JP5990482B2 - 分析電子顕微鏡法における特性ピーク信号改良方法、特性ピーク信号改良システム、及び特性ピーク信号改良プログラム - Google Patents
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Description
これら2つの技術は非弾性散乱現象に起因するが、高エネルギー入射電子ビームがサンプル内の束縛状態の電子を励起するプロセスは、異なる元素への適用のしやすさの点でそれぞれ異なる。
EELS構想実験の第1及び第2の証明は、Gatan社製イメージングフィルターとナノメガス社製Spinning Star歳差システム(PEDを使用した結晶性物質の構造解析のために設計され、市販されているシステム)とにJEOL社製2010FのTEM(透過型電子顕微鏡)を接続させて行われた。収束角が9ミリラジアン(約0.5度)、集光準角度が10ミリラジアン(約0.6度)の0.5nmプローブが、0度から1.92度の範囲の歳差角と連動して使用された。歳差周波数は100Hz、電子顕微鏡電圧は200キロ電子ボルトに設定された。
EDS構想実験の証明は、JEOL社製2100 LaB6のTEMであって、(a)取り出し角22度、検出エリア30平方ミリメートル、5.9キロ電子ボルトでのエネルギー分解能が136電子ボルトのOxford Inca EDS detector model 6498、及び(b)ナノメガス社製DigiStar歳差システムモデルP1000と接続された状態のTEMで行われた。収束角2ミリラジアン(0.12度)の25nmプローブが0度から3度の範囲の歳差角と連動して使用された。歳差周波数は100Hz、電子顕微鏡電圧は200キロ電子ボルトに設定された。
Claims (17)
- 電子顕微鏡に載置された結晶性物質の領域を含むサンプルの位置に電子ビームを作用させて分光データを得るための方法であって、
入射ビームの傾斜角及び方位角の少なくとも一方が時間とともに変化する間、前記サンプルの位置に前記入射ビームを作用させ続ける、動的な散乱を抑制することができる前記傾斜角が関連付けられている入射ビーム走査プロトコルを適用する工程と、
前記入射ビーム走査プロトコルが適用される間に、前記サンプルの特性の少なくとも一部を示すデータを含む分光データ群を取得する工程と、
前記特性に関連付けられた最適な前記入射ビームの傾斜角を特定する工程と、
を有し、前記分光データ群は、
(1)結晶性領域から放出されたエネルギー分解X線から取得したX線エネルギーデータ、又は
(2)電子顕微鏡が透過型電子顕微鏡であり、サンプルから出射されるビームから取得したエネルギー損失データ
を含むことを特徴とする方法。 - 前記分光データ群は、結晶性領域から放出されたX線から取得したX線エネルギーデータを含み、
前記電子顕微鏡が透過型電子顕微鏡であることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記分光データ群は、結晶性領域から放出されたX線から取得したX線エネルギーデータを含み、
前記電子顕微鏡が走査型電子顕微鏡であることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記電子顕微鏡が、透過型電子顕微鏡であり、
前記分光データ群は、サンプルから出射されるビームから取得したエネルギー損失データを含み、
前記入射ビーム走査プロトコルに起因して生じる出射ビームの時間依存運動を取り除く補完的ビーム走査プロトコルを出射ビームに適用する工程をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記分光データ群から前記サンプルの定量的組成情報を抽出するステップをさらに有する請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記入射ビーム走査プロトコルは、一定の入射角において前記入射ビームを歳差運動させることを含む、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記入射ビーム走査プロトコルが適用されていない前記入射ビームは、結晶的物質領域の対称性の高い結晶学的方向に平行である、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記最適な傾斜角を、
傾斜角の範囲で前記入射ビーム走査プロトコルを適用したことによって、前記特性を含む複数のデータ群を前記位置から取得する工程と、
複数のデータ群のそれぞれの特性を数値化する工程と、
により特定することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の方法。 - 前記最適な傾斜角は、数値化された特性が最大値となる最小の傾斜角である、請求項8に記載の方法。
- 請求項5から請求項9のいずれか一項に記載の分光データ取得方法を多数のサンプル位置に適用する工程と、
多数のサンプル位置と前記多数のサンプル位置の相対的位置とから得た前記サンプルの定量的構成情報を組成マップ上にマッピングする工程と、を含む組成マップ生成方法。 - 前記電子顕微鏡は複数のビーム偏向制御回路を含み、
前記入射ビーム走査プロトコルは、ビーム走査プロトコル信号を前記複数のビーム偏向制御回路のうち少なくとも一部に供給することで適用される、請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の方法。 - 前記ビーム走査プロトコル信号のうち少なくとも1つが、誘導補償成分、歪み補償成分、レンズ歳差補償成分、及びレンズ収差補償成分のうち1つ以上を含む、請求項11に記載の方法。
- 前記ビーム走査プロトコル信号を供給するように構成された外部ビーム制御装置と、
複数のデジタル/アナログ変換器と、を含み、それぞれのデジタル/アナログ変換器は、ビーム走査プロトコル信号を前記複数のビーム偏向制御回路のうちの一つに供給するように構成される、請求項11又は請求項12に記載の方法を実行するシステム。 - 前記外部ビーム制御装置を駆動し、電子エネルギー損失データ及びX線データを取得するように構成された制御コンピュータをさらに備える、請求項13に記載のシステム。
- 前記外部ビーム制御装置は、さらに電子顕微鏡検出器から異なる複数の時間に受信した複数の画像を比較し、ドリフト補償を適用させるように構成される、請求項13又は請求項14に記載のシステム。
- コンピュータに、請求項1から請求項12のいずれか一項に記載の方法を実行させるためのプログラム。
- 請求項1から請求項12のいずれか一項に記載の前記方法を実行するよう構成されたコンピュータ。
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