JP6039773B2 - 固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
固体撮像装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6039773B2 JP6039773B2 JP2015184488A JP2015184488A JP6039773B2 JP 6039773 B2 JP6039773 B2 JP 6039773B2 JP 2015184488 A JP2015184488 A JP 2015184488A JP 2015184488 A JP2015184488 A JP 2015184488A JP 6039773 B2 JP6039773 B2 JP 6039773B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- imaging device
- state imaging
- solid
- pixel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
本実施例の固体撮像装置について、図1、図4及び図5を用いて説明する。図1は本実施例の固体撮像装置の断面模式図であり、図4は本実施例の固体撮像装置の4画素分の回路図を示しており、図5はそれに対応する平面模式図である。
本実施例の固体撮像装置は、実施例1と同様に遮光膜を有する固体撮像装置に関する。本実施例の固体撮像装置は、実施例1と異なり、画素部450に画像信号を得る画素と焦点検出用の信号を得る画素とを有する固体撮像装置に関するものである。本実施例の固体撮像装置について図6及び図7を用いて説明する。
101 ウエル
102 素子分離部
402 光電変換部
403 電荷保持部
408 第1のゲート電極
117 ゲート電極
118、119 ソース・ドレイン領域
106 第1の絶縁膜
107 第2の絶縁膜
121 第3の絶縁膜
122 第4の絶縁膜
108 遮光膜
450 画素部
451 周辺回路部
Claims (7)
- 複数の光電変換部及びトランジスタを有する画素が配された画素部と、
前記画素部の周囲に配され、トランジスタを有する周辺回路部と、を有する固体撮像装置の製造方法において、
前記画素部のトランジスタ及び前記周辺回路部のトランジスタのゲート電極を形成する工程と、
前記画素部と前記周辺回路部に第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記画素部と前記周辺回路部の前記第1の絶縁膜の上に、第3の絶縁膜を形成する工程と、
前記周辺回路部の前記第1の絶縁膜と前記第3の絶縁膜とをエッチングし、前記周辺回路部のトランジスタのサイドウォールを形成する工程と、
前記画素部の前記第3の絶縁膜、および、前記周辺回路部のトランジスタの上に第2の絶縁膜を形成する工程と、
前記周辺回路部に形成されたパターンをマスクとして、前記画素部の前記第2の絶縁膜の一部をエッチングする工程と、
前記エッチングする工程の後に、前記画素部に残存した前記第2の絶縁膜の上に金属膜を形成する工程とを有し、
前記周辺回路部は前記金属膜が形成されていない領域のみを有することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記第1の絶縁膜は、シリコン窒化膜、または、シリコン酸化膜とシリコン窒化膜とが積層した構造であることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記第2の絶縁膜は、シリコン酸化膜であることを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記第3の絶縁膜はシリコン酸化膜であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記金属膜は、タングステンまたはタングステンシリサイドであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記画素部は、前記光電変換部の電荷を保持する電荷保持部を有し、
前記金属膜は前記電荷保持部に対応して形成されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記複数の光電変換部は、焦点検出用の光電変換部を有し、
前記金属膜は、前記焦点検出用の光電変換部に対応して形成され、スリットを有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015184488A JP6039773B2 (ja) | 2015-09-17 | 2015-09-17 | 固体撮像装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015184488A JP6039773B2 (ja) | 2015-09-17 | 2015-09-17 | 固体撮像装置の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011119259A Division JP5812692B2 (ja) | 2011-05-27 | 2011-05-27 | 固体撮像装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016027660A JP2016027660A (ja) | 2016-02-18 |
JP6039773B2 true JP6039773B2 (ja) | 2016-12-07 |
Family
ID=55352881
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015184488A Expired - Fee Related JP6039773B2 (ja) | 2015-09-17 | 2015-09-17 | 固体撮像装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6039773B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019075441A (ja) | 2017-10-13 | 2019-05-16 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置および機器 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0529598A (ja) * | 1991-07-19 | 1993-02-05 | Hitachi Ltd | 固体撮像素子 |
JP5110820B2 (ja) * | 2006-08-02 | 2012-12-26 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、光電変換装置の製造方法及び撮像システム |
JP5364995B2 (ja) * | 2007-10-01 | 2013-12-11 | 株式会社ニコン | 固体撮像素子及びこれを用いた電子カメラ |
JP5476745B2 (ja) * | 2009-03-05 | 2014-04-23 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
JP5812692B2 (ja) * | 2011-05-27 | 2015-11-17 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置の製造方法 |
-
2015
- 2015-09-17 JP JP2015184488A patent/JP6039773B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016027660A (ja) | 2016-02-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5812692B2 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
JP4340248B2 (ja) | 半導体撮像装置を製造する方法 | |
JP5564874B2 (ja) | 固体撮像装置、及び電子機器 | |
JP6095258B2 (ja) | 固体撮像装置、及び固体撮像装置を用いた撮像システム | |
JP5814625B2 (ja) | 固体撮像装置、それを用いた撮像システム及び固体撮像装置の製造方法 | |
US8426794B2 (en) | Photoelectric conversion device having a light-shielding film | |
US8390043B2 (en) | Solid-state imaging device with stress-relieving silicide blocking layer and electronic apparatus comprising said solid-state device | |
US9130071B2 (en) | Solid-state image sensor, method for manufacturing the same, and camera | |
WO2014002361A1 (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法 | |
JP6123866B2 (ja) | 固体撮像装置、及び電子機器 | |
JP2010212536A (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
JP4486043B2 (ja) | Cmosイメージセンサー及びその製造方法 | |
JP6727897B2 (ja) | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、および撮像システム | |
JP2016027663A (ja) | 固体撮像装置、それを用いた撮像システム及び固体撮像装置の製造方法 | |
JP5842903B2 (ja) | 固体撮像装置、及び電子機器 | |
JP6039773B2 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
JP2014170966A (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP6682674B2 (ja) | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 | |
JP6407227B2 (ja) | 固体撮像装置、及び固体撮像装置を用いた撮像システム | |
KR20090111292A (ko) | 고체 촬상 장치와 그 제조 방법, 및 전자 기기 | |
JP2013211295A (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法、電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160726 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160729 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160824 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161004 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161104 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6039773 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |