JP6071533B2 - 光硬化性組成物 - Google Patents
光硬化性組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6071533B2 JP6071533B2 JP2012281626A JP2012281626A JP6071533B2 JP 6071533 B2 JP6071533 B2 JP 6071533B2 JP 2012281626 A JP2012281626 A JP 2012281626A JP 2012281626 A JP2012281626 A JP 2012281626A JP 6071533 B2 JP6071533 B2 JP 6071533B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photocurable composition
- carbon atoms
- general formula
- represented
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- QHYAJBTVPSRISE-UHFFFAOYSA-N C(C1OC1)OC1=CCCC=C1 Chemical compound C(C1OC1)OC1=CCCC=C1 QHYAJBTVPSRISE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 0 C*1CC(C2)C(CCC3)C3C2C1 Chemical compound C*1CC(C2)C(CCC3)C3C2C1 0.000 description 1
- LZEHMILWGPFGPX-UHFFFAOYSA-N CCCC(C)C1CC(C)CC1 Chemical compound CCCC(C)C1CC(C)CC1 LZEHMILWGPFGPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Epoxy Resins (AREA)
Description
(式中、Mは下記式で表される置換基群のうちいずれか一つの置換基を表し、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7及びR8はそれぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基又はハロゲン原子を表し、nは0〜10の整数である。)
(式中、R9、R10、R11、R12、R13、R15、R16、R17、R18、R19、R20、R21、R22、R23、R24、R25、R26及びR27は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基、ハロゲン原子又はフェニル基を表し、R14は、炭素原子数1〜3のアルキル基を表す。)
(式中、mは0〜10の整数である。)
また、(B)成分は、(A)成分100質量部に対して50〜450質量部配合することが好ましい。
上記界面活性剤としては、パーフルオロアルキルリン酸エステル、パーフルオロアルキルカルボン酸塩等のフッ素界面活性剤、高級脂肪酸アルカリ塩、アルキルスルホン酸塩、アルキル硫酸塩等のアニオン系界面活性剤、高級アミンハロゲン酸塩、第四級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤、ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸モノグリセリド等の非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤を用いることができ、これらは組み合わせて用いてもよい。
具体的には、本発明の光硬化性組成物を支持体上に塗布して被膜を形成し、被膜の表面にナノインプリント用転写スタンプを圧接してパターンを転写し、転写スタンプを付着させたまま、あるいは転写スタンプを剥離してから光照射及び加熱により被膜を硬化させて転写パターンを得る。
得られた転写パターンは、液晶カラーフィルタの保護膜、スペーサー等の液晶表示素子用途に好適に用いることができる。
ガラスビーカー中、下記の表1及び表2に示す配合で、一般式(I)で表される二官能エポキシ化合物(A)、ノボラック型エポキシ化合物(B)、光カチオン重合開始剤(C)並びに他の任意成分(D)、及び溶媒としてシクロヘキサノンを、固形分が8%となるよう撹拌混合して、各実施例及び比較例の光硬化性組成物を得た。易密着処理した188μm厚のポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムに、該光硬化性組成物をバーコーター#9により塗布した後、80℃で30秒間プリベイクさせた。続いて、800nm×180nm×10μmの凸部を表面に有する石英製転写スタンプをPETフィルム上の光硬化性組成物に圧接し、0.5MPaでプレスした。室温で高圧水銀灯を用いて2000mJ/cm2のエネルギー量で15秒間紫外光を石英製転写スタンプを通して照射した。オーブン中120℃で30分加熱し、ポストキュアを行った。冷却後にPETフィルムから転写スタンプを剥離し、転写スタンプの凸部が反転した凹部を表面に有する硬化膜厚約5μmの硬化膜を得た。凹部の深さは約180nmであった。
上記実施例1〜13及び比較例1〜4で得られた硬化膜について、下記評価を行った。結果を上記表1及び表2に示す。
光硬化性組成物の感度は、下記のようにして求めた。
光硬化性組成物をスピンコート法にて厚さが約1.5μmになるように基材の表面に塗布し、そこに高圧水銀灯(1.5〜2.0kHzにおいて255、315、および365nmに主波長を有する光源。)からの光を照射し、完全に硬化するまでの積算光量を求め、感度とした。光硬化性組成物が完全に硬化したかどうかは、IRスペクトルを測定し、エポキシ基の吸収の有無により判断した。感度が500mJ/cm2以下のものについて、良好であると判断した。
光硬化性組成物を膜厚3.0μmとなるようにガラス基板上にスピンコートし、石英製転写スタンプ(モールド)を圧着せず、窒素雰囲気下で照度10mW/cm2、露光量240mJ/cm2で露光し、その後オーブンで200℃で60分間加熱処理した。得られた硬化膜の加熱前後について、(株)島津製作所製のUV−2400PCにて450nmにおける光線透過率を測定した。
A:透過率の低下が10%未満であった。
B:透過率の低下が10%以上20%未満であった。
C:透過率の低下が20%以上であり、耐熱性不足である。
光硬化性組成物をシリコンウェハ上にスピンコートし、80℃のオーブンで5分間乾燥させた後、表面の状態を観察し、均一な塗膜形成の有無を目視及び非接触式膜厚測定器を用いて確認した。
○:均一な塗膜が得られた。
×:スピンコート後、塗膜のはじきやムラが観察された。
インプリント後、硬化した塗膜の表面をメタノールに浸した綿棒で擦って表面の状態を観察し、硬化の有無を確認した。
○:31回以上擦っても塗膜に変化はなかった。
×:30回以下で塗膜に変化があった。
転写スタンプを取り除いた後、形成したパターンを走査電子顕微鏡を用いて観察し、その外観を観察した。
○:パターンエッジ及びパターン端が矩形を保っていた。
△:パターンエッジ及びパターン端が婉曲していた。
×:両端のパターン面が収縮し、はがれが生じていた。
Claims (4)
- 下記一般式(I)で表される二官能エポキシ化合物(A)、下記一般式(III)で表される化合物、及び光カチオン重合開始剤(C)を含有することを特徴とする光硬化性組成物。
(式中、Mは下記式で表される置換基群のうちいずれか一つの置換基を表し、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7及びR8はそれぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基又はハロゲン原子を表し、nは0〜10の整数である。)
(式中、R9、R10、R11、R12、R13、R15、R16、R17、R18、R19、R20、R21、R22、R23、R24、R25、R26及びR27は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基、ハロゲン原子又はフェニル基を表し、R14は、炭素原子数1〜3のアルキル基を表す。)
(式中、mは0〜10の整数である。) - ナノインプリント用である請求項1記載の光硬化性組成物。
- 請求項1または2記載の光硬化性組成物をナノインプリント法により硬化させて得られることを特徴とする転写パターン。
- 請求項1または2記載の光硬化性組成物を硬化させてなることを特徴とする硬化物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012281626A JP6071533B2 (ja) | 2012-12-25 | 2012-12-25 | 光硬化性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012281626A JP6071533B2 (ja) | 2012-12-25 | 2012-12-25 | 光硬化性組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014125507A JP2014125507A (ja) | 2014-07-07 |
JP6071533B2 true JP6071533B2 (ja) | 2017-02-01 |
Family
ID=51405277
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012281626A Active JP6071533B2 (ja) | 2012-12-25 | 2012-12-25 | 光硬化性組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6071533B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10465037B2 (en) * | 2014-07-22 | 2019-11-05 | Sabic Global Technologies B.V. | High heat monomers and methods of use thereof |
WO2016043024A1 (ja) | 2014-09-17 | 2016-03-24 | 株式会社ダイセル | 硬化性組成物、及びそれを用いた光学素子 |
JPWO2022092080A1 (ja) * | 2020-10-30 | 2022-05-05 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3792871B2 (ja) * | 1997-12-05 | 2006-07-05 | 日本化薬株式会社 | 樹脂組成物及びその硬化物 |
JP2002047335A (ja) * | 2000-08-03 | 2002-02-12 | Osaka Gas Co Ltd | フルオレン系光重合性樹脂組成物、その硬化物および製造方法 |
JP4490183B2 (ja) * | 2004-02-16 | 2010-06-23 | 日東電工株式会社 | 光導波路およびその製造方法 |
JP2009012300A (ja) * | 2007-07-05 | 2009-01-22 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ナノインプリント用モールド形成組成物、並びにナノインプリント用モールド及びその製造方法 |
JP5501679B2 (ja) * | 2009-07-02 | 2014-05-28 | 株式会社Adeka | 硬化性樹脂組成物及びその硬化物 |
JP6109636B2 (ja) * | 2012-05-24 | 2017-04-05 | 株式会社Adeka | 光硬化性樹脂組成物 |
-
2012
- 2012-12-25 JP JP2012281626A patent/JP6071533B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014125507A (ja) | 2014-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI345136B (en) | Positive type photosensitive resin composition and method for producing curable film by using it | |
TW200811205A (en) | Curing resin composition and forming method of curing coating film | |
KR20200078476A (ko) | 화합물, 조성물, 경화물 및 경화물의 제조 방법 | |
JP7405791B2 (ja) | 緑色着色感光性樹脂組成物 | |
TWI737597B (zh) | 著色感光性樹脂組合物、塗膜、彩色濾光片、及顯示裝置 | |
TWI735423B (zh) | 著色感光性樹脂組合物 | |
TWI554827B (zh) | Coloring the photosensitive composition | |
TW201224653A (en) | Photosensitive resin composition | |
JP6071533B2 (ja) | 光硬化性組成物 | |
JP2008214555A (ja) | 樹脂組成物及び樹脂硬化物 | |
JP2017116834A (ja) | 感放射線性樹脂組成物、硬化膜、その形成方法、及び表示素子 | |
TW202041557A (zh) | 感光性樹脂組成物、使感光性樹脂組成物硬化而成的硬化膜、帶有硬化膜的基板及帶有硬化膜的基板的製造方法 | |
TWI653505B (zh) | Photocurable resin composition for optical waveguide, photocurable thin film for forming optical waveguide core layer, optical waveguide using the same, and hybrid flexible printed wiring board for photoelectric transmission | |
TWI738750B (zh) | 硬化性樹脂組成物及硬化膜 | |
JP6052873B2 (ja) | ナノインプリント用光硬化性組成物 | |
TW201816041A (zh) | 附黏著層之偏光薄膜及該附黏著層之偏光薄膜之製造方法 | |
JP6401982B2 (ja) | 潜在性添加剤及び感光性組成物 | |
TWI525113B (zh) | Hardened resin composition | |
JP7016240B2 (ja) | 基板積層体、イメージセンサおよび基板積層体の製造方法 | |
TWI396715B (zh) | 樹脂組成物、彩色濾光片的保護膜及其形成方法 | |
JP7008417B2 (ja) | 層間絶縁膜形成用組成物、層間絶縁膜及び層間絶縁膜パターンの形成方法、並びにデバイス | |
JP2015069181A (ja) | 感放射線性樹脂組成物、硬化膜、その形成方法、及び表示素子 | |
TW201942113A (zh) | 自由基聚合起始劑、含有其之組成物、其硬化物、其製造方法,及化合物 | |
KR20140104766A (ko) | 알칼리 가용성 수지 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 | |
WO2022054624A1 (ja) | インプリント用プライマー層形成組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150929 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160926 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161018 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161227 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6071533 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |