JP6064173B2 - ボンディング装置 - Google Patents
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Description
2 基板
3 電子部品
6 バックアップ部
7 圧着部
8 光照射部
9 接着剤
10 基板位置決めテーブル
10X X軸テーブル
10Y Y軸テーブル
13 透過部材
19 光検知センサ
25b 照度分布測定処理プログラム
27 照度測定部
28 照度分布作成部
29 表示処理部
31 表示部
E 照射エリア
Claims (6)
- 光透過性を有する透過部材を有し、光透過性を有する基板の少なくとも電子部品が接合される接合領域を前記透過部材の下受け面によって下受けするバックアップ部と、光硬化性を有する接着剤を介して前記接合領域に予め搭載された電子部品を押圧して前記基板に圧着する圧着部と、前記基板と前記電子部品との間に介在する前記接着剤の硬化を促進するための光を前記下受け面に向けて下方から照射する光照射部とを備え、前記光照射部からの光が前記下受け面を介して前記接着剤に入射した状態で当該接着剤の上面に搭載された電子部品を押圧することによって、前記基板に電子部品を接合するボンディング装置であって、
前記下受け面における前記光照射部からの光の照度分布を測定する光分布測定手段を備えたことを特徴とするボンディング装置。 - 前記光分布測定手段は、
前記下受け面における照射エリア内の所定の位置に入射した前記光照射部からの光を検知する光検知センサと、
前記照射エリア内の複数の測定位置に前記光検知センサを移動させる光検知センサ移動手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載のボンディング装置。 - 前記照射エリア内の前記複数の測定位置の測定結果に基づいて前記照度分布を作成する照度分布作成手段と、前記照度分布を表示する照度分布表示手段をさらに備えたことを特徴とする請求項2に記載のボンディング装置。
- 前記光検知センサ移動手段は、前記光検知センサを一の水平方向に移動させる第1の移動テーブルと、前記光検知センサを前記一の水平方向と水平面内において直交する方向に移動させる第2の移動テーブルから成る水平移動機構を含むことを特徴とする請求項2又は3に記載のボンディング装置。
- 前記光検知センサ移動手段は、前記基板を移動させて前記接合領域を前記下受け面に位置決めするための基板位置決め機構を兼ねていることを特徴とする請求項4に記載のボンディング装置。
- 前記光検知センサは、前記基板位置決め機構に対して着脱自在に装着されることを特徴とする請求項5に記載のボンディング装置。
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