体の第1の端部から第2のサブ部分へと延びており、
第2のサブ部分は、第1のサブ部分から外側導体の中央部へと延びており、
第2の複数の開口部によって占められている第2の部分の表面積の割合は、第1の複数の開口部によって占められている第1の部分の表面積の割合よりも大きい請求項4記載のプラズマチャンバ。 - 前記2以上の開口部は、
外側導体の主要部の第1のサブ部分内の第1の複数の開口部と、外側導体の主要部の別の第2のサブ部分内の第2の複数の開口部を含み、
第1のサブ部分は、外側導体の第1の端部から第2のサブ部分へと延びており、
第2のサブ部分は、第1のサブ部分から外側導体の中央部へと延びており、
第2のサブ部分内の開口部の平均面積は、第1のサブ部分内の開口部の平均面積よりも大きい請求項4記載のプラズマチャンバ。 - 前記2以上の開口部は、
外側導体の主要部の第1のサブ部分内の第1の複数の開口部と、外側導体の主要部の別の第2のサブ部分内の第2の複数の開口部を含み、
第1のサブ部分は、外側導体の第1の端部から第2のサブ部分へと延びており、
第2のサブ部分は、第1のサブ部分から外側導体の中央部へと延びており、
第2のサブ部分内の隣接する開口部間の平均間隔は、第1のサブ部分内の隣接する開口部間の平均間隔よりも小さい請求項4記載のプラズマチャンバ。 - 前記2以上の開口部は、
外側導体の主要部の第1のサブ部分内の第1の複数の開口部と、外側導体の主要部の別の第2のサブ部分内の第2の複数の開口部を含み、
第1のサブ部分は、外側導体の第1の端部から第2のサブ部分へと延びており、
第2のサブ部分は、第1のサブ部分から外側導体の中央部へと延びており、
第2のサブ部分内の開口部の前記角度の平均は、第1のサブ部分内の開口部の前記角度の平均よりも小さい請求項4記載のプラズマチャンバ。 - 前記2以上の開口部は、
外側導体の主要部上の第1の位置から第2の位置まで進行する連続した位置に複数の開口部を含み、
第1の位置は、第2の位置と外側導体の第1の端部との間にあり、
第2の位置は、第1の位置と外側導体の中央部との間にあり、
第1の位置から第2の位置まで進行するそれぞれの前記位置にあるそれぞれの各開口部は、面積が単調増加する請求項4記載のプラズマチャンバ。 - 前記2以上の開口部は、
外側導体の主要部上の第1の位置から第2の位置まで進行する連続した位置に複数の開口部を含み、
第1の位置は、第2の位置と外側導体の第1の端部との間にあり、
第2の位置は、第1の位置と外側導体の中央部との間にあり、
第1の位置から第2の位置まで進行するそれぞれの前記位置にあるそれぞれの各開口部は、隣接する開口部間の間隔が単調減少する請求項4記載のプラズマチャンバ。 - 前記2以上の開口部は、
外側導体の主要部上の第1の位置から第2の位置まで進行する連続した位置に複数の開口部を含み、
第1の位置は、第2の位置と外側導体の第1の端部との間にあり、
第2の位置は、第1の位置と外側導体の中央部との間にあり、
第1の位置から第2の位置まで進行するそれぞれの前記位置にあるそれぞれの各開口部は、外側導体の周方向の寸法に対して単調減少する角度で長軸を有する請求項4記載のプラズマチャンバ。 - アプリケータの外側でプラズマに電力を結合するための伝送線RFアプリケータであって、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する第1の外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する第2の外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体であって、内側導体の主要部は、第1の外側導体の主要部と第2の外側導体の主要部との間に配置され、第1の外側導体の主要部と第2の外側導体の主要部から離間している内側導体を含み、
それぞれの各外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)外面と、
(iii)前記それぞれの外側導体の内面と前記それぞれの外側導体の外面との間に延びる複数の開口部を含む伝送線RFアプリケータ。 - プラズマチャンバであって、
プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャと、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーであって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置され、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する第1の外側導体であって、第1の外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される第1の外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する第2の外側導体であって、第2の外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置される第2の外側導体と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体であって、内側導体の主要部は、第1の外側導体の主要部と第2の外側導体の主要部との間に配置され、これによって内側導体の主要部は、第1及び第2の外側導体のそれぞれの主要部から離間している内側導体と、
誘電体カバーの第1及び第2の端部にそれぞれ当接し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、プラズマチャンバの内部と第1及び第2の外側導体のそれぞれの主要部との間の流体連通を防止する第1及び第2のシール装置を含み、
それぞれの各外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)誘電体カバーの主要部の内面に対向する外面と、
(iii)前記それぞれの外側導体の内面と前記それぞれの外側導体の外面との間に延びる複数の開口部を含むプラズマチャンバ。 - プラズマに電力を結合する方法であって、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する外側導体を提供する工程と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体を提供する工程であって、内側導体の主要部は、外側導体の主要部内に配置され、外側導体の主要部から離間している工程を含み、
外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)外面と、
(iii)外側導体の内面と外側導体の外面との間に延びる複数の開口部を含む方法。 - プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャを提供する工程と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーを提供する工程であって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置され、外側導体の主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置され、これによって外側導体の外面は、誘電体カバーの主要部の内面に対向する工程と、
それぞれが誘電体カバーの第1及び第2の端部に当接する第1及び第2のシール装置を提供し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、外側導体の主要部とプラズマチャンバの内部との間の流体連通を防止する工程を含む請求項23記載の方法。 - プラズマに電力を結合する方法であって、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する第1の外側導体を提供する工程と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する第2の外側導体を提供する工程と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する内側導体を提供する工程であって、内側導体の主要部は、第1の外側導体の主要部と第2の外側導体の主要部との間に配置され、第1の外側導体の主要部と第2の外側導体の主要部から離間している工程を含み、
それぞれの各外側導体の主要部は、
(i)内側導体の主要部に対向する内面と、
(ii)外面と、
(iii)前記それぞれの外側導体の内面と前記それぞれの外側導体の外面との間に延びる複数の開口部を含む方法。 - プラズマチャンバの内部を囲む真空エンクロージャを提供する工程と、
第1及び第2の端部間に延びる主要部を有する誘電体カバーを提供する工程であって、誘電体カバーの主要部は、プラズマチャンバの前記内部に配置され、それぞれの各外側導体のそれぞれの主要部は、誘電体カバーの主要部内に配置され、それぞれの各外側導体のそれぞれの外面は、誘電体カバーの主要部の内面に対向する工程と、
それぞれが誘電体カバーの第1及び第2の端部に当接する第1及び第2のシール装置を提供し、これによって第1及び第2のシール装置、誘電体カバー、及び真空エンクロージャが組み合わさって、プラズマチャンバの内部と第1及び第2の外側導体のそれぞれの主要部との間の流体連通を防止する工程を含む請求項25記載の方法。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、多数の開口部を含む第2の導体を含み、
前記開口部は、第2の導体上の異なる長手方向の位置にあり、各々が第2の導体の長手方向の寸法に対して平行ではない長軸を有する複数の開口部を含み、
第2の導体上の連続した長手方向の位置にある前記複数の開口部のうちの隣接するものは、第2の導体の横方向の寸法に沿ってオフセットされる伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、第1の端部と第2の端部との間に延びる第2の導体とを含み、
第2の導体は、第2の導体の第1の部分内の第1の複数の開口部と、第2の導体の第2の部分内の第2の複数の開口部とを含み、
第1の部分は、第2の導体の第1の端部から第2の部分まで延び、
第2の部分は、第1の部分から第2の導体の中央部まで延び、
第2の複数の開口部によって占められている第2の部分の表面積の割合は、第1の複数の開口部によって占められている第1の部分の表面積の割合よりも大きい伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、第1の端部と第2の端部との間に延びる第2の導体とを含み、
第2の導体は、第2の導体の第1の部分内の第1の複数の開口部と、第2の導体の第2の部分内の第2の複数の開口部とを含み、
第1の部分は、第2の導体の第1の端部から第2の部分まで延び、
第2の部分は、第1の部分から第2の導体の中央部まで延び、
第2の部分内の開口部の平均面積は、第1の部分内の開口部の平均面積よりも大きい伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、第1の端部と第2の端部との間に延びる第2の導体とを含み、
第2の導体は、第2の導体の第1の部分内の第1の複数の開口部と、第2の導体の第2の部分内の第2の複数の開口部とを含み、
第1の部分は、第2の導体の第1の端部から第2の部分まで延び、
第2の部分は、第1の部分から第2の導体の中央部まで延び、
第2の部分内の隣接する開口部間の平均間隔は、第1の部分内の隣接する開口部間の平均間隔よりも小さい伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、第1の端部と第2の端部との間に延びる第2の導体とを含み、
第2の導体は、第2の導体の第1の部分内の第1の複数の開口部と、第2の導体の第2の部分内の第2の複数の開口部とを含み、
第1の部分は、第2の導体の第1の端部から第2の部分まで延び、
第2の部分は、第1の部分から第2の導体の中央まで延び、
それぞれの各開口部は、第2の導体の周方向の寸法に対してそのそれぞれの長軸が向けられたそれぞれの角度によって特徴付けられ、
第2の部分内の開口部の前記角度の平均値は、第1の部分内の開口部の前記角度の平均値よりも小さい伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、第1の端部と第2の端部との間に延びる第2の導体とを含み、
第2の導体は、第1の位置から第2の位置へと進行する連続的な位置に複数の開口部を含み、
第1の位置は、第2の位置と第2の導体の第1の端部との間にあり、
第2の位置は、第1の位置と第2の導体の中心との間にあり、
第1の位置から第2の位置まで進行する前記それぞれの位置にあるそれぞれの各開口部は、面積が単調増加する伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、第1の端部と第2の端部との間に延びる第2の導体とを含み、
第2の導体は、第1の位置から第2の位置へと進行する連続的な位置に複数の開口部を含み、
第1の位置は、第2の位置と第2の導体の第1の端部との間にあり、
第2の位置は、第1の位置と第2の導体の中心との間にあり、
第1の位置から第2の位置まで進行する前記それぞれの位置にあるそれぞれの各開口部は、隣接する開口部間の間隔が単調減少する伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体と、
第1の導体とは異なり、第1の端部と第2の端部との間に延びる第2の導体とを含み、
第2の導体は、第1の位置から第2の位置へと進行する連続的な位置に複数の開口部を含み、
第1の位置は、第2の位置と第2の導体の第1の端部との間にあり、
第2の位置は、第1の位置と第2の導体の中心との間にあり、
第1の位置から第2の位置まで進行する前記それぞれの位置にあるそれぞれの各開口部は、外側導体の横方向の寸法に対して単調減少する角度で長軸を有する伝送線RFアプリケータ。 - 第1の導体の第1の端部と第2の導体の第1の端部との間にRF電圧を生成するように接続されたRF電源を含む請求項28〜34のいずれか1項記載の伝送線RFアプリケータ。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017063000A (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 日新電機株式会社 | アンテナ及びプラズマ処理装置 |
CN112840443A (zh) * | 2018-10-18 | 2021-05-25 | 应用材料公司 | 辐射装置、用于在基板上沉积材料的沉积设备和用于在基板上沉积材料的方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9048518B2 (en) * | 2011-06-21 | 2015-06-02 | Applied Materials, Inc. | Transmission line RF applicator for plasma chamber |
US20150243483A1 (en) * | 2014-02-21 | 2015-08-27 | Lam Research Corporation | Tunable rf feed structure for plasma processing |
JP6240042B2 (ja) * | 2014-08-05 | 2017-11-29 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
US9456532B2 (en) * | 2014-12-18 | 2016-09-27 | General Electric Company | Radio-frequency power generator configured to reduce electromagnetic emissions |
JP6483546B2 (ja) * | 2015-06-24 | 2019-03-13 | トヨタ自動車株式会社 | プラズマ化学気相成長装置 |
US10943768B2 (en) * | 2018-04-20 | 2021-03-09 | Applied Materials, Inc. | Modular high-frequency source with integrated gas distribution |
US11499229B2 (en) | 2018-12-04 | 2022-11-15 | Applied Materials, Inc. | Substrate supports including metal-ceramic interfaces |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63114974A (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ装置 |
JPH10229000A (ja) * | 1997-02-14 | 1998-08-25 | Nissin Electric Co Ltd | プラズマ発生装置およびそれを用いたイオン源 |
JP2005136442A (ja) * | 1996-07-08 | 2005-05-26 | Toshiba Corp | プラズマ処理装置 |
JP2005223079A (ja) * | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Shimadzu Corp | 表面波励起プラズマcvd装置 |
JP2006144099A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Toppan Printing Co Ltd | 3次元中空容器の薄膜成膜装置 |
JP2007059403A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Samsung Electronics Co Ltd | マイクロ波共鳴プラズマ発生装置、該装置を備えるプラズマ処理システム、及びプラズマ処理システムのマイクロ波共鳴プラズマの発生方法 |
JP2010080350A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Tokai Rubber Ind Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置およびマイクロ波プラズマ処理方法 |
US20100215541A1 (en) * | 2006-10-16 | 2010-08-26 | Ralf Spitzl | Device and method for producing high power microwave plasma |
JP2010219004A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-09-30 | Adtec Plasma Technology Co Ltd | プラズマ発生装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5707452A (en) * | 1996-07-08 | 1998-01-13 | Applied Microwave Plasma Concepts, Inc. | Coaxial microwave applicator for an electron cyclotron resonance plasma source |
US7180392B2 (en) * | 2004-06-01 | 2007-02-20 | Verigy Pte Ltd | Coaxial DC block |
FR2921538B1 (fr) * | 2007-09-20 | 2009-11-13 | Air Liquide | Dispositifs generateurs de plasma micro-ondes et torches a plasma |
US8147614B2 (en) * | 2009-06-09 | 2012-04-03 | Applied Materials, Inc. | Multi-gas flow diffuser |
-
2011
- 2011-10-27 US US13/282,469 patent/US20120326592A1/en not_active Abandoned
-
2012
- 2012-06-21 KR KR1020147001530A patent/KR101696198B1/ko active IP Right Grant
- 2012-06-21 CN CN201280033414.3A patent/CN104094676B/zh active Active
- 2012-06-21 CN CN201911183526.7A patent/CN111010795B/zh active Active
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- 2012-06-21 JP JP2014516964A patent/JP6076337B2/ja active Active
- 2012-06-21 CN CN201711070889.0A patent/CN108010828B/zh active Active
- 2012-06-21 CN CN201711072744.4A patent/CN107846769B/zh active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63114974A (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ装置 |
JP2005136442A (ja) * | 1996-07-08 | 2005-05-26 | Toshiba Corp | プラズマ処理装置 |
JPH10229000A (ja) * | 1997-02-14 | 1998-08-25 | Nissin Electric Co Ltd | プラズマ発生装置およびそれを用いたイオン源 |
JP2005223079A (ja) * | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Shimadzu Corp | 表面波励起プラズマcvd装置 |
JP2006144099A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Toppan Printing Co Ltd | 3次元中空容器の薄膜成膜装置 |
JP2007059403A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Samsung Electronics Co Ltd | マイクロ波共鳴プラズマ発生装置、該装置を備えるプラズマ処理システム、及びプラズマ処理システムのマイクロ波共鳴プラズマの発生方法 |
US20100215541A1 (en) * | 2006-10-16 | 2010-08-26 | Ralf Spitzl | Device and method for producing high power microwave plasma |
JP2010080350A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Tokai Rubber Ind Ltd | マイクロ波プラズマ処理装置およびマイクロ波プラズマ処理方法 |
JP2010219004A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-09-30 | Adtec Plasma Technology Co Ltd | プラズマ発生装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017063000A (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 日新電機株式会社 | アンテナ及びプラズマ処理装置 |
CN112840443A (zh) * | 2018-10-18 | 2021-05-25 | 应用材料公司 | 辐射装置、用于在基板上沉积材料的沉积设备和用于在基板上沉积材料的方法 |
JP2022512764A (ja) * | 2018-10-18 | 2022-02-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 放射デバイス、基板上に材料を堆積させるための堆積装置、及び基板上に材料を堆積させるための方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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