JP6074429B2 - フォーカスおよびイメージングシステムならびにエラー信号を使用する技術 - Google Patents
フォーカスおよびイメージングシステムならびにエラー信号を使用する技術 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6074429B2 JP6074429B2 JP2014528924A JP2014528924A JP6074429B2 JP 6074429 B2 JP6074429 B2 JP 6074429B2 JP 2014528924 A JP2014528924 A JP 2014528924A JP 2014528924 A JP2014528924 A JP 2014528924A JP 6074429 B2 JP6074429 B2 JP 6074429B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focus
- dither
- lens
- stage
- error signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 92
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title description 37
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 95
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 40
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 38
- 230000009131 signaling function Effects 0.000 claims description 29
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 23
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 12
- 238000013519 translation Methods 0.000 claims description 11
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 3
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims 1
- 210000001519 tissue Anatomy 0.000 description 66
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 52
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 18
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 17
- 230000006870 function Effects 0.000 description 16
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 13
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 10
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 10
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 230000007170 pathology Effects 0.000 description 7
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 6
- 241000276498 Pollachius virens Species 0.000 description 5
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000004624 confocal microscopy Methods 0.000 description 2
- 239000005338 frosted glass Substances 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 230000001575 pathological effect Effects 0.000 description 2
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 2
- 230000003134 recirculating effect Effects 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 238000002965 ELISA Methods 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910000760 Hardened steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000639 Spring steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006094 Zerodur Substances 0.000 description 1
- 210000004102 animal cell Anatomy 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004113 cell culture Methods 0.000 description 1
- 210000000349 chromosome Anatomy 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 238000005111 flow chemistry technique Methods 0.000 description 1
- 238000010166 immunofluorescence Methods 0.000 description 1
- 238000011545 laboratory measurement Methods 0.000 description 1
- 239000003879 lubricant additive Substances 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 238000002135 phase contrast microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000004161 plant tissue culture Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 238000013518 transcription Methods 0.000 description 1
- 230000035897 transcription Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B1/00—Instruments for performing medical examinations of the interior of cavities or tubes of the body by visual or photographical inspection, e.g. endoscopes; Illuminating arrangements therefor
- A61B1/00163—Optical arrangements
- A61B1/00188—Optical arrangements with focusing or zooming features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
- G02B21/244—Devices for focusing using image analysis techniques
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
- G02B21/245—Devices for focusing using auxiliary sources, detectors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
- G02B7/36—Systems for automatic generation of focusing signals using image sharpness techniques, e.g. image processing techniques for generating autofocus signals
- G02B7/38—Systems for automatic generation of focusing signals using image sharpness techniques, e.g. image processing techniques for generating autofocus signals measured at different points on the optical axis, e.g. focussing on two or more planes and comparing image data
Description
F = 300μm /フォーカス値の正の範囲
N = 8 /期間Eにおいて取得されるフォーカスポイントの数
Δt = 330μsec /330μsecごとに取得されるフォーカスポイントサンプル
E = 2.67msec /Nフォーカスポイントが取得される期間
Δf = 1.06μm フォーカス移動の中心において /フォーカスカーブのステップサイズ
それゆえ、32%のデューティサイクルにより、フォーカス処理を通じて8.84μm(8×1.06μm=8.48μm)がサンプル取得される。
CES=(a−c)/b 式3
フォーカスはずれの位置において、たとえば位置A(波形361参照)において、CESは負になり、位置B(波形362参照)において負の値はより縮小するように移動する。位置Cにおいて(波形363参照、波形363から得られるポイントa、b、cから)CESはゼロになり、システムが位置D、E(波形364、波形365参照)を通ってフォーカスから離れて移動すると、正の値に増加する。CESがゼロになるポイント(位置C)は、フォーカスモーターに関してベストフォーカスであることを示す。このCESエラー関数は、本稿でさらに議論されるように、スローフォーカスモーターを制御するためにフィードバックループに使用することができる。+/−5ミクロンの「ロック範囲」の外側の領域は、ディザ周波数に等しい特性周波数を備える。フォーカス外へのさらなる移動は、波形の振幅を漸進的に小さくする。コントラストが一定の領域または組織が無い領域において、波形の振幅は非常に小さくなり、または、変動のない一定の信号を提供する。波形の振幅に閾値を設定することで、組織が視界にあるのかないのかを決定することができる。
図11は、カメラウィンドウ452の概略図であり、本稿で説明されるシステムの他の実施形態によるフォーカスプロセスに関して複数の領域に分割されるフォーカスウィンドウ456を示している。図示の実施形態において、フォーカスフレーム456は8個の領域に分割されるが、本稿で説明されるシステムに関して、8個より少ないまたは多い領域を使用してもよい。領域の第1サブセットはスナップショットn内に、領域の第2サブセットはスナップショットn+1内にすることができる。たとえば、領域2、3、4、5は、時間t1においてスナップ撮りされるイメージフレーム454内にある。領域6、7は、XY移動ステージ130が図の下から上に移動するときにスナップ撮りされる次のイメージフレーム内に完全に入るようにし、および/または、領域0、1は、ステージ130が図の上から下へ移動するときにスナップ撮りされる次のイメージフレーム内に完全に入るようにすることができる。フォーカス位置0、1、2、3は、位置0*における次のスナップ撮りされるフレームのためにベストフォーカス位置を外挿するために使用することができる。たとえば、関心領域の全てを曲がりくねったパターンで横断するように実行することで、組織の適用範囲を確立することができる。イメージフレーム406の広い方の寸法は、フォーカスフレーム456の長い方の寸法に垂直になるように向けることができ、組織のセクションにわたって横断する列の数を最小化することができる。様々な実施形態において、フォーカスセンサのフォーカスフレーム456は、イメージセンサのイメージフレーム404よりも様々な範囲でより長くすることができ、複数の領域を含む先取りフォーカス技術とともに有利に使用することができ、これは本稿でさらに議論される。複数の領域を使用して単一のフォーカスポイントの鮮鋭度メトリックを計算するとき、鮮鋭度メトリックは、各領域について決定して結合させることができ、たとえば、単一のポイントと考えらえる全ての領域の鮮鋭度メトリックを合計することにより決定することができる。ベストフォーカスイメージはフレーム454´内に示される。
CR=112×R-93.786×G-18.214×B 式4B
R=G=Bの場合、CB=CR=0である。総彩度を表す値Cは、CBおよびCRに基づいて決定することができる(たとえば、CBおよびCRを合計することにより)。
LED照明アセンブリ1002´´を固定取り付けするために、さらに、適切なネジおよびワッシャ部品1056−1061を使用することができる。様々な実施形態において、LED1055は、Lexeonにより製造される、4500ルーメンの光学出力、70000時間の寿命を備える高輝度白色LED、および/または好適なLEDである、Luminus, PhatLitght White LED CM-360 Seriesとすることができる。レンズ1062は、MG 9P6mm, 12mm OD(外径)レンズとすることができる。チューブレンズ素子1063、アパーチャ1064、スタックチューブレンズ素子および保持リング1067は、レンズ1062を調整可能な視野絞り素子1065に対して位置決めおよび取り付けるために使用することができる。調整可能な視野絞り素子1065は、Thor LabsによるRing-Activated Iris Diaphragm, pat number SM1D12Dとすることができる。スタックチューブレンズ1066は、Thor LabsによるP3LGスタックチューブレンズとすることができる。チューブレンズ1063は、Thor LabsによるP50DまたはP5LGチューブレンズとすることができる。LED照明アセンブリ1002´´の素子をさらに固定取り付けするのに適切であれば、他のワッシャ1068およびネジ部品1069を使用することができる。
Claims (13)
- 標本のフォーカス画像を取得するための装置であって、
前記標本の検査のために配置される対物レンズと、
前記対物レンズに連結されるスローフォーカスステージと、を有し、前記スローフォーカスステージは、前記対物レンズの動きを制御し、
前記装置はさらに、ディザレンズを含むディザフォーカスステージを有し、前記ディザフォーカスステージは前記ディザレンズを動かし、
前記装置はさらに、前記ディザレンズを介して伝播される光にしたがってフォーカス情報を提供するフォーカスセンサと、
メトリックおよび前記メトリックにしたがって前記対物レンズの第1フォーカス位置を決定するために前記フォーカス情報を使用する、少なくとも1つの電気素子と、を有し、前記少なくとも1つの電気素子は、前記第1フォーカス位置を決定するために前記メトリックに基づいて生成されるエラー信号情報を処理する、エラー信号素子を含み、前記少なくとも1つの電気素子は、前記対物レンズを前記第1フォーカス位置に移動させるために、前記スローフォーカスステージに位置情報を伝達し、
前記装置はさらに、前記対物レンズが前記第1フォーカス位置に移動した後に、前記標本の画像を取得する、イメージセンサを有し、
前記エラー信号情報は、前記ディザレンズの運動による前記メトリックに基づいて生成される波形のポイントを使用する、エラー信号関数により決定され、前記エラー信号関数は、コントラストエラー信号関数であり、前記第1フォーカス位置は、前記コントラストエラー信号関数がゼロになるところで決定され、
前記イメージセンサは、前記標本を曲がりくねってスキャンする間に、列ごとに前記標本の画像を取得するように構成され、前記標本の第1列は、第1方向にスキャンされ、前記フォーカスセンサの視野は、第2列のフォーカスデータが生成されるように、前記第1列に隣接する第2列に整合する、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、前記コントラストエラー信号関数は、前記ディザレンズの運動が中心決めされる場所で、鮮鋭度応答カーブ上の少なくとも1つの位置の各々に計算される鮮鋭度波形の少なくとも3つのポイントに基づいて決定される、装置。
- 請求項2に記載の装置であって、前記コントラストエラー信号(CES)は、
CES=(a−c)/b
の式で表され、ここで、aは鮮鋭度波形の谷部であり、bは鮮鋭度波形の頂部であり、cは鮮鋭度波形の次の谷部である、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、さらに、
XY移動ステージを有し、前記標本は前記XY移動ステージ上に配置され、(i)前記XY移動ステージの運動を制御する少なくとも1つの電気部品、および、(ii)前記XY移動ステージは、前記ディザレンズの運動にフェーズロックされるとの特徴の少なくとも1つが提供される、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、前記ディザフォーカスステージは、前記ディザレンズを並進運動で運動させる、ボイスコイル駆動の屈曲部アセンブリを含む、装置。
- 請求項1に記載の装置であって、前記ディザレンズは、少なくとも60Hzの共振周波数で運動し、前記少なくとも1つの電気部品は、1秒当たり60回のフォーカス計算を実行するために、前記フォーカス情報を使用する、装置。
- 請求項1に記載の装置であって、前記ディザフォーカスステージは、双方向に動作するように設定され、前記フォーカスセンサは、共振周波数における前記ディザレンズの運動のシヌソイド波形の上昇部分および下降部分の両方でフォーカス情報を生成する、装置。
- 請求項1に記載の装置であって、前記メトリックは、コントラスト情報、鮮鋭度情報、および彩度情報の少なくとも1つを含む、装置。
- 請求項1に記載の装置であって、さらに、前記第2列のフォーカスデータを使用して、前記第1列がスキャンされる前記第1方向の反対の方向に前記第2列をスキャンする、装置。
- 請求項9に記載の装置であって、前記第2列のフォーカスデータは予め決定され、前記対物レンズは、前記第1列のフォーカスデータが前記第2列のフォーカスデータと異なるときに、前記対物レンズは第2フォーカス位置に移動させられる、装置。
- 標本のフォーカス画像を取得する方法であって、
前記標本の検査のために配置される対物レンズの運動を制御するステップと、
ディザレンズの運動を制御するステップと、
前記ディザレンズを介して伝播される光にしたがってフォーカス情報を提供するステップと、
メトリックを決定し、前記メトリックにしたがって前記対物レンズの第1フォーカス位置を決定するためにフォーカス情報を使用するステップと、を有し、前記第1フォーカス位置を決定するステップは、前記メトリックに基づいて生成されるエラー信号情報を処理することを含み、
前記方法はさらに、前記対物レンズを前記第1フォーカス位置に移動させるために使用される位置情報を送るステップ、を有し、
前記エラー信号情報は、前記ディザレンズの運動による前記メトリックに基づいて生成される波形のポイントを使用して、エラー信号関数にしたがって決定され、前記エラー信号関数は、コントラストエラー信号関数であり、前記第1フォーカス位置は、前記コントラストエラー信号関数がゼロになるとことで決定され、
前記方法はさらに、前記標本を曲がりくねってスキャンする間に、列ごとに前記標本の画像を取得するようにイメージセンサを使用するステップを有し、前記標本の第1列は、前記イメージセンサにより第1方向にスキャンされ、フォーカスセンサの視野は、第2列のフォーカスデータが生成されるように、前記第1列に隣接する第2列に整合する、方法。 - 標本のフォーカス画像を取得するためのソフトウェアが記憶された、不揮発性のコンピュータ可読媒体であって、前記ソフトウェアは、
前記標本の検査のために配置される対物レンズの運動を制御する実行可能なコードと、
ディザレンズの運動を制御する実行可能なコードと、
前記ディザレンズを介して伝播される光にしたがってフォーカス情報を提供する実行可能なコードと、
メトリックを決定し、前記メトリックにしたがって前記対物レンズの第1フォーカス位置を決定するために、前記フォーカス情報を使用する実行可能なコードと、を有し、前記第1フォーカス位置を決定することは、前記メトリックに基づいて生成されるエラー信号情報を処理することを含み、
前記ソフトウェアはさらに、前記対物レンズを前記第1フォーカス位置に移動させるために使用される位置情報を送る実行可能なコードを有し、
前記エラー信号情報は、前記ディザレンズの運動による前記メトリックに基づいて生成される波形のポイントを使用して、エラー信号関数により決定され、前記エラー信号関数は、コントラストエラー信号関数であり、前記第1フォーカス位置は、コントラストエラー信号関数がゼロになるところで決定され、
前記ソフトウェアはさらに、前記標本を曲がりくねってスキャンする間に、列ごとに前記標本の画像を取得するようにイメージセンサを使用する実行可能なコードを有し、前記標本の第1列は、前記イメージセンサにより第1方向にスキャンされ、フォーカスセンサの視野は、第2列のフォーカスデータが生成されるように、前記第1列に隣接する第2列に整合する、不揮発性のコンピュータ可読媒体。 - 請求項12に記載の不揮発性のコンピュータ可読媒体であって、前記コントラストエラー信号関数は、前記ディザレンズの運動が中心化されるところで、鮮鋭度応答カーブ上の少なくとも1つの位置の各々に計算される鮮鋭度波形の少なくとも3つのポイントに基づいて決定される、不揮発性のコンピュータ可読媒体。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201161532709P | 2011-09-09 | 2011-09-09 | |
US61/532,709 | 2011-09-09 | ||
PCT/EP2012/066265 WO2013034429A1 (en) | 2011-09-09 | 2012-08-21 | Focus and imaging system and techniques using error signal |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014529102A JP2014529102A (ja) | 2014-10-30 |
JP6074429B2 true JP6074429B2 (ja) | 2017-02-01 |
Family
ID=46763063
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014528924A Expired - Fee Related JP6074429B2 (ja) | 2011-09-09 | 2012-08-21 | フォーカスおよびイメージングシステムならびにエラー信号を使用する技術 |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140204196A1 (ja) |
EP (1) | EP2753966A1 (ja) |
JP (1) | JP6074429B2 (ja) |
KR (1) | KR101734628B1 (ja) |
CN (1) | CN103765277B (ja) |
AU (1) | AU2012306571B2 (ja) |
BR (1) | BR112014005012A2 (ja) |
CA (1) | CA2844989C (ja) |
IL (1) | IL230591A0 (ja) |
SG (1) | SG2014011217A (ja) |
WO (1) | WO2013034429A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI827841B (zh) * | 2018-05-01 | 2024-01-01 | 美商奈米創尼克影像公司 | 自動顯微鏡聚焦系統、裝置及方法 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2845045B1 (en) * | 2012-05-02 | 2023-07-12 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Real-time focusing in line scan imaging |
WO2015164843A1 (en) * | 2014-04-24 | 2015-10-29 | Vutara, Inc. | Galvo scanning mirror for super-resolution microscopy |
US9438802B2 (en) | 2014-05-30 | 2016-09-06 | Apple Inc. | Optical image stabilization calibration |
EP3180646B1 (en) * | 2014-08-13 | 2020-04-01 | Daniel Summer Gareau | Line-scanning, sample-scanning, multimodal confocal microscope |
JP2016051167A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | キヤノン株式会社 | 画像取得装置およびその制御方法 |
KR102640848B1 (ko) | 2016-03-03 | 2024-02-28 | 삼성전자주식회사 | 시료 검사 방법, 시료 검사 시스템, 및 이들을 이용한 반도체 소자의 검사 방법 |
JP6619315B2 (ja) * | 2016-09-28 | 2019-12-11 | 富士フイルム株式会社 | 観察装置および方法並びに観察装置制御プログラム |
KR102018487B1 (ko) * | 2016-10-31 | 2019-09-04 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 촬상 기기 제휴 장치, 촬상 기기 제휴 프로그램, 제휴 서포트 시스템 및 제어 시스템 |
CA3055249A1 (en) * | 2017-03-03 | 2018-09-07 | Apton Biosystems, Inc. | High speed scanning system with acceleration tracking |
JP6812562B2 (ja) * | 2017-08-30 | 2021-01-13 | 富士フイルム株式会社 | 観察装置および方法並びに観察装置制御プログラム |
CA3075287C (en) | 2017-09-29 | 2022-06-14 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Real-time autofocus focusing algorithm |
EP3625600B1 (en) * | 2017-09-29 | 2023-08-23 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | Real-time autofocus scanning |
WO2019068039A1 (en) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | MACRO-IMAGE WITH TWO PASSAGES |
US10502944B2 (en) | 2017-10-02 | 2019-12-10 | Nanotronics Imaging, Inc. | Apparatus and method to reduce vignetting in microscopic imaging |
TWI791046B (zh) * | 2017-10-02 | 2023-02-01 | 美商奈米創尼克影像公司 | 減少顯微鏡成像中之暈影的設備及方法 |
US10247910B1 (en) | 2018-03-14 | 2019-04-02 | Nanotronics Imaging, Inc. | Systems, devices and methods for automatic microscopic focus |
US11624710B2 (en) * | 2019-05-24 | 2023-04-11 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Fast image acquisition system and method using pulsed light illumination and sample scanning to capture optical micrographs with sub-micron features |
WO2021099061A1 (en) * | 2019-11-22 | 2021-05-27 | Robert Bosch Gmbh | A device for controlling a movement of an objective lens on a sample and a method thereof |
CN112444212B (zh) * | 2020-12-17 | 2022-08-02 | 北京微链道爱科技有限公司 | 一种由色差引起的结构光三维测量误差的补偿方法 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR81726E (fr) * | 1962-05-23 | 1963-11-02 | Centre Nat Rech Scient | Procédé de mesure interférentielle et ses applications |
JPS584109A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-11 | Canon Inc | プレ検出装置 |
JPS61239780A (ja) * | 1985-04-16 | 1986-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | オ−トフオ−カス装置 |
JPH0352459A (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-06 | Ricoh Co Ltd | 自動合焦装置 |
GB2258109B (en) * | 1991-07-25 | 1995-05-17 | Sony Broadcast & Communication | Autofocus systems |
US5589938A (en) * | 1995-07-10 | 1996-12-31 | Zygo Corporation | Method and apparatus for optical interferometric measurements with reduced sensitivity to vibration |
US6665008B1 (en) | 1997-07-15 | 2003-12-16 | Silverbrook Research Pty Ltd | Artcard for the control of the operation of a camera device |
DE19746575A1 (de) * | 1997-10-22 | 1999-04-29 | Zeiss Carl Fa | Optische Bildaufnahmeeinrichtung und Verfahren zu deren Nutzung |
US6445662B1 (en) * | 1998-12-24 | 2002-09-03 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Reproducing apparatus |
NO314323B1 (no) * | 2000-03-24 | 2003-03-03 | Optonor As | Framgangsmåte og interferometer for måling av mikroskopisk vibrasjon |
JP3794670B2 (ja) * | 2000-04-28 | 2006-07-05 | 株式会社日立国際電気 | 顕微鏡のオートフォーカス方法及び装置 |
US7518652B2 (en) * | 2000-05-03 | 2009-04-14 | Aperio Technologies, Inc. | Method and apparatus for pre-focus in a linear array based slide scanner |
US6690635B2 (en) * | 2000-07-18 | 2004-02-10 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Reproducing apparatus |
WO2003009305A2 (en) * | 2001-07-18 | 2003-01-30 | The Regents Of The University Of California | Measurement head for atomic force microscopy and other applications |
JP3990177B2 (ja) * | 2002-03-29 | 2007-10-10 | 独立行政法人放射線医学総合研究所 | 顕微鏡装置 |
US7379104B2 (en) * | 2003-05-02 | 2008-05-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Correction apparatus |
US7196300B2 (en) * | 2003-07-18 | 2007-03-27 | Rudolph Technologies, Inc. | Dynamic focusing method and apparatus |
JP2005202092A (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 合焦点検出方法及びそれを用いた光学顕微鏡 |
US20060103969A1 (en) * | 2004-11-12 | 2006-05-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | System and apparatus for position error signal linearization |
US7508583B2 (en) * | 2005-09-14 | 2009-03-24 | Cytyc Corporation | Configurable cytological imaging system |
JP2007086559A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Pentax Corp | カメラ |
JP4708143B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2011-06-22 | シスメックス株式会社 | 自動顕微鏡及びこれを備える分析装置 |
JP2007140278A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Eastman Kodak Co | デジタルカメラ、露出条件決定方法 |
US7697831B1 (en) * | 2007-02-20 | 2010-04-13 | Siimpel Corporation | Auto-focus with lens vibration |
US8098956B2 (en) | 2007-03-23 | 2012-01-17 | Vantana Medical Systems, Inc. | Digital microscope slide scanning system and methods |
US8179432B2 (en) * | 2007-04-30 | 2012-05-15 | General Electric Company | Predictive autofocusing |
US7576307B2 (en) | 2007-04-30 | 2009-08-18 | General Electric Company | Microscope with dual image sensors for rapid autofocusing |
US8330768B2 (en) * | 2007-07-27 | 2012-12-11 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Apparatus and method for rendering high dynamic range images for standard dynamic range display |
KR101424414B1 (ko) * | 2009-10-19 | 2014-08-01 | 벤타나 메디컬 시스템즈, 인코포레이티드 | 현미경 스테이지에 대한 디바이스 |
-
2012
- 2012-08-21 CN CN201280043657.5A patent/CN103765277B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-08-21 KR KR1020147006311A patent/KR101734628B1/ko active IP Right Grant
- 2012-08-21 WO PCT/EP2012/066265 patent/WO2013034429A1/en active Application Filing
- 2012-08-21 BR BR112014005012A patent/BR112014005012A2/pt active Search and Examination
- 2012-08-21 SG SG2014011217A patent/SG2014011217A/en unknown
- 2012-08-21 EP EP12753455.0A patent/EP2753966A1/en not_active Withdrawn
- 2012-08-21 AU AU2012306571A patent/AU2012306571B2/en not_active Ceased
- 2012-08-21 CA CA2844989A patent/CA2844989C/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-08-21 JP JP2014528924A patent/JP6074429B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-08-21 US US14/237,050 patent/US20140204196A1/en not_active Abandoned
-
2014
- 2014-01-22 IL IL230591A patent/IL230591A0/en unknown
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI827841B (zh) * | 2018-05-01 | 2024-01-01 | 美商奈米創尼克影像公司 | 自動顯微鏡聚焦系統、裝置及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2753966A1 (en) | 2014-07-16 |
SG2014011217A (en) | 2014-06-27 |
IL230591A0 (en) | 2014-03-31 |
BR112014005012A2 (pt) | 2017-03-28 |
JP2014529102A (ja) | 2014-10-30 |
KR20140094504A (ko) | 2014-07-30 |
US20140204196A1 (en) | 2014-07-24 |
AU2012306571B2 (en) | 2015-05-14 |
CA2844989C (en) | 2016-10-11 |
CN103765277A (zh) | 2014-04-30 |
CN103765277B (zh) | 2016-11-09 |
KR101734628B1 (ko) | 2017-05-11 |
WO2013034429A1 (en) | 2013-03-14 |
AU2012306571A1 (en) | 2014-02-06 |
CA2844989A1 (en) | 2013-03-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6074429B2 (ja) | フォーカスおよびイメージングシステムならびにエラー信号を使用する技術 | |
JP5902144B2 (ja) | 撮像システムおよび技法 | |
JP6165811B2 (ja) | イメージングシステム、カセッテ、およびこれを使用する方法 | |
AU2013205438B2 (en) | Imaging system and techniques |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150408 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150512 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150804 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160129 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20160427 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160704 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161208 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170106 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6074429 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |