JP6062235B2 - 2-core contact probe, 2-core contact probe unit, and 2-core contact probe manufacturing method - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 176
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 59
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 63
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 61
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 10
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 9
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 9
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 9
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 6
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
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Description
本発明は、2芯コンタクトプローブ、2芯コンタクトプローブ・ユニットおよび2芯コンタクトプローブの製造方法に関し、さらに詳しくは、製造工数を低減することが出来る2芯コンタクトプローブ、2芯コンタクトプローブ・ユニットおよび2芯コンタクトプローブの製造方法に関する。 The present invention relates to a two-core contact probe, a two-core contact probe unit, and a method for manufacturing a two-core contact probe. More specifically, the present invention relates to a two-core contact probe, a two-core contact probe unit, and two The present invention relates to a method for manufacturing a core contact probe.
従来、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる2芯コンタクトプローブが知られている(例えば、特許文献1,2参照。)。
また、検査対象面との接触を確実にするために検査対象面にコンタクトピンを押圧したときのコンタクトピンの撓み方向を決める為に、コンタクトピンをやや斜めに保持するようにした検査治具が知られている(例えば、特許文献3参照。)。
Conventionally, the first contact pin and the second contact pin are integrated in parallel and insulated, and at the tip of each contact pin that contacts the surface to be inspected, each inclined surface that inclines and intersects with each axis of each contact pin There are known two-core contact probes each formed in a direction in which their tops are closest to each other (see, for example,
Also, an inspection jig that holds the contact pin slightly obliquely to determine the bending direction of the contact pin when the contact pin is pressed against the inspection target surface in order to ensure contact with the inspection target surface. It is known (for example, refer to Patent Document 3).
上記特許文献1に記載の2芯コンタクトプローブでは、第1電線の軸線と傾斜して交差する傾斜面をその先端部に形成して第1コンタクトピンとし、それとは別に第2電線の軸線と傾斜して交差する傾斜面をその先端部に形成して第2コンタクトピンとし、その後で、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを各コンタクトピンの先端部の各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きになるように向けて一体化している。
しかし、各コンタクトピンが極めて細い(例えば直径約110μm)場合、各コンタクトピンの先端部の各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きになるように向けて一体化する作業は、マイクロスコープが必要になるなどの困難があり、製造工数が大きくなる問題点があった。
In the two-core contact probe described in
However, when each contact pin is very thin (for example, about 110 μm in diameter), a microscope is required to integrate the inclined surfaces of the tip portions of the contact pins so that their tops are closest to each other. There is a problem that the number of manufacturing steps is increased.
他方、上記特許文献2に記載の2芯コンタクトプローブでは、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとをそれらの各基端部の各傾斜面をそれらの頂部が最離隔する向きになるように向けて一体化している構造上、第1コンタクトピンとなる第1電線の基端部に傾斜面を形成し、それとは別に第2コンタクトピンとなる第2電線の基端部に傾斜面を形成し、その後で、第1電線と第2電線とを一体化しなければならない。
しかし、各電線が極めて細い(例えば直径約110μm)場合、各電線の基端部の各傾斜面がそれらの頂部を最離隔する向きになるように向けて一体化する作業は、マイクロスコープが必要になるなどの困難があり、製造工数が大きくなる問題点があった。
On the other hand, in the two-core contact probe described in
However, when each electric wire is very thin (for example, about 110 μm in diameter), a microscope is required to integrate the inclined surfaces at the base end portions of the electric wires so that their tops are in the furthest distance. There is a problem that the number of manufacturing steps is increased.
さらに、上記特許文献3に記載の検査治具では、コンタクトピンをやや斜めに保持するために中心軸をずらした穴の間にコンタクトピンをセットしなければならない困難があり、やはり製造工数が大きくなる問題点があった。
Furthermore, in the inspection jig described in
そこで、本発明の目的は、製造工数を低減することが出来る2芯コンタクトプローブ、2芯コンタクトプローブ・ユニットおよび2芯コンタクトプローブの製造方法を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide a two-core contact probe, a two-core contact probe unit, and a method for manufacturing a two-core contact probe that can reduce the number of manufacturing steps.
第1の観点では、本発明は、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる2芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a,5b)がそれぞれ同じ向きに形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a,5b)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(11)を提供する。
上記第1の観点による2芯コンタクトプローブ(11)では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面は、同じ向きであって、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a,5b)の各法線(Na,Nb)が平行である向きにそれぞれ向けられているので、やはり第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第1電線と第2電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端部の傾斜面の頂点が測定器側電極に点接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。
In a first aspect, the present invention provides a first contact pin and a second contact pin that are integrated in parallel and insulatively, and at the tip of each contact pin that contacts the surface to be inspected, Each of the inclined surfaces intersecting with each other is a two-core contact probe formed in a direction closest to the top of each of the inclined surfaces, and each axis of each contact pin is provided at each base end opposite to each tip. The inclined surfaces (5a, 5b) that intersect with (Ax, Bx) at an angle are formed in the same direction, are orthogonal to the plane (P) including both axes (Ax, Bx), and each axis ( Provided is a two-core contact probe (11) characterized in that each normal line (Na, Nb) of the inclined surfaces (5a, 5b) is parallel to each plane (Pa, Pb) including Ax, Bx), respectively. To do.
In the two-core contact probe (11) according to the first aspect, the inclined surfaces of the tip portions of the contact pins are oriented in the direction in which the top portions are closest to each other, so that the first electric wire serving as the first contact pin And the second electric wire to be the second contact pin can be formed even after being integrated. In addition, the inclined surfaces of the base end portions are in the same direction and are orthogonal to the plane (P) including both axes (Ax, Bx) and each plane including the axes (Ax, Bx). Since the normal lines (Na, Nb) of the inclined surfaces (5a, 5b) are respectively directed in parallel to (Pa, Pb), the first electric wire and the second contact pin, which are also the first contact pins, It can be formed even after the second electric wire is integrated. In other words, the first electric wire and the second electric wire can be integrated without worrying about the orientation, and then the inclined surface of the distal end and the inclined surface of the proximal end can be formed. The number of manufacturing steps can be reduced, such as eliminating the need to adjust the direction of the wires.
In addition, since the apex of the inclined surface of the base end portion makes point contact with the measuring device side electrode, the probability of contact failure due to sandwiching dust can be reduced.
第2の観点では、本発明は、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる2芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各軸線(Ax,Bx)と直交し各コンタクトピンの断面積の半分未満の面積を有する各平面(9a,9b)を有して各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a’,5b’)がそれぞれ同じ向きに形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a’,5b’)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(12)を提供する。
上記第2の観点による2芯コンタクトプローブ(12)では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面(5a’,5b’)は、同じ向きであって、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンの両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a',5b')の各法線(Na,Nb)が平行である向きに向けられているので、やはり第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第1電線と第2電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端を平面(9a,9b)とするので、各コンタクトピンの長さを揃えることが容易になる。
In a second aspect, the present invention relates to a first contact pin and a second contact pin that are integrated in parallel and insulated, and at the tip of each contact pin that comes into contact with the surface to be inspected, Each of the inclined surfaces intersecting with each other is a two-core contact probe formed in a direction closest to the top thereof, and each axis (Ax, Bx) Each inclined surface (5a) which has each plane (9a, 9b) perpendicular to the cross-sectional area of each contact pin and which inclines and intersects with each axis (Ax, Bx) of each contact pin ', 5b') are formed in the same direction, orthogonal to the plane (P) including both axes (Ax, Bx), and each plane (Pa, Pb) including each of the axes (Ax, Bx). The inclined surface (5a ', Each normal (Na of b '), Nb) to provide a 2-core contact probe (12), which is a parallel.
In the two-core contact probe (12) according to the second aspect, the inclined surfaces of the tip portions of the contact pins are oriented in the direction in which the tops are closest to each other, so that the first electric wire serving as the first contact pin And the second electric wire to be the second contact pin can be formed even after being integrated. Further, the inclined surfaces (5a ′, 5b ′) of the respective base end portions are in the same direction and are relative to a plane (P) including both axes (Ax, Bx) of the first contact pin and the second contact pin. The normals (Na, Nb) of the inclined surfaces (5a ′, 5b ′) are parallel to the planes (Pa, Pb) orthogonal to each other and including the axes (Ax, Bx). Therefore, it can be formed even after the first electric wire to be the first contact pin and the second electric wire to be the second contact pin are integrated. In other words, the first electric wire and the second electric wire can be integrated without worrying about the orientation, and then the inclined surface of the distal end and the inclined surface of the proximal end can be formed. The number of manufacturing steps can be reduced, such as eliminating the need to adjust the direction of the wires.
Since the base ends are flat (9a, 9b), it is easy to make the lengths of the contact pins uniform.
第3の観点では、本発明は、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる2芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a’,5b’)がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差し前記傾斜面(5a’,5b’)より面積が小さい各傾斜面(5a”,5b”)が前記傾斜面(5a’,5b’)と反対向きに形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a’,5b’)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(13)を提供する。
上記第3の観点による2芯コンタクトプローブ(13)では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面(5a’,5b’,5a”,5b”)は、同じ向きであって、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンの両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a',5b')の各法線(Na,Nb)が平行である向きに向けられているので、やはり第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第1電線と第2電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面(4a,4b)および基端部の傾斜面(5a’,5b’,5a”,5b”)を形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端部の2つの傾斜面(5a’,5b’,5a”,5b”)が会合する稜線が測定器側電極に線接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。
In a third aspect, the present invention integrates the first contact pin and the second contact pin in parallel and insulatively, and at the tip of each contact pin that contacts the surface to be inspected, each axis of each contact pin and Each of the inclined surfaces intersecting with each other is a two-core contact probe formed in a direction closest to the top of each of the inclined surfaces, and each axis of each contact pin is provided at each base end opposite to each tip. The inclined surfaces (5a ′, 5b ′) that intersect with (Ax, Bx) at an angle are formed in the same direction and intersect with the axes (Ax, Bx) of each contact pin at an angle. Each inclined surface (5a ″, 5b ′) having an area smaller than (5a ′, 5b ′) is formed opposite to the inclined surface (5a ′, 5b ′) and includes a plane including both axes (Ax, Bx) ( Orthogonal to P) and said each A two-core contact probe characterized in that the normal lines (Na, Nb) of the inclined surfaces (5a ′, 5b ′) are parallel to the planes (Pa, Pb) including the lines (Ax, Bx), respectively. 13).
In the two-core contact probe (13) according to the third aspect, the inclined surfaces of the tip portions of the contact pins are oriented in the direction in which the tops are closest to each other, so that the first electric wire serving as the first contact pin And the second electric wire to be the second contact pin can be formed even after being integrated. In addition, the inclined surfaces (5a ′, 5b ′, 5a ″, 5b ″) of the respective base end portions are in the same direction and include planes (Ax, Bx) of the first contact pin and the second contact pin. The normals (Na, Nb) of the inclined surfaces (5a ′, 5b ′) are parallel to the planes (Pa, Pb) orthogonal to (P) and including the axes (Ax, Bx), respectively. Since it is directed in a certain direction, it can be formed even after the first electric wire to be the first contact pin and the second electric wire to be the second contact pin are integrated. In other words, the first electric wire and the second electric wire are integrated without worrying about the direction, and then the inclined surface (4a, 4b) of the distal end portion and the inclined surface (5a ′, 5b ′, 5a) of the proximal end portion. ", 5b") can be formed, and the number of manufacturing steps can be reduced, such as the need for adjusting the direction of the two electric wires using a microscope.
In addition, since the ridge line where the two inclined surfaces (5a ′, 5b ′, 5a ″, 5b ″) at the base end meet is in line contact with the measuring device side electrode, the probability of poor contact due to sandwiching dust is reduced. I can do it.
第4の観点では、本発明は、前記第1から前記第3のいずれかの観点による2芯コンタクトプローブにおいて、前記第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを被覆を介して一体化すると共に前記被覆に段差(8)を設けたことを特徴とする2芯コンタクトプローブ(16)を提供する。
上記第4の観点による2芯コンタクトプローブ(16)では、各コンタクトピンの軸方向の位置決めに利用するための段差(8)を被覆に設けたため、位置決め部材との接触が被覆を介して行われることとなり、滑り性および絶縁性の両方において好適となる。
In a fourth aspect, the present invention provides the two-core contact probe according to any one of the first to third aspects, wherein the first contact pin and the second contact pin are integrated via a covering and the covering is integrated with the covering. Provided is a two-core contact probe (16) provided with a step (8).
In the two-core contact probe (16) according to the fourth aspect, since the step (8) for use in the axial positioning of each contact pin is provided in the covering, the contact with the positioning member is performed through the covering. In other words, both slipping property and insulating property are suitable.
第5の観点では、本発明は、前記第1から前記第4のいずれかの観点による2芯コンタクトプローブにおいて、前記第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを被覆の結合部分(6)のみを介して一体化したことを特徴とする2芯コンタクトプローブ(17)を提供する。
上記第5の観点による2芯コンタクトプローブ(17)では、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとが一部のみでしか一体化されていないため、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとが別個に撓みうる自由度を大きくすることが出来る。
In a fifth aspect, the present invention provides the two-core contact probe according to any one of the first to fourth aspects, wherein the first contact pin and the second contact pin are connected only through a coupling portion (6) of the covering. A two-core contact probe (17) characterized by being integrated is provided.
In the two-core contact probe (17) according to the fifth aspect, the first contact pin and the second contact pin are integrated only in part, so that the first contact pin and the second contact pin can be bent separately. The degree can be increased.
第6の観点では、本発明は、前記第1から前記第5のいずれかの観点による2芯コンタクトプローブを複数本、前記各傾斜面(5a,5b,5a’,5b’,5a”,5b”)の方向を揃えて且つ平行に保持したことを特徴とする2芯コンタクトプローブ・ユニット(30)を提供する。
上記第6の観点による2芯コンタクトプローブ・ユニット(30)では、複数本の2芯コンタクトプローブを、各傾斜面(5a,5b,5a’,5b’,5a”,5b”)の方向を揃えて且つ平行に保持しているため、隣接する2芯コンタクトプローブの撓む方向が同方向となり、隣接する2芯コンタクトプローブが互いに近づくような方向に撓まないため、従来のようにコンタクトプローブに傾斜をつけて配置しなくとも、隣接する2芯コンタクトプローブが近接して接触することを回避できる。
In a sixth aspect, the present invention provides a plurality of two-core contact probes according to any one of the first to fifth aspects, and the inclined surfaces (5a, 5b, 5a ′, 5b ′, 5a ″, 5b). The two-core contact probe unit (30) is provided in which the directions of ")" are aligned and held in parallel.
In the two-core contact probe unit (30) according to the sixth aspect, a plurality of two-core contact probes are aligned in the directions of the inclined surfaces (5a, 5b, 5a ′, 5b ′, 5a ″, 5b ″). In addition, since the adjacent two-core contact probes are bent in the same direction and the adjacent two-core contact probes are not bent in a direction approaching each other, Even if it is not disposed with an inclination, it can be avoided that adjacent two-core contact probes come into close contact with each other.
第7の観点では、本発明は、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる2芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a1,5b1)がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差し前記傾斜面(5a1,5b1)と同面積の各傾斜面(5a2,5b2)が前記傾斜面(5a1,5b1)と反対側に反対向きにそれぞれ形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a1,5b1)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(14)を提供する。
上記第7の観点による2芯コンタクトプローブ(14)では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面(5a1,5b1)および傾斜面(5a2,5b2)は、同じ向きであって、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンの両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a1,5b1)の各法線(Na,Nb)が平行である向きに向けられているので、やはり第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第1電線と第2電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端部の2つの傾斜面(5a1,5a2)および(5b1,5b2)が会合する稜線が測定器側電極に線接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。
In a seventh aspect, the present invention integrates the first contact pin and the second contact pin in parallel and insulatively, and inclines with the axis of each contact pin at the tip of each contact pin that comes into contact with the object to be inspected. Each of the inclined surfaces intersecting each other is formed in a direction closest to the top thereof, and each axis of each contact pin ( Inclined surfaces (5a1, 5b1) inclined and intersecting with Ax, Bx) are formed in the same direction and intersecting with the axis (Ax, Bx) of each contact pin while intersecting with the inclined surfaces (5a1, 5x1). 5b1) and an inclined surface (5a2, 5b2) having the same area as that of the inclined surface (5a1, 5b1) are formed in the opposite direction to the plane (P) including both axes (Ax, Bx). 2 cores characterized in that each normal line (Na, Nb) of the inclined surfaces (5a1, 5b1) is parallel to each plane (Pa, Pb) intersecting and including each axis (Ax, Bx). A contact probe (14) is provided.
In the two-core contact probe (14) according to the seventh aspect, the inclined surfaces of the tip portions of the contact pins are oriented in the direction in which the top portions are closest to each other, so that the first electric wire serving as the first contact pin And the second electric wire to be the second contact pin can be formed even after being integrated. Further, the inclined surfaces (5a1, 5b1) and the inclined surfaces (5a2, 5b2) of the respective base end portions are in the same direction and include planes (Ax, Bx) of the first contact pin and the second contact pin. Direction in which each normal line (Na, Nb) of the inclined surface (5a1, 5b1) is parallel to each plane (Pa, Pb) orthogonal to (P) and including each axis (Ax, Bx) Therefore, it can be formed even after the first electric wire serving as the first contact pin and the second electric wire serving as the second contact pin are integrated. In other words, the first electric wire and the second electric wire can be integrated without worrying about the orientation, and then the inclined surface of the distal end and the inclined surface of the proximal end can be formed. The number of manufacturing steps can be reduced, such as eliminating the need to adjust the direction of the wires.
In addition, since the ridge line where the two inclined surfaces (5a1, 5a2) and (5b1, 5b2) of the base end meet is in line contact with the measuring instrument side electrode, the probability of poor contact due to the dust being caught can be reduced. I can do it.
第8の観点では、本発明は、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる2芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部には各軸線(Ax,Bx)と直交する各平面(9a,9b)を有して各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a1’,5b1’)がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a2’,5b2’)が前記傾斜面(5a1’,5b1’)と反対側に反対向きにそれぞれ形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a1’,5b1’)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(15)を提供する。
上記第8の観点による2芯コンタクトプローブ(15)では、各コンタクトピンの各先端部の各傾斜面は、それらの頂部が最近接する向きに向けられているので、第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。また、各基端部の各傾斜面は、同じ向きであって、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンの両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a1',5b1')の各法線(Na,Nb)が平行である向きに向けられているので、やはり第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化した後でも形成することが出来る。換言すれば、向きを気にせずに第1電線と第2電線とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
なお、基端を平面とするので、各コンタクトピンの長さを揃えることが容易になる。
In an eighth aspect, the present invention provides a first contact pin and a second contact pin that are integrated in parallel and insulated, and at the tip of each contact pin that comes into contact with an object to be inspected, each axis of each contact pin is inclined with each axis. Each of the inclined surfaces intersecting each other is a two-core contact probe formed in a direction closest to the top of each of the inclined surfaces, and each axis (Ax, Bx) is provided at each proximal end opposite to each distal end. Inclined surfaces (5a1 ′, 5b1 ′) having planes (9a, 9b) orthogonal to each other and intersecting each axis (Ax, Bx) of each contact pin at an angle are formed in the same direction. Inclined surfaces (5a2 ′, 5b2 ′) that incline and intersect each axis (Ax, Bx) of each contact pin are formed on the opposite side to the inclined surfaces (5a1 ′, 5b1 ′) in opposite directions, respectively. Axis (Ax, Bx The normals (Na, Nb) of the inclined surfaces (5a1 ′, 5b1 ′) to the planes (Pa, Pb) that are orthogonal to the plane (P) including the axis and include the axes (Ax, Bx), respectively. Provided is a two-core contact probe (15) characterized by being parallel.
In the two-core contact probe (15) according to the eighth aspect, each inclined surface of each tip portion of each contact pin is directed in the direction in which the top portions thereof are closest to each other, so that the first electric wire serving as the first contact pin And the second electric wire to be the second contact pin can be formed even after being integrated. In addition, the inclined surfaces of the base end portions are in the same direction and are orthogonal to the plane (P) including both the axis lines (Ax, Bx) of the first contact pin and the second contact pin, and the axis lines ( Since the normal lines (Na, Nb) of the inclined surfaces (5a1 ′, 5b1 ′) are parallel to the respective planes (Pa, Pb) including Ax, Bx), respectively, the first contact is also made. It can be formed even after the first electric wire serving as the pin and the second electric wire serving as the second contact pin are integrated. In other words, the first electric wire and the second electric wire can be integrated without worrying about the orientation, and then the inclined surface of the distal end and the inclined surface of the proximal end can be formed. The number of manufacturing steps can be reduced, such as eliminating the need to adjust the direction of the wires.
Since the base end is a plane, it is easy to make the lengths of the contact pins uniform.
第9の観点では、本発明は、前記第7または前記第8のいずれかの観点による2芯コンタクトプローブにおいて、前記第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを被覆を介して一体化すると共に前記被覆に段差(8)を設けたことを特徴とする2芯コンタクトプローブ(16)を提供する。
上記第9の観点による2芯コンタクトプローブ(16)では、各コンタクトピンの軸方向の位置決めに利用するための段差(8)を被覆に設けたため、位置決め部材との接触が被覆を介して行われることとなり、滑り性および絶縁性の両方において好適となる。
In a ninth aspect, the present invention provides the two-core contact probe according to any one of the seventh and eighth aspects, wherein the first contact pin and the second contact pin are integrated via a covering and the covering is integrated. Provided is a two-core contact probe (16) provided with a step (8).
In the two-core contact probe (16) according to the ninth aspect, the step (8) used for the axial positioning of each contact pin is provided in the covering, so that the contact with the positioning member is performed through the covering. In other words, both slipping property and insulating property are suitable.
第10の観点では、本発明は、前記第7から前記第9のいずれかの観点による2芯コンタクトプローブにおいて、前記第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを被覆の結合部分(6)のみを介して一体化したことを特徴とする2芯コンタクトプローブ(17)を提供する。
上記第10の観点による2芯コンタクトプローブ(17)では、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとが一部のみでしか一体化されていないため、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとが別個に撓みうる自由度を大きくすることが出来る。
According to a tenth aspect, the present invention provides the two-core contact probe according to any one of the seventh to ninth aspects, wherein the first contact pin and the second contact pin are connected only through a coupling portion (6) that is covered. A two-core contact probe (17) characterized by being integrated is provided.
In the two-core contact probe (17) according to the tenth aspect, since the first contact pin and the second contact pin are integrated only in part, the first contact pin and the second contact pin can be flexed separately. The degree can be increased.
第11の観点では、本発明は、所定長の第1電線と第2電線とを平行に且つ絶縁して一体化した2芯平行電線(1e)を製作する2芯平行電線製作工程と、複数の2芯平行電線を一つの仮想平面(Pe)上に平行に且つ各2芯平行電線の第1電線と第2電線の両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)が前記仮想平面(Pe)に直交する向きになるように並べて先端部研磨用治具(E)で保持し前記仮想平面(Pe)と交差し且つ前記平面(P)と直交する研磨面(F)により前記複数の2芯平行電線の各第1電線の先端部にその軸線と傾斜して交差する傾斜面(4a)を設け次いで前記先端研磨用治具(E)を裏返して前記複数の2芯平行電線の各第2電線の先端部にその軸線と傾斜して交差する傾斜面(4b)を設ける先端部研磨工程と、複数の2芯平行電線を一つの仮想平面(Pg)上に平行に且つ各2芯平行電線の第1電線と第2電線の両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)が前記仮想平面(Pg)に平行な向きになるように且つ各先端部を揃えて並べて基端部研磨用治具(G)で保持し前記仮想平面(Pg)と交差する研磨面(F)により前記複数の2芯平行電線の各第1電線および各第2電線の基端部にその軸線と傾斜して交差する傾斜面(5a,5b,5a’,5b’,5a”,5b”,5a1,5b1,5a2,5b2,5a1’,5b1’,5a2’,5b2’)を設ける基端部研磨工程とを有することを特徴とする2芯コンタクトプローブの製造方法を提供する。
上記第11の観点による2芯コンタクトプローブの製造方法では、第1コンタクトピンとなる第1電線と第2コンタクトピンとなる第2電線とを一体化し、その後で先端部の傾斜面および基端部の傾斜面を形成するから、向きを気にせずに第1電線と第2電線とを一体化できる。従って、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。これにより、上記第1の観点から第10の観点による2芯コンタクトプローブを好適に製造できる。
なお、先端部研磨工程と基端部研磨工程とは、どちらを先に行ってもよい。
In an eleventh aspect, the present invention relates to a two-core parallel wire manufacturing process for manufacturing a two-core parallel wire (1e) in which a predetermined length of first and second wires are integrated in parallel and insulated, The plane (P) of the two-core parallel wires is parallel to one virtual plane (Pe) and includes both the first and second axes (Ax, Bx) of the two-core parallel wires. Arranged in a direction orthogonal to Pe) and held by the tip end polishing jig (E), intersecting the virtual plane (Pe) and orthogonal to the plane (P), the polishing surfaces (F) An inclined surface (4a) that is inclined and intersects with the axis of the first electric wire of the two-core parallel wire is provided, and then the tip polishing jig (E) is turned over, and each of the plurality of two-core parallel wires is A tip end polishing step for providing an inclined surface (4b) that inclines and intersects the axis of the tip of the second electric wire; A plane (P) including a number of two-core parallel wires parallel to one virtual plane (Pg) and including the first and second axes (Ax, Bx) of each two-core parallel wires is the virtual plane. (Pg) parallel to (Pg) and with the tips aligned and held by the base end polishing jig (G), the polishing surfaces (F) intersecting the virtual plane (Pg) Inclined surfaces (5a, 5b, 5a ′, 5b ′, 5a ″, 5b ″, 5a1, 5b1, and the base line of each of the first electric wires and the second electric wires of the two-core parallel electric wires are inclined. 5a2, 5b2, 5a1 ′, 5b1 ′, 5a2 ′, 5b2 ′) and a base end polishing step for providing a two-core contact probe.
In the manufacturing method of the two-core contact probe according to the eleventh aspect, the first electric wire serving as the first contact pin and the second electric wire serving as the second contact pin are integrated, and then the inclined surface of the distal end and the inclined end of the proximal end Since the surface is formed, the first electric wire and the second electric wire can be integrated without worrying about the direction. Therefore, it is possible to reduce the number of manufacturing steps, such as the need for adjusting the direction of the two electric wires using a microscope. Thereby, the two-core contact probe according to the tenth aspect can be suitably manufactured from the first aspect.
Note that either the tip end polishing step or the base end polishing step may be performed first.
第12の観点では、本発明は、前記第11の観点による2芯コンタクトプローブの製造方法において、前記2芯平行電線製作工程では前記第1電線と第2電線とを被覆を介して一体化すると共に、前記被覆の一部を除去して段差(8)を設ける段差形成工程を有することを特徴とする2芯コンタクトプローブの製造方法を提供する。
上記第12の観点による2芯コンタクトプローブの製造方法では、上記第4の観点および第9の観点による2芯コンタクトプローブを好適に製造できる。
In a twelfth aspect, the present invention provides the method for manufacturing a two-core contact probe according to the eleventh aspect, wherein the first electric wire and the second electric wire are integrated via a coating in the two-core parallel wire manufacturing step. In addition, the present invention provides a method for manufacturing a two-core contact probe, comprising a step forming step of removing a part of the coating and providing a step (8).
In the method for manufacturing a two-core contact probe according to the twelfth aspect, the two-core contact probe according to the fourth and ninth aspects can be preferably manufactured.
第13の観点では、本発明は、前記第11または前記第12のいずれかの観点による2芯コンタクトプローブの製造方法において、前記2芯平行電線製作工程では前記第1電線と第2電線とを被覆を介して一体化すると共に、前記第1電線と第2電線の中間に先端側および基端側からそれぞれ切込みを入れて前記第1電線と第2電線とを被覆の結合部分(6)のみを介して一体化するスリット工程を有することを特徴とする2芯コンタクトプローブの製造方法を提供する。
上記第13の観点による2芯コンタクトプローブの製造方法では、上記第5の観点および第10の観点による2芯コンタクトプローブを好適に製造できる。
In a thirteenth aspect, the present invention provides the two-core contact probe manufacturing method according to any one of the eleventh and the twelfth aspects, wherein the first electric wire and the second electric wire are connected in the two-core parallel electric wire manufacturing step. The first electric wire and the second electric wire are integrated with each other through the covering, and a cut is made between the first electric wire and the second electric wire from the distal end side and the proximal end side to connect the first electric wire and the second electric wire only to the coupling portion (6). The manufacturing method of the two-core contact probe characterized by having the slit process integrated via this.
In the method for manufacturing a two-core contact probe according to the thirteenth aspect, the two-core contact probe according to the fifth and tenth aspects can be preferably manufactured.
第14の観点では、本発明は、第1コンタクトピンと第2コンタクトピンとを平行に且つ絶縁して一体化すると共に検査対象面と接触する各コンタクトピンの先端部には各コンタクトピンの各軸線と傾斜して交差する各傾斜面がそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されてなる2芯コンタクトプローブであって、前記各先端部と反対側の各基端部は各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)を回転軸とする凸型回転面(7a,7b)に形成されていることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(18)を提供する。
上記構成において、軸線(Ax,Bx)を回転軸とする凸型回転面(7a,7b)とは、軸線(Ax,Bx)上に第1端を有し、その第1端よりも先端側で且つ軸線(Ax,Bx)外に第2端を有する直線または曲線を軸線(Ax,Bx)の周りに回転させて形成される面であり、例えば円錐面,截頭円錐面,半球面,截頭半球面などである。
上記第14の観点による2芯コンタクトプローブ(18)では、第1コンタクトピンとなる第1電線の基端部に凸型回転面(7a)を形成し、それとは別に第2コンタクトピンとなる第2電線の基端部にも凸回転面(7b)を形成し、第1電線と第2電線とを一体化し、その後で各電線の各先端部に各傾斜面を形成できる。ここで、第1電線と第2電線とを一体化する際、基端部が傾斜面でなく凸型回転面(7a,7b)なので、向きを調整する必要がない。従って、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
In a fourteenth aspect, the present invention provides a first contact pin and a second contact pin which are integrated in parallel and insulatively, and at the tip of each contact pin which comes into contact with the surface to be inspected, Each of the inclined surfaces intersecting with each other is a two-core contact probe formed in a direction closest to the top of each of the inclined surfaces, and each base end portion on the opposite side to each of the distal end portions corresponds to each axis of each contact pin ( Provided is a two-core contact probe (18) characterized in that it is formed on a convex rotary surface (7a, 7b) having a rotation axis of Ax, Bx).
In the above configuration, the convex rotation surfaces (7a, 7b) having the axis (Ax, Bx) as the rotation axis have a first end on the axis (Ax, Bx), and a tip side from the first end. And a surface formed by rotating a straight line or a curve having a second end outside the axis (Ax, Bx) around the axis (Ax, Bx), for example, a conical surface, a truncated conical surface, a hemispherical surface, Such as a truncated hemisphere.
In the two-core contact probe (18) according to the fourteenth aspect, the convex rotating surface (7a) is formed at the base end portion of the first electric wire serving as the first contact pin, and separately from the second electric wire serving as the second contact pin. A convex rotation surface (7b) is formed also at the base end of the first electric wire, the first electric wire and the second electric wire are integrated, and thereafter each inclined surface can be formed at each distal end portion of each electric wire. Here, when the first electric wire and the second electric wire are integrated, the base end portion is not the inclined surface but the convex rotary surface (7a, 7b), so there is no need to adjust the direction. Therefore, it is possible to reduce the number of manufacturing steps, such as the need for adjusting the direction of the two electric wires using a microscope.
第15の観点では、本発明は、所定長の第1電線の基端部を該第1電線の軸線を回転軸とする凸型回転面(7a)に加工する第1電線基端部加工工程と、所定長の第2電線の基端部を前記第1電線の基端部と同形状の凸型回転面(7b)に加工する第2電線基端部加工工程と、前記基端部を加工した第1電線と第2電線とを平行に且つ絶縁して一体化した2芯平行電線を製作する2芯平行電線製作工程と、複数の2芯平行電線を一つの仮想平面(Pe)上に平行に且つ各2芯平行電線の第1電線と第2電線の両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)が前記仮想平面(Pe)に直交する向きになるように並べて先端部研磨用治具(E)で保持し前記仮想平面(Pe)と交差し且つ前記平面(P)と直交する研磨面(F)により前記複数の2芯平行電線の各第1電線の先端部にその軸線(Ax)と傾斜して交差する傾斜面(4a)を設け次いで前記先端研磨用治具(E)を裏返して前記複数の2芯平行電線の各第2電線の先端部にその軸線(Bx)と傾斜して交差する傾斜面(4b)を設ける先端部研磨工程とを有することを特徴とする2芯コンタクトプローブの製造方法を提供する。
上記第15の観点による2芯コンタクトプローブの製造方法では、第1電線の基端部に凸型回転面(7a)を形成し、それとは別に第2電線の基端部にも凸回転面(7b)を形成し、第1電線と第2電線とを一体化し、その後で各電線の各先端部に各傾斜面(4a、4b)を形成する。ここで、第1電線と第2電線とを一体化する際、基端部が傾斜面でなく凸型回転面(7a,7b)なので、向きを調整する必要がない。従って、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。これにより、上記第14の観点による2芯コンタクトプローブを好適に製造できる。
In a fifteenth aspect, the present invention provides a first electric wire base end portion processing step for processing a base end portion of a first electric wire having a predetermined length into a convex rotating surface (7a) having an axis of the first electric wire as a rotation axis. And a second electric wire base end portion processing step for processing the base end portion of the second electric wire having a predetermined length into a convex rotary surface (7b) having the same shape as the base end portion of the first electric wire, and the base end portion A two-core parallel wire manufacturing process for manufacturing a two-core parallel wire in which the processed first electric wire and the second electric wire are integrated in parallel and insulated, and a plurality of two-core parallel wires on one virtual plane (Pe) The tip portion is polished so that the plane (P) including the first and second axes (Ax, Bx) of each two-core parallel wire is parallel to the imaginary plane (Pe). The plurality of two-core flats are held by a polishing surface (F) that is held by a jig (E) and intersects the virtual plane (Pe) and is orthogonal to the plane (P). An inclined surface (4a) that inclines and intersects the axis (Ax) is provided at the tip of each first electric wire of the electric wire, and then the tip polishing jig (E) is turned over, and each of the plurality of two-core parallel wires is A method for manufacturing a two-core contact probe, comprising: a tip end polishing step of providing an inclined surface (4b) that inclines and intersects the axis (Bx) at the tip end portion of a second electric wire.
In the method of manufacturing the two-core contact probe according to the fifteenth aspect, the convex rotary surface (7a) is formed at the base end portion of the first electric wire, and separately from the convex rotary surface ( 7b), the first electric wire and the second electric wire are integrated, and then each inclined surface (4a, 4b) is formed at each tip of each electric wire. Here, when the first electric wire and the second electric wire are integrated, the base end portion is not the inclined surface but the convex rotary surface (7a, 7b), so there is no need to adjust the direction. Therefore, it is possible to reduce the number of manufacturing steps, such as the need for adjusting the direction of the two electric wires using a microscope. Thereby, the two-core contact probe according to the fourteenth aspect can be suitably manufactured.
本発明の2芯コンタクトプローブ、2芯コンタクトプローブ・ユニットおよび2芯コンタクトプローブの製造方法によれば、製造工数を低減することが出来る。 According to the manufacturing method of the two-core contact probe, the two-core contact probe unit, and the two-core contact probe of the present invention, the number of manufacturing steps can be reduced.
以下、図に示す実施の形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to embodiments shown in the drawings. Note that the present invention is not limited thereby.
−実施例1−
図1の(a)は、実施例1に係る2芯コンタクトプローブ11を示す左側面図である。図1の(b)は同正面図である。図1の(c)は右同側面図である。
この2芯コンタクトプローブ11は、第1コンタクトピン11aと第2コンタクトピン11bとを平行に且つ被覆3を介して一体化したものである。
各コンタクトピン11a,11bの各先端部には、各コンタクトピン11a,11bの各軸線Ax,Bxと傾斜して交差する各傾斜面4a,4bがそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されている。
各コンタクトピン11a,11bの各基端部には、各コンタクトピン11a,11bの各軸線Ax,Bxと傾斜して交差する各傾斜面5a,5bが同じ向きにそれぞれ形成されている。
Example 1
FIG. 1A is a left side view illustrating the two-
The two-
Inclined surfaces 4a and 4b that are inclined and intersect with the axis lines Ax and Bx of the contact pins 11a and 11b are formed at the tips of the contact pins 11a and 11b, respectively, in directions that are closest to the tops. Yes.
At the base ends of the contact pins 11a and 11b,
図2は、図1のX−X’断面図である。
コンタクトピン11a,11bは、それぞれ被覆2a,2bを有している。
平面Paは、両軸線Ax,Bxを含む平面Pに対して直交し且つ軸線Axを含む平面である。傾斜面5aの法線Naは平面Paに平行である。
平面Pbは、両軸線Ax,Bxを含む平面Pに対して直交し且つ軸線Bxを含む平面である。傾斜面5bの法線Nbは平面Pbに平行である。
2 is a cross-sectional view taken along the line XX ′ of FIG.
The contact pins 11a and 11b have coatings 2a and 2b, respectively.
The plane Pa is a plane that is orthogonal to the plane P including both axes Ax and Bx and includes the axis Ax. The normal line Na of the inclined surface 5a is parallel to the plane Pa.
The plane Pb is a plane that is orthogonal to the plane P including both axes Ax and Bx and includes the axis Bx. The normal line Nb of the
図3〜図13を参照して2芯コンタクトプローブ11の製造方法を説明する。
図3〜図7が2芯平行電線製作工程であり、図8〜図10が先端部研磨工程であり、図11〜図13が基端部研磨工程である。
A method for manufacturing the two-
3 to 7 show a two-core parallel wire manufacturing process, FIGS. 8 to 10 show a tip end polishing process, and FIGS. 11 to 13 show a base end polishing process.
まず図3に示すように、例えば直径約110μmのタングステン線のような導線1aを直線矯正装置Aに通して所定の直線性を持つ導線1bとし、これをロールRaに巻き取る。
次に図4に示すように、導線1bを被覆焼付装置Bに通して例えば厚さ約10μmのポリエステル被覆のような被覆2を形成した被覆導線1cとし、これをロールRbに巻き取る。
次に図5に示すように、2本の被覆導線1cを所定間隔に並べて被覆焼付装置Cに通して例えば厚さ約5μmのポリエステル被覆や融着被覆のような被覆3で一体化した2芯平行導線1dとし、これをロールRcに巻き取る。
次に図6に示すように、2芯平行導線1dをカット装置Dに通して例えば長さ30mmのような所定長の2芯平行電線1eとし、これをトレイQに収容する。
図7は、2芯平行電線1eの斜視図である。
First, as shown in FIG. 3, for example, a conducting wire 1a such as a tungsten wire having a diameter of about 110 μm is passed through a straightening device A to form a
Next, as shown in FIG. 4, the
Next, as shown in FIG. 5, two coated conductors 1c are arranged at a predetermined interval and passed through a coating baking apparatus C so as to be integrated with a
Next, as shown in FIG. 6, the two-
FIG. 7 is a perspective view of the two-core parallel wire 1e.
次に図8に示すように、複数の2芯平行電線1eを、一つの仮想平面Pe上に平行に且つ各2芯平行電線1eの第1電線1c−1と第2電線1c−2の両軸線Ax,Bxを含む平面Pが仮想平面Peに直交する向きになるように並べて、先端部研磨用治具Eの第1保持具Eaと第2保持具Ebとで弾性的に挟持する。 Next, as shown in FIG. 8, a plurality of two-core parallel electric wires 1e are arranged in parallel on one virtual plane Pe and both the first electric wires 1c-1 and the second electric wires 1c-2 of each two-core parallel electric wires 1e. The planes P including the axes Ax and Bx are arranged so as to be orthogonal to the virtual plane Pe, and are elastically sandwiched between the first holder Ea and the second holder Eb of the tip end polishing jig E.
次に図9に示すように、研磨面Fに仮想平面Peが例えば30°の角度θで交差し且つ研磨面Fに平面Pが直交するように先端部研磨用治具Eを傾けて複数の2芯平行電線1eの各第1電線1c−1の先端部を研磨面Fで研磨し、複数の第1電線1c−1の各先端部にそれぞれ軸線Axと傾斜して交差する傾斜面4aを同時に設け、2芯平行電線1fとする。
次に図10に示すように、先端部研磨用治具Eを裏返し、研磨面Fに仮想平面Peが角度θで交差し且つ研磨面Fに平面Pが直交するように先端部研磨用治具Eを傾けて複数の2芯平行電線1fの各第2電線1c−2の先端部を研磨面Fで研磨し、複数の第2電線1c−2の各先端部にそれぞれ軸線Bxと傾斜して交差する傾斜面4bを同時に設け、2芯平行電線1gとする。
Next, as shown in FIG. 9, the tip end polishing jig E is inclined so that the virtual plane Pe intersects the polishing surface F at an angle θ of, for example, 30 ° and the plane P is orthogonal to the polishing surface F. The tip end portion of each first electric wire 1c-1 of the two-core parallel electric wire 1e is polished with the polishing surface F, and the inclined surface 4a that inclines and intersects the axis Ax at each tip portion of each of the plurality of first electric wires 1c-1. Provided at the same time as a two-core parallel wire 1f.
Next, as shown in FIG. 10, the tip end polishing jig E is turned over, and the tip end polishing jig is set so that the virtual plane Pe intersects the polishing surface F at an angle θ and the plane P intersects the polishing surface F at right angles. E is inclined to polish the tip of each second wire 1c-2 of the plurality of two-core parallel wires 1f with the polishing surface F, and the tip of each of the plurality of second wires 1c-2 is inclined with respect to the axis Bx. The intersecting inclined surfaces 4b are provided at the same time to provide a two-
次に図11に示すように、先端部に傾斜面4a,4bを設けた複数の2芯平行電線1gを、一つの仮想平面Pg上に平行に且つ各2芯平行電線1gの第1電線1c−1と第2電線1c−2の両軸線Ax,Bxを含む平面Pが仮想平面Pgと平行する向きになるように且つ軸線Ax,Bxと直交する仮想直線Lg上に傾斜面4a,4bの頂点を揃えて並べ、基端部研磨用治具Gの第1保持具Gaと第2保持具Gbとで弾性的に挟持する。
Next, as shown in FIG. 11, a plurality of two-
次に図12に示すように、研磨面Fに仮想平面Pgが例えば30°の角度φで交差し且つ先端部の傾斜面4a,4bの頂点を結ぶ仮想直線Lgが研磨面Fに平行になるように基端部研磨用治具Gを傾けて複数の2芯平行電線1gの各第1電線1c−1および第2電線1c−2の基端部を研磨面Fで研磨し、複数の第1電線1c−1および第2電線1c−2の各基端部にそれぞれ軸線Ax,Bxと傾斜して交差する傾斜面5a,5bを同時に設け、2芯平行電線1hとする。
図13の(a)は、先端部に傾斜面4a,4bを設けると共に基端部に傾斜面5a,5bを設けた2芯平行電線1hの正面図である。図13の(b)は同側面図である。
Next, as shown in FIG. 12, a virtual plane Pg intersects the polishing surface F at an angle φ of 30 °, for example, and a virtual straight line Lg connecting the vertices of the inclined surfaces 4a and 4b at the tip is parallel to the polishing surface F. In this manner, the base end polishing jig G is tilted so that the base ends of the first electric wires 1c-1 and the second electric wires 1c-2 of the plurality of two-
FIG. 13A is a front view of a two-core parallel wire 1h in which inclined surfaces 4a and 4b are provided at the distal end portion and
最後に、2芯平行電線1hの先端部および基端部の被覆2a,2b,3を例えばレーザ装置で除去すれば、図1に示す如き2芯コンタクトプローブ11を製造できる。
Finally, if the
図14の(a)は、2芯コンタクトプローブ・ユニット30を示す一部破断正面図である。図14の(b)は同一部破断側面図である。
この2芯コンタクトプローブ・ユニット30は、9本の2芯コンタクトプローブ11を各傾斜面5a,5bの方向を揃えて且つ互いに平行に3行3列に配列し、2芯コンタクトプローブ保持具20で保持している。
2芯コンタクトプローブ11の各先端部の傾斜面4a,4bは、その頂点で回路基板の検査対象面Lに点接触する。
2芯コンタクトプローブ11の各基端部の傾斜面5a,5bは、その頂点で測定器側電極Ma,Mbに点接触する。
14A is a partially broken front view showing the two-core
In this two-core
The inclined surfaces 4a and 4b at the tip portions of the two-
The
図14の(b)に矢印αで示すように、測定器側電極Ma,Mbで2芯コンタクトプローブ11を押して接触を確実にするが、そのときに2芯コンタクトプローブ11が矢印βの方向に撓む。この矢印βの方向は、第1電線1c−1および第2電線1c−2の重心が軸線Ax,Bxに対して存在する側と反対側の方向になる。すなわち、傾斜面5a,5bが向いている方向になる。
As shown by an arrow α in FIG. 14B, the two-
実施例1の2芯コンタクトプローブ11及びその製造方法によれば、向きを気にせずに第1電線1c−1と第2電線1c−2とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面4a,4bおよび基端部の傾斜面5a,5bを形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。また、基端部の傾斜面5a,5bの頂点が測定器側電極Ma,Mbに点接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。
According to the two-
また、実施例1の2芯コンタクトプローブ・ユニット30によれば、複数本の2芯コンタクトプローブ11を平行に保持しても、隣接する2芯コンタクトプローブ11の撓む方向が同方向となり、隣接する2芯コンタクトプローブ11が互いに近づくような方向に撓まないため、隣接する2芯コンタクトプローブ11が近接して接触してしまうことを回避できる。
Further, according to the two-core
−実施例2−
図15の(a)は、実施例2に係る2芯コンタクトプローブ12の基端部を示す左側面である。図15の(b)は同正面図である。図15の(c)は同右側面図である。
この2芯コンタクトプローブ12は、各軸線Ax,Bxと直交し各コンタクトピン12a,12bの断面積の半分未満の面積を有する各平面9a,9bを基端に有している以外は、実施例1の2芯コンタクトプローブ11と同様の構成である。
-Example 2-
FIG. 15A is a left side view showing a proximal end portion of the two-
The two-
各平面9a,9bは、これら各平面9a,9bを残すように各傾斜面5a’,5b’を研磨して設ける。あるいは、実施例1の2芯コンタクトプローブ11と同様に各傾斜面5a,5bを研磨して設けた後、各軸線Ax,Bxと直交する研磨面で研磨して平面9a,9bを設けることも出来る。
The flat surfaces 9a and 9b are provided by polishing the inclined surfaces 5a 'and 5b' so as to leave the flat surfaces 9a and 9b. Alternatively, the
実施例2の2芯コンタクトプローブ12及びその製造方法によれば、向きを気にせずに第1電線1c−1と第2電線1c−2とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面4a,4bおよび基端部の傾斜面5a’,5b’および平面9a,9bを形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。また、基端を平面9a,9bとするので、各コンタクトピン12a,12bの長さを揃えることが容易になる。
According to the two-
また、平面9a,9bの面積が各コンタクトピン12a,12bの断面積の半分未満であるため、各コンタクトピン12a,12bの重心が軸線Ax,Bxに対して十分に平面9a,9b側に偏るため、実施例1の2芯コンタクトプローブ・ユニット30における2芯コンタクトプローブ11の代わりに複数本の実施例2の2芯コンタクトプローブ12を平行に保持しても、隣接する2芯コンタクトプローブ12の撓む方向が同方向となり、隣接する2芯コンタクトプローブ12が互いに近づくような方向に撓まないため、隣接する2芯コンタクトプローブ12が近接して接触してしまうことを回避できる。
Further, since the areas of the planes 9a and 9b are less than half of the cross-sectional areas of the contact pins 12a and 12b, the centers of gravity of the contact pins 12a and 12b are sufficiently biased toward the planes 9a and 9b with respect to the axes Ax and Bx. Therefore, even if a plurality of the two-core contact probes 12 of the second embodiment are held in parallel instead of the two-core contact probes 11 in the two-core
−実施例3−
図16の(a)は、実施例3に係る2芯コンタクトプローブ13の基端部を示す左側面である。図16の(b)は同正面図である。図16の(c)は同右側面図である。
この2芯コンタクトプローブ13は、実施例2の平面9a、9bの代わりに各傾斜面5a’,5b’より面積が小さい各傾斜面5a”,5b”が各傾斜面5a’,5b’と反対向きにそれぞれ形成されている以外は、実施例1の2芯コンタクトプローブ11と同様の構成である。
-Example 3-
FIG. 16A is a left side view showing a proximal end portion of the two-
In this two-
図17に示すように、研磨面Fに仮想平面Pgが例えば30°の角度φで交差し且つ先端部の傾斜面4a,4bの頂点を結ぶ仮想直線Lgが研磨面Fに平行になるように基端部研磨用治具Gを傾けて複数の2芯平行電線1g(図11参照)の各第1電線1c−1および第2電線1c−2の基端部を研磨面Fで研磨し、複数の第1電線1c−1および第2電線1c−2の各基端部にそれぞれ軸線Ax,Bxと傾斜して交差する傾斜面5a’,5b’を同時に設け、2芯平行電線1iとする。なお、傾斜面5a’,5b’の大きさは、軸線Ax,Bxと交差しうる大きさとする。
As shown in FIG. 17, the virtual plane Pg intersects the polishing surface F at an angle φ of 30 °, for example, and the virtual straight line Lg connecting the vertices of the inclined surfaces 4 a and 4 b at the tip is parallel to the polishing surface F. The base end portion of the first electric wire 1c-1 and the second electric wire 1c-2 of the plurality of two-core parallel
次に、図18に示すように、基端部研磨用治具Gを裏返し、研磨面Fに仮想平面Pgが角度φで交差し且つ先端部の傾斜面4a,4bの頂点を結ぶ仮想直線Lgが研磨面Fに平行になるように基端部研磨用治具Gを傾けて複数の2芯平行電線1iの各第1電線1c−1および第2電線1c−2の各基端部にそれぞれ軸線Ax,Bxと傾斜して交差する傾斜面5a”,5b”を同時に設け、2芯平行電線1jとする。なお、傾斜面5a”,5b”の大きさは、軸線Ax,Bxと交差しない大きさとする。 Next, as shown in FIG. 18, the base end polishing jig G is turned over, and the virtual plane Pg intersects the polishing surface F at an angle φ and connects the vertices of the inclined surfaces 4 a and 4 b at the tip end portions to a virtual straight line Lg. The base end polishing jig G is tilted so that is parallel to the polishing surface F, and the base ends of the first electric wires 1c-1 and the second electric wires 1c-2 of the plurality of two-core parallel electric wires 1i are respectively provided. Inclined surfaces 5a "and 5b" which intersect with the axis lines Ax and Bx are provided at the same time to form a two-core parallel wire 1j. In addition, the size of the inclined surfaces 5a ″ and 5b ″ is set to a size that does not intersect the axis lines Ax and Bx.
傾斜面5a’,5b’,5a”,5b”を設けた2芯平行電線1jの先端部および基端部の被覆2a,2b,3を例えばレーザ装置で除去すれば、図16に示す如き2芯コンタクトプローブ13を製造できる。
If the distal end portion and the base end portion covering 2a, 2b, 3 of the two-core parallel wire 1j provided with the inclined surfaces 5a ', 5b', 5a ", 5b" are removed by, for example, a laser device, 2 as shown in FIG. The
実施例3の2芯コンタクトプローブ13及びその製造方法によれば、向きを気にせずに第1電線1c−1と第2電線1c−2とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面4a,4bおよび基端部の傾斜面5a’,5b’,5a”,5b”を形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。また、基端部の傾斜面5a’と5a”が会合する稜線および傾斜面5b’と5b”が会合する稜線が測定器側電極Ma,Mbに線接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。
According to the two-
また、傾斜面5a”,5b”の面積が傾斜面5a’,5b’の面積より小さいため、各コンタクトピン13a,13bの重心が軸線Ax,Bxに対して十分に傾斜面5a”,5b”側に偏るため、実施例1の2芯コンタクトプローブ・ユニット30における2芯コンタクトプローブ11の代わりに複数本の実施例3の2芯コンタクトプローブ13を平行に保持しても、隣接する2芯コンタクトプローブ13の撓む方向が同方向となり、隣接する2芯コンタクトプローブ13が互いに近づくような方向に撓まないため、隣接する2芯コンタクトプローブ13が近接して接触してしまうことを回避できる。
Further, since the area of the inclined surfaces 5a ", 5b" is smaller than the area of the inclined surfaces 5a ', 5b', the center of gravity of each contact pin 13a, 13b is sufficiently inclined with respect to the axes Ax, Bx. Even if a plurality of two-core contact probes 13 of the third embodiment are held in parallel instead of the two-
−実施例4−
図19の(a)は、実施例4に係る2芯コンタクトプローブ14の基端部を示す左側面図である。図19の(b)は同正面図である。図19の(c)は同右側面図である。
この2芯コンタクトプローブ14は、実施例3の面積の異なる傾斜面5a’,5a”及び5b’,5b”の代わりに面積を等しい傾斜面5a1,5a2および5b1,5b2がそれぞれ形成されている以外は、実施例1の2芯コンタクトプローブ11と同様の構成である。
Example 4
FIG. 19A is a left side view illustrating the proximal end portion of the two-
The two-
実施例4の2芯コンタクトプローブ14及びその製造方法によれば、向きを気にせずに第1電線1c−1と第2電線1c−2とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面4a,4bおよび基端部の傾斜面5a1,5b1,5a2,5b2を形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。また、基端部の傾斜面5a1と5a2が会合する稜線および傾斜面5b1と5b2が会合する稜線が測定器側電極Ma,Mbに線接触するので、ゴミを挟み込むことによる接触不良の確率を低くすることが出来る。
According to the two-
−実施例5−
図20の(a)は、実施例5に係る2芯コンタクトプローブ15の基端部を示す左側面図である。図20の(b)は同正面図である。図20の(c)は同右側面図である。
この2芯コンタクトプローブ15は、各軸線Ax,Bxと直交し各コンタクトピン12a,12bの断面積の半分未満の面積を有する各平面9a,9bを基端に有している以外は、実施例4の2芯コンタクトプローブ14と同様の構成である。
-Example 5
FIG. 20A is a left side view illustrating the proximal end portion of the two-
The two-
各平面9a,9bは、これら各平面9a,9bを残すように各傾斜面5a1’,5b1’,5a2’,5b2’を研磨して設ける。あるいは、実施例4の2芯コンタクトプローブ14と同様に各傾斜面5a1,5b1,5a2,5b2を研磨して設けた後、各軸線Ax,Bxと直交する研磨面で研磨して平面9a,9bを設けることも出来る。
The flat surfaces 9a and 9b are provided by polishing the inclined surfaces 5a1 ', 5b1', 5a2 ', and 5b2' so as to leave the flat surfaces 9a and 9b. Alternatively, the inclined surfaces 5a1, 5b1, 5a2, and 5b2 are polished and provided in the same manner as the two-
実施例5の2芯コンタクトプローブ15及びその製造方法によれば、向きを気にせずに第1電線1c−1と第2電線1c−2とを一体化し、その後で、先端部の傾斜面4a,4bおよび基端部の傾斜面5a1’,5b1’,5a2’,5b2’および平面9a,9bを形成できるから、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
According to the two-
−実施例6−
図21の(a)は、実施例6に係る2芯コンタクトプローブ16の先端部を示す正面図である。図21の(b)は同側面図である。
この2芯コンタクトプローブ16は、実施例1〜実施例5の2芯コンタクトプローブ11〜15を作成した後、被覆2a,2bを残して被覆3の先端側所定長を例えばレーザ装置で除去し、段差8を設けたものである。なお、被覆2a,2bの間に挟まれた部分の被覆3は残している。
-Example 6
FIG. 21A is a front view illustrating the distal end portion of the two-
This two-
実施例6の2芯コンタクトプローブ16及びその製造方法によれば、実施例1〜実施例5の効果に加えて、各コンタクトピン16a,16bの軸方向の位置決めに利用するための段差8を被覆2a,2bを残して設けたため、位置決め部材との接触が被覆2a,2bを介して行われることとなり、滑り性および絶縁性の両方において好適となる。
According to the two-
−実施例7−
図22は、実施例7に係る2芯コンタクトプローブ16を示す正面図である。
この2芯コンタクトプローブ17は、実施例6の2芯コンタクトプローブ16を作成した後、コンタクトピン17a,17bを分離するための切込みWを被覆3に結合部分6のみを介して例えばレーザ装置で入れた構成である。結合部分6は、先端部と基端部の中間よりやや基端部寄りの例えば約5mm長の部分とする。
-Example 7-
FIG. 22 is a front view illustrating the two-
In this two-
実施例7の2芯コンタクトプローブ17及びその製造方法によれば、実施例6の効果に加えて、第1コンタクトピン17aと第2コンタクトピン17bとが結合部分6のみでしか一体化されていないため、第1コンタクトピン17aと第2コンタクトピン17bとが別個に撓みうる自由度を大きくすることが出来る。
According to the two-
なお、実施例6の2芯コンタクトプローブ16の代わりに実施例1〜実施例5の2芯コンタクトプローブ11〜15を用いても同様である。
In addition, it is the same even if it uses the 2-core contact probe 11-15 of Example 1- Example 5 instead of the 2-
−実施例8−
図23の(a)は、実施例8に係る2芯コンタクトプローブ18を示す正面図である。図23の(b)は同側面図である。
この2芯コンタクトプローブ18は、第1コンタクトピン18aと第2コンタクトピン18bとを平行に且つ被覆3を介して一体化したものである。
各コンタクトピン18a,18bの各先端部には、各コンタクトピン18a,18bの各軸線Ax,Bxと傾斜して交差する各傾斜面4a,4bがそれらの頂部を最近接する向きにそれぞれ形成されている。
各コンタクトピン18a,18bの各基端部には、各コンタクトピン18a,18bの各軸線Ax,Bxを回転軸とする回転面7a,7bが同じ向きにそれぞれ形成されている。
2芯コンタクトプローブ18の断面は、図2と同様である。
-Example 8-
FIG. 23A is a front view showing the two-
The two-
Inclined surfaces 4a and 4b that are inclined and intersect with the axis lines Ax and Bx of the contact pins 18a and 18b are formed at the tips of the contact pins 18a and 18b, respectively, in directions that are closest to the tops. Yes.
At the base end portions of the contact pins 18a and 18b, rotation surfaces 7a and 7b having the axes Ax and Bx of the contact pins 18a and 18b as rotation axes are formed in the same direction.
The cross section of the two-
図3,図4,図24〜図27を参照して2芯コンタクトプローブ18の製造方法を説明する。
A method for manufacturing the two-
まず図3に示すように、例えば直径約110μmのタングステン線のような導線1aを直線矯正装置Aに通して所定の直線性を持つ導線1bとし、これをロールRaに巻き取る。
次に図4に示すように、導線1bを被覆焼付装置Bに通して例えば厚さ約10μmのポリエステル被覆のような被覆2を形成した被覆導線1cとし、これをロールRbに巻き取る。
次に図24に示すように、被覆導線1cをカット装置Dに通して例えば長さ30mmのような所定長の電線1kとし、これをトレイQに収容する。
次に、図25に示すように、電線1kの基端部を軸線Axを中心軸とする円錐面7aに加工し、電線1mとする。
次に、図26に示すように、第1電線1m−1と第2電線1m−2の2本の電線1mの結合部分6を接着剤で接着し、2芯平行電線1nとする。結合部分6は、先端部と基端部の中間よりやや基端部寄りの例えば約5mm長の部分とする。
なお、第2電線1m−2の円錐面を第1電線1m−1の円錐面7aと識別するため、符号を7bとしている。
First, as shown in FIG. 3, for example, a conducting wire 1a such as a tungsten wire having a diameter of about 110 μm is passed through a straightening device A to form a
Next, as shown in FIG. 4, the
Next, as shown in FIG. 24, the covered conductor 1 c is passed through the cutting device D to form a predetermined length of
Next, as shown in FIG. 25, the base end portion of the
Next, as shown in FIG. 26, the
In addition, in order to distinguish the conical surface of the 2nd
次に図27に示すように、複数の2芯平行電線1nを、一つの仮想平面Pe上に平行に且つ第1電線1m−1と第2電線1m−2の両軸線Ax,Bxを含む平面Pが仮想平面Peに直交する向きになるように且つ軸線Ax,Bxと直交する仮想直線Lg上に円錐面7a,7bの頂点を揃えて並べて、先端部研磨用治具Eの第1保持具Eaと第2保持具Ebとで弾性的に挟持する。
Next, as shown in FIG. 27, a plurality of two-core parallel wires 1n are parallel to one virtual plane Pe and include the axes Ax and Bx of the
この後、図9,図10を参照して説明したのと同様の加工を2芯平行電線1nの先端部に施せば、2芯コンタクトプローブ18を製造できる。
Thereafter, if the same processing as described with reference to FIGS. 9 and 10 is applied to the tip of the two-core parallel wire 1n, the two-
実際例8の2芯コンタクトプローブ18及びその製造方法によれば、第1電線1m−1と第2電線1m−2とを接着し一体化する際、基端部が傾斜面でなく円錐面7a,7bなので、向きを調整する必要がない。従って、マイクロスコープを用いて2本の電線の向きを調整する作業が不要になるなど、製造工数を低減することが出来る。
According to the two-
−実施例9−
図28の(a)は、実施例9に係る2芯コンタクトプローブ19を示す左側面である。図28の(b)は同正面図である。図28の(c)は同右側面図である。
この2芯コンタクトプローブ19は、被覆3および図2に示す被覆2a,2bが傾斜面5a,5bの間際まで残されている以外は、実施例1の2芯コンタクトプローブ11と同様の構成である。
-Example 9-
FIG. 28A is a left side view illustrating the two-
The two-
なお、被覆2a,2b,3を除去する範囲には特に限定はなく、図1に示すように基端側および先端側の数mmの範囲を除去してもよいし、図28に示すように基端側は傾斜面5a,5bの間際まで被覆2a,2b,3を残してもよい。
また、図14に示すように2芯コンタクトプローブ保持具20のストッパー部分に被覆2a,2b,3の先端側端を当接させる場合には、検査対象面Lまでの距離を考慮した設計に基づいて被覆2a,2b,3の先端側部分を除去すればよい。
The range for removing the
Further, as shown in FIG. 14, when the tips of the
本発明の2芯コンタクトプローブ、2芯コンタクトプローブ・ユニット及びその製造方法は、例えば回路基板の検査装置として利用することが出来る。 The two-core contact probe, the two-core contact probe unit and the manufacturing method thereof according to the present invention can be used as, for example, a circuit board inspection apparatus.
1e〜1j,1n 2芯平行電線
2 被覆
3 被覆(または融着被覆)
4a,4b 傾斜面
5a,5b 傾斜面
5a’,5b’ 傾斜面
5a”,5b” 傾斜面
5a1,5b1,5a2,5b2 傾斜面
5a1’,5b1’,5a2’,5b2’ 傾斜面
7a,7b 円錐面
9a,9b 平面
11〜19 2芯コンタクトプローブ
11a,11b コンタクトピン
12a,12b コンタクトピン
13a,13b コンタクトピン
15a,15b コンタクトピン
16a,16b コンタクトピン
17a,17b コンタクトピン
18a,18b コンタクトピン
20 2芯コンタクトプローブ保持具
30 2芯コンタクトプローブ・ユニット
Ax,Bx 軸線
E 先端部研磨用治具
F 研磨面
G 基端部研磨用治具
P 軸線Ax,Bxを含む平面
Pe,Pg 仮想平面
1e-1j, 1n 2-
4a, 4b inclined
Claims (15)
前記第1コンタクトピン及び前記第2コンタクトピンはそれぞれ被覆を有し、
前記被覆を有する前記第1コンタクトピンと前記被覆を有する前記第2コンタクトピンとは、両者の間と周囲とに前記被覆と異なる被覆を設けて一体に構成され、
前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a,5b)がそれぞれ同じ向きに形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a,5b)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(11)。 The first contact pin made of the first electric wire and the second contact pin made of the second electric wire are integrated in parallel and insulated, and at the tip of each contact pin that comes into contact with the surface to be inspected, each axis of each contact pin and Each of the inclined surfaces intersecting at an angle is a two-core contact probe formed in a direction closest to their tops,
The first contact pin and the second contact pin each have a coating;
The first contact pin having the coating and the second contact pin having the coating are configured integrally by providing a coating different from the coating between and around the two,
Respective inclined surfaces (5a, 5b) which are inclined and intersect with the respective axis lines (Ax, Bx) of the respective contact pins are formed in the same direction at the respective base end portions on the opposite side to the respective distal end portions. The normals (Na, 5b) of the inclined surfaces (5a, 5b) are orthogonal to the planes (Pa, Pb) perpendicular to the plane (P) including Ax, Bx) and include the axes (Ax, Bx). A two-core contact probe (11) characterized in that Nb) is parallel.
前記第1コンタクトピン及び前記第2コンタクトピンはそれぞれ被覆を有し、
前記被覆を有する前記第1コンタクトピンと前記被覆を有する前記第2コンタクトピンとは、両者の間と周囲とに前記被覆と異なる被覆を設けて一体に構成され、
前記各先端部と反対側の各基端部には各軸線(Ax,Bx)と直交し各コンタクトピンの断面積の半分未満の面積を有する各平面(9a,9b)を有して各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a’,5b’)がそれぞれ同じ向きに形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a’,5b’)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(12)。 The first contact pin made of the first electric wire and the second contact pin made of the second electric wire are integrated in parallel and insulated, and at the tip of each contact pin that comes into contact with the surface to be inspected, each axis of each contact pin and Each of the inclined surfaces intersecting at an angle is a two-core contact probe formed in a direction closest to their tops,
The first contact pin and the second contact pin each have a coating;
The first contact pin having the coating and the second contact pin having the coating are configured integrally by providing a coating different from the coating between and around the two,
Each base end portion on the opposite side to each of the tip ends has a plane (9a, 9b) orthogonal to each axis (Ax, Bx) and having an area less than half the cross-sectional area of each contact pin. Inclined surfaces (5a ′, 5b ′) that are inclined and intersect each axis (Ax, Bx) of the pin are formed in the same direction, and are orthogonal to the plane (P) including both axes (Ax, Bx). And the normals (Na, Nb) of the inclined surfaces (5a ′, 5b ′) are parallel to the planes (Pa, Pb) including the axes (Ax, Bx), respectively. Core contact probe (12).
前記第1コンタクトピン及び前記第2コンタクトピンはそれぞれ被覆を有し、
前記被覆を有する前記第1コンタクトピンと前記被覆を有する前記第2コンタクトピンとは、両者の間と周囲とに前記被覆と異なる被覆を設けて一体に構成され、
前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a’,5b’)がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差し前記傾斜面(5a’,5b’)より面積が小さい各傾斜面(5a”,5b”)が前記傾斜面(5a’,5b’)と反対向きに形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a’,5b’)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(13)。 The first contact pin made of the first electric wire and the second contact pin made of the second electric wire are integrated in parallel and insulated, and at the tip of each contact pin that comes into contact with the surface to be inspected, each axis of each contact pin and Each of the inclined surfaces intersecting at an angle is a two-core contact probe formed in a direction closest to their tops,
The first contact pin and the second contact pin each have a coating;
The first contact pin having the coating and the second contact pin having the coating are configured integrally by providing a coating different from the coating between and around the two,
Inclined surfaces (5a ′, 5b ′) are formed in the same direction at the base end portions opposite to the distal end portions, and are inclined and intersect with the axis lines (Ax, Bx) of the contact pins. Each inclined surface (5a ″, 5b ″) that is inclined and intersects with each axis (Ax, Bx) of each contact pin and has a smaller area than the inclined surface (5a ′, 5b ′) is the inclined surface (5a ′, 5b). ') And the inclined surface on each plane (Pa, Pb) that is orthogonal to the plane (P) including both axes (Ax, Bx) and includes each axis (Ax, Bx). The two-core contact probe (13), wherein the normal lines (Na, Nb) of (5a ', 5b') are parallel.
前記第1コンタクトピン及び前記第2コンタクトピンはそれぞれ被覆を有し、
前記被覆を有する前記第1コンタクトピンと前記被覆を有する前記第2コンタクトピンとは、両者の間と周囲とに前記被覆と異なる被覆を設けて一体に構成され、
前記各先端部と反対側の各基端部には各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a1,5b1)がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差し前記傾斜面(5a1,5b1)と同面積の各傾斜面(5a2,5b2)が前記傾斜面(5a1,5b1)と反対側に反対向きにそれぞれ形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a1,5b1)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(14)。 The first contact pin made of the first electric wire and the second contact pin made of the second electric wire are integrated in parallel and insulated and at the tip of each contact pin that comes into contact with the object to be inspected, each axis of each contact pin is inclined. And a two-core contact probe in which the inclined surfaces intersecting with each other are formed in the direction closest to their tops,
The first contact pin and the second contact pin each have a coating;
The first contact pin having the coating and the second contact pin having the coating are configured integrally by providing a coating different from the coating between and around the two,
Inclined surfaces (5a1, 5b1) that are inclined and intersect with the axes (Ax, Bx) of the contact pins are formed in the same direction at the base end portions on the opposite side to the tip portions, respectively, and the contacts. The inclined surfaces (5a2, 5b2) having the same area as the inclined surfaces (5a1, 5b1) intersecting the axis (Ax, Bx) of the pin in an inclined direction opposite to the inclined surfaces (5a1, 5b1) The inclined surfaces (5a1, 5b1) are formed on the respective planes (Pa, Pb) perpendicular to the plane (P) including both axes (Ax, Bx) and including the respective axes (Ax, Bx). The two-core contact probe (14), wherein the normal lines (Na, Nb) are parallel.
前記第1コンタクトピン及び前記第2コンタクトピンはそれぞれ被覆を有し、
前記被覆を有する前記第1コンタクトピンと前記被覆を有する前記第2コンタクトピンとは、両者の間と周囲とに前記被覆と異なる被覆を設けて一体に構成され、
前記各先端部と反対側の各基端部には各軸線(Ax,Bx)と直交する各平面(9a,9b)を有して各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a1’,5b1’)がそれぞれ同じ向きに形成されると共に各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)と傾斜して交差する各傾斜面(5a2’,5b2’)が前記傾斜面(5a1’,5b1’)と反対側に反対向きにそれぞれ形成され、両軸線(Ax,Bx)を含む平面(P)に対して直交し且つ前記各軸線(Ax,Bx)をそれぞれ含む各平面(Pa,Pb)に前記傾斜面(5a1’,5b1’)の各法線(Na,Nb)が平行であることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(15)。 The first contact pin made of the first electric wire and the second contact pin made of the second electric wire are integrated in parallel and insulated and at the tip of each contact pin that comes into contact with the object to be inspected, each axis of each contact pin is inclined. And a two-core contact probe in which the inclined surfaces intersecting with each other are formed in the direction closest to their tops,
The first contact pin and the second contact pin each have a coating;
The first contact pin having the coating and the second contact pin having the coating are configured integrally by providing a coating different from the coating between and around the two,
Each base end portion on the opposite side to each of the tip ends has a plane (9a, 9b) orthogonal to each axis (Ax, Bx) and is inclined with each axis (Ax, Bx) of each contact pin. The intersecting inclined surfaces (5a1 ′, 5b1 ′) are formed in the same direction, and the inclined surfaces (5a2 ′, 5b2 ′) that intersect with the axis (Ax, Bx) of each contact pin are inclined. It is formed on the opposite side to the inclined surfaces (5a1 ′, 5b1 ′) in the opposite direction, is orthogonal to the plane (P) including both axes (Ax, Bx), and includes each axis (Ax, Bx). The two-core contact probe (15), wherein each normal line (Na, Nb) of the inclined surface (5a1 ', 5b1') is parallel to each plane (Pa, Pb).
前記第1コンタクトピン及び前記第2コンタクトピンはそれぞれ被覆を有し、
前記被覆を有する前記第1コンタクトピンと前記被覆を有する前記第2コンタクトピンとは、両者の間と周囲とに前記被覆と異なる被覆を設けて一体に構成され、
前記各先端部と反対側の各基端部は各コンタクトピンの各軸線(Ax,Bx)を回転軸とする凸型回転面(7a,7b)に形成されていることを特徴とする2芯コンタクトプローブ(18)。 The first contact pin made of the first electric wire and the second contact pin made of the second electric wire are integrated in parallel and insulated, and at the tip of each contact pin that comes into contact with the surface to be inspected, each axis of each contact pin and Each of the inclined surfaces intersecting at an angle is a two-core contact probe formed in a direction closest to their tops,
The first contact pin and the second contact pin each have a coating;
The first contact pin having the coating and the second contact pin having the coating are configured integrally by providing a coating different from the coating between and around the two,
Each of the base ends on the side opposite to the tip ends is formed on a convex rotary surface (7a, 7b) whose axis of rotation is the axis (Ax, Bx) of each contact pin. Contact probe (18).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012282195A JP6062235B2 (en) | 2012-12-26 | 2012-12-26 | 2-core contact probe, 2-core contact probe unit, and 2-core contact probe manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012282195A JP6062235B2 (en) | 2012-12-26 | 2012-12-26 | 2-core contact probe, 2-core contact probe unit, and 2-core contact probe manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014126422A JP2014126422A (en) | 2014-07-07 |
JP6062235B2 true JP6062235B2 (en) | 2017-01-18 |
Family
ID=51406042
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012282195A Active JP6062235B2 (en) | 2012-12-26 | 2012-12-26 | 2-core contact probe, 2-core contact probe unit, and 2-core contact probe manufacturing method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6062235B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6484137B2 (en) * | 2014-11-26 | 2019-03-13 | 株式会社日本マイクロニクス | Probe and contact inspection device |
JP7032167B2 (en) * | 2018-02-09 | 2022-03-08 | 日置電機株式会社 | Probe pins, probe units and inspection equipment |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63289509A (en) * | 1987-05-22 | 1988-11-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Multi-cored optical parts and its production |
JPH05273237A (en) * | 1992-03-26 | 1993-10-22 | Tokyo Electron Yamanashi Kk | Probe card |
JP2003021658A (en) * | 2001-07-06 | 2003-01-24 | Murata Mfg Co Ltd | Electric characteristic inspection device for electronic part |
JP3943372B2 (en) * | 2001-11-07 | 2007-07-11 | 日置電機株式会社 | Multi-terminal structure for impedance measurement |
JP2003270267A (en) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Probe unit, probe card, measuring device and production method for probe card |
JP3905850B2 (en) * | 2003-03-13 | 2007-04-18 | 日本電産リード株式会社 | Substrate inspection probe and substrate inspection apparatus using the same |
JP2006098066A (en) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Totoku Electric Co Ltd | Probe needle, using method therefor, and manufacturing method for probe needle |
JP2007232558A (en) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Hioki Ee Corp | Electronic component inspection probe |
EP2060921A1 (en) * | 2007-11-16 | 2009-05-20 | Technoprobe S.p.A | Contact probe for testing head having vertical probes and related testing head for testing microstructure electric performance |
JP5192899B2 (en) * | 2008-04-30 | 2013-05-08 | 東京特殊電線株式会社 | Probe needle and manufacturing method thereof |
JP5471144B2 (en) * | 2009-08-07 | 2014-04-16 | 大日本印刷株式会社 | Substrate inspection jig and substrate inspection method |
JP2012112709A (en) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Unitechno Inc | Kelvin contact probe and kelvin inspection jig having the same |
JP5597108B2 (en) * | 2010-11-29 | 2014-10-01 | 株式会社精研 | Contact inspection jig |
-
2012
- 2012-12-26 JP JP2012282195A patent/JP6062235B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014126422A (en) | 2014-07-07 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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