JP5992683B2 - ガス分析装置 - Google Patents

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Description

本発明は、ガス分析装置に関し、特に、配管内を流れる試料ガス中の所定成分の濃度を分析するために配管内に配置されるガス分析用プローブを備えるガス分析装置に関する。
石炭や重油を燃焼させるボイラから排出される燃焼排ガスの中には、硫黄酸化物(SOx)、窒素酸化物(NOx)、二酸化炭素(CO)、一酸化炭素(CO)などの成分が含まれている。
ガス中に含まれる各成分の含有量を分析するためのガス分析装置として、たとえば、配管中のガス流路に交差するようにプローブを配置し、光源からガスに向けて出射された測定光をプローブの先端部に配置されたリフレクタで反射させ、反射された測定光の情報に基づいて試料ガスの成分濃度を分析するものがある。
図8は、従来のガス分析装置に用いられるプローブを模式的に示す断面図である。
図8に示すプローブAは、内部を測定光が通過する中空のパイプ形状のプローブ管Bを備えており、このプローブ管Bが煙道C内のガス流路と交差するように配管側壁Dに取り付けられる。
配管側壁DはプローブAを取り付けるための取付部Eを有しており、フランジFを介してプローブAが取付部Eに取り付けられる。
プローブAの基端部には、プローブ管B内に測定光を出射する発光部Gと、反射光を受光する受光部Hとが設けられ、先端部には、発光部Gからの測定光を受光部H側に反射するリフレクタIが設けられている。
このようにしたプローブAを用いたガス分析装置では、プローブ管B内に煙道C中の試料ガスを導入し、発光部Gから出射されリフレクタIによって反射された測定光を受光部Gで受光し、この測定光の特性からガス中の各成分を分析することが可能となる。
しかし、煙道C中を流れる試料ガスをプローブ管B内に導入する際に、試料ガスがプローブ管Bを介して発光部G、受光部H、リフレクタIなどの光学系部材に到達すると、これら光学系部材が高温の試料ガスに晒されることとなり、粉塵による汚染や腐食などにより劣化するおそれがある。
そこで、光学系部材が高温の試料ガスに晒されることを防止するために、プローブAにパージガス供給部Jを設け、発光部G及び受光部Hとプローブ管Bの測定領域との間にパージガスを供給することが行われる。
また、プローブ管B内に配置されるパージガス供給管(図示せず)によって、プローブ管Bの先端部にパージガスを供給して、リフレクタIが試料ガスに晒されることを防止するように構成することができる。
プローブ管Bの基端部は、複数の部品を用いて構成されていることから、その内径が均一ではない。このことから、プローブ管Bの内部にパージガスを供給する場合には、プローブ管B内のパージガスに乱流が発生して、測定光の光路に温度差が生じるおそれがある。
プローブ管B内に温度差が存在する場合には、熱レンズ効果現象の影響により、測定光であるレーザビームがふらつく、光軸がずれるなどの問題が生じ、受光部における受光状態が不安定となり、測定精度が悪くなるという問題がある。
また、プローブ管Bの先端部に対してパージガスを供給するには、パージガス供給管が配置される位置において、プローブ管B内の温度差が生じることにより、熱レンズ効果現象の影響により、高い測定精度を得ることができないおそれがある。
米国特許第5781306号明細書
本発明の課題は、配管内を流れる試料ガスの濃度を光学測定系により測定するガス分析用プローブを備えるガス分析装置において、光学系部材を保護するためにプローブ内に導入されるパージガスによってプローブに温度差を生じることを防止し、熱レンズ効果現象の影響を抑制して、測定精度の高めることにある。
以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合わせることができる。
本発明の一見地に係るガス分析装置は、管状部材と、光学系部材と、パージガス供給管とを備える。管状部材は、配管内を流れる試料ガスの所定の測定領域に測定光を投光し、及び/又は当該測定領域から測定光を受光するための光路を形成する。光学系部材は、測定領域内の試料ガスに対して測定光を投受光する。パージガス供給管は、光学系部材と測定領域との間の領域にパージガスを供給するためのパージガス流路と測定光の光路とを含む中空部を有し、管状部材の内壁面と間隙を空けて管状部材の内部に配置される。
このガス分析装置では、パージガス供給管が管状部材の内壁面と間隙を空けて配置されていることから、パージガス供給管を通過するパージガスを外気と断熱することができる。また、管状部材が、配管側壁に取り付けるためのフランジとの接合部、パージガス導入のための配管との接合部、光学系部材との接合部などを備えることから、その内径が均一でないような場合であっても、光軸方向に対して段差なく滑らかな内径を有するパージガス供給管を用いることによって、パージガスに乱流を生じることがなく、それにより熱レンズ効果現象の発生を抑制することができる。パージガス供給管の内径は、たとえば、全長にわたって均等な内径を有するものを用いることができる。以上の結果、測定光のふらつきがなく光学系部材によるガス分析処理の測定精度を高めることができ、さらに、設置時における光軸調整などの初期設定を短時間で容易にすることができる。
パージガス供給管の中空部を流れるパージガスは層流であることが好ましい。
内部を流れるパージガスの流速を考慮して、パージガス供給管の径を決定することにより、レイノルズ数を小さくすれば、パージガスに乱流が発生して温度分布の不均一を招くことがなくなる。たとえば、前述したように、全長にわたって均等な内径を有するパージガス供給管を用いることで、さらに内部のパージガスを層流にすることで、外部から伝わる熱による熱レンズ効果現象の発生による測定光のふらつきを抑制して、測定精度を高くすることができる。
パージガス供給管の先端は、測定領域の端部近傍に配置することができる。
この場合、測定領域に導入された試料ガスが光学系部材側に流入することを防止でき、光学系部材の劣化や汚損を防止できる。また、測定領域の端部近傍の温度分布の不均一を防止できる。
パージガス供給管の先端に設けられ、管状部材との間隙を測定領域から遮蔽する遮蔽板をさらに設けることができる。
この場合には、管状部材とパージガス供給管との間隙に試料ガスが流入することがなく、管状部材の温度分布に不均一が生じることを抑制できる。また、管状部材とパージガス供給管との間隙が遮蔽板によって密閉されることにより、この間隙による断熱効果が高くなり、外気温の影響により温度分布が不均一になることを防止できる。
管状部材は、配管内を流れる試料ガスを内部中空内の測定領域に導入するために、配管内の試料ガスの流路に交差して配置することができる。さらに、光学系部材は、管状部材の第1端に設けられ測定光を測定領域に出射する発光部と測定領域内の試料ガスを通過した測定光を受光する受光部とを含む第1光学系部材と、管状部材の第2端に設けられ発光部からの照射光を受光部側に反射するリフレクタで構成される第2光学系部材とを含むことができる。パージガス供給管と管状部材との間隙と連通するとともに第2光学系部材の近傍に先端が位置する先端部パージガス供給管と、先端部パージガス供給管を通過するパージガスの温度分布を均一にするために、パージガス供給管と管状部材との間隙に設けられた攪拌部とをさらに備えることができる。パージガスは、間隙及び先端部パージガス供給管を通って、第2光学系部材近傍に供給される。
この場合、パージガス供給管を介して測定領域の一端に供給されるパージガスが、パージガス供給管と管状部材との間隙を通過することによりパージガス供給管内が断熱され、外気温の影響を受けにくくなる。さらに、パージガス供給管と管状部材との間隙を通過するパージガスは、攪拌部により攪拌されて温度分布が均一になっていることから、パージガス供給管への熱の伝わり方が均一になるため、測定光の光路に存在するパージガスの温度が均一に維持され、熱レンズ効果現象をさらに抑制することができる。
ガス分析装置は、配管の側壁の対向する位置に取り付けられる第1ユニットと第2ユニットを備えることができる。この場合、第1ユニット及び第2ユニットが、それぞれ、第1端が煙道の内部または内周面に位置し第2端が煙道外部に位置する管状部材と、管状部材の第2端に設けられる光学系部材と、管状部材の内壁面と間隙を空けて配置され第1のパージガス経路を構成するパージガス供給管を備える構成とし、管状部材とパージガス供給管との間隙は、管状部材の第1端にパージガスを案内する第2のパージガス経路を構成するとともに、通過するパージガスの温度分布を均一にするための攪拌部を備えるように構成できる。
この場合には、オープンパス方式のガス分析装置に本発明の構成を適用して、測定精度を高めることができる。オープンパス方式のガス分析装置として、たとえば、測定領域に測定光を投受光する発光部及び受光部が第1ユニットに設けられ、発光部からの測定光を受光部に反射するリフレクタが第2ユニットに設けられるような装置、発光部が第1ユニットに設けられ、受光部が第2ユニットに設けられるような装置などに適用できる。
攪拌部は、管状部材とパージガス供給管の間隙を通過するパージガスを攪拌するためにパージガス供給管の外壁面に形成される1または複数の仕切板を含むことができる。
仕切り板として、たとえば、間隙を複数の領域に仕切るための円板状部材を、パージガス供給管の軸方向に離間して1または複数配置することで、間隙を複数の領域に分割することができる。この場合、パージガスは、円板状部材によって仕切られた領域に流入する際に、円板状部材と管状部材の内壁面との間の隙間を通過して乱流を発生し、この領域内において攪拌される。したがって、管状部材とパージガス供給管の間隙を通過するパージガスは、攪拌されて温度分布が均一化し、パージガス供給管への熱の伝わり方が均一になるため、それにより熱レンズ効果現象の発生を抑制することができる。
攪拌部は、パージガス供給管の外壁面に突出する螺旋状の突条部材を含んでもよい。この場合には、管状部材とパージガス供給管との間隙を通過するパージガスが、螺旋状の突条部材に沿ってパージガス供給管の外表面を旋回するように案内されて攪拌される。このことにより、パージガスの温度分布が均一化し、熱レンズ効果現象の発生を抑制することができる。
本発明に係るガス分析装置では、測定光が通過する光路上の温度分布を均一化し、熱レンズ効果現象の発生を防止して、測定精度を高めることができる。
図1は、第1実施形態のガス分析装置の斜視図である。 図2は、第1実施形態のガス分析装置の側面図である。 図3は、第1実施形態のガス分析装置の要部拡大断面図である。 図4は、第2実施形態のガス分析装置の要部拡大断面図である。 図5は、第2実施形態のガス分析装置の要部拡大断面図である。 図6は、第3実施形態のガス分析装置の要部を示す斜視図である。 図7は、第4実施形態のガス分析装置の側面図である。 図8は、従来例のガス分析装置の要部説明図である。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係るガス分析装置1の構成を示す斜視図であり、図2は、その側面図である。
ガス分析装置1は、プローブ管11(管状部材の一例)と、分析ユニット12と、フランジ13と、導光管14とを有している。
分析ユニット12(第1光学系部材の一例)は、発光部15、受光部16、制御部17を備えている。
発光部15は、測定対象となるガスに対して導光管14及びプローブ管11を通して測定光となるレーザビームを出射する光源であり、直進性の高い所定波長域の光を照射するための赤外線レーザ発振装置などで構成できる。
受光部16は、煙道内の測定対象ガスを通して入射する測定光を受光する受光素子である。
制御部17は、発光部15からのレーザビームの出射を制御し、受光部16により受光した測定光に基づいて測定対象であるガスの成分分析を行う。
分析ユニット12は、導光管14及びフランジ13を介してプローブ管11と接続されている。
プローブ管11は、内部中空の円筒状に形成されており、配管側壁51内部に構成される煙道50内のガス流Sに直交するように配置される。
プローブ管11の測定領域には、ガス流Sの下流側に位置して、プローブ管11内にガスを導入するための開口18が設けられている。図示した例では、開口18に複数のリブ19を設けてプローブ管11の強度を維持するように構成している。このような開口18の形状やリブ19の個数は、図示した例に限定されない。
プローブ管11の先端部には、分析ユニット12の発光部15から出射される測定光を反射するためのリフレクタ20(第2光学系部材の一例)が設けられている。
リフレクタ20は、発光部15から出射された測定光を受光部16側に反射するものであって、コーナーキューブ・プリズムで構成できる。
ガス分析装置1は、煙道50を構成する配管側壁51の取付部52に取り付けられる。
取付部52は、たとえば、配管側壁51の開口53に取り付けられた設置用パイプ54で構成できる。
設置用パイプ54は、円筒状の部材であって、溶接やビス止めなどによって配管側壁51に固定される。
また、設置用パイプ54は、ガス分析装置1を固定するための取付フランジ55を備えており、ガス分析装置1のフランジ13がこの取付フランジ55に溶接またはビス止めされることにより、ガス分析装置1が間接的に配管側壁51に固定される。
設置用パイプ54とプローブ管11との間に間隙56がある場合には、この間隙56に煙道50を流れるガス流Sの一部が流入しないように、遮蔽板21を設けることができる。
プローブ管11は、第1パージガス供給部22及び第2パージガス供給部23を備えている。
第1パージガス供給部22及び第2パージガス供給部23は、それぞれ分析ユニット12に設けられた発光部15、受光部16などで構成される第1光学系部材及びプローブ管11の先端部に設けられたリフレクタ20で構成される第2光学系部材を保護するために、プローブ管11内にパージガスを供給するものである。
なお、パージガスPaを第1パージガス供給部22及び第2パージガス供給部23に供給するために、流量制御ユニット48が設けられている。流量制御ユニット49では、圧力をレギュレータ(図示せず)で制御して、流量計(図示せず)を見ながらニードルバルブ(図示せず)の調整を行うことで、流量を制御している。
図3は、プローブ管11の一端側における断面図である。
プローブ管11及び導光管14の内壁面に間隙28を空けて、パージガス供給管26(パージガス供給管の一例)が配置されている。パージガス供給管26は、プローブ管11内に配置される部分と導光管14内に配置される部分が一体に形成されていてもよく、フランジ13部分においてプローブ管11側と導光管14側に分割されていてもよい。
パージガス供給管26は、中空部を有するパイプ形状であり、第1パージガス供給部22が接続される接続口30が設けられている。第1パージガス供給部22から供給されるパージガスは、接続口30を介してパージガス供給管26の中空部に供給され、先端部27方向に流れる。
また、パージガス供給管26の中空部は、発光部15から出射される測定光がリフレクタ20側に通過し、リフレクタ20で反射してプローブ管11の測定領域を通過した測定光が受光部16側に通過する光路を構成する。
パージガス供給管26は、第1パージガス供給部22との接続口30から、プローブ管11の測定領域端部の近傍に位置する先端部27まで、ほぼ均一の内径を有する。
パージガス供給管26の先端部27には、プローブ管11との間隙28を遮蔽する遮蔽板29が設けられている。
プローブ管11の測定領域の一方の端部に位置する上流側には、切欠孔24が設けられている。切欠孔24には、ガス流Sが流れ込む。
図3に示すように、パージガス供給管26の先端部27において、パージガスPaとガス流Sが互いに衝突する。パージガスPaは、ガス流Sによって、プローブ管11内の測定領域側に流入することが防止される。この結果、測定領域においてパージガスによる測定誤差が生じることがなくなる。また、ガス流Sは、パージガスPaによって、切欠孔24から流入したガス流Sが分析ユニット12側に流れ込むことが防止される。この結果、発光部15及び受光部16などの光学系の汚染及び腐食などを防止できる。このため、切欠孔24を介してプローブ管11内に流入するガス流Sがパージガス供給管26の中空部断面全域を横切るように、切欠孔24の大きさをパージガス供給管26の内径よりも大きくすることが好ましい。
この実施形態では、プローブ管11がフランジ13側において片持ち支持で配管側壁51に取り付けられている。したがって、フランジ13近傍の取付部、第1パージガス供給部22との接合部、分析ユニット12との接合部などにおいて、プローブ管11が複雑な構造になり、その内径にばらつきを有する場合がある。そのような場合であっても、パージガス供給管26を介してプローブ管11の測定領域一端に対して、パージガスを層流状態で供給することができ、温度分布の不均一を防止することができる。
なお、流量制御ユニット49による流量制御によって、上述の層流状態を確実に得ることができる。
また、プローブ管11とパージガス供給管26との間隙28が遮蔽板29によって密閉されていることから、この間隙28の断熱効果により、パージガス供給管26を通過するパージガスに外気温の影響による温度分布の不均一が発生することを防止できる。
なお、第2パージガス供給部23から供給されるパージガスは、導光管14及びプローブ管11内に配置されるパージガス供給管(図示せず)によって、プローブ管11の先端部に供給され、プローブ管11の切欠孔25から流入して下流側に流れるガス流Sとともに煙道50内に導入される。このことにより、プローブ管11内の測定領域側にパージガスが流入することを防止でき、測定領域においてパージガスによる測定誤差が生じることがなくなる。また、第2パージガス供給部23から供給されるパージガスによって、切欠孔25から流入したガス流Sがリフレクタ20側に流れ込むことを防止でき、リフレクタ20の汚染及び腐食を防止できる。この場合も、切欠孔25の大きさをパージガス供給管の径よりも大きくすることにより、パージガス供給管から流入するパージガスが測定領域に流入することを防止できる。
図2に示すように、プローブ管11に遮蔽板21を設けた場合には、設置用パイプ54とプローブ管11との間隙56にガス流Sの一部が流入することがなくなり、温度分布の不均一を防止する効果をさらに高めることができる。 パージガス供給管26の形状は、測定光が通過可能な内部中空を有する構成であればよく、その断面が多角形、楕円形、またはこれらの複合的な形状とすることもできる。
(第2実施形態)
図4及び図5は、本発明の第2実施形態のガス分析装置の要部断面図である。
第2実施形態において、第1実施形態と同一形態の構成要素について同一符号を付して、その詳細な説明を省略することとする。
第2実施形態におけるガス分析装置1は、第1実施形態と同様に、プローブ管11と、分析ユニット(図示せず)と、フランジ(図示せず)と、導光管14とを有しており、分析ユニットに取り付けられる発光部及び受光部により測定光の投光及び受光を行って試料ガスの濃度分析を行う。
プローブ管11の中空部にはプローブ管11の内壁面と隙間を空けてパージガス供給管26が配置されている。
パージガス供給管26は、中空部を有するパイプ形状であり、第1パージガス供給部22が接続される接続口30が設けられている。第1パージガス供給部22から供給されるパージガスは、接続口30を介してパージガス供給管26の中空部に供給され、先端部27方向に流れる。
プローブ管11には、第2パージガス供給部23が接続される接続口31が設けられている。第2パージガス供給部23をこの接続口31に接続することにより、第2パージガス供給部23から供給されるパージガスを、プローブ管11とパージガス供給管26の間隙28に導入することができる。
パージガス供給管26の先端部27には、プローブ管11との間隙28を遮蔽する遮蔽板29が設けられており、遮蔽板29には開口32が設けられている。遮蔽板29の開口32には、プローブ管11の先端に設けられたリフレクタ20の近傍にパージガスを供給するための先端部パージガス供給管33(先端部パージガス供給管の一例)が接続されている。
プローブ管11の測定領域の両端に位置する上流側には、切欠孔24、25が設けられている。切欠孔24、25には、ガス流Sが流れ込む。
図4に示すように、パージガス供給管26の先端部27において、パージガスPaとガス流Sが互いに衝突する。パージガスPaは、ガス流Sによって、プローブ管11内の測定領域側に流入することが防止される。この結果、測定領域においてパージガスによる測定誤差が生じることがなくなる。また、ガス流Sは、パージガスPaによって、分析ユニット12側に流れ込むことが防止される。その結果、発光部15及び受光部16などの光学系の汚染及び腐食などを防止できる。
図5に示すように、切欠孔25及び先端部パージガス供給管33の先端の近傍において、パージガスPaとガス流Sが互いに衝突する。先端部パージガス供給管33からプローブ管11の先端部に供給されたパージガスPaは、プローブ管11の切欠孔25から流入して下流側に流れるガス流Sとともに煙道50内に導入される。このことにより、プローブ管11内の測定領域側にパージガスPaが流入することを防止でき、測定領域においてパージガスPaによる測定誤差が生じることがなくなる。また、ガス流Sは、パージガスPaによってリフレクタ20側に流れ込むことが防止される。その結果、リフレクタ20の汚染及び腐食を防止できる。
このことから、遮蔽板29の開口32及び先端部パージガス供給管33は、切欠孔24,25から導入される試料ガスの流路を妨げないように、プローブ管11の中心部から偏心した位置に設けられる。図示したように、先端部パージガス供給管33をプローブ管11内のガス流S下流側にすることで、切欠孔24,25から導入されるガス流が先端部パージガス供給管33に衝突して対流が生じることを防止できる。先端部パージガス供給管33の先端部は、リフレクタ20の表面であって測定光の光路上にパージガスを供給するために、ガス流の上流側またはリフレクタの中心部に位置することが好ましい。
プローブ管11とパージガス供給管26との間隙28において、パージガス供給管26の外面に複数の仕切板34(仕切板の一例)が設けられている。
仕切板34は、プローブ管11が円筒形状である場合には、プローブ管11の内壁面との間に所定の間隔35ができるように、プローブ管11の内径よりも小さい径の円板で構成される。このことにより、プローブ管11とパージガス供給管26との間隙28は、仕切板34によって仕切られた複数のリング状の空洞部36(攪拌部の一例)が間隔35で連通した構造となる。なお、仕切板34は、円板形状に限定されるものではなく、間隙28を複数の空洞部36に仕切るとともに各空洞部36を間隔35で連通する構成であればよく、プローブ管11の内壁面の形状やパージガス供給管26の形状に応じて適宜変更することが可能である。
第2パージガス供給部23から供給されるパージガスは、接続口31を介して間隙28に流入し、パージガス供給管26の先端部27にある開口32を介して先端部パージガス供給管33に流入する。
間隙28内を流れるパージガスは、仕切板34の位置では間隔35を通過することで流路が狭くなり、空洞部36に入ると急激に流路が広がることから、図4の矢印A,B,Cで示すような乱れた流れを形成する。
したがって、間隙28内を流れるパージガスは空洞部36内で攪拌され、間隙28の外周であってプローブ管11の内壁面に沿って通過する気流と、パージガス供給管26の外壁面に沿って通過する気流とが混ざり合うことになる。
このようにして、先端部パージガス供給管33に供給されるパージガスは、間隙28を通過することにより温度分布が均一になっている。したがって、測定領域に配置された先端部パージガス供給管33を通過するパージガスと、プローブ管11内に導入される試料ガスとの温度差が少なくなり、つまりプローブ管11の温度分布が均一になってその結果熱レンズ効果現象の発生を防止できる。
(第3実施形態)
図6は、本発明の第3実施形態のガス分析装置の要部拡大斜視図である。
第3実施形態において、第1実施形態及び第2と同一形態の構成要素について同一符号を付して、その詳細な説明を省略することとする。
第3実施形態におけるガス分析装置1は、第1実施形態と同様に、プローブ管11と、分析ユニット(図示せず)と、フランジ(図示せず)と、導光管(図示せず)とを有しており、分析ユニットに取り付けられる発光部及び受光部により測定光の投光及び受光を行って試料ガスの濃度分析を行う。
プローブ管11の中空部にはプローブ管11の内壁面と隙間を空けてパージガス供給管26が配置されている。
パージガス供給管26は、中空部を有するパイプ形状であり、第1パージガス供給部(図示せず)から中空部に供給されるパージガスを先端部27側に案内する。
プローブ管11には、第2パージガス供給部(図示せず)が接続されており、第2パージガス供給部から供給されるパージガスが、プローブ管11とパージガス供給管26の間隙28に導入される。
パージガス供給管26の先端部27には、プローブ管11との間隙28を遮蔽する遮蔽板29が設けられている。遮蔽板29には、開口32が設けられており、プローブ管11の先端側にパージガスを案内する先端部パージガス供給管33が開口32に接続されている。
この場合も、図示したように、先端部パージガス供給管33をプローブ管11内のガス流S下流側にすることで、切欠孔24から導入されるガス流が先端部パージガス供給管33に衝突して対流が生じることを防止できる。
パージガス供給管26の外壁面には螺旋状の突条部材40(仕切板の一例)が設けられている。突条部材40は、外周がプローブ管11の内壁面に当接していてもよく、外周とプローブ管11の内壁面との間に隙間がある構成であってもよい。この突条部材40によって、プローブ管11とパージガス供給管26の間隙には、パージガス供給管26の外壁面に沿って旋回する螺旋状のガス通過経路41(攪拌部の一例)が構成される。
第2パージガス供給部から供給されたパージガスは、プローブ管11とパージガス供給管26の間隙に導入され、開口32に向けて流れる。このとき、パージガスは、パージガス供給管26の外壁面に設けられた突条部材40に沿って螺旋状に進行し、ガス通過経路41内で攪拌されながら開口32に到達する。
このようにして、先端部パージガス供給管33に供給されるパージガスは、間隙28を通過することにより温度分布が均一になっている。したがって、測定領域に配置された先端部パージガス供給管33を通過するパージガスと、プローブ管11内に導入される試料ガスとの温度差が少なくなり、それによりプローブ管11の温度分布が均一になって熱レンズ効果現象の発生を防止できる。
(第4実施形態)
図7は、本願発明の第4実施形態によるガス分析装置100の断側面図である。
ガス分析装置100は、配管側壁151の対向する位置に配置される第1ユニット110(第1ユニットの一例)と第2ユニット130(第2ユニットの一例)とを備えている。
第1ユニット110は、分析ユニット111、第1導光管115、第1フランジ116、第1スリーブ117(管状部材の一例)を備えている。
分析ユニット111は、発光部112、受光部113及び制御部114を備える。
発光部112は、測定対象となるガスに対して第1導光管115及び第1スリーブ117を通して測定光となるレーザビームを出射する光源であり、直進性の高い所定波長域の光を照射するための赤外線レーザ発振装置などで構成することができる。
受光部113は、煙道内の測定対象ガスを通して入射する測定光を受光する受光素子である。
制御部114は、発光部112からのレーザビームの出射を制御し、受光部113により受光した測定光に基づいて測定対象であるガスの成分分析を行う。
分析ユニット111は、第1導光管115及び第1フランジ116を介して第1スリーブ117と接続されている。
第1ユニット110の第1導光管115及び第1スリーブ117の内側には、間隙118を空けて第1パージガス供給管120が配置されている。第1パージガス供給管120は、第1スリーブ117内に配置される部分と第1導光管115内に配置される部分が一体に形成されていてもよく、第1フランジ116部分において第1スリーブ117側と第1導光管115側に分割されていてもよい。
第1パージガス供給管120は、中空部を有するパイプ形状であり、第1パージガス供給部121が接続される接続口122が設けられている。第1パージガス供給部121から供給されるパージガスは、接続口122を介して第1パージガス供給管120の中空部に供給され、先端部方向に流れる。
このように、第1パージガス供給管120の中空部は、第1パージガス供給部121から供給されるパージガスの案内経路を提供するとともに、発光部112から出射される測定光の経路を提供する。
第1パージガス供給管120は、接続口122から配管側壁151の内周面近傍に位置する先端部129まで、ほぼ均一の内径を有する。
このことにより、第1パージガス供給管120の中空部を通過するパージガスを層流とすることができ、温度分布の不均一に基づく熱レンズ効果現象の発生を防止できる。
第1導光管115には、第2パージガス供給部123が接続される接続口124が設けられている。第2パージガス供給部123をこの接続口124に接続することにより、第2パージガス供給部123から供給されるパージガスを、第1スリーブ117と第1パージガス供給管120の間隙118に導入することができる。
なお、パージガスPaを第1パージガス供給部121及び第2パージガス供給部123に供給するために、流量制御ユニット148が設けられている。流量制御ユニット148では、圧力をレギュレータ(図示せず)で制御して、流量計(図示せず)を見ながらニードルバルブ(図示せず)の調整を行うことで、流量を制御している。
第1スリーブ117と第1パージガス供給管120との間隙118において、第1パージガス供給管120の外面に複数の仕切板125(仕切板の一例)が設けられている。
仕切板125は、第1スリーブ117が円筒形状である場合には、第1スリーブ117の内壁面との間に所定の間隔126ができるように、第1スリーブ117の内径よりも小さい径の円板で構成される。このことにより、第1スリーブ117と第1パージガス供給管120との間隙118は、仕切板125によって仕切られた複数のリング状の空洞部127(攪拌部の一例)が間隔126で連通した構造となる。なお、仕切板125は、円板形状に限定されるものではなく、間隙118を複数の空洞部127に仕切るとともに各空洞部127を間隔126で連通する構成であればよく、第1スリーブ117の内壁面の形状や第1パージガス供給管120の形状に応じて適宜変更することが可能である。
第2パージガス供給部123から供給されるパージガスは、接続口124を介して間隙118に流入し、複数の空洞部127を介して煙道150内に案内される。
間隙118内を流れるパージガスは、仕切板125の位置では間隔126を通過することで流路が狭くなり、空洞部127に入ると急激に流路が広がることから、図7の矢印A,B,Cで示すような乱れた流れを形成する。
したがって、間隙118内を流れるパージガスは空洞部127内で攪拌され、第1スリーブ117の内壁面に沿って通過する気流と、第1パージガス供給管120の外壁面に沿って通過する気流とが混ざり合うことになる。
このようにして、間隙118内を流れるパージガスの温度分布が均一になり、第1パージガス供給管120の内部を流れるパージガスが外気の不均一な温度影響を受けることを防止し、測定光の光路上における温度分布を均一にすることができる。その結果、熱レンズ効果現象の発生を防止でき、測定精度を高めることができる。
図7に示す例では、第1スリーブ117と第1パージガス供給管120との間の間隙118は、先端部分において煙道150に向けて開放しているが、この先端部分に遮蔽板を設けることも可能である。その場合、第1パージガス供給管120の先端部よりもガス流Sの上流側に位置して、遮蔽板に開口を設けることで、試料ガスが光学系部材に到達することを防止するパージガスを効果的に流すことができる。
また、このような遮蔽板を第1パージガス供給管120の先端部129に設けることにより、第1パージガス供給管120の先端部129を第1スリーブ117に固定することができ、第1パージガス供給管120の先端部129が振動することを防止して測定精度を高めることが可能となる。
第1取付部152は、たとえば、配管側壁151の開口153に設けられる第1取付フランジ154を備えている。
第1取付部152の開口153と、第1スリーブ117との間隙155を遮蔽するように遮蔽板128が取付けられる。
遮蔽板128は、配管側壁151の内表面156近傍に位置して設けられている。このように、遮蔽板128が設けられているのが煙道150側なので、試料ガスが間隙155に流入するのが抑えられる。
遮蔽板128は、第1スリーブ117の外周面に固定された円板状の部材であり、外周縁が開口153の内周面に近接又は当接している。近接の場合は試料ガスの遮断の観点からは隙間が小さいことが好ましい。また、当接の場合は、間隙155が遮蔽されて、試料ガスの遮断効果が高くなる。
図示した例では、1つの遮蔽板119を第1スリーブ117に取り付けた例を示しているが、複数の遮蔽板を第1スリーブ117の軸方向に隙間を空けて配置することも可能であり、この場合にはさらに試料ガスが間隙155に流入しにくい。
第2ユニット130は、リフレクタ131、第2導光管132、第2フランジ133、第2スリーブ134(管状部材の一例)を備えている。
リフレクタ131は、発光部112から出射された測定光を受光部113側に反射するものであって、コーナーキューブ・プリズムで構成することができる。
リフレクタ131は、第2導光管132及び第2フランジ133を介して第2スリーブ134と接続されている。
第2ユニット130の第2導光管132及び第2スリーブ134の内側には、間隙135を空けて第2パージガス供給管136が配置されている。第2パージガス供給管136は、第2スリーブ134内に配置される部分と第2導光管134内に配置される部分が一体に形成されていてもよく、第2フランジ133部分において第2スリーブ134側と第2導光管132側に分割されていてもよい。
第2パージガス供給管136は、中空部を有するパイプ形状であり、第3パージガス供給部137が接続される接続口138が設けられている。第3パージガス供給部137から供給されるパージガスは、接続口138を介して第2パージガス供給管136の中空部に供給され、先端部方向に流れる。
このように、第2パージガス供給管136の中空部は、第3パージガス供給部137から供給されるパージガスの案内経路を提供するとともに、発光部112から出射されリフレクタ131によって反射される測定光の経路を提供する。
第2パージガス供給管136は、接続口138から配管側壁151の内周面近傍に位置する先端部145まで、ほぼ均一の内径を有する。
このことにより、第2パージガス供給管136の中空部を通過するパージガスを層流とすることができ、温度分布の不均一に基づく熱レンズ効果現象の発生を防止できる。
第2導光管132には、第4パージガス供給部139が接続される接続口140が設けられている。第4パージガス供給部139をこの接続口140に接続することにより、第4パージガス供給部139から供給されるパージガスを、第2スリーブ134と第2パージガス供給管136の間隙135に導入することができる。
なお、パージガスPaを第3パージガス供給部137及び第4パージガス供給部139に供給するために、流量制御ユニット149が設けられている。流量制御ユニット149では、圧力をレギュレータ(図示せず)で制御して、流量計(図示せず)を見ながらニードルバルブ(図示せず)の調整を行うことで、流量を制御している。
第2スリーブ134と第2パージガス供給管136との間隙135において、第2パージガス供給管136の外面に複数の仕切板141が設けられている。
仕切板141は、第2スリーブ134が円筒形状である場合には、第2スリーブ134の内壁面との間に所定の間隔142ができるように、第2スリーブ134の内径よりも小さい径の円板で構成される。このことにより、第2スリーブ134と第2パージガス供給管136との間隙135は、仕切板141によって仕切られた複数のリング状の空洞部143が間隔142で連通した構造となる。なお、仕切板141は、円板形状に限定されるものではなく、間隙135を複数の空洞部143に仕切るとともに各空洞部143を間隔142で連通する構成であればよく、第2スリーブ134の内壁面の形状や第2パージガス供給管136の形状に応じて適宜変更することが可能である。
第4パージガス供給部139から供給されるパージガスは、接続口140を介して間隙135に流入し、複数の空洞部143を介して煙道150内に案内される。
間隙135内を流れるパージガスは、仕切板141の位置では間隔142を通過することで流路が狭くなり、空洞部143に入ると急激に流路が広がることから、第1スリーブ117側と同様の乱流が形成される。
したがって、間隙135内を流れるパージガスは空洞部143内で攪拌され、第2スリーブ134の内壁面に沿って通過する気流と、第2パージガス供給管136の外壁面に沿って通過する気流とが混ざり合うことになる。
このようにして、間隙135内を流れるパージガスの温度分布が均一になり、第2パージガス供給管136の内部を流れるパージガスが外気の影響を受けることを防止し、測定光の光路上における温度分布を均一にすることができる。その結果、熱レンズ効果現象の発生を防止でき、測定精度を高めることができる。
図7に示す例では、第2スリーブ134においても、第2パージガス供給管136との間の間隙135が煙道150に向けて開放した構成となっているが、この先端部分に遮蔽板を設けることも可能である。その場合、第2パージガス供給管136の先端部よりもガス流Sの上流側に位置して、遮蔽板に開口を設けることで、試料ガスが光学系部材に到達することを防止するパージガスを効果的に流すことができる。
また、このような遮蔽板を第2パージガス供給管136の先端部145に設けることにより、第2パージガス供給管136の先端部145を第2スリーブ134に固定することができ、第2パージガス供給管136の先端部145が振動することを防止して測定精度を高めることが可能となる。
第2取付部160は、たとえば、配管側壁151の開口161に設けられる第2取付フランジ162を備えている。
第2取付部160の開口161と、第2スリーブ134との間隙163を遮蔽するように遮蔽板164が取付けられる。
遮蔽板164は、配管側壁151の内表面156近傍に位置して設けられている。このように、遮蔽板164が設けられているのが煙道150側なので、試料ガスが間隙163に流入するのが抑えられる。
遮蔽板164は、第2スリーブ134の外周面に固定された円板状の部材であり、外周縁が開口161の内周面に近接又は当接している。近接の場合は試料ガスの遮断の観点からは隙間が小さいことが好ましい。また、当接の場合は、間隙163が遮蔽されて、試料ガスの遮断効果が高くなる。
図示した例では、1つの遮蔽板164を第2スリーブ134に取り付けた例を示しているが、複数の遮蔽板を第2スリーブ134の軸方向に隙間を空けて配置することも可能であり、この場合にはさらに試料ガスが間隙163に流入しにくい。
第4実施形態では、投受光を行う光学系部材を備える第1ユニット110と、リフレクタを含む光学系部材を備える第2ユニット130が、配管側壁151の対向する位置に取り付けられた場合に、パージガスによって試料ガスが光学系部材に到達することを防止して光学系部材の汚染を防止するとともに、測定光の光路上に位置するパージガスの温度分布を均一にして熱レンズ効果現象の発生を防止している。
第1スリーブ117及び第2スリーブ134の先端は、配管側壁151の内表面156よりも煙道150内に突き出した構成とすることもできる。たとえば、測定領域の長さを配管側壁151の内径よりも短く設定する場合には、第1スリーブ117の先端部及び第2スリーブ134の先端部の距離が測定領域の長さに一致するように、第1スリーブ117及び第2スリーブ134の長さを設定する。
この場合、第1パージガス供給管120の先端部129及び第2パージガス供給管136の先端部145が、それぞれ第1スリーブ117及び第2スリーブ134の先端部と同位置になるようにする。
円板形状の仕切板125及び仕切板141に代えて、第1パージガス供給管120及び第2パージガス供給管134の外壁面に螺旋状の突条部材を設けることができる。
突条部材は、第3実施例と同様の構成とすることができ、第1スリーブ117及び第2スリーブ134の内壁面に当接していてもよく、第1スリーブ117及び第2スリーブ134の内壁面との間に隙間がある構成であってもよい。
この突条部材によって、第1スリーブ117と第1パージガス供給管120の間隙118、第2スリーブ134と第2パージガス供給管136の間隙135には、螺旋状のガス通過経路が構成され、供給されるパージガスがガス通過経路内で攪拌されながら煙道150内に導入される。
このことにより、第1スリーブ117と第1パージガス供給管120の間隙118、第2スリーブ134と第2パージガス供給管136の間隙135を通過したパージガスの温度が均一になり、第1パージガス供給管120及び第2パージガス供給管136の内部を通過するパージガスの温度分布が均一になる。
したがって、測定光の光路を構成する第1パージガス供給管120及び第2パージガス供給管136の内部の温度分布が均一になることで、熱レンズ効果現象が発生することを防止し、測定精度を向上させることが可能となる。
投光部と受光部が配管側壁を挟んで対向する位置に取り付けられている場合についても、パージガス供給管を2重管構造に構成することが可能である。
(変形例A)
パージガス供給管26は、発光部15からの出射する測定光の経路のみを含む第1パージガス供給管と、測定領域を通過して受光部16により受光される測定光の経路のみを含む第2パージガス供給管とを独立したものとすることができる。
この場合には、第1パージガス供給管及び第2パージガス供給管にそれぞれパージガスを供給する手段を別に設ける必要がある。
このようにした場合、パージガスを供給するための管径を小さくすることができ、光学系部材を保護するためのパージガスの流量を軽減することができる。
(変形例B)
パージガス供給管26は、断面が楕円形状のパイプを用いることができる。
この場合には、発光部15及び受光部16の配置状態に合わせて、パージガスの流路径を小さくすることができ、光学系部材を保護するためのパージガスの流量を軽減することができる。
また、パージガス供給管26は、種々の断面形状とすることができ、三角形、四角形を含む多角形、及び円、楕円と多角形を組み合わせた形状にすることが可能である。
この場合、プローブ管11やその他の部材の形状に基づく設計上の自由度を高めることができる。
(変形例C)
前述した実施形態では、プローブ管11とパージガス供給管26との二重管構造を提案しているが、プローブ管11とパージガス供給管26との間に、1以上の管部材を挿入して多重管構造とすることもできる。
この場合には、管部材同士の間にできる間隙による断熱機能によって、パージガス供給管26内を流れるパージガスの温度が均一に維持され、それにより熱レンズ効果現象の発生を防止できる。
(変形例D)
前記実施形態では撹拌部として仕切板34と突条部材40が例示されたが、他の形状であってもよい。
(変形例E)
前記実施形態ではパージガス供給管26の内径は流路方向に沿って均一であったが、パージガス供給管は内径が異なる部分を有していてもよい。
(変形例F)
各実施形態では、測定光としてレーザビームを用いたガス分析装置を開示したが、その他の光源を用いたガス分析装置に適用することが可能である。
(他の実施形態)
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組合せ可能である。
たとえば、プローブの種類、ガスの種類、仕切板の位置、仕切板の枚数、仕切板の形状、仕切板のサイズ、突条部材の形状、突条部材のピッチは、それぞれを変形したものを組み合わせて構成することが可能である。
投光部と受光部が配管側壁を挟んで対向する位置に取り付けられている場合についても、本発明の構成を適用することができる。たとえば、第4実施形態の第1ユニット110及び第2ユニット130のうちの一方の発光部を備え、他方に受光部を備える構成とすることができる。
このような場合にも、発光部を含むユニット及び受光部を備えるユニットのそれぞれに2重管の構造を設けることにより、発光部及び受光部に試料ガスが到達することを防止し、パージガスの温度分布を均一することで、熱レンズ効果現象の発生に基づく測定光のふらつきを抑制して、測定精度を高めることができる。
本発明は、配管内を流れる試料ガス中の所定成分の濃度を分析するために配管内に配置されるガス分析用プローブを備えるガス分析装置に広く適用できる。
1 ガス分析装置
11 プローブ管
12 分析ユニット
26 パージガス供給管
35 仕切板
36 空洞部
40 突条部材
41 ガス通過経路

Claims (7)

  1. 配管内を流れる試料ガスの所定の測定領域に測定光を投光し、及び/又は当該測定領域から測定光を受光するための光路を形成する管状部材と、
    前記測定領域内の試料ガスに対して測定光を投光し、及び/またはその測定領域から測定光を受光する光学系部材と、
    前記光学系部材と前記測定領域との間の領域にパージガスを供給するためのパージガス流路と前記測定光の光路とを含む中空部を有し、前記管状部材の内壁面と第1間隙を空けて前記管状部材の内部に配置されるパージガス供給管と、
    前記配管の側壁の開口に設けられ取付部に、前記管状部材の外壁面と前記取付部の内壁面との間に第2間隙を形成するよう固定されるフランジと、
    を備えるガス分析装置。
  2. 前記パージガス供給管の中空部を流れるパージガスは層流である、請求項1に記載のガス分析装置。
  3. 前記パージガス供給管の先端は、前記測定領域の端部近傍に配置される、請求項1または2に記載のガス分析装置。
  4. 前記パージガス供給管の先端に設けられ、前記管状部材との前記第1間隙を前記測定領域から遮蔽する遮蔽板をさらに備える、請求項1〜3のいずれかに記載のガス分析装置。
  5. 前記パージガス供給管と前記管状部材との前記第1間隙は、前記光学系部材と前記測定領域との間の領域にパージガスを供給するための第2のパージガス流路を構成し、
    前記第2のパージガス流路を通過するパージガスを攪拌するために、前記パージガス供給管と前記管状部材との前記第1間隙に設けられた攪拌部をさらに備える、請求項1〜4のいずれかに記載のガス分析装置。
  6. 前記管状部材は、前記配管内を流れる試料ガスを内部中空内の前記測定領域に導入するために、配管内の試料ガスの流路に交差して配置され、
    前記光学系部材は、管状部材の第1端に設けられ前記測定光を測定領域に出射する発光部と前記測定領域内の試料ガスを通過した測定光を受光する受光部とを含む第1光学系部材と、前記管状部材の第2端に設けられ前記発光部からの照射光を前記受光部側に反射するリフレクタで構成される第2光学系部材とを含み、
    前記パージガス供給管と前記管状部材との前記第1間隙と連通するとともに前記第2光学系部材の近傍に先端が位置する先端部パージガス供給管と、
    をさらに備え、前記第2のパージガス流路と前記先端部パージガス供給管とを通って、前記第2光学系部材近傍にパージガスが供給される、請求項5に記載のガス分析装置。
  7. 前記攪拌部は、前記管状部材と前記パージガス供給管との前記第1間隙を通過するパージガスを攪拌するために前記パージガス供給管の外壁面に設けられた1または複数の仕切板を含む、請求項5または6に記載のガス分析装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6766488B2 (ja) * 2016-07-13 2020-10-14 富士電機株式会社 ガス分析装置
JP6973419B2 (ja) * 2019-01-11 2021-11-24 横河電機株式会社 ガス分析装置
JP7176470B2 (ja) * 2019-04-26 2022-11-22 横河電機株式会社 ガス分析装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6290524A (ja) * 1985-10-17 1987-04-25 Sumitomo Metal Ind Ltd 転炉排ガスの分析方法および装置
DE4443016A1 (de) * 1994-12-02 1996-06-05 Sick Optik Elektronik Erwin Gasanalytisches Meßgerät
JP2009270917A (ja) * 2008-05-07 2009-11-19 Nohken:Kk レーザ式ガス分析計の取付構造
EP2416146B1 (en) * 2010-08-04 2018-12-26 HORIBA, Ltd. Probe for gas analysis
JP6077743B2 (ja) * 2011-12-27 2017-02-08 株式会社堀場製作所 ガス分析装置

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