JP6043291B2 - 金属添加剤を含有する太陽電池メタライゼーション材料 - Google Patents
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Description
当該ペースト組成物は、あらゆる好適な形態のあらゆる好適な銀化合物を含有することができる。この銀成分における銀のソースは、銀金属の1以上の微細粒子もしくは粉末、または銀の合金であってもよい。この銀の一部分は、酸化銀(Ag2O)として、またはAgNO3、AgOOCCH3(酢酸銀)、アクリル酸銀もしくはメタクリル酸銀などの銀塩として添加されてもよい。加えて、この銀は、リンなどの種々の物質でコーティングされていてもよい。あるいは、銀がガラス上にコーティングされてもよい。または、ガラス溶融/製造プロセスの間に、酸化銀がガラスに溶解されてもよい。当該ペーストで使用される銀粒子は、球形、薄片状、コロイド状、不規則的(球形でもなく薄片状でもない形態を持つ)、またはこれらの組み合わせであってもよい。銀粒子の具体例としては、球形の銀粉末Ag3000−1、解凝集銀粉末SFCGED、銀薄片SF−23、ナノ銀粉末Ag7000−35およびコロイド状の銀RDAGCOLBが挙げられ、これらはすべて、オハイオ州、クリーブランドのFerro Corporationから市販されている。
本願明細書で使用されるガラスフリットは特に限定されず、当該ペースト組成物はいずれの好適なガラスフリットも含有することができる。最初の事項として、本発明のペーストで使用されるガラスフリットは、意図的に鉛および/もしくはカドミウムを含有してもよいし、または本発明のペーストで使用されるガラスフリットは、意図的に加えられた鉛および/もしくはカドミウムを欠いてもよい。1つの実施形態では、このガラスフリットは実質的に鉛を含まないガラスフリットである。別の実施形態では、ガラスフリットのすべてが鉛もカドミウムも含まない。当該ガラスは、部分的に結晶性または非結晶性であってもよい。部分的に結晶性のガラスが好ましい。1以上の結晶性または部分的に結晶性または非結晶性の構造を有するガラスフリットの混合物を使用することができる。ガラスフリットの組成および製造の詳細は、例えば、同一出願人による米国特許出願公開第2006/0289055号明細書および米国特許出願公開第2007/0215202号明細書(これらは、参照により本願明細書に援用したものとする)に見いだされうる。
当該ペースト組成物は、前面側接点の抵抗を低下させるための様々な方法で、1以上の金属添加剤を含有する。この金属添加剤としてはイットリウムおよび有機金属化合物が挙げられる。この有機金属化合物としては、有機バナジウム化合物、有機アンチモン化合物、有機リン化合物、および有機イットリウム化合物が挙げられる。つまり、金属添加剤は、イットリウム、有機バナジウム化合物、有機アンチモン化合物、有機リン化合物、および有機イットリウム化合物からなる群から選択される少なくとも1つである。イットリウムは、その元素形態にあってもよい。有機金属化合物は、金属がいずれかの好適な有機部分に結合されている化合物である。例えば、有機金属化合物は、分子中に金属、炭素、および/または窒素を含有する有機化合物である。さらには、上記の金属化合物に加えて、有機コバルト化合物、有機ニッケル化合物、有機スズ化合物、有機ジルコニウム化合物、有機亜鉛化合物および有機リチウム化合物からなる群から選択される第2の金属添加剤が、当該ペースト組成物に含まれてもよい。
当該ペースト組成物は、いずれかの他の添加剤を任意に含有することができる。1つの実施形態では、前面側接点sの抵抗を低下させるための様々な方法で、リンがペースト組成物に添加される。例えば、特定のガラスが、粉末またはフリット状の酸化物の形態のP2O5で変性されてもよいし、またはリン酸エステルおよび他の有機リン化合物としてリンが当該ペーストに加えられてもよい。より単純な場合には、銀および/または金属添加剤が粒子の形態にあるとき、リンは、ペーストを製造する前に、コーティングとして銀および/または金属添加剤粒子に添加されてもよい。このような場合、ペーストを形成する前に、この銀および/または金属添加剤粒子は、液体のリンおよび溶剤と混合される。例えば、約85〜約95重量%の銀および/または金属添加剤粒子、約5〜約15重量%の溶剤、ならびに約0.1〜約10重量%の液体のリンのブレンドが混合され、溶剤が留去される。リンでコーティングした銀および/または金属添加剤粒子は、当該ペーストにおけるリンと銀および/または金属添加剤との密な混合を確保することに役立つ。
当該ペースト組成物は、いずれの好適なビヒクル(例えば、担体)も含有することができる。ほとんどの導電性組成物についての有機ビヒクルまたは担体は、典型的には、溶剤に溶解させた樹脂の溶液である。1つの実施形態では、このビヒクルは、チキソトロープ剤をさらに含有する。この溶剤は、通常、約130℃〜約350℃で沸騰する。1つの実施形態では、当該樹脂はエチルセルロースである。他の樹脂の例としては、エチルヒドロキシエチルセルロース、ウッドロジン、ガムロジン、エチルセルロースとフェノール樹脂との混合物、低級アルコールのポリメタクリレート、およびエチレングリコールモノアセテートのモノブチルエーテルが挙げられる。
当該ペースト組成物は、銀、ガラスフリット、および金属添加剤を有機ビヒクルと合わせることと、この銀、ガラスフリット、および金属添加剤を有機ビヒクルに分散させることとによって形成されてもよい。利用されるビヒクルの量および種類は、最終の所望の配合物粘度、ペーストの磨砕度、および所望の乾燥前の印刷の厚さによって決定されてもよい。本発明に係る組成物を調製する際には、微粒子の無機固体が有機ビヒクルと混合され、好適な設備、例えば三本ロール練り機、を用いて分散され、懸濁液が形成され、9.6sec−1のせん断速度で粘度が約50〜約200kcps、好ましくは約55〜約120kcpsの範囲にあるような組成物が得られる。この粘度は、ブルックフィールド(Brookfield)粘度計HBT、スピンドル CP−1、で決定され、25℃で測定された場合の粘度である。
上述のペースト組成物は、例えば太陽電池用の接点(例えば、焼成された前面側接点膜)または他の部品を製造するためのプロセスで使用することができる。この接点の製造方法は、(1)当該ペースト組成物をシリコン基板(例えば、シリコンウェーハ)に付与することと、(2)このペーストを乾燥することと、(3)このペーストを加熱(例えば、焼成)して当該ペーストの金属を焼結し、シリコンへの接点を作製することを伴う。ペーストの印刷されたパターンは、好適な温度、例えば約650〜約1000℃の加熱炉設定温度、または約550〜約850℃のウェーハ温度で加熱または焼成される。1つの実施形態では、加熱炉設定温度は約750〜約960℃であり、当該ペーストは空気中で焼成される。反射防止用SiNx層は、焼成の間にガラスによって酸化および浸食されると考えられ、Ag/Siの島がSi基板との反応で形成され、このAg/Siの島はシリコンに対してエピタキシャルに結合される。焼成条件は、シリコン/ペースト界面で、シリコンウェーハ上に十分な密度の導電性の金属/Siの島が生成し、低抵抗率接点が導かれ、これにより高効率、高曲線因子の太陽電池が製造されるように選ばれる。
本発明に係る太陽電池接点は、本願明細書に開示されるいずれかの導電性ペーストを、例えばスクリーン印刷によって、所望の乾燥前の厚さ、例えば約10〜約80ミクロン(約10〜約80μm)で基板に付与することによって精製することができる。200〜400メッシュのスクリーンを使用する自動スクリーン印刷技法を用いることができる。印刷されたパターンは、次いで、250℃以下、好ましくは約80〜約250℃で約0.5〜20分間乾燥され、そのあと焼成される。乾燥した印刷されたパターンは、ベルトコンベヤー加熱炉の中で、空気中、ピーク温度でわずか1秒〜約30秒までの間焼成することができる。焼成の間、ガラスが溶融し金属が焼結される。
20: n型拡散層
30: 前面側パッシベーション層/反射防止コーティング
40: p+層(裏面電界(BSF))
70: 裏面側に形成された第1のペースト
71: 第1のペースト70を焼成することにより形成された裏面側電極
80: 裏面側に形成された第2のペースト
81: 第2のペースト80を焼成することにより形成された裏面側電極
500: 前面側銀/金属添加剤
501: ARCを貫いてペースト500を焼成したあとの銀/金属添加剤前面電極
Claims (22)
- ペースト組成物であって、
前記ペースト組成物の50重量%以上92重量%以下の銀と、
前記ペースト組成物の1重量%以上15重量%以下のガラスフリット部分と、
前記ペースト組成物の0.01重量%以上5重量%以下の添加剤であって、前記添加剤は、イットリウム、有機バナジウム化合物、有機イットリウム化合物、またはこれらの組み合わせを含む、添加剤と
を含む、ペースト組成物。 - 前記ペースト組成物は、前記ペースト組成物の0.02重量%以上3重量%以下の前記添加剤を含む、請求項1に記載のペースト組成物。
- 前記添加剤は、バナジウムアルコキシド、バナジルアルコキシド、およびイットリウムアルコキシドからなる群から選択される1以上の有機金属化合物を含む、請求項1に記載のペースト組成物。
- 前記添加剤は、バナジウムアセチルアセトナート類、バナジルアセチルアセトナート類、およびイットリウムアセチルアセトナート類からなる群から選択される1以上の有機金属化合物を含む、請求項1に記載のペースト組成物。
- 前記添加剤は、金属がバナジウム、またはイットリウムである、2−メチルヘキサン酸金属塩、2−エチルヘキサン酸金属塩、および2−プロピルヘキサン酸金属塩からなる群から選択される1以上の有機金属化合物を含む、請求項1に記載のペースト組成物。
- コバルト、ニッケル、ジルコニウム、スズ、亜鉛もしくはリチウムの有機金属化合物、またはこれらの混合物からなる群から選択される1以上の有機金属化合物を含む第2の金属添加剤をさらに含む、請求項1に記載のペースト組成物。
- 前記添加剤は、有機バナジウム化合物を含む、請求項1に記載のペースト組成物。
- 前記添加剤は、バナジウムアセチルアセトナート類、バナジルアセチルアセトナート類、またはこれらの組み合わせからなる、請求項1に記載のペースト組成物。
- 前記添加剤は、バナジルアセチルアセトナート類からなる、請求項1に記載のペースト組成物。
- 前記添加剤として、有機リン化合物をさらに含む、請求項1に記載のペースト組成物。
- 前記銀は、球形の粉末および薄片形状の粉末の混合物を含む、請求項1に記載のペースト組成物。
- 前記銀は、不規則的な形状の粒子およびコロイド状の銀の混合物を含む、請求項1に記載のペースト組成物。
- 前記ガラスフリットは、全ガラスに対する重量パーセントで表示した以下の組成を有する、請求項1に記載のペースト組成物。
- 前記ガラスフリット部分は、2以上のガラスフリットの混合物を含む、請求項1に記載のペースト組成物。
- 前記ガラスフリット部分はカドミウムフリーでかつ鉛フリーである、請求項1に記載のペースト組成物。
- 前記ガラスフリット部分は、全ガラスに対する重量パーセントで表示した以下の組成物を含む、請求項1に記載のペースト組成物。
- 前記ガラスフリット部分は、全ガラスに対する重量パーセントで表示した以下の組成物を含む、請求項15に記載のペースト組成物。
- 請求項1から請求項17のいずれか1項に記載のペースト組成物を焼成することにより形成される太陽電池接点。
- 太陽電池接点の製造方法であって、
請求項1から請求項17のいずれか1項に記載のペーストをシリコン基板に付与することと、
前記ペーストを加熱して、前記銀粒子を焼結しかつ前記ガラスフリットを溶融させることと
を含む、製造方法。 - 焼成された前面側太陽電池接点であって、
前記焼成された前面側接点の50重量%以上92重量%以下の銀と、
前記焼成された前面側接点の1重量%以上15重量%以下のガラスフリットと、
前記焼成された前面側接点の0.01重量%以上5重量%以下のイットリウムと
を含む、焼成された前面側太陽電池接点。 - 前記焼成された前面側接点は、前記焼成された前面側接点の0.02重量%以上5重量%以下の前記イットリウムを含む、請求項20に記載の焼成された前面側接点。
- バナジウム、アンチモン、リン、またはこれらの組み合わせをさらに含む、請求項20に記載の焼成された前面側接点。
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