JP6045368B2 - 流体機器ユニット - Google Patents

Description

本発明は、流体機器ユニットに関する。

従来、流体機器ユニットの底部に設けられたベース部に貫通孔を設け、貫通孔の上部から締結ボルトを挿入し、流体機器ユニットを設置面に固定する方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。ベース部に貫通孔を設けた流体機器ユニットは、流体機器ユニットを上方から平面視した場合に、貫通孔が設けられたベース部分が流体機器ユニットの本体部から突出した形状となる。
また、流体機器ユニットの底面に締結孔を設け、貫通孔が設けられた設置面の下部から締結ボルトを挿入して締結孔に締結する方法が知られている。

特開２００４−９４４００号公報

しかしながら、ベース部の貫通孔の上部から締結ボルトを挿入する方法では、貫通孔が設けられたベース部分が流体機器ユニットの本体部から突出し、流体機器ユニットの設置面積（フットプリント）が大きくなってしまう。
また、設置面の下部から締結ボルトを挿入する方法では、設置面の下部にて作業を行う必要があるため、流体機器ユニットの設置面に対する着脱を容易に行うことができない。

本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、設置面積（フットプリント）が小さく、設置面に対する着脱が容易な流体機器ユニットを提供することを目的とする。

本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明に係る流体機器ユニットは、流入口から流入した流体を流出口から流出させる流路を有するとともに中心軸方向に延在する本体部と、設置面に固定されるベース部と、前記本体部の一端側に設けられ、前記本体部を前記ベース部に対して着脱可能に連結する連結部とを備え、前記ベース部および前記連結部のいずれか一方は、前記中心軸に直交する径方向の断面が略円形状で直径が第１長さである第１連結部材を有し、前記ベース部および前記連結部のいずれか他方は、前記径方向の断面が略円形状の内周面により前記第１連結部材の外周面を取り囲むように保持する第１保持部材を有し、前記第１保持部材の内周面の一部が前記径方向に開口しており、弾性変形可能な前記第１保持部材の開口部の開口幅が前記第１長さよりも狭いことを特徴とする。

本発明に係る流体機器ユニットにおいては、設置面に固定されるベース部の第１保持部材の内周面の一部が径方向に開口している。また、弾性変形可能な第１保持部材の開口部の開口幅が、本体部をベース部に対して着脱可能に連結する連結部の第１連結部材の直径である第１長さよりも狭い。したがって、連結部の第１連結部材をベース部の第１保持部材の開口部に進入する方向に押し付けると、第１保持部材が弾性変形して開口幅が徐々に広がり、第１連結部材が開口部に進入する。第１連結部材で最も幅広の第１長さとなる部分が開口部を通過した後は、弾性変形した開口部の開口幅が徐々に狭まる。そして、第１連結部材の外周面が第１保持部材の内周面により取り囲まれて保持された状態となる。

この状態においては、第１連結部材の外周面が第１保持部材の内周面により取り囲まれて保持されている。したがって、本体部が、本体部の中心軸に直交する径方向に移動しないように保持された状態となる。
このようにすることで、連結部の第１連結部材をベース部の第１保持部材の開口部に進入する方向に押し付けるという容易な操作をするだけで、流体機器ユニットが設置面に装着される。同様に、連結部の第１連結部材をベース部の第１保持部材の開口部から退出する方向に押し付けるという容易な操作をするだけで、流体機器ユニットが設置面から取り外される。したがって、設置面積（フットプリント）が小さく、設置面に対する着脱が容易な流体機器ユニットを提供することができる。

本発明に係る流体機器ユニットにおいて、前記連結部は、前記本体部に近い側から順に、前記第１連結部材と、前記径方向の断面が略円形状で直径が前記第１長さより長い第２長さである第２連結部材とを有し、前記ベース部は、前記本体部に近い側から順に、前記第１保持部材と、前記径方向の断面が略円形状の内周面により前記第２連結部材の外周面を取り囲むように保持する第２保持部材とを有し、前記第２保持部材の内周面の一部が前記径方向に開口しており、前記第２保持部材の開口部の開口幅が前記第１保持部材の開口部の開口幅よりも広い。

上記の流体機器ユニットにおいては、第１連結部材の外周面が第１保持部材の内周面により取り囲まれて保持された状態となると、第２連結部材の外周面は第２保持部材の内周面により取り囲まれて保持された状態となる。
この状態においては、第２連結部材の外周面が第２保持部材の内周面により取り囲まれて保持されており、第２連結部材の直径（第２長さ）は第１連結部材を取り囲む第１保持部材の直径（第１長さ）よりも長い。したがって、第２連結部材の本体部側の面が第１保持部材の設置面側の面によって規制され、本体部が中心軸に沿った方向に移動しないように保持された状態となる。

このようにすることで、連結部の第１連結部材をベース部の第１保持部材の開口部に進入する方向に押し付けるという容易な操作をするだけで、流体機器ユニットが設置面に装着される。同様に、連結部の第１連結部材をベース部の第１保持部材の開口部から退出する方向に押し付けるという容易な操作をするだけで、流体機器ユニットが設置面から取り外される。したがって、設置面積（フットプリント）が小さく、設置面に対する着脱が容易な流体機器ユニットを提供することができる。

上記発明においては、前記ベース部は、前記設置面の締結孔に締結される締結具が挿入される貫通孔を有し、前記本体部が前記ベース部に連結された状態で、前記貫通孔の中心軸と前記本体部の中心軸とが一致する態様であってもよい。
このようにすることで、ベース部に本体部が連結された状態において、ベース部を設置面に設置するための締結具が挿入される貫通孔の設置面上の位置と本体部の設置面上の位置とが一致する。したがって、従来のように貫通孔と本体部の設置面上の位置を異ならせる場合に比べ、流体機器ユニットの設置面積（フットプリント）を減少させることができる。

上記態様においては、前記ベース部は、前記設置面に固定され、前記第１保持部材および前記第２保持部材を支持する前記径方向の断面が略円形状の支持部材を有し、前記支持部材の前記第２連結部材と対向する面には、前記第１保持部材の開口部の開口方向に沿って延在する凸部が設けられており、前記第２連結部材の前記支持部材と対向する面には、前記凸部と係合する溝部が設けられている構成であってもよい。

この構成においては、支持部材に設けられた凸部に第２連結部材に設けられた溝部が係合した状態で、第１連結部材が第１保持部材の開口部に進入する。凸部が第１保持部材の開口部の開口方向に沿って延在しているので、ベース部に対する本体部の配置（本体部の中心軸周りの角度）が予め定められた状態となる。

このようにすることで、作業者が煩雑な調整をすることなく、設置面に固定されるベース部に対して、本体部の配置（本体部の中心軸周りの角度）を予め定められた状態とすることができる。

上記構成においては、前記流入口と前記流出口とが前記径方向に沿った同一直線上に配置され、該同一直線に沿った方向と前記溝部が延在する方向とが一致するようにしてもよい。
複数の配管のそれぞれに流体機器ユニットが接続される場合、設置面積を減少させるために各配管を隣接して配置することが多い。この場合において、いずれかの配管に接続される流体機器ユニットの着脱は、隣接する配管やその配管に接続される他の流体機器ユニットとの接触を避けるように行う必要がある。
前述した構成とすることで、隣接する配管やその配管に接続される流体機器ユニットとの接触を避け、流体機器ユニットが接続される配管の延在する方向に沿って本体部をベース部に対して着脱することができる。

前述した態様においては、前記ベース部が、前記設置面の係合孔に係合する突起部を有するようにしてもよい。
このようにすることで、ベース部が設置面の締結孔および係合孔の双方に固定され、ベース部が設置面に対して回転しないように確実に固定することができる。

上記発明において、前記連結部は、該第１連結部材が前記第１保持部材により保持された状態で、前記本体部が前記ベース部に対して前記中心軸周りに回転しないように規制する規制部材を有するようにしてもよい。
このようにすることで、本体部がベース部に対して中心軸周りに回転しないようにすることができる。

上記態様において、前記第２連結部材の底面には締結具が締結可能な締結孔が設けられているようにしてもよい。
このようにすることで、設置面にベース部が固定されていない場合であっても、設置面に設けられる貫通孔から締結具の先端を突出させて第２連結部材の締結孔に締結し、本体部を設置面に固定することができる。

上記発明において、前記本体部は、前記流路の開閉状態を切り替える開閉機構を有するものであってもよい。

本発明によれば、設置面積（フットプリント）が小さく、設置面に対する着脱が容易な流体機器ユニットを提供することができる。

本発明の第１実施形態の流体機器ユニットを示す図であり、（ａ）が正面図であり、（ｂ）が右側面図であり、（ｃ）が背面図である。 図１（ａ）に示される流体機器ユニットのＡ−Ａ矢視部分断面図である。 ベース部を取り外した状態の流体機器ユニットを示す図であり、（ａ）が正面図であり、（ｂ）が右側面図であり、（ｃ）が背面図である。 ベース部を取り外した状態の流体機器ユニットを示す底面図である。 ベース部を示す図であり、（ａ）が本体部の中心軸方向に見た正面図であり、（ｂ）が右側面図である。 ベース部に対する連結部の着脱状態を示す図であり、（ａ）が装着前の状態を示す図であり、（ｂ）が装着中の状態を示す図であり、（ｃ）が装着後の状態を示す図である。 ベース部に対する連結部の着脱状態を示す図であり、（ａ）が装着前の状態を示す図であり、（ｂ）が装着中の状態を示す図であり、（ｃ）が装着後の状態を示す図である。 図７（ｃ）に示される状態における流体機器ユニットの上面図である。

＜第１実施形態＞
以下、本発明の第１実施形態の流体機器ユニットを図面に基づいて説明する。図１は、本発明の第１実施形態の流体機器ユニットを示す図であり（ａ）が正面図であり、（ｂ）が右側面図であり、（ｃ）が背面図である。

図１に示される流体機器ユニット１は、半導体製造装置が用いる薬液等の流体の配管流路に設置される機器である。流体機器ユニット１は、本体部２と、連結部３と、ベース部４と、流入口５と、流出口６と、空気流入ポート７とを備える。

本体部２は、流入口５から流入した流体を流出口６から流出させる流路（後述する流入流路１２，流出流路１３）を有する。本体部２の形状は、中心軸Ｃ方向に沿って延在する略円筒形状となっている。
ベース部４は、流体機器ユニット１が設置される筐体１００の設置面Ｓに固定される略円筒形状の部材である。筐体１００には内周面に雌ネジを備える締結孔が設けられている。ベース部４の貫通孔に挿入された締結ボルト１０１（締結具）を締結孔に締結することにより、ベース部４が設置面Ｓに固定される。

連結部３は、本体部２の一端側（中心軸Ｃ方向の設置面Ｓに近い側）に設けられ、本体部２をベース部４に対して着脱可能に連結する部材である。連結部３とベース部４の詳細については後述する。本実施形態において、連結部３は、流入口５および流出口６とともに、本体部２と一体的に成形されている。

空気流入ポート７は、本体部２の内部に設けられる流路の開閉機構を動作させる空気圧を生じさせる空気の流入口である。空気供給源（不図示）と接続される空気流路（不図示）を介して、空気流入ポート７に空気が供給される。

次に、図２を用いて流体機器ユニット１の本体部２の内部構造について説明する。図２は、図１（ａ）に示される流体機器ユニットのＡ−Ａ矢視部分断面図である。第１実施形態の流体機器ユニット１は、供給される空気圧が低い場合に閉状態となるノーマルクローズ型の空気圧操作弁である。

図２に示される本体部２は、弁体９を上下方向に移動させて弁座１０に当接または離間させる開閉機構８を備える樹脂製の部材である。弁体９にはダイヤフラム１１が連結されており、ダイヤフラム１１によって流体の流路と他の部分とが隔離されている。開閉機構８が弁体９を弁座１０に当接させた状態では、流入口５から流れ込んだ流体が流入流路１２から流出流路１３に流通しない閉状態となる。一方、開閉機構８が弁体９を弁座１０から離間させた状態では、流入口５から流れ込んだ流体が流入流路１２を経て流出流路１３に流通する開状態となる。開状態において、流出流路１３に流れ込む流体は流出口６を介して配管流路（不図示）に流出する。

弁体９はピストン１４に連結されており、中心軸Ｃ方向にピストン１４と一体となって上下動する。弁本体１６は、内部に流入流路１２および流出流路１３が形成された樹脂製の部材であり、ピストン１４を収納するための円筒部分を備えている。弁本体１６の円筒部分の内面にはピストン支持体１５が固定されている。ピストン支持体１５は、ピストン１４を中心軸Ｃ方向に移動可能とする部材である。ピストン支持体１５の内周面の形状は、ピストン１４の外周面の形状と略同じ形状となっている。

ピストン１４には、コイルばね１７により、中心軸Ｃに沿ってコイルばね１７を設置面Ｓ側に押し付ける方向の付勢力が与えられている。この付勢力により、空気流入ポート７に供給される空気により生成される空気圧が低い場合には、弁体９が弁座１０に当接した閉状態となる。空気流入ポート７から流入した空気は、ピストン１４とピストン支持体１５と弁本体１６とにより画定される加圧室１８に供給される。加圧室１８に供給される空気が生成する空気圧は、空気供給源（不図示）により調整される。

加圧室１８の空気圧はピストン１４に作用し、ピストン１４を中心軸Ｃに沿って設置面Ｓから遠ざける方向の付勢力をピストン１４に与える。加圧室１８の空気圧が高まり、ピストン１４を中心軸Ｃに沿って設置面Ｓから遠ざける方向の付勢力が、コイルバネ１７により与えられる付勢力を上回ると、ピストン１４が中心軸Ｃに沿って設置面Ｓから遠ざかる方向に移動する。この移動により、弁体９が弁座１０から離間した状態となり、流入口５から流れ込んだ流体が流入流路１２を経て流出流路１３に流通する開状態となる。

次に、ベース部４について説明する。
ベース部４は、設置面Ｓの締結孔１０２に締結される締結ボルト１０１が挿入される貫通孔４ａを有する。締結孔１０２の内面に設けられた雌ネジが、締結ボルト１０１に設けられた雄ネジと噛み合うことにより、締結ボルト１０１と締結孔１０２とが締結される。

また、ベース部４は、設置面Ｓの係合孔１０３に係合する回転防止ピン４ｂ（突起部）を有する。締結ボルト１０１によって設置面Ｓに固定されたベース部４は、更に回転防止ピン４ｂと係合孔１０３を係合させることにより設置面Ｓに対して回転しないように確実に固定される。本体部２とベース部４とは、本体部２の一端側（中心軸Ｃ方向の設置面Ｓに近い側）に設けられた連結部３により連結されている。

次に、図３および図４を用いて、連結部３について詳細に説明する。
図３は、ベース部４を取り外した状態の流体機器ユニット１を示す図であり、（ａ）が正面図であり、（ｂ）が右側面図であり、（ｃ）が背面図である。

図３が示すように、連結部３は、本体部２に近い側から順に、第１連結部材３ａと第２連結部材３ｂとを有する。第１連結部材３ａおよび第２連結部材３ｂは、後述する図６に示されるように、中心軸Ｃに直交する径方向の断面が略円形状の部材である。

図３（ａ），図３（ｃ）が示すように、第２連結部材３ｂの設置面Ｓ側（後述する支持部材４ｅと対向する面）には、後述するベース部４の凸部４ｆと係合する溝部３ｃが設けられている。溝部３ｃは、流入口５と流出口６を結ぶ直線方向に延在している。したがって、流入口５と流出口６を結ぶ直線に沿った方向と、溝部３ｃが延在する方向とが一致している。

図４は、ベース部４を取り外した状態の流体機器ユニット１を示す底面図である。図４が示すように、溝部３ｃは、流入口５と流出口６を結ぶ直線方向に延在している。図４に示されるように、第１連結部材３ａの直径は第１長さＤ１であり、第２連結部材３ｂの直径は第１長さＤ１より長い第２長さＤ２である。

また、図４が示すように、第２連結部材３ｂの底面（設置面Ｓ側の面）には、締結ボルトが締結可能な締結孔１９が設けられている。この締結孔１９は、ベース部４を用いずに連結部３を設置面Ｓに固定するために用いられる。設置面Ｓに設けられた貫通孔（不図示）に、先端が設置面Ｓから突出するように締結ボルトを挿入し、締結ボルトの先端を締結孔１９に締結することにより、連結部３が設置面Ｓに固定される。

次に、図５を用いて、ベース部４について詳細に説明する。
図５は、ベース部４を示す図であり、（ａ）が本体部２の中心軸Ｃ方向に見た正面図であり、（ｂ）が右側面図である。

図５が示すように、ベース部４は、本体部２に近い側（設置面Ｓに遠い側）から順に、第１保持部材４ｃと第２保持部材４ｄと支持部材４ｅとを有する。第１保持部材４ｃ、第２保持部材４ｄ、および支持部材４ｅは、中心軸Ｃに直交する径方向の断面が略円形状の内周面を有する部材である。

支持部材４ｅの上面（第２連結部材３ｂと対向する面）には、第１保持部材４ｃの開口部４ｇの開口方向（図５（ａ）における右方）に沿って延在する凸部４ｆが設けられている。
ベース部４は、設置面Ｓの締結孔１０２に締結される締結ボルト１０１が挿入される貫通孔を有している。図２に示されるように、本体部２がベース部４に連結された状態で、貫通孔４ａの中心軸と本体部２の中心軸Ｃとは一致している。

図５が示すように、第１保持部材４ｃの内周面の一部（図５（ａ）における右方）は、中心軸Ｃに直交する径方向に開口している。第１保持部材４ｃは樹脂等の弾性変形可能な材料により構成されている。第１保持部材４ｃの内周面の直径は第１長さＤ１であり、開口部４ｇの開口幅Ｗ１は第１長さＤ１よりも狭い。
また、図５に示すように、第２保持部材４ｄの内周面の一部（図５（ａ）における右方）は、中心軸Ｃに直交する径方向に開口している。第２保持部材４ｄの開口部の幅はＷ２であり、開口幅Ｗ２は開口幅Ｗ１よりも広い。なお、本実施形態においては、開口幅Ｗ２と第２長さＤ２とが略一致している。

本実施形態において、第１保持部材４ｃの開口幅Ｗ１が第１長さＤ１よりも１０％狭いものとする。つまり、Ｗ１／Ｄ１＝０．９であるものとする。なお、Ｗ１／Ｄ１の値は、０．９に限らず、第１保持部材４ｃの形状や材料として用いられる樹脂の弾性等に応じて種々の値を採用することが可能である。

次に、図６を用いてベース部４に対する連結部３の着脱について説明する。
図６は、ベース部４に対する連結部３の着脱状態を示す図であり、（ａ）が装着されていない状態を示す図であり、（ｂ）が装着中の状態を示す図であり、（ｃ）が装着された状態を示す図である。図６におけるベース部４は、本体部２の中心軸Ｃ方向に見た正面図である。また、図６における連結部３は、図３（ｂ）のＢ−Ｂ矢視断面図である。

図６（ａ）に示されるように、第１連結部材３ａは、中心軸Ｃに直交する径方向の断面が略円形状で直径が第１長さＤ１である。また、第２連結部材３ｂは、中心軸Ｃに直交する径方向の断面が略円形状で直径が第２長さＤ２である。
また、図６（ｃ）に示されるように、第１保持部材４ｃは、中心軸Ｃに直交する径方向の断面が略円形状の内周面により第１連結部材３ａの外周面を取り囲むように保持するものである。また、第２保持部材４ｄは、中心軸Ｃに直交する径方向の断面が略円形状の内周面により第２連結部材３ｂの外周面を取り囲むように保持するものである。
ここで、略円形状とは、規制部材３ｄの部分を除いた他の部分の形状が円形状であることをいう。

本体部２を筐体１００の設置面Ｓに固定されたベース部４に装着する場合、作業者は以下の動作を行う。
まず、作業者は、本体部２を掴んだ状態で、第１連結部材３ａおよび第２連結部材３ｂが存在する方向を第１保持部材４ｃの開口部４ｇに向ける。この際、作業者は、連結部３を視認することは容易ではないが、ベース部４の表示（「ＩＮ」および「ＯＵＴ」との刻印）を確認することにより、本体部２の方向を容易に定めることができる。つまり、流入口５を図６（ａ）の左方に向け、流出口６を図６（ａ）の右方に向けるようにすることで、本体部２の方向を容易に定めることができる。

作業者は、第２連結部材３ｂの下面を支持部材４ｅの上面に設けられた凸部４ｆに当接させると、第２連結部材３ｂの下面に設けられた溝部３ｃが凸部４ｆに係合する。作業者は、溝部３ｃを凸部４ｆに係合させた状態で、本体部２を開口部４ｇに向けて進入させ、第１連結部材３ａの外周面を第１保持部材４ｃに当接させる。

作業者が、第１連結部材３ａの外周面を第１保持部材４ｃに当接させた状態で、本体部２を開口部４ｇ向けて押し付けると、第１保持部材４ｃが弾性変形して開口幅Ｗ１が徐々に広がって図６（ｂ）の状態となる。作業者が図６（ｂ）の状態から更に本体部２を開口部４ｇに向けて押し付けると、第１連結部材３ａで最も幅広（第１長さＤ１）となる部分が開口部４ｇを通過する。

第１連結部材３ａの第１長さＤ１の部分が開口部４ｇを通過した後は、弾性変形した開口部４ｇの開口幅Ｗ１が徐々に狭まる。そして、第１連結部材３ａの外周面が第１保持部材４ｃの内周面により取り囲まれて保持された図６（ｃ）の状態となる。図６（ｃ）の状態においては、第１連結部材３ａの外周面が第１保持部材４ｃの内周面により取り囲まれて保持されている。したがって、本体部２が、本体部２の中心軸Ｃに直交する径方向に移動しないように保持された状態となる。

また、図６（ｃ）の状態では、第２連結部材３ｂの外周面は第２保持部材４ｄの内周面により取り囲まれて保持された状態となる。図６（ｃ）の状態においては、第２連結部材３ｂの外周面が第２保持部材４ｄの内周面により取り囲まれて保持されており、第２連結部材３ｂの直径（第２長さＤ２）は第１連結部材３ａを取り囲む第１保持部材４ｃの内周面の直径（第１長さＤ１）よりも長い。したがって、第２連結部材３ｂの本体部２側の面が第１保持部材４ｃの設置面Ｓ側の面によって規制され、本体部２が中心軸Ｃに沿った方向に移動しないように保持された状態となる。

図６（ｃ）の状態では、連結部３の規制部材３ｄの両端が第１保持部材４ｃの開口端にそれぞれ当接した状態となっている。つまり、規制部材３ｄによって、規制部材３ｄと一体に成型されている本体部２がベース部４に対して中心軸Ｃ周りに回転しないように規制される。

以上の説明は、作業者が、本体部２を筐体１００の設置面Ｓに固定されたベース部４に装着する動作について説明した。作業者が、本体部２を筐体１００の設置面Ｓに固定されたベース部４から取り外す動作については、前述した説明と逆の動作を行えばよい。すなわち、作業者は、本体部２を掴んだ状態で本体部２を図６における右方に移動させる動作を行えばよい。

図７は、ベース部４に対する連結部３の着脱状態を示す図であり、流体機器ユニット１を側面から見た図である。
図７において、（ａ）が装着されていない状態を示す図であり、（ｂ）が装着中の状態を示す図であり、（ｃ）が装着された状態を示す図である。また、図８は、図７（ｃ）に示されるベース部４に連結部３が装着された状態における流体機器ユニット１の上面図である。

図８に示されるように、複数の配管のそれぞれに流体機器ユニットが接続される場合、設置面積を減少させるために各配管が隣接して配置される。この場合において、いずれかの配管に接続される流体機器ユニット１の着脱は、隣接する配管やその配管に接続される他の流体機器ユニットとの接触を避けるように行う必要がある。
本実施形態によれば、流体機器ユニット１を配管に沿った方向に移動させて装着することができる。したがって、隣接する配管やその配管に接続される他の流体機器ユニットとの接触を避け、流体機器ユニットが接続される配管の延在する方向に沿って本体部２をベース部４に対して着脱することができる。

以上説明したように、本実施形態の流体機器ユニット１においては、設置面Ｓに固定されるベース部４の第１保持部材４ｃの内周面の一部が径方向に開口している。また、弾性変形可能な第１保持部材４ｃの開口部４ｇの開口幅Ｗ１が、本体部２をベース部４に対して着脱可能に連結する連結部３の第１連結部材３ａの直径である第１長さＤ１よりも狭い。

したがって、連結部３の第１連結部材３ａをベース部４の第１保持部材４ｃの開口部４ｇに進入する方向に押し付けると、第１保持部材４ｃが弾性変形して開口幅Ｗ１が徐々に広がり、第１連結部材３ａが開口部４ｇに進入する。第１連結部材３ａで最も幅広の第１長さＤ１となる部分が開口部４ｇを通過した後は、弾性変形した開口部４ｇの開口幅Ｗ１が徐々に狭まる。そして、第１連結部材３ａの外周面が第１保持部材４ｃの内周面により取り囲まれて保持された状態となる。
この状態においては、第１連結部材３ａの外周面が第１保持部材４ｃの内周面により取り囲まれて保持されている。したがって、本体部２が、本体部２の中心軸Ｃに直交する径方向に移動しないように保持された状態となる。

このようにすることで、連結部３の第１連結部材３ａをベース部４の第１保持部材４ｃの開口部４ｇに進入する方向に押し付けるという容易な操作をするだけで、流体機器ユニット１が設置面Ｓに装着される。同様に、連結部３の第１連結部材３ａをベース部４の第１保持部材４ｃの開口部４ｇから退出する方向に押し付けるという容易な操作をするだけで、流体機器ユニット１が設置面Ｓから取り外される。したがって、設置面積（フットプリント）が小さく、設置面Ｓに対する着脱が容易な流体機器ユニット１を提供することができる。

本実施形態の流体機器ユニット１においては、第１連結部材３ａの外周面が第１保持部材４ｃの内周面により取り囲まれて保持された状態となると、第２連結部材３ｂの外周面は第２保持部材４ｄの内周面により取り囲まれて保持された状態となる。
この状態においては、第２連結部材３ｂの外周面が第２保持部材４ｄの内周面により取り囲まれて保持されており、第２連結部材３ｂの直径（第２長さＤ２）は第１連結部材３ａを取り囲む第１保持部材４ｃの直径（第１長さＤ１）よりも長い。したがって、第２連結部材３ｂの本体部２側の面が第１保持部材４ｃの設置面Ｓ側の面によって規制され、本体部２が中心軸Ｃに沿った方向に移動しないように保持された状態となる。

このようにすることで、連結部３の第１連結部材３ａをベース部４の第１保持部材４ｃの開口部４ｇに進入する方向に押し付けるという容易な操作をするだけで、流体機器ユニット１が設置面Ｓに装着される。同様に、連結部３の第１連結部材３ａをベース部４の第１保持部材４ｃの開口部４ｇから退出する方向に押し付けるという容易な操作をするだけで、流体機器ユニット１が設置面Ｓから取り外される。したがって、設置面積（フットプリント）が小さく、設置面Ｓに対する着脱が容易な流体機器ユニット１を提供することができる。

また、本実施形態においては、ベース部４は、設置面Ｓの締結孔１０２に締結される締結ボルト１０１が挿入される貫通孔４ａを有し、本体部２がベース部４に連結された状態で、貫通孔４ａの中心軸と本体部２の中心軸Ｃとが一致する。このようにすることで、ベース部４に本体部２が連結された状態において、ベース部４を設置面Ｓに設置するための締結ボルト１０１が挿入される貫通孔４ａの設置面Ｓ上の位置と本体部２の設置面Ｓ上の位置とが一致する。したがって、従来のように貫通孔と本体部の設置面上の位置を異ならせる場合に比べ、流体機器ユニットの設置面積（フットプリント）を減少させることができる。

また、本実施形態においては、支持部材４ｅに設けられた凸部４ｆに第２連結部材３ｂに設けられた溝部３ｃが係合した状態で、第１連結部材３ａが第１保持部材４ｃの開口部４ｇに進入する。凸部４ｆが第１保持部材４ｃの開口部４ｇの開口方向に沿って延在しているので、ベース部４に対する本体部２の配置（本体部２の中心軸Ｃ周りの角度）が予め定められた状態となる。
このようにすることで、作業者が煩雑な調整をすることなく、設置面Ｓに固定されるベース部４に対して、本体部２の配置（本体部２の中心軸Ｃ周りの角度）を予め定められた状態とすることができる。

また、本実施形態においては、流入口５と流出口６とが径方向に沿った同一直線上に配置され、該同一直線に沿った方向と溝部３ｃが延在する方向とが一致する。
複数の配管のそれぞれに流体機器ユニットが接続される場合、設置面積を減少させるために各配管を隣接して配置することが多い。この場合において、いずれかの配管に接続される流体機器ユニットの着脱は、隣接する配管やその配管に接続される他の流体機器ユニットとの接触を避けるように行う必要がある。
前述した構成とすることで、隣接する配管やその配管に接続される流体機器ユニットとの接触を避け、流体機器ユニットが接続される配管の延在する方向に沿って本体部をベース部に対して着脱することができる。

また、本実施形態においては、ベース部４が、設置面Ｓの係合孔１０３に係合する回転防止ピン４ｂ（突起部）を有する。このようにすることで、ベース部４が設置面Ｓの締結孔１０２および係合孔１０３の双方に固定され、ベース部４が設置面Ｓに対して回転しないように確実に固定することができる。

また、本実施形態において、連結部３は、第１連結部材３ａが第１保持部材４ｃにより保持された状態で、本体部２がベース部４に対して中心軸Ｃ周りに回転しないように規制する規制部材３ｄを有する。このようにすることで、本体部２がベース部４に対して中心軸Ｃ周りに回転しないようにすることができる。

また、本実施形態において、第２連結部材３ｂの底面には締結ボルトが締結可能な締結孔１９が設けられている。このようにすることで、設置面Ｓにベース部４が固定されていない場合であっても、設置面Ｓに設けられる貫通孔から締結ボルト（締結具）の先端を突出させて第２連結部材３ｂの締結孔１９に締結し、本体部２を設置面Ｓに固定することができる。

＜他の実施形態＞
第１実施形態では、連結部３が第１連結部材３ａおよび第２連結部材３ｂを有し、ベース部４が第１保持部材４ｃおよび第２保持部材４ｄを有するものであったが、他の態様であってもよい。例えば、ベース部４が第１連結部材３ａおよび第２連結部材３ｂを有し、連結部３が第１保持部材４ｃおよび第２保持部材４ｄを有するものであってもよい。この場合、ベース部４が設置面Ｓに近い側から順に第１連結部材３ａと第２連結部材３ｂとを有し、連結部３が設置面Ｓに近い側から順に第１保持部材４ｃと第２保持部材４ｄとを有するものとなる。

第１実施形態では、流体機器ユニット１がノーマルクローズ型の空気圧操作弁であるものとしたが、他の態様であってもよい。例えば、ノーマルオープン型の空気圧操作弁であってもよい。流体の流入口および流出口を備えるものであれば、空気圧操作弁以外の他の種類の流体機器ユニットであってもよい。

その他、本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、その要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。

１ 流体機器ユニット
２ 本体部
３ 連結部
３ａ 第１連結部材
３ｂ 第２連結部材
３ｃ 溝部
３ｄ 規制部材
４ ベース部
４ａ 貫通孔
４ｂ 回転防止ピン（突起部）
４ｃ 第１保持部材
４ｄ 第２保持部材
４ｅ 支持部材
４ｆ 凸部
４ｇ 開口部
５ 流入口
６ 流出口
８ 開閉機構
１２ 流入流路
１３ 流出流路
１９ 締結孔
１００ 筐体
１０１ 締結ボルト（締結具）
１０２ 締結孔
１０３ 係合孔
Ｄ１ 第１長さ
Ｄ２ 第２長さ
Ｓ 設置面
Ｗ１ 第１保持部材の開口幅
Ｗ２ 第２保持部材の開口幅

Claims (8)

1. 流入口から流入した流体を流出口から流出させる流路を有するとともに中心軸方向に延在する本体部と、
   設置面に固定されるベース部と、
   前記本体部の一端側に設けられ、前記本体部を前記ベース部に対して着脱可能に連結する連結部とを備え、
   前記連結部は、前記本体部に近い側から順に、前記中心軸に直交する径方向の断面が略円形状で直径が第１長さである第１連結部材と、前記径方向の断面が略円形状で直径が前記第１長さより長い第２長さである第２連結部材とを有し、
   前記ベース部は、前記本体部に近い側から順に、前記径方向の断面が略円形状の内周面により前記第１連結部材の外周面を取り囲むように保持する第１保持部材と、前記径方向の断面が略円形状の内周面により前記第２連結部材の外周面を取り囲むように保持する第２保持部材とを有し、
   前記第１保持部材の内周面の一部が前記径方向に開口しており、弾性変形可能な前記第１保持部材の開口部の開口幅が前記第１長さよりも狭く、
   前記第２保持部材の内周面の一部が前記径方向に開口しており、前記第２保持部材の開口部の開口幅が前記第１保持部材の開口部の開口幅よりも広いことを特徴とする流体機器ユニット。
2. 流入口から流入した流体を流出口から流出させる流路を有するとともに中心軸方向に延在する本体部と、
   設置面に固定されるベース部と、
   前記本体部の一端側に設けられ、前記本体部を前記ベース部に対して着脱可能に連結する連結部とを備え、
   前記ベース部および前記連結部のいずれか一方は、前記中心軸に直交する径方向の断面が略円形状で直径が第１長さである第１連結部材を有し、
   前記ベース部および前記連結部のいずれか他方は、前記径方向の断面が略円形状の内周面により前記第１連結部材の外周面を取り囲むように保持する第１保持部材を有し、
   前記第１保持部材の内周面の一部が前記径方向に開口しており、弾性変形可能な前記第１保持部材の開口部の開口幅が前記第１長さよりも狭く、
   前記ベース部は、前記設置面の締結孔に締結される締結具が挿入される貫通孔を有し、
   前記本体部が前記ベース部に連結された状態で、前記貫通孔の中心軸と前記本体部の中心軸とが一致することを特徴とする流体機器ユニット。
3. 前記ベース部は、前記設置面に固定され、前記第１保持部材および前記第２保持部材を支持する前記径方向の断面が略円形状の支持部材を有し、
   前記支持部材の前記第２連結部材と対向する面には、前記第１保持部材の開口部の開口方向に沿って延在する凸部が設けられており、
   前記第２連結部材の前記支持部材と対向する面には、前記凸部と係合する溝部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の流体機器ユニット。
4. 前記流入口と前記流出口とが前記径方向に沿った同一直線上に配置され、該同一直線に沿った方向と前記溝部が延在する方向とが一致することを特徴とする請求項３に記載の流体機器ユニット。
5. 前記ベース部が、前記設置面の係合孔に係合する突起部を有することを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか１項に記載の流体機器ユニット。
6. 前記連結部は、該第１連結部材が前記第１保持部材により保持された状態で、前記本体部が前記ベース部に対して前記中心軸周りに回転しないように規制する規制部材を有することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の流体機器ユニット。
7. 前記第２連結部材の底面には締結具が締結可能な締結孔が設けられていることを特徴とする請求項１、請求項３、および請求項４のいずれか１項に記載の流体機器ユニット。
8. 前記本体部は、前記流路の開閉状態を切り替える開閉機構を有することを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の流体機器ユニット。

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