JP7075835B2

JP7075835B2 - Inspection unit and inspection equipment

Info

Publication number: JP7075835B2
Application number: JP2018123503A
Authority: JP
Inventors: 知和細井
Original assignee: Enplas Corp
Current assignee: Enplas Corp
Priority date: 2018-06-28
Filing date: 2018-06-28
Publication date: 2022-05-26
Anticipated expiration: 2038-06-28
Also published as: JP2020003364A

Description

本開示は、検査ユニットおよび検査装置に関する。 The present disclosure relates to inspection units and inspection equipment.

従来、絶縁体と導電体とを交互に重ねて形成された積層体が知られている。 Conventionally, a laminated body formed by alternately stacking an insulator and a conductor is known.

特開２００６－０５８０７７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-058077

積層体は、複数の板状部品を積層して形成される。絶縁体と導電体とを交互に重ねて形成された積層体における導電体の導通検査を、積層体の積層方向に並べられた複数の検査部品を用いて行う場合、導通検査のリードタイムを短縮するために、積層体に対してこれら複数の検査部品を短時間で適切な位置に配置することが要求される。 The laminated body is formed by laminating a plurality of plate-shaped parts. When conducting a continuity inspection of a conductor in a laminate formed by alternately stacking insulators and conductors using a plurality of inspection parts arranged in the stacking direction of the laminate, the lead time of the continuity inspection is shortened. In order to do so, it is required to place these plurality of inspection parts in appropriate positions in a short time with respect to the laminated body.

本開示の目的は、検査対象に対して、検査部品を短時間で適切な位置に配置することである。 An object of the present disclosure is to place an inspection part in an appropriate position in a short time with respect to an inspection target.

本開示の一形態は、所定方向に並んで配置され、検査体を有する複数の検査部品と、前記検査部品間に配置され、前記検査部品同士を互いに離間させる方向に付勢する付勢部材と、複数の前記検査部品を前記所定方向とは異なる方向に同時に移動させる回動機構と、を備える、検査ユニットである。 One embodiment of the present disclosure includes a plurality of inspection parts arranged side by side in a predetermined direction and having an inspection body, and an urging member arranged between the inspection parts and urging the inspection parts in a direction to separate them from each other. The inspection unit includes a rotation mechanism for simultaneously moving a plurality of the inspection parts in a direction different from the predetermined direction.

また、本開示の他の一形態は、導電体と絶縁体とが積層されてなる積層体の導通状態を検査する検査装置であって、上記検査ユニットと、上記検査ユニットが設けられ、上記積層体が収納されるケースに載置されるベース部材と、上記検査部品を上記積層体から離れる方向へ付勢する第二の付勢部材と、を備える、検査装置である。 Further, another aspect of the present disclosure is an inspection device for inspecting the continuity state of a laminated body in which a conductor and an insulator are laminated, wherein the inspection unit and the inspection unit are provided, and the stacking is performed. It is an inspection device including a base member placed on a case in which a body is housed, and a second urging member for urging the inspection component in a direction away from the laminated body.

本開示によれば、検査対象に対して、検査部品を短時間で適切な位置に配置することができる。 According to the present disclosure, the inspection parts can be arranged at appropriate positions in a short time with respect to the inspection target.

第一実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す平面図Top view schematically showing an example of the inspection device according to the first embodiment 第一実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す正面図Front view schematically showing an example of the inspection device according to the first embodiment. 第一実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す側面図A side view schematically showing an example of the inspection device according to the first embodiment. 検査部品の一例を模式的に示す側面図Side view schematically showing an example of inspection parts 図２Ａの２Ｂ－２Ｂ断面図2B-2B sectional view of FIG. 2A 図２Ａの２Ｃ－２Ｃ断面図2C-2C sectional view of FIG. 2A 図２Ａの２Ｄ－２Ｄ断面図2D-2D sectional view of FIG. 2A 図１Ｃの３－３断面図3-3 cross-sectional view of FIG. 1C 軸方向の位置調整が行われた状態を示す正面図Front view showing the state where the position adjustment in the axial direction is performed. 軸方向の位置調整が行われた状態を示す側面図Side view showing the state where the position adjustment in the axial direction is performed. 図４Ｂの４Ｃ－４Ｃ断面図4C-4C sectional view of FIG. 4B 検査ユニットが下位置にある状態を示す正面図Front view showing the state where the inspection unit is in the lower position 検査ユニットが下位置にある状態を示す側面図Side view showing the state where the inspection unit is in the lower position 検査部品の他の一例を模式的に示す図The figure which shows the other example of the inspection part schematically 図６Ａの６Ｂ－６Ｂ断面図6B-6B sectional view of FIG. 6A 図６Ａの６Ｃ－６Ｃ断面図6C-6C sectional view of FIG. 6A 第二実施形態に係る検査装置の動作の一例を模式的に示す図The figure which shows typically an example of the operation of the inspection apparatus which concerns on 2nd Embodiment 第三実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す図The figure which shows typically the example of the inspection apparatus which concerns on 3rd Embodiment 第三実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す図The figure which shows typically the example of the inspection apparatus which concerns on 3rd Embodiment 第四実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す図The figure which shows typically the example of the inspection apparatus which concerns on 4th Embodiment 第四実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す図The figure which shows typically the example of the inspection apparatus which concerns on 4th Embodiment

以下、本開示の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は一例であり、本開示はこの実施形態により限定されるものではない。以下で説明する実施形態の構成要素は適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。 Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings. The embodiments described below are examples, and the present disclosure is not limited to these embodiments. The components of the embodiments described below can be combined as appropriate. In addition, some components may not be used.

なお、以下の説明において、同種の要素を区別して説明する場合には、数字からなる共通番号とアルファベットからなる追番号との組み合わせで構成される参照符号を用いて、例えば「検査部品２１ａ」、「検査部品２１ｂ」と表現する。また、同種の要素を区別しないで包括的に説明する場合には、参照符号のうちの共通番号のみを用いて、例えば、「検査部品２１」と表現する。 In the following description, when the same type of elements are distinguished and described, for example, "inspection component 21a", using a reference code composed of a combination of a common number consisting of numbers and a serial number consisting of alphabets. It is expressed as "inspection component 21b". Further, in the case of comprehensively explaining the same type of elements without distinguishing them, only the common number among the reference numerals is used and expressed as, for example, "inspection component 21".

（第一実施形態）
図１Ａ、図１Ｂ、図１Ｃ、図３、図４Ａ、図４Ｂ、図４Ｃ、図５Ａおよび図５Ｂには、説明の便宜上、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸からなる３次元直交座標系が描かれている。Ｘ軸の正方向を＋Ｘ方向、Ｙ軸の正方向を＋Ｙ方向、Ｚ軸の正方向を＋Ｚ方向（上方向）とそれぞれ定義する。 (First Embodiment)
1A, 1B, 1C, 3, 4A, 4B, 4C, 5A and 5B show a three-dimensional Cartesian coordinate system consisting of an X-axis, a Y-axis and a Z-axis for convenience of explanation. It has been. The positive direction of the X axis is defined as the + X direction, the positive direction of the Y axis is defined as the + Y direction, and the positive direction of the Z axis is defined as the + Z direction (upward direction).

図１Ａないし図１Ｃを参照して、検査装置１について説明する。図１Ａは、第一実施形態に係る検査装置１の一例を模式的に示す平面図である。図１Ｂは、第一実施形態に係る検査装置１の一例を模式的に示す正面図である。図１Ｃは、第一実施形態に係る検査装置１の一例を模式的に示す側面図である。 The inspection device 1 will be described with reference to FIGS. 1A to 1C. FIG. 1A is a plan view schematically showing an example of the inspection device 1 according to the first embodiment. FIG. 1B is a front view schematically showing an example of the inspection device 1 according to the first embodiment. FIG. 1C is a side view schematically showing an example of the inspection device 1 according to the first embodiment.

図１Ａないし図１Ｃに示すように、検査装置１は、検査対象である積層体２が収納されたケース３の上に載置されるベース部１０と、検査ユニット２０とを備える。 As shown in FIGS. 1A to 1C, the inspection device 1 includes a base portion 10 mounted on a case 3 in which the laminate 2 to be inspected is housed, and an inspection unit 20.

ベース部１０は、ＸＹ平面に延在する例えばアルミ等の金属材料からなる板状部品である。ベース部１０は、開口１１を備える。開口１１は、ベース部１０の概略中央部に設けられている。開口１１は、ベース部１０をＺ方向に貫通している。開口１１には検査ユニット２０の検査部品２１（後述する。）が配置される。検査部品２１は、開口１１内を上下に移動する。 The base portion 10 is a plate-shaped part made of a metal material such as aluminum extending in the XY plane. The base portion 10 includes an opening 11. The opening 11 is provided in the substantially central portion of the base portion 10. The opening 11 penetrates the base portion 10 in the Z direction. The inspection component 21 (described later) of the inspection unit 20 is arranged in the opening 11. The inspection component 21 moves up and down in the opening 11.

検査ユニット２０は、複数（本実施形態では５個）の検査部品２１と、Ｘ方向に並んだ検査部品２１をＸ方向に貫通する上側シャフト２２および下側シャフト２３と、複数（本実施形態では８個）の弾性体２４（「付勢部材」の一例）とを備える。 The inspection unit 20 includes a plurality of inspection parts 21 (five in this embodiment), an upper shaft 22 and a lower shaft 23 that penetrate the inspection parts 21 arranged in the X direction in the X direction, and a plurality (in the present embodiment). Eight) elastic bodies 24 (an example of a "biasing member") are provided.

また、検査ユニット２０は、支持ベース部３１Ａおよび３１Ｂと、上側回動レバー３２Ａおよび３２Ｂと、下側回動レバー３３Ａおよび３３Ｂと、上側回動軸３４Ａおよび３４Ｂと、下側回動軸３５Ａおよび３５Ｂとを備える。 Further, the inspection unit 20 includes the support base portions 31A and 31B, the upper rotation levers 32A and 32B, the lower rotation levers 33A and 33B, the upper rotation shafts 34A and 34B, the lower rotation shaft 35A and the inspection unit 20. It is equipped with 35B.

図２Ａないし図２Ｄを参照して、検査部品２１について説明する。図２Ａは、検査部品２１を模式的に示す側面図である。図２Ｂは、図２Ａの２Ｂ－２Ｂ断面図である。図２Ｃは、図２Ａの２Ｃ－２Ｃ断面図である。図２Ｄは、図２Ａの２Ｄ－２Ｄ断面図である。 The inspection component 21 will be described with reference to FIGS. 2A to 2D. FIG. 2A is a side view schematically showing the inspection component 21. FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line 2B-2B of FIG. 2A. FIG. 2C is a cross-sectional view taken along the line 2C-2C of FIG. 2A. FIG. 2D is a cross-sectional view taken along the line 2D-2D of FIG. 2A.

検査部品２１は、本体２１１と、２個のブシュ２１２（「軸受部材」の一例）と、複数（本実施形態では９本）の検査ピン２１４（「検査体」の一例）とを備えて構成される。 The inspection component 21 includes a main body 211, two bushes 212 (an example of a "bearing member"), and a plurality of inspection pins 214 (an example of an "inspection body") (nine in this embodiment). Will be done.

本体２１１は、上面２１１ａ、下面２１１ｂ、側面２１１ｃ、側面２１１ｄ、前面２１１ｅおよび後面２１１ｆを有する略直方体形状の部材である。本体２１１は、例えば樹脂等の絶縁材料からなる中実の部品である。 The main body 211 is a substantially rectangular parallelepiped member having an upper surface 211a, a lower surface 211b, a side surface 211c, a side surface 211d, a front surface 211e, and a rear surface 211f. The main body 211 is a solid component made of an insulating material such as resin.

本体２１１には、側面２１１ｃから側面２１１ｄまで貫通する貫通孔４１が設けられている。また、貫通孔４１よりも下面２１１ｂ側に、側面２１１ｃから側面２１１ｄまで貫通する貫通孔４２が設けられている。貫通孔４１および４２の一端は、側面２１１ｃに開口している。貫通孔４１および４２の他端は、側面２１１ｄに開口している。 The main body 211 is provided with a through hole 41 penetrating from the side surface 211c to the side surface 211d. Further, a through hole 42 penetrating from the side surface 211c to the side surface 211d is provided on the lower surface 211b side of the through hole 41. One end of the through holes 41 and 42 is open to the side surface 211c. The other ends of the through holes 41 and 42 are open to the side surface 211d.

また、本体２１１には、下面２１１ｂから上面２１１ａまで貫通する複数（本実施形態では９個）の貫通孔４３が設けられている。貫通孔４３の一端は、上面２１１ａに開口している。貫通孔４３の他端は、下面２１１ｂに開口している。貫通孔４３には、下面２１１ｂから、検査ピン２１４の一端側が挿入される。貫通孔４３は、側面２１１ｃ側から側面２１１ｄ側まで、等間隔で設けられている。 Further, the main body 211 is provided with a plurality of (9 in this embodiment) through holes 43 penetrating from the lower surface 211b to the upper surface 211a. One end of the through hole 43 is open to the upper surface 211a. The other end of the through hole 43 is open to the lower surface 211b. One end side of the inspection pin 214 is inserted into the through hole 43 from the lower surface 211b. Through holes 43 are provided at equal intervals from the side surface 211c side to the side surface 211d side.

また、本体２１１には、下面２１１ｂから上面２１１ａに向かって延在し、上面２１１ａと下面２１１ｂとの間で行き止まりとなる複数（本実施形態では９個）の穴４４が設けられている。穴４４は、下面２１１ｂに開口している。穴４４には、検査ピン２１４の他端側が挿入される。穴４４は、側面２１１ｃ側から側面２１１ｄ側まで、上述の貫通孔４３と同じ間隔で設けられている。なお、穴４４は、下面２１１ｂから上面２１１ａまで貫通していてもよい。 Further, the main body 211 is provided with a plurality of holes 44 (9 in this embodiment) extending from the lower surface 211b toward the upper surface 211a and forming a dead end between the upper surface 211a and the lower surface 211b. The hole 44 is open to the lower surface 211b. The other end of the inspection pin 214 is inserted into the hole 44. The holes 44 are provided from the side surface 211c side to the side surface 211d side at the same intervals as the above-mentioned through holes 43. The hole 44 may penetrate from the lower surface 211b to the upper surface 211a.

ブシュ２１２は、貫通孔４１および４２の内部にそれぞれ配置されている。ブシュ２１２は、軸方向に貫通する孔を有する円筒状の部材である。ブシュ２１２の軸方向の長さは、貫通孔４１および４２の軸方向長さ（側面２１１ｃから側面２１１ｄまでの距離）より短い。 The bush 212 is arranged inside the through holes 41 and 42, respectively. The bush 212 is a cylindrical member having a hole penetrating in the axial direction. The axial length of the bush 212 is shorter than the axial length of the through holes 41 and 42 (distance from the side surface 211c to the side surface 211d).

ブシュ２１２は、例えば焼結金属等の金属材料からなる。ブシュ２１２には、例えば潤滑油が含浸されている。ブシュ２１２は、それぞれ、上側シャフト２２および下側シャフト２３を回転可能かつ軸方向移動可能に支持する。ブシュ２１２は、それぞれ、貫通孔４１および貫通孔４２に圧入されている。ブシュ２１２は、それぞれ、貫通孔４１および４２の軸方向中央部に設けられている。 The bush 212 is made of a metal material such as a sintered metal. The bush 212 is impregnated with, for example, lubricating oil. The bush 212 supports the upper shaft 22 and the lower shaft 23 so as to be rotatable and axially movable, respectively. The bush 212 is press-fitted into the through hole 41 and the through hole 42, respectively. The bush 212 is provided at the central portion in the axial direction of the through holes 41 and 42, respectively.

検査ピン２１４は、所定長さの銅線等の線材を折り曲げ加工して形成される。検査ピン２１４の一端側は、上述のとおり下面２１１ｂから貫通孔４３に挿入されている。検査ピン２１４の一端側の先端は、不図示の信号線と接続されている。検査ピン２１４の他端側は、上述のとおり下面２１１ｂから穴４４に挿入されている。 The inspection pin 214 is formed by bending a wire rod such as a copper wire having a predetermined length. One end side of the inspection pin 214 is inserted into the through hole 43 from the lower surface 211b as described above. The tip of the inspection pin 214 on one end side is connected to a signal line (not shown). The other end side of the inspection pin 214 is inserted into the hole 44 from the lower surface 211b as described above.

検査ピン２１４の中間部２１４ａは、下面２１１ｂから下方向（上面２１１ａから下面２１１ｂに向かう方向）に突出している。中間部２１４ａをそれぞれ積層体２の導電体２ａ（図１Ｂを参照）と接触させることで、積層体２の導電体２ａの導通検査が行われる。導通検査の結果は、上述の信号線により、不図示の検査制御部に送られる。 The intermediate portion 214a of the inspection pin 214 projects downward from the lower surface 211b (in the direction from the upper surface 211a to the lower surface 211b). By bringing the intermediate portions 214a into contact with the conductor 2a of the laminated body 2 (see FIG. 1B), the continuity test of the conductor 2a of the laminated body 2 is performed. The result of the continuity inspection is sent to the inspection control unit (not shown) by the above-mentioned signal line.

上述のとおり、貫通孔４３および穴４４は、側面２１１ｃ側から側面２１１ｄ側まで等間隔で設けられている。そのため、検査ピン２１４も、側面２１１ｃ側から側面２１１ｄ側まで、等間隔で設けられる。 As described above, the through holes 43 and 44 are provided at equal intervals from the side surface 211c side to the side surface 211d side. Therefore, the inspection pins 214 are also provided at equal intervals from the side surface 211c side to the side surface 211d side.

また、上述のとおり、検査ピン２１４の材料は、銅線等の線材である。また、中間部２１４ａは、下面２１１ｂから下方向に突出している。このような構成を有する検査ピン２１４の中間部２１４ａは、柔軟性を有し、側面２１１ｃから側面２１１ｄに向かう方向またはその逆方向に向かって撓むことができる。 Further, as described above, the material of the inspection pin 214 is a wire material such as a copper wire. Further, the intermediate portion 214a projects downward from the lower surface 211b. The intermediate portion 214a of the inspection pin 214 having such a configuration has flexibility and can bend in the direction from the side surface 211c toward the side surface 211d or vice versa.

図３は、図１Ｃの３－３断面図である。なお、説明の便宜上、弾性体２４は非切断状態で描かれている。図３に示すように、弾性体２４は、検査部品２１間にそれぞれ設けられている。弾性体２４は、例えば、コイルばねであり、本実施形態では、上側シャフト２２および下側シャフト２３の外周に巻回されている。 FIG. 3 is a 3-3 cross-sectional view of FIG. 1C. For convenience of explanation, the elastic body 24 is drawn in an uncut state. As shown in FIG. 3, the elastic body 24 is provided between the inspection parts 21. The elastic body 24 is, for example, a coil spring, and in this embodiment, the elastic body 24 is wound around the outer circumferences of the upper shaft 22 and the lower shaft 23.

また、上述のとおり、ブシュ２１２の軸方向の長さは、貫通孔４１および４２の軸方向長さより短い。よって、弾性体２４は、上側シャフト２２の外周面と貫通孔４１の内壁面との間、および、下側シャフト２３の外周面と貫通孔４２の内壁面との間に、それぞれ設けられている。 Further, as described above, the axial length of the bush 212 is shorter than the axial length of the through holes 41 and 42. Therefore, the elastic body 24 is provided between the outer peripheral surface of the upper shaft 22 and the inner wall surface of the through hole 41, and between the outer peripheral surface of the lower shaft 23 and the inner wall surface of the through hole 42, respectively. ..

なお、弾性体２４は、コイルばねに限定されず、板ばね、皿ばね等でもよい。また、弾性体２４は、上側シャフト２２または下側シャフト２３のいずれか一方のみに設けられていてもよい。 The elastic body 24 is not limited to the coil spring, and may be a leaf spring, a disc spring, or the like. Further, the elastic body 24 may be provided only on either the upper shaft 22 or the lower shaft 23.

弾性体２４は、検査部品２１同士を離間させる方向に付勢する機能を有する。弾性体２４の端面は、貫通孔４１および４２に圧入されたブシュ２１２の軸方向端面に当接している。弾性体２４の外周部は、貫通孔４１および４２の内周壁に案内される。 The elastic body 24 has a function of urging the inspection parts 21 in a direction to separate them from each other. The end face of the elastic body 24 is in contact with the axial end face of the bush 212 pressed into the through holes 41 and 42. The outer peripheral portion of the elastic body 24 is guided by the inner peripheral walls of the through holes 41 and 42.

図１Ａないし図１Ｃの説明に戻る。図１Ａないし図１Ｃに示すように、支持ベース部３１Ａおよび３１Ｂは、ベース部１０の上面（＋Ｚ側面）に固定される。支持ベース部３１Ａの－Ｘ側面から、上側回動軸３４Ａおよび下側回動軸３５Ａが、－Ｘ方向へ延在している。 Returning to the description of FIGS. 1A to 1C. As shown in FIGS. 1A to 1C, the support base portions 31A and 31B are fixed to the upper surface (+ Z side surface) of the base portion 10. The upper rotation shaft 34A and the lower rotation shaft 35A extend in the −X direction from the −X side surface of the support base portion 31A.

上側回動軸３４Ａの－Ｘ側端は、上側回動レバー３２Ａの一端に固定されている。下側回動軸３５Ａの－Ｘ側端は、下側回動レバー３３Ａの一端に固定されている。上側回動レバー３２Ａの他端は、上側シャフト２２の－Ｘ側端に固定されている。下側回動レバー３３Ａの他端は、下側シャフト２３の－Ｘ側端に固定されている。 The −X side end of the upper rotation shaft 34A is fixed to one end of the upper rotation lever 32A. The −X side end of the lower rotation shaft 35A is fixed to one end of the lower rotation lever 33A. The other end of the upper rotary lever 32A is fixed to the −X side end of the upper shaft 22. The other end of the lower rotary lever 33A is fixed to the −X side end of the lower shaft 23.

支持ベース部３１Ｂの＋Ｘ側面から、上側回動軸３４Ｂおよび下側回動軸３５Ｂが、＋Ｘ方向へ延在している。 The upper rotation shaft 34B and the lower rotation shaft 35B extend in the + X direction from the + X side surface of the support base portion 31B.

上側回動軸３４Ｂの＋Ｘ側端は、上側回動レバー３２Ｂの一端に固定されている。下側回動軸３５Ｂの＋Ｘ側端は、下側回動レバー３３Ｂの一端に固定されている。上側回動レバー３２Ｂの他端は、上側シャフト２２の＋Ｘ側端に固定されている。下側回動レバー３３Ｂの他端は、下側シャフト２３の＋Ｘ側端に固定されている。 The + X side end of the upper rotation shaft 34B is fixed to one end of the upper rotation lever 32B. The + X side end of the lower rotation shaft 35B is fixed to one end of the lower rotation lever 33B. The other end of the upper rotation lever 32B is fixed to the + X side end of the upper shaft 22. The other end of the lower rotation lever 33B is fixed to the + X side end of the lower shaft 23.

図１Ａないし図１Ｃは、検査ユニット２０が上位置にある状態を示している。検査ユニット２０は、上位置となるように付勢されている。具体的には、下側回動軸３５Ａが、ねじりばね３６（「第二の付勢部材」の一例。図１Ｂ参照。）によって、自らの中心軸回りに、＋Ｙ方向から＋Ｚ方向へ向かうように付勢されている。 1A to 1C show a state in which the inspection unit 20 is in the upper position. The inspection unit 20 is urged to be in the upper position. Specifically, the lower rotating shaft 35A is directed from the + Y direction to the + Z direction around its own central axis by a torsion spring 36 (an example of a "second urging member"; see FIG. 1B). Is being urged to.

この状態から、例えば、検査部品２１に対して下方向への押圧力が付加されることで、検査部品２１は、上述の上位置への付勢力に抗して下方向へ移動される。これにより、検査部品２１の検査ピン２１４がそれぞれ略同時に積層体２の導電体２ａと接触する。 From this state, for example, by applying a downward pressing force to the inspection component 21, the inspection component 21 is moved downward against the above-mentioned urging force to the upper position. As a result, the inspection pins 214 of the inspection component 21 come into contact with the conductor 2a of the laminated body 2 at substantially the same time.

検査部品２１に対して下方向への押圧力が付加されるのに先立って、検査ユニット２０が上位置にある状態において、積層体２に対する検査部品２１の位置調整が行われる。以下、積層体２に対する検査部品２１の位置調整について詳細に説明する。 Prior to the downward pressing force applied to the inspection component 21, the position of the inspection component 21 with respect to the laminated body 2 is adjusted while the inspection unit 20 is in the upper position. Hereinafter, the position adjustment of the inspection component 21 with respect to the laminated body 2 will be described in detail.

まず、図１Ａないし図１Ｃに示す状態で、最も＋Ｘ側に位置する検査部品２１ａが基準位置に位置決めされる。次に、最も－Ｘ側に位置する検査部品２１ｅが、＋Ｘ方向に押圧され、移動させられる。なお、検査部品２１ｅに対する押圧力は、不図示のアクチュエータによって付与されてもよいし、作業者によって付与されてもよい。 First, in the state shown in FIGS. 1A to 1C, the inspection component 21a located on the + X side most is positioned at the reference position. Next, the inspection component 21e located closest to the −X side is pressed and moved in the + X direction. The pressing force on the inspection component 21e may be applied by an actuator (not shown) or by an operator.

上述のとおり、各検査部品２１間には、それぞれ、弾性体２４が配置されている（図３参照）。このため、検査部品２１ｅの＋Ｘ方向への移動に伴い、各検査部品２１間の間隔が略均一となるように、他の検査部品２１も移動する。すなわち、検査部品２１ａを除く検査部品２１ｂ、２１ｃ、２１ｄおよび２１ｅは、お互いの間隔を略一定に保ちながら、＋Ｘ方向へ移動する。 As described above, the elastic body 24 is arranged between the inspection parts 21 (see FIG. 3). Therefore, as the inspection component 21e moves in the + X direction, the other inspection components 21 also move so that the intervals between the inspection components 21 become substantially uniform. That is, the inspection parts 21b, 21c, 21d and 21e excluding the inspection part 21a move in the + X direction while keeping the distance between them substantially constant.

図４Ａないし図４Ｃは、積層体２に対する検査部品２１の位置調整が完了した状態を示している。各検査部品２１間に配置された弾性体２４は、上述のとおり、貫通孔４１および４２に圧入されたブシュ２１２の軸方向端面に当接するように、貫通孔４１および４２内に配置されている。 4A to 4C show a state in which the position adjustment of the inspection component 21 with respect to the laminated body 2 is completed. As described above, the elastic body 24 arranged between the inspection parts 21 is arranged in the through holes 41 and 42 so as to abut on the axial end faces of the bush 212 press-fitted into the through holes 41 and 42. ..

そのため、弾性体２４が縮むことで、各検査部品２１は、互いの端面同士が当接するまで移動することができる。図４Ａないし図４Ｃは、各検査部品２１が、それぞれ僅かな隙間ｄ１を空けた状態で整列している様子を示している。 Therefore, as the elastic body 24 shrinks, each inspection component 21 can move until the end faces of each other come into contact with each other. 4A to 4C show that the inspection parts 21 are aligned with a slight gap d1 in between.

そして、この状態で、検査部品２１に対して下方向への押圧力が付加されると、すべての検査部品２１が同時に下方向へ移動する。複数の検査部品２１を同時に下方向へ移動させることで、導電体２ａに対して、検査ピン２１４のすべてを短時間で適切な位置に接触させることができる。 Then, in this state, when a downward pressing force is applied to the inspection component 21, all the inspection components 21 move downward at the same time. By moving the plurality of inspection components 21 downward at the same time, all of the inspection pins 214 can be brought into contact with the conductor 2a at appropriate positions in a short time.

以下、図４Ａないし図５Ｂを参照して、検査部品２１を上下動させる機構について詳細に説明する。 Hereinafter, the mechanism for moving the inspection component 21 up and down will be described in detail with reference to FIGS. 4A to 5B.

上側回動軸３４の中心軸Ｏ_３４と、下側回動軸３５の中心軸Ｏ_３５との距離をｄ２、上側シャフト２２の中心軸Ｏ_２２と、下側シャフト２３の中心軸Ｏ_２３との距離をｄ３とすると、ｄ２＝ｄ３である。 The distance between the central axis O 34 of the upper rotating shaft ₃₄ and the central axis O ₃₅ of the lower rotating shaft 35 is d2, the central axis O ₂₂ of the upper shaft 22 and the central axis O ₂₃ of the lower shaft 23 Assuming that the distance is d3, d2 = d3.

また、上側回動軸３４の中心軸Ｏ_３４と、上側シャフト２２の中心軸Ｏ_２２との距離をｄ４、下側回動軸３５の中心軸Ｏ_３５と、下側シャフト２３の中心軸Ｏ_２３との距離をｄ５とすると、ｄ４＝ｄ５である。 Further, the distance between the central axis O 34 of the upper rotating shaft ₃₄ and the central axis O ₂₂ of the upper shaft 22 is d4, the central axis O ₃₅ of the lower rotating shaft 35, and the central axis O ₂₃ of the lower shaft 23. Assuming that the distance from is d5, d4 = d5.

以上の関係から理解できるように、検査部品２１を上下動させる機構は、平行リンク機構である。すなわち、検査部品２１を上下動させる際、上側回動レバー３２と、下側回動レバー３３とは、平行を保つ。 As can be understood from the above relationship, the mechanism for moving the inspection component 21 up and down is a parallel link mechanism. That is, when the inspection component 21 is moved up and down, the upper rotation lever 32 and the lower rotation lever 33 are kept parallel to each other.

同様に、上側シャフト２２の中心軸Ｏ_２２および下側シャフト２３の中心軸Ｏ_２３を結ぶ仮想線Ｌ１と、上側回動軸３４Ａの中心軸Ｏ_３４および下側回動軸３５Ａの中心軸Ｏ_３５を結ぶ仮想線Ｌ２とは、平行を保つ。 Similarly, the virtual line L1 connecting the central axis O 22 of the upper shaft ₂₂ and the central axis O ₂₃ of the lower shaft 23, and the central axis O ₃₅ of the central axis O ₃₄ of the upper rotating shaft 34A and the lower rotating shaft 35A. It is kept parallel to the virtual line L2 connecting the above.

そのため、検査部品２１を上下動させる際に、検査部品２１がＸ軸回りに回転することがない。そのため、検査ピン２１４のすべてを、導電体２ａに、適切な位置かつ適切な向きで接触させることができる。 Therefore, when the inspection component 21 is moved up and down, the inspection component 21 does not rotate about the X axis. Therefore, all of the inspection pins 214 can be brought into contact with the conductor 2a at an appropriate position and in an appropriate orientation.

なお、上述のとおり、検査ピン２１４の中間部２１４ａは、柔軟性を有しており、Ｘ方向に撓むことができる。そのため、検査部品２１を下位置に移動させる際に、検査ピン２１４と導電体２ａのＸ方向位置が完全に一致していなくとも、中間部２１４ａがＸ方向に撓むことで、検査ピン２１４を導電体２ａに対して適切に接触させることが可能となる。 As described above, the intermediate portion 214a of the inspection pin 214 has flexibility and can be bent in the X direction. Therefore, when the inspection component 21 is moved to the lower position, even if the inspection pin 214 and the conductor 2a do not completely match in the X direction, the intermediate portion 214a bends in the X direction to cause the inspection pin 214 to bend. It is possible to make appropriate contact with the conductor 2a.

以上説明したように、本実施形態に係る検査ユニットは、所定方向に並んで配置され、検査体を有する複数の検査部品と、前記検査部品間に配置され、前記検査部品同士を互いに離間させる方向に付勢する付勢部材と、複数の前記検査部品を前記所定方向とは異なる方向に同時に移動させる回動機構と、を備える。 As described above, the inspection units according to the present embodiment are arranged side by side in a predetermined direction, and are arranged between a plurality of inspection parts having an inspection body and the inspection parts, and the inspection parts are separated from each other. It is provided with an urging member for urging a plurality of parts and a rotating mechanism for simultaneously moving a plurality of the inspection parts in a direction different from the predetermined direction.

これにより、検査ピン同士の隙間を調整した状態で、複数の検査ピンを同時に、積層体に対して適切な向きで当接させることができる。そのため、積層体の導電体に対して、複数の検査ピンを短時間で適切に当接させることができる。 As a result, a plurality of inspection pins can be brought into contact with the laminated body in an appropriate direction at the same time with the gaps between the inspection pins adjusted. Therefore, a plurality of inspection pins can be appropriately brought into contact with the conductor of the laminated body in a short time.

なお、上述の実施形態では、上側シャフト２２および下側シャフト２３がそれぞれ検査部品２１に対して回動可能かつ上側回動レバー３２および下側回動レバー３３に対して回動しないものを例に説明を行ったが、これに限定されない。 In the above embodiment, the upper shaft 22 and the lower shaft 23 are rotatable with respect to the inspection component 21, and do not rotate with respect to the upper rotating lever 32 and the lower rotating lever 33, respectively. I explained, but it is not limited to this.

具体的には、例えば、上側シャフト２２および下側シャフト２３を検査部品２１に対して回動しないものとすることができる。この場合、上側シャフト２２および下側シャフト２３は、上側回動レバー３２および下側回動レバー３３に対して回動可能とすればよい。 Specifically, for example, the upper shaft 22 and the lower shaft 23 may not rotate with respect to the inspection component 21. In this case, the upper shaft 22 and the lower shaft 23 may be rotatable with respect to the upper rotation lever 32 and the lower rotation lever 33.

また、上述の実施形態では、上側回動軸３４および下側回動軸３５がそれぞれ支持ベース部３１に対して回動可能かつ上側回動レバー３２および下側回動レバー３３に対して回動しないものを例に説明を行ったが、これに限定されない。 Further, in the above-described embodiment, the upper rotation shaft 34 and the lower rotation shaft 35 are rotatable with respect to the support base portion 31 and rotate with respect to the upper rotation lever 32 and the lower rotation lever 33, respectively. The explanation was given using the ones that do not exist as an example, but the explanation is not limited to this.

具体的には、例えば、上側回動軸３４および下側回動軸３５を支持ベース部３１に対して回動しないものとすることができる。この場合、上側回動軸３４および下側回動軸３５は、上側回動レバー３２および下側回動レバー３３に対して回動可能とすればよい。 Specifically, for example, the upper rotation shaft 34 and the lower rotation shaft 35 may not rotate with respect to the support base portion 31. In this case, the upper rotation shaft 34 and the lower rotation shaft 35 may be rotatable with respect to the upper rotation lever 32 and the lower rotation lever 33.

また、この場合、検査ユニット２０を上位置に付勢する手段は、上側回動レバー３２、下側回動レバー３３または検査部品２１を直接付勢するように設けられればよい。 Further, in this case, the means for urging the inspection unit 20 to the upper position may be provided so as to directly urge the upper rotation lever 32, the lower rotation lever 33, or the inspection component 21.

なお、上述の実施形態では、検査部品２１の貫通孔４１および４２にブシュ２１２を圧入したものを例に説明を行ったが、これに限定されない。以下、検査部品の貫通孔の変形例について、図６Ａないし図６Ｃを用いて説明する。 In the above-described embodiment, the case where the bush 212 is press-fitted into the through holes 41 and 42 of the inspection component 21 has been described as an example, but the description is not limited to this. Hereinafter, a modified example of the through hole of the inspection component will be described with reference to FIGS. 6A to 6C.

図６Ａは、変形例に係る検査部品５１の側面図である。図６Ｂは、図６Ａの６Ｂ－６Ｂ断面図である。図６Ｃは、図６Ａの６Ｃ－６Ｃ断面図である。 FIG. 6A is a side view of the inspection component 51 according to the modified example. FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the line 6B-6B of FIG. 6A. FIG. 6C is a cross-sectional view taken along the line 6C-6C of FIG. 6A.

図６Ｂに示すように、検査部品５１の本体５１１には、Ｘ方向に貫通する、段付きの貫通孔６１および６２が設けられている。検査部品５１は、本体に設けられた貫通孔が段付きの貫通孔である点、および、当該貫通孔にブシュが配置されていない点を除き、上述の検査部品２１と同様の構成である。 As shown in FIG. 6B, the main body 511 of the inspection component 51 is provided with stepped through holes 61 and 62 penetrating in the X direction. The inspection component 51 has the same configuration as the above-mentioned inspection component 21 except that the through hole provided in the main body is a stepped through hole and the bush is not arranged in the through hole.

貫通孔６１および６２は、大径内周面７１と、小径内周面７２と、大径内周面７１および小径内周面７２を連結する端面７３と、を備える。弾性体２４の端面は、端面７３に当接する。 The through holes 61 and 62 include a large-diameter inner peripheral surface 71, a small-diameter inner peripheral surface 72, and an end surface 73 connecting the large-diameter inner peripheral surface 71 and the small-diameter inner peripheral surface 72. The end face of the elastic body 24 comes into contact with the end face 73.

検査部品５１によれば、本体５１１に段付きの貫通孔６１および６２が設けられているため、ブシュを省略することができ、部品点数を削減することができる。 According to the inspection component 51, since the main body 511 is provided with the stepped through holes 61 and 62, the bush can be omitted and the number of components can be reduced.

（第二実施形態）
図７を参照して、第二実施形態について説明する。図７は、第二実施形態に係る検査装置１０１の動作を模式的に示す側面断面図である。図７における実線は、検査ユニット１２０が下位置にある状態を示しており、破線は、検査ユニット１２０が上位置にある状態を示している。 (Second embodiment)
The second embodiment will be described with reference to FIG. 7. FIG. 7 is a side sectional view schematically showing the operation of the inspection device 101 according to the second embodiment. The solid line in FIG. 7 indicates the state in which the inspection unit 120 is in the lower position, and the broken line indicates the state in which the inspection unit 120 is in the upper position.

第二実施形態において、検査部品１２１をＸ方向に貫通するシャフトは、シャフト１２２のみである。また、検査部品１２１は、シャフト１２２に対してシャフト１２２の軸回りに相対回転しない。一方、検査部品１２１は、シャフト１２２に対してＸ方向に相対移動可能である。 In the second embodiment, the shaft 122 is the only shaft that penetrates the inspection component 121 in the X direction. Further, the inspection component 121 does not rotate relative to the shaft 122 about the axis of the shaft 122. On the other hand, the inspection component 121 can move relative to the shaft 122 in the X direction.

回動レバー１３２の一端は回動軸１３４に固着されており、他端はシャフト１２２に固着されている。回動軸１３４が自らの中心軸回りに回転することで、検査部品１２１が図７に示すように回動軸１３４の軸回りに回動しながら上位置と下位置の間を移動する。 One end of the rotating lever 132 is fixed to the rotating shaft 134, and the other end is fixed to the shaft 122. As the rotating shaft 134 rotates around its own central axis, the inspection component 121 moves between the upper position and the lower position while rotating around the axis of the rotating shaft 134 as shown in FIG. 7.

第二実施形態に係る検査装置１０１によれば、検査部品１２１を上下動させる際に、検査部品１２１がシャフト１２２に対してシャフト１２２の軸回りに相対回転しない。そのため、検査部品１２１同士の隙間を調整した状態で、複数の検査ピンを同時に、積層体２に対して適切な向きで当接させることができる。 According to the inspection device 101 according to the second embodiment, when the inspection component 121 is moved up and down, the inspection component 121 does not rotate relative to the shaft 122 about the axis of the shaft 122. Therefore, with the gaps between the inspection parts 121 adjusted, a plurality of inspection pins can be brought into contact with the laminated body 2 in an appropriate direction at the same time.

（第三実施形態）
図８Ａおよび図８Ｂを参照して、第三実施形態について説明する。第三実施形態は、第一実施形態と共通する構成を有している。共通する構成については説明を省略する。図８Ａおよび図８Ｂは、第三実施形態に係る検査装置３０１を模式的に示す断面図である。図８Ａは、位置調整が行われる前の状態を示しており、図８Ｂは、位置調整が行われた後の状態を示している。検査ユニット３２０は、検査部品をＸ方向に貫通するシャフトを有していない。 (Third embodiment)
A third embodiment will be described with reference to FIGS. 8A and 8B. The third embodiment has a configuration common to that of the first embodiment. The description of the common configuration will be omitted. 8A and 8B are cross-sectional views schematically showing the inspection device 301 according to the third embodiment. FIG. 8A shows a state before the position adjustment is performed, and FIG. 8B shows a state after the position adjustment is performed. The inspection unit 320 does not have a shaft that penetrates the inspection component in the X direction.

検査ユニット３２０は、複数の第１検査部品３２１と、第２検査部品４２１とを備えて構成される。第１検査部品３２１は、本体３３１と、２個のブシュ３３２と、複数の検査ピン３３３とを備えて構成される。第２検査部品４２１は、本体４３１と、複数の検査ピン４３３とを備えて構成される。 The inspection unit 320 includes a plurality of first inspection parts 321 and a second inspection part 421. The first inspection component 321 includes a main body 331, two bushes 332, and a plurality of inspection pins 333. The second inspection component 421 includes a main body 431 and a plurality of inspection pins 433.

第１検査部品３２１の本体３３１は、略直方体形状の部材であり、－Ｘ側の側面３３１ｃから－Ｘ方向に延びる上側シャフト部３４１および下側シャフト部３４２を有する。また、本体３３１の＋Ｘ側の側面３３１ｄには、－Ｘ方向に凹む上側凹部３５１および下側凹部３５２が設けられている。上側凹部３５１および下側凹部３５２には、ブシュ３３２がそれぞれ配置されている。 The main body 331 of the first inspection component 321 is a member having a substantially rectangular parallelepiped shape, and has an upper shaft portion 341 and a lower shaft portion 342 extending in the −X direction from the side surface 331c on the −X side. Further, the side surface 331d on the + X side of the main body 331 is provided with an upper recess 351 and a lower recess 352 that are recessed in the −X direction. Bush 332s are arranged in the upper recess 351 and the lower recess 352, respectively.

第２検査部品４２１の本体４３１は、略直方体形状の部材であり、－Ｘ側の側面４３１ｃから－Ｘ方向に延びる上側シャフト部４４１および下側シャフト部４４２を有する。また、本体４３１は、＋Ｘ側の側面４３１ｄから＋Ｘ方向に延びる上側シャフト部４５１および下側シャフト部４５２を有する。 The main body 431 of the second inspection component 421 is a member having a substantially rectangular parallelepiped shape, and has an upper shaft portion 441 and a lower shaft portion 442 extending in the −X direction from the side surface 431c on the −X side. Further, the main body 431 has an upper shaft portion 451 and a lower shaft portion 452 extending in the + X direction from the side surface 431d on the + X side.

図８Ａに示すように、第１検査部品３２１ａの上側シャフト部３４１および下側シャフト部３４２には、それぞれ、延長シャフトが継ぎ足され、上側回動レバー５３２ａおよび下側回動レバー５３３ａの他端に対して回動可能かつ軸方向移動可能に支持されている。 As shown in FIG. 8A, an extension shaft is added to the upper shaft portion 341 and the lower shaft portion 342 of the first inspection component 321a, respectively, to the other ends of the upper rotation lever 532a and the lower rotation lever 533a, respectively. On the other hand, it is supported so as to be rotatable and axially movable.

第１検査部品３２１ａの上側凹部３５１および下側凹部３５２には、それぞれ、第１検査部品３２１ｂの上側シャフト部３４１および下側シャフト部３４２が挿入される。第１検査部品３２１ｂの上側凹部３５１および下側凹部３５２には、それぞれ、第１検査部品３２１ｃの上側シャフト部３４１および下側シャフト部３４２が挿入される。 The upper shaft portion 341 and the lower shaft portion 342 of the first inspection component 321b are inserted into the upper recess 351 and the lower recess 352 of the first inspection component 321a, respectively. The upper shaft portion 341 and the lower shaft portion 342 of the first inspection component 321c are inserted into the upper recess 351 and the lower recess 352 of the first inspection component 321b, respectively.

第１検査部品３２１ｃの上側凹部３５１および下側凹部３５２には、それぞれ、第１検査部品３２１ｄの上側シャフト部３４１および下側シャフト部３４２が挿入される。第１検査部品３２１ｄの上側凹部３５１および下側凹部３５２には、それぞれ、第２検査部品４２１の上側シャフト部４４１および下側シャフト部４４２が挿入される。 The upper shaft portion 341 and the lower shaft portion 342 of the first inspection component 321d are inserted into the upper recess 351 and the lower recess 352 of the first inspection component 321c, respectively. The upper shaft portion 441 and the lower shaft portion 442 of the second inspection component 421 are inserted into the upper recess 351 and the lower recess 352 of the first inspection component 321d, respectively.

第２検査部品４２１の上側シャフト部４５１および下側シャフト部４５２は、それぞれ、上側回動レバー５３２ｂおよび下側回動レバー５３３ｂの他端に対して回動可能に支持されている。 The upper shaft portion 451 and the lower shaft portion 452 of the second inspection component 421 are rotatably supported by the other ends of the upper rotation lever 532b and the lower rotation lever 533b, respectively.

以上のように構成された検査装置３０１によれば、第２検査部品４２１が基準位置に位置決めされた状態で、第１検査部品３２１ａが＋Ｘ方向に押圧され、移動させられる。これに伴い、第１検査部品３２１および第２検査部品４２１がＸ方向に略均等な隙間を開けて整列する。 According to the inspection device 301 configured as described above, the first inspection component 321a is pressed and moved in the + X direction while the second inspection component 421 is positioned at the reference position. Along with this, the first inspection component 321 and the second inspection component 421 are aligned with a substantially even gap in the X direction.

そして、この状態で、第１検査部品３２１または第２検査部品４２１に対して下方向の押圧力が負荷されると、すべての第１検査部品３２１および第２検査部品４２１が同時に下方向へ移動する。 Then, in this state, when a downward pressing force is applied to the first inspection component 321 or the second inspection component 421, all the first inspection component 321 and the second inspection component 421 move downward at the same time. do.

これにより、すべての検査ピンを同時に、積層体に対して適切な向きで当接させることができる。 This allows all inspection pins to be brought into contact with the laminate in the proper orientation at the same time.

（第四実施形態）
図９Ａおよび図９Ｂを参照して、第四実施形態について説明する。第四実施形態は、第二実施形態と共通する構成を有している。共通する構成については説明を省略する。図９Ａおよび図９Ｂは、第四実施形態に係る検査装置６０１を模式的に示す断面図である。図９Ａは、位置調整が行われる前の状態を示しており、図９Ｂは、位置調整が行われた後の状態を示している。 (Fourth Embodiment)
A fourth embodiment will be described with reference to FIGS. 9A and 9B. The fourth embodiment has a configuration common to that of the second embodiment. The description of the common configuration will be omitted. 9A and 9B are cross-sectional views schematically showing the inspection device 601 according to the fourth embodiment. FIG. 9A shows a state before the position adjustment is performed, and FIG. 9B shows a state after the position adjustment is performed.

検査ユニット６２０は、複数の検査部品６２１と、シャフト６２２とを備えて構成される。検査部品６２１は、本体６３１と、ブシュ６３２と、複数の検査ピン６３３とを備えて構成される。 The inspection unit 620 includes a plurality of inspection parts 621 and a shaft 622. The inspection component 621 includes a main body 631, a bush 632, and a plurality of inspection pins 633.

検査部品６２１の本体６３１は、略直方体形状の部材であり、－Ｘ側の側面６３１ｃから－Ｘ方向に延びるシャフト部６４１を有する。また、本体６３１の＋Ｘ側の側面６３１ｄには、－Ｘ方向に凹む凹部６５１が設けられている。凹部６５１には、ブシュ６３２が配置されている。 The main body 631 of the inspection component 621 is a member having a substantially rectangular parallelepiped shape, and has a shaft portion 641 extending in the −X direction from the side surface 631c on the −X side. Further, the side surface 631d on the + X side of the main body 631 is provided with a recess 651 that is recessed in the −X direction. A bush 632 is arranged in the recess 651.

検査部品６２１ａのシャフト部６４１には、シャフト６２２が継ぎ足され、回動レバー７３２ａの他端に対して軸方向移動可能に支持されている。回動レバー７３２ａは、シャフト６２２に対してシャフト６２２の軸回りに相対回転しない。 A shaft 622 is added to the shaft portion 641 of the inspection component 621a, and is supported so as to be movable in the axial direction with respect to the other end of the rotary lever 732a. The rotation lever 732a does not rotate relative to the shaft 622 about the axis of the shaft 622.

検査部品６２１ａ、６２１ｂ、６２１ｃおよび６２１ｄの凹部６５１には、それぞれ、検査部品６２１ｂ、６２１ｃ、６２１ｄおよび６２１ｅのシャフト部６４１が挿入される。検査部品６２１ａ、６２１ｂ、６２１ｃ、６２１ｄおよび６２１ｅは、シャフト部６４１回りに相対回転しない。 The shaft portions 641 of the inspection parts 621b, 621c, 621d and 621e are inserted into the recesses 651 of the inspection parts 621a, 621b, 621c and 621d, respectively. The inspection parts 621a, 621b, 621c, 621d and 621e do not rotate relative to each other around the shaft portion 641.

検査部品６２１ｅの凹部６５１には、シャフト６２２が挿入され、回動レバー７３２ｂの他端に対して軸方向移動可能に支持されている。回動レバー７３２ｂは、シャフト６２２に対してシャフト６２２の軸回りに相対回転しない。 A shaft 622 is inserted into the recess 651 of the inspection component 621e and is supported so as to be movable in the axial direction with respect to the other end of the rotary lever 732b. The rotation lever 732b does not rotate relative to the shaft 622 about the axis of the shaft 622.

以上のように構成された検査装置６０１によれば、検査部品６２１ｅが基準位置に位置決めされた状態で、検査部品６２１ａが＋Ｘ方向に押圧され、移動させられる。これに伴い、検査部品６２１がお互いに略均等な隙間を開けて整列する。 According to the inspection device 601 configured as described above, the inspection component 621a is pressed and moved in the + X direction while the inspection component 621e is positioned at the reference position. Along with this, the inspection parts 621 are aligned with each other with a substantially even gap.

そして、この状態で、検査部品６２１に対して下方向の押圧力が負荷されると、すべての検査部品６２１が、お互いの位置関係を保ったまま、同時に下方向へ移動する。これにより、すべての検査ピンを同時に、積層体に対して適切な向きで当接させることができる。また、検査部品として、共通部品を用いることで、部品点数の削減が可能となる。 Then, when a downward pressing force is applied to the inspection component 621 in this state, all the inspection components 621 move downward at the same time while maintaining the positional relationship with each other. This allows all inspection pins to be brought into contact with the laminate in the proper orientation at the same time. Further, by using common parts as inspection parts, it is possible to reduce the number of parts.

なお、上述の第一実施形態、第二実施形態、第三実施形態および第四実施形態は、必要に応じて適宜組み合わせることができる。 The above-mentioned first embodiment, second embodiment, third embodiment and fourth embodiment can be appropriately combined as needed.

本開示に係る検査ユニットおよび検査装置によれば、検査対象に対して、検査部品を短時間で適切な位置に配置することができ、産業上の利用可能性は多大である。 According to the inspection unit and the inspection apparatus according to the present disclosure, the inspection parts can be arranged at appropriate positions in a short time with respect to the inspection target, and the industrial applicability is great.

１検査装置
２積層体
２ａ導電体
３ケース
１０ベース部
１１開口
２０検査ユニット
２１、２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ、２１ｅ検査部品
２１１本体
２１１ａ上面
２１１ｂ下面
２１１ｃ、２１１ｄ側面
２１１ｅ前面
２１１ｆ後面
２１２ブシュ
２１４検査ピン（検査体）
２１４ａ中間部
２２上側シャフト
２３下側シャフト
２４弾性体（付勢部材）
３１、３１Ａ、３１Ｂ支持ベース部
３２、３２Ａ、３２Ｂ上側回動レバー
３３、３３Ａ、３３Ｂ下側回動レバー
３４、３４Ａ、３４Ｂ上側回動軸
３５、３５Ａ、３５Ｂ下側回動軸
３６ねじりばね
４１、４２、４３貫通孔
４４穴
５１検査部品
５１１本体
６１、６２貫通孔
７１大径内周面
７２小径内周面
７３端面
１０１検査装置
１２０検査ユニット
１２１検査部品
１２２シャフト
１３２回動レバー
１３４回動軸
３０１検査装置
３２０検査ユニット
３２１、３２１ａ、３２１ｂ、３２１ｃ、３２１ｄ第１検査部品
３３１本体
３３１ｃ、３３１ｄ側面
３３２ブシュ
３３３検査ピン
３４１上側シャフト部
３４２下側シャフト部
３５１上側凹部
３５２下側凹部
４２１第２検査部品
４３１本体
４３１ｃ、４３１ｄ側面
４４１、４５１上側シャフト部
４４２、４５２下側シャフト部
４３３検査ピン
５３２ａ、５３２ｂ上側回動レバー
５３３ａ、５３３ｂ下側回動レバー
６０１検査装置
６２０検査ユニット
６２１、６２１ａ、６２１ｂ、６２１ｃ、６２１ｄ、６２１ｅ検査部品
６２２シャフト
６３１本体
６３１ｃ、６３１ｄ側面
６３２ブシュ
６３３検査ピン
６４１シャフト部
６５１凹部
７３２ａ、７３２ｂ回動レバー 1 Inspection device 2 Laminated body 2a Conductor 3 Case 10 Base part 11 Opening 20 Inspection unit 21, 21a, 21b, 21c, 21d, 21e Inspection parts 211 Main body 211a Top surface 211b Bottom surface 211c, 211d Side surface 211e Front surface 211f Rear surface 212 Bush 214 Inspection Pin (inspection body)
214a Intermediate part 22 Upper shaft 23 Lower shaft 24 Elastic body (urgency member)
31, 31A, 31B Support base 32, 32A, 32B Upper rotation lever 33, 33A, 33B Lower rotation lever 34, 34A, 34B Upper rotation shaft 35, 35A, 35B Lower rotation shaft 36 Torsion spring 41 , 42, 43 Through hole 44 hole 51 Inspection part 511 Main body 61, 62 Through hole 71 Large diameter inner peripheral surface 72 Small diameter inner peripheral surface 73 End surface 101 Inspection device 120 Inspection unit 121 Inspection part 122 Shaft 132 Rotating lever 134 Rotating shaft 301 Inspection device 320 Inspection unit 321, 321a, 321b, 321c, 321d 1st inspection part 331 Main body 331c, 331d Side 332 Bush 333 Inspection pin 341 Upper shaft part 342 Lower shaft part 351 Upper concave 352 Lower concave 421 2nd inspection Parts 431 Main body 431c, 431d Side surface 441, 451 Upper shaft part 442, 452 Lower shaft part 433 Inspection pin 532a, 532b Upper rotation lever 533a, 533b Lower rotation lever 601 Inspection device 620 Inspection unit 621, 621a, 621b, 621c, 621d, 621e Inspection parts 622 Shaft 631 Main body 631c, 631d Side surface 632 Bush 633 Inspection pin 641 Shaft part 651 Recessed 732a, 732b Rotating lever

Claims

Multiple inspection parts that are arranged side by side in a predetermined direction and have an inspection body,
An urging member arranged between the inspection parts and urging the inspection parts in a direction to separate them from each other.
A rotation mechanism for simultaneously moving a plurality of the inspection parts in a direction different from the predetermined direction is provided.
Inspection unit.

The inspection component has a hole extending in the predetermined direction into which the shaft is inserted.
The urging member is provided in a radial gap between the shaft and the hole.
The inspection unit according to claim 1.

A bearing member that supports the shaft is provided in the hole.
The urging member is in contact with the axial end face of the bearing member.
The inspection unit according to claim 2.

The hole has a small-diameter inner peripheral surface that pivotally supports the shaft, a large-diameter inner peripheral surface, and an end surface that connects the small-diameter inner peripheral surface and the large-diameter inner peripheral surface.
The urging member is in contact with the end face.
The inspection unit according to claim 2.

The inspection component has a plurality of inspection bodies provided side by side at equal intervals in the predetermined direction.
The inspection unit according to any one of claims 1 to 4.

The inspection body has flexibility.
The inspection unit according to claim 1.

With parallel first and second axes penetrating the inspection component,
The rotation mechanism moves a plurality of the inspection parts while keeping the relative position of the second axis relative to the first axis constant.
The inspection unit according to any one of claims 1 to 6.

It is an inspection device that inspects the continuity state of a laminated body in which a conductor and an insulator are laminated.
The inspection unit according to any one of claims 1 to 7.
A base member mounted on a case in which the inspection unit is provided and the laminated body is housed, and
A second urging member that urges the inspection component in a direction away from the laminate.
Inspection equipment.