JP6042182B2 - ウェーハ研削方法 - Google Patents
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Description
また、厚み測定工程及び厚み傾向認識工程を実施することにより、柱状電極の先端とウェーハの裏面との間の距離を測定するとともに、この測定結果に基づいてウェーハの厚み分布を認識することができ、次いで、当該厚み分布に基づいて調整工程を実施することによって、柱状電極の先端とウェーハの裏面との間の距離を均一にすることが可能となる。
さらに、第2の研削工程を実施することにより、ウェーハの全域に埋設された柱状電極の先端の露出直前位置まで研削を行うことができるため、ウェーハの裏面を監視しなくても、ウェーハの裏面から複数の柱状電極を露出させることなく研削を完了することができる。
まず、図1に示す保持手段6の保持面7にウェーハ70の表面71側を載置して裏面72を上向きに露出させる。次いで、保持手段6は、ウェーハ70の表面71側を吸引し、ウェーハ70を保持面7に保持させる。なお、図示していないが、ウェーハ70の表面71には、デバイス74を保護するためのテープを貼着する。
記憶工程を実施した後、図4に示すように、研削手段30によって、保持手段6に吸引保持されたウェーハ70の裏面72を研削する。まず、ウェーハ70を保持した保持手段6は、例えば矢印A方向に回転しつつ、研削手段30を下方に移動する。
第1の研削工程を実施した後、図5に示す厚み測定手段10は、研削後のウェーハ70の裏面72から柱状電極76の先端面77までの距離を測定する。
厚み測定工程を実施した後、上記厚み測定工程で測定されたウェーハ70の裏面72と柱状電極76の先端面77との距離H4、距離H5及び距離H6に基づいて、柱状電極76上のウェーハ70の径方向における厚み傾向(厚み分布)を認識し、記憶部20によって記憶させる。そして、記憶部20は、記憶したウェーハ70の厚み傾向を制御部60に送る。
厚み傾向認識工程を実施した後、図7に示すように、研削ホイール35の研削面37と、保持手段6の保持面7との対面状態を、これら2つの面が平行となるように調整する。調整手段50は、制御部60の制御にしたがって所定の高さだけ上昇又は下降する。これにより、保持手段6の保持面7が傾き、ウェーハ70の研削範囲であり柱状電極76の先端が露出する直前の高さ位置である露出直前位置78が、研削面37と平行な関係に位置づけられる。
調整工程を実施した後、図8に示すように、研削手段30によって、保持手段6に吸引保持されたウェーハ70の裏面72を研削する。ウェーハ70を保持した保持手段6が例えば矢印A方向に回転する。研削手段30は、スピンドル31の回転により研削ホイール35を例えば、矢印B方向に回転させる。次いで、研削送り手段40は、制御部60の制御にしたがい研削ホイール35の研削面37を図7に示した露出直前位置78まで下降させ、ウェーハ70の裏面72を押圧しながら研削する。このようにして、ウェーハ70の裏面72から複数の柱状電極76の先端が露出する直前で第2の研削工程を終了する。したがって、導電性部材である柱状電極76が研削されてウェーハ70に悪影響を及ぼすのを防止することができる。また、調整工程において研削ホイール35の研削面37と保持手段6の保持面7とが平行となっているため、ウェーハ70が均一な厚さに形成され、柱状電極76の先端面77とウェーハ70の裏面72との間の距離が均一となる。
また、厚み測定工程及び厚み傾向認識工程を実施することにより、柱状電極76の先端面77とウェーハ70の裏面72との間の距離を測定するとともに、この測定結果に基づいてウェーハ70の厚み分布を認識することができる、次いで、厚み分布に基づいて調整工程を実施することによって、柱状電極76の先端面77とウェーハ70の裏面72との間の距離を均一にすることが可能となる。
さらに、第2の研削工程を実施することにより、ウェーハ70の全域に埋設された柱状電極76の先端面77の露出直前位置78まで研削を行うことができるため、ウェーハ70の裏面72を監視する必要がなくなり、ウェーハ70の裏面72から複数の柱状電極76を露出させることなく研削を完了することができる。
2:装置ベース
3:上面
4:コラム
5:移動基台
6:保持手段
7:保持面
8:蛇腹
9a,9b:厚み
10:厚み測定手段 11:旋回モータ 12:センサー
20:記憶部
30:研削手段 31:スピンドル 32:スピンドルハウジング 33:モータ
34:マウント 35:研削ホイール 36:研削砥石 37:研削面
40:研削送り手段 41:ボールネジ 42:モータ 43:ガイドレール
44:昇降板
50:調整手段
60:制御部
70:ウェーハ 71:表面 72:裏面 73:デバイス 74:ストリート
75:ボンディングパッド 76:柱状電極 77:先端面 78:露出直前位置
Claims (3)
- 表面に形成された複数のデバイスのそれぞれに設けられたボンディングパッドに接続された柱状電極が内部に埋設されているウェーハの表面側を吸引保持する保持面を有する保持手段と、該保持手段によって吸引保持されたウェーハの裏面から該柱状電極の該裏面側の先端までの距離を測定する非接触式の厚み測定手段と、ウェーハの裏面から該柱状電極のウェーハ裏面側の先端までの距離を記憶する記憶部と、研削ホイールが回転可能に装着され該保持手段に保持されたウェーハの裏面を研削する研削手段と、該研削手段を該保持手段に接近および該保持手段から離反させる研削送り手段と、該研削ホイールの研削面とウェーハを保持する該保持手段の保持面との対面状態を調整する調整手段と、を少なくとも備える研削装置を用いたウェーハ研削方法であって、
ウェーハの裏面から個々の柱状電極のウェーハ裏面側の先端までの距離を該記憶部がそれぞれ記憶する記憶工程と、
ウェーハの裏面を基準として、該記憶工程で該記憶部が記憶した距離のうち最小距離より小さい距離だけ離れた位置に該研削ホイールの研削面が位置するように、該保持手段に保持されたウェーハを該研削手段によって研削する第1の研削工程と、
該厚み測定手段を用いて該第1の研削工程において研削されたウェーハの裏面から該柱状電極のウェーハ裏面側の先端までの距離を測定する厚み測定工程と、
該厚み測定工程で測定された測定結果に基づいてウェーハの径方向における該柱状電極の上のウェーハ厚み傾向を認識する厚み傾向認識工程と、
該厚み傾向認識工程の結果より該研削面と該保持面との対面状態を該調整手段によって調整する調整工程と、
該調整工程を実施した後、該研削手段によって該柱状電極のウェーハ裏面側の先端が露出する直前まで該ウェーハを研削する第2の研削工程と、を備えることを特徴とするウェーハ研削方法。 - 前記厚み測定手段を用いて前記記憶工程を遂行する請求項1記載のウェーハ研削方法。
- 予め測定された測定値情報をもって前記記憶工程を遂行する請求項1記載のウェーハ研削方法。
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