JP6059950B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
BEM 梁部材
CIR 内部回路
CNT 演算部
ES 素子分離膜
IND インダクタ
INPL 不純物層
INT1 配線
INT2 配線
MIC 多層配線層
RIG 環状部材
SC2 装置
SC3 装置
SD 半導体装置
SIE1 第1シールド部材
SIE2 第2シールド部材
SIE3 上部シールド部材
SIE4 下部シールド部材
SUB 基板
SVA スリットビア
TR トランジスタ
VA ビア
WIR 内部配線
Claims (7)
- 基板と、
前記基板上に形成された複数の配線層を有する多層配線層と、
前記基板に形成されたトランジスタを有する内部回路と、
前記多層配線層の前記複数の配線層の少なくとも一つの配線層と同一層に設けられており、平面視で前記内部回路を囲んでおり、かつ両端が電気的に前記内部回路に接続されているインダクタと、
断面視で前記多層配線層の前記複数の配線層にわたって設けられており、平面視で前記インダクタと前記内部回路の間に位置しており、前記内部回路を囲んでいる第1シールド部材と、
断面視で前記多層配線層の前記複数の配線層にわたって設けられており、平面視で前記インダクタを多重に囲んでいる第2シールド部材と、
を備え、
前記インダクタは、前記第1シールド部材と前記第2シールド部材との間に配置され、
前記第2シールド部材は、前記インダクタの全周を囲むように、かつ連続的に延在するように形成されたスリットビアを有し、さらに前記第2シールド部材は前記基板と接続されており、
前記第1シールド部材は、前記基板と接続されていない、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記半導体装置は、電力線を流れる電流量を測定する電力計の少なくとも一部であり、
前記内部回路は、前記インダクタに発生した電圧を増幅する増幅部を有する、半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記内部回路は、前記増幅部の出力の積算値を算出する演算部を有する、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記多層配線層に設けられており、前記インダクタの上方を覆って前記第1シールド部材と前記第2シールド部材とを接続する第3シールド部材と、
前記多層配線層に設けられており、前記インダクタの下方を覆って前記第1シールド部材と前記第2シールド部材とを接続する第4シールド部材と、を備える、半導体装置。 - 請求項4に記載の半導体装置において、
前記基板は、素子分離領域を有し、
前記第2シールド部材は、前記基板の前記素子分離領域に接続されている、半導体装置。 - 請求項4に記載の半導体装置において、
前記基板は、不純物層を有し、
前記第2シールド部材は、前記基板の不純物層に接続されている、半導体装置。 - 請求項5または請求項6に記載の半導体装置において、
前記第1シールド部材は、平面視で前記内部回路の全周を囲むように、かつ連続的に延在するように形成されたスリットビアを有している、半導体装置。
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