JP5992683B2 - ガス分析装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係るガス分析装置1の構成を示す斜視図であり、図2は、その側面図である。
(第2実施形態)
図4及び図5は、本発明の第2実施形態のガス分析装置の要部断面図である。
(第3実施形態)
図6は、本発明の第3実施形態のガス分析装置の要部拡大斜視図である。
(第4実施形態)
図7は、本願発明の第4実施形態によるガス分析装置100の断側面図である。
パージガス供給管26は、発光部15からの出射する測定光の経路のみを含む第1パージガス供給管と、測定領域を通過して受光部16により受光される測定光の経路のみを含む第2パージガス供給管とを独立したものとすることができる。
(変形例B)
パージガス供給管26は、断面が楕円形状のパイプを用いることができる。
前述した実施形態では、プローブ管11とパージガス供給管26との二重管構造を提案しているが、プローブ管11とパージガス供給管26との間に、1以上の管部材を挿入して多重管構造とすることもできる。
前記実施形態では撹拌部として仕切板34と突条部材40が例示されたが、他の形状であってもよい。
前記実施形態ではパージガス供給管26の内径は流路方向に沿って均一であったが、パージガス供給管は内径が異なる部分を有していてもよい。
各実施形態では、測定光としてレーザビームを用いたガス分析装置を開示したが、その他の光源を用いたガス分析装置に適用することが可能である。
(他の実施形態)
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組合せ可能である。
11 プローブ管
12 分析ユニット
26 パージガス供給管
35 仕切板
36 空洞部
40 突条部材
41 ガス通過経路
Claims (7)
- 配管内を流れる試料ガスの所定の測定領域に測定光を投光し、及び/又は当該測定領域から測定光を受光するための光路を形成する管状部材と、
前記測定領域内の試料ガスに対して測定光を投光し、及び/またはその測定領域から測定光を受光する光学系部材と、
前記光学系部材と前記測定領域との間の領域にパージガスを供給するためのパージガス流路と前記測定光の光路とを含む中空部を有し、前記管状部材の内壁面と第1間隙を空けて前記管状部材の内部に配置されるパージガス供給管と、
前記配管の側壁の開口に設けられた取付部に、前記管状部材の外壁面と前記取付部の内壁面との間に第2間隙を形成するよう固定されるフランジと、
を備えるガス分析装置。 - 前記パージガス供給管の中空部を流れるパージガスは層流である、請求項1に記載のガス分析装置。
- 前記パージガス供給管の先端は、前記測定領域の端部近傍に配置される、請求項1または2に記載のガス分析装置。
- 前記パージガス供給管の先端に設けられ、前記管状部材との前記第1間隙を前記測定領域から遮蔽する遮蔽板をさらに備える、請求項1〜3のいずれかに記載のガス分析装置。
- 前記パージガス供給管と前記管状部材との前記第1間隙は、前記光学系部材と前記測定領域との間の領域にパージガスを供給するための第2のパージガス流路を構成し、
前記第2のパージガス流路を通過するパージガスを攪拌するために、前記パージガス供給管と前記管状部材との前記第1間隙に設けられた攪拌部をさらに備える、請求項1〜4のいずれかに記載のガス分析装置。 - 前記管状部材は、前記配管内を流れる試料ガスを内部中空内の前記測定領域に導入するために、配管内の試料ガスの流路に交差して配置され、
前記光学系部材は、管状部材の第1端に設けられ前記測定光を測定領域に出射する発光部と前記測定領域内の試料ガスを通過した測定光を受光する受光部とを含む第1光学系部材と、前記管状部材の第2端に設けられ前記発光部からの照射光を前記受光部側に反射するリフレクタで構成される第2光学系部材とを含み、
前記パージガス供給管と前記管状部材との前記第1間隙と連通するとともに前記第2光学系部材の近傍に先端が位置する先端部パージガス供給管と、
をさらに備え、前記第2のパージガス流路と前記先端部パージガス供給管とを通って、前記第2光学系部材近傍にパージガスが供給される、請求項5に記載のガス分析装置。 - 前記攪拌部は、前記管状部材と前記パージガス供給管との前記第1間隙を通過するパージガスを攪拌するために前記パージガス供給管の外壁面に設けられた1または複数の仕切板を含む、請求項5または6に記載のガス分析装置。
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