JP6030907B2 - Iii族窒化物の製造方法 - Google Patents
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Description
III族原料ガス、及び窒素源ガスとの間にバリアガスを介在させて、かつ、該III族原料ガスをベース基板表面に沿った流れで供給することにより、該III族原料ガスと該窒素源ガスとを該ベース基板表面で反応させて、該ベース基板表面にIII族窒化物を製造する方法において、
該ベース基板表面に対して垂直な方向における該III族原料ガスの両側にバリアガスを少なくとも供給し、
該ベース基板表面に近い側のバリアガスを第一バリアガスとし、該ベース基板表面から遠い側のバリアガスを第二バリアガスとしたとき、前記第二バリアガスの供給量(V2)に対する前記第一バリアガスの供給量(V1)の比(V1/V2)が0.2≦(V1/V2)<1.0となるようにバリアガスを供給することを特徴とするIII族窒化物の製造方法である。
このバリアガス供給ノズル16は、ベース基板表面に対して垂直な方向におけるIII族原料ガスの両側に、バリアガスが供給されるような構造のものにしなければならない。具体的には、横型のHVPE装置を使用する場合には、図2〜8のように、III族原料ガス供給ノズル15の排出口(III族原料ガス排出口21)の上下両側に第一バリアガスの排出口(第一バリアガス排出口22)と第二バリアガスの排出口(第二バリアガス排出口20)が存在するように、バリアガス供給ノズルを配置しなければならない。
具体的には、
τ1は第一バリアガスの線速度、V1は第一バリアガスの供給量、S1は第一バリアガス排出口面積であり、
τ2は第二バリアガスの線速度、V2は第二バリアガスの供給量、S2は第二バリアガスの排出口面積であり、
Tはそれぞれのバリアガス排出口温度(第一バリアガス、および第二バリアガスの排出口温度は同じである)であり、Pは反応器内の圧力である。
Vは外管へ投入する全バリアガス供給量、Sは外管の排出口面積(第一バリアガス排出面積S1と第二バリアガス排出口面積S2との合計面積)、S1は第一バリアガス排出口面積であり、これらから算出されるV1は第一バリアガスの供給量である。また、同じく
S2は第二バリアガス排出口面積であり、V、S、およびS2これらから算出されるV2は第二バリアガスの供給量である。そして、これら求めた供給量、T(バリアガス排出口温度(第一バリアガス、および第二バリアガスの排出口温度は同じである))、P(反応器内の圧力)から、τ1(第一バリアガスの線速度)、τ2(第二バリアガスの線速度)を算出してやればよい。
次に、III族窒化物を製造する際の方法、条件について説明する。
先ず、HVPE装置にベース基板を導入後、ベース基板表面に付着した有機物を除去する目的で高温状態において10分間程度基板を加熱してサーマルクリーニングを行う。ベース基板として、窒化ガリウム基板や窒化アルミニウム基板を用いる場合には高温状態において窒化ガリウムや窒化アルミニウムが分解する恐れがあるので、装置内に窒素源ガスを供給することが好ましい。中でも、窒素源ガスとしてアンモニアを使用することが好ましく、室温から成長温度までベース基板を昇温する際に、アンモニアガス分圧を1×10−4atm以上に保持することが好ましい。キャリアガスは、水素または窒素、および水素と窒素の混合ガスを用いることが好ましい。
第一バリアガス、および第二バリアガスの供給量の比(V1/V2)は、0.1≦(V1/V2)≦0.9、さらに好ましくは0.2≦(V1/V2)≦0.8である。
図1に示すようなHVPE装置を使用した。また、図7に示されるように、バリアノズル、およびIII族原料ガスノズルが積層構造であるものを使用した。このバリアガスノズルは、ベース基板表面に近い側の第一バリアガスと該ベース基板表面より遠い側の第二バリアガスを、それぞれ独立して制御できるものを使用した。
図7に示されるように、バリアノズルおよびIII族原料ガスノズルが積層構造であるものを使用した。このバリアガスノズルは、ベース基板表面に近い側の第一バリアガスと該ベース基板表面より遠い側の第二バリアガスを、それぞれ独立して制御できるものを使用した。
図8に示されるように、バリアノズルおよびIII族原料ガスノズルが積層構造であるものを使用した。このバリアガスノズルは、ベース基板表面に近い側の第一バリアガスと該ベース基板表面より遠い側の第二バリアガスを、それぞれ独立して制御できるものを使用した。
図2に示されるように、バリアノズルおよびIII族原料ガスノズルが円形の2重管構造であり、III族原料ガスノズルがバリアノズル中心より下側(下地基板側)に1mm下にずれて設置されたものを使用した。
図2に示されように、バリアノズルおよびIII族原料ガスノズルが円形の2重管構造であり、III族原料ガスノズルがバリアノズル中心より下側(下地基板側)に0.5mm下にずれて設置されたものを使用した。
図2に示されるように、バリアノズルおよびIII族原料ガスノズルが円形の2重管構造であり、III族原料ガスノズルがバリアノズル中心より下側(下地基板側)に2.0mm下にずれて設置されたものを使用した。
図5に示されるように、バリアノズルおよびIII族原料ガスノズルが円形の2重管構造であり、III族原料ガスノズルとバリアノズル中心が一致している場合、即ち同心円の2重管構造であるものを使用した。
11 フローチャネル
12 サセプタ
13 外部加熱手段
14 局所加熱手段
15 III族ハロゲン化物供給ノズル
16 バリアガスノズル
17 窒素源ガス供給ノズル
18 排気口
19 窒素源ガス排出口
20 第二バリアガス排出口
21 III族原料ガス排出口
22 第一バリアガス排出口
Claims (6)
- III族原料ガスと窒素源ガスとの間にバリアガスを介在させて、かつ、該III族原料ガスをベース基板表面に沿った流れで供給することにより、該III族原料ガスと該窒素源ガスとを該ベース基板表面で反応させて、該ベース基板表面にIII族窒化物を製造する方法において、
該ベース基板表面に対して垂直な方向における該III族原料ガスの両側にバリアガスを少なくとも供給し、
該ベース基板表面に近い側のバリアガスを第一バリアガスとし、該ベース基板表面から遠い側のバリアガスを第二バリアガスとしたとき、前記第二バリアガスの供給量(V2)に対する前記第一バリアガスの供給量(V1)の比(V1/V2)が0.2≦(V1/V2)<1.0となるようにバリアガスを供給することを特徴とするIII族窒化物の製造方法。 - 前記第一バリアガスの線速度(τ1)を前記第二バリアガスの線速度(τ2)以下となるようにバリアガスを供給することを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物の製造方法。
- 前記第二バリアガスの線速度(τ2)に対する前記第一バリアガスの線速度(τ1)の比(τ1/τ2)が0.05≦(τ1/τ2)≦1.0となるようにバリアガスを供給することを特徴とする請求項2に記載のIII族窒化物の製造方法。
- 排出口を有する外管と、該外管内に配置した排出口を有する内管とを有する2重管において、該内管の排出口から前記III族原料ガスを供給し、外管と内管との隙間から前記第一バリアガス、及び第二バリアガスを供給し、かつ、内管の排出口の中心を外管の排出口の中心よりもベース基板側にずらすことにより、該第一バリアガスの供給量(V1)を該第二バリアガスの供給量(V2)よりも少なくなるようにバリアガスを供給することを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物の製造方法。
- 前記窒素源ガスが、前記ベース基板表面に対して垂直な方向における前記第二バリアガスの外側から供給されることを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物の製造方法。
- 前記III族原料ガスがハロゲン化アルミニウムガスを含み、製造するIII族窒化物がアルミニウムを含有するIII族窒化物であることを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物の製造方法。
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