JP6011138B2 - 位置ずれ検出方法 - Google Patents
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Description
本発明においては、電子線描画時の位置ずれ(スリップ)の有無を基板加工製造後の検査工程よりも前の工程であって、電子線によるパターン描画工程により近い工程で検出することを目標とする。
図1(b)の相対差検出用一括描画パターンは、描画開始時または終了時だけの描画で描画面積率が50%となるラインアンドスペースパターンである。このパターンは図1(a)のパターンとは別のパターンであるが、図1(a)のパターンを分割描画せずに描画開始時または終了時に同時に描画してもよい。
次に、本発明の位置ずれ検出用パターンを有する基板について図面を用いて説明する。 本発明の位置ずれ検出用パターンを有する基板は、電子線描画により基板上に形成した所定のパターンの描画中の位置ずれ(スリップ)を計測する位置ずれ検出用パターンを有する基板である。
位置ずれ(スリップ)検出用パターン10のパターン領域、パターン寸法は特に限定はされないが、例えば、一辺が50μm〜200μm程度のパターン領域に、ライン寸法が100nm〜1μmのラインアンドスペースパターンを用いることができる。
次に、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。
光学研磨された大きさ6インチ角(厚さ0.25インチ)の合成石英基板の一方の主面上に、DCマグネトロンスパッタ法により、クロム(Cr)のターゲットを用いてアルゴンガス雰囲気下で、Cr膜を成膜して膜厚50nmの遮光膜を形成したマスクブランクス基板を準備した。
相対差検出用の一括描画パターン(図1(b))の設計寸法は、X方向及びY方向の1対1のラインアンドスペースで、各々約50μm×50μmの領域において、X方向及びY方向にラインの幅は400nm(Xr=400nm、Yr=400nm)、ラインの長さは50μmとした。
上記の位置ずれ(スリップ)検出用の分割描画パターン(図1(a))と、相対差検出用の一括描画パターン(図1(b))とを一組として、図3に示すように、マスクブランクス基板のパターン転写に支障を生じない周辺部8か所に配置した。
このフォトマスクは、基板上に所定の半導体パターンとともに、マスク周辺部に位置ずれ検出用のパターンを有するものである。
第2の実施例は、疑似的に位置ずれが発生した状況を作り出してOCD測定装置による計測を実施し、本発明の位置ずれ検出方法の有効性を実証するものである。
X方向及びY方向にそれぞれ2分割したラインの幅は200nm、ラインの長さは50μmとした。擬似的な設計位置ずれ量21の範囲は、−30nmから+30nmまでとした。
(b) 相対差検出用一括描画パターン
10 位置ずれ検出用パターン
11 描画開始時に描画するパターン
12 描画終了時に描画するパターン
13 開始時または終了時に描画するパターン
20 擬似的な位置ずれを発生させた位置ずれ検出用パターン
21 擬似的な設計位置ずれ量
30 基板
Claims (5)
- 電子線描画により基板上に形成したパターンの描画中の位置ずれを計測する位置ずれ検出方法であって、
基板上に塗布したレジスト膜に、設計パターンデータに基づいて所定のパターンを電子線描画し、現像してレジストパターンを形成するに際して、
前記所定のパターンとともに、位置ずれ検出用パターンを描画し、
前記位置ずれ検出用パターンが、描画領域のX方向及び前記X方向と直交するY方向に描画されるラインアンドスペースパターンであり、
前記ラインアンドスペースパターンが、前記X方向及び前記Y方向にそれぞれ半分に分割したパターンで、電子線描画の開始時と終了時に2分して分割描画するラインアンドスペースパターンと、
比較対象のパターンとして、電子線描画の開始時または終了時だけの一括描画によるラインアンドスペースパターンとで構成されており、
現像した後のレジストパターンの状態において、前記位置ずれ検出用パターンを用いて描画中の位置ずれを計測することを特徴とする位置ずれ検出方法。 - 前記分割描画するラインアンドスペースパターンが、最終的に描画面積率が50%となるラインアンドスペースパターンであり、前記一括描画によるラインアンドスペースパターンが、描画開始時または終了時だけの描画で描画面積率が50%となるラインアンドスペースパターンであることを特徴とする請求項1に記載の位置ずれ検出方法。
- 前記位置ずれ検出用のパターンが、前記基板の面内数箇所に配置されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の位置ずれ検出方法。
- 前記位置ずれ検出用のパターンを用いた位置ずれの計測を、OCD測定装置を用いて行うことを特徴とする請求項1から請求項3までのうちのいずれか1項に記載の位置ずれ検出方法。
- 前記基板が、半導体用マスク、ナノインプリント用テンプレート、半導体素子、光学関連素子及びバイオチップのなかのいずれか1つの基板であることを特徴とする請求項1から請求項4までのうちのいずれか1項に記載の位置ずれ検出方法。
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