JP5989020B2 - イオン生成装置 - Google Patents
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Description
前記パルス列出力回路は、前記正極側パルス列の各パルス電圧のパルス幅と該正極側パルス列において互いに隣り合うパルス電圧同士の間の幅であるパルス休止幅とのうちの少なくともいずれか一方と、前記負極側パルス列の各パルス電圧のパルス幅と該負極側パルス列において互いに隣り合うパルス電圧同士の間の幅であるパルス休止幅とのうちの少なくともいずれか一方とを、前記制御回路から与えられる制御信号に応じて調整可能に構成され、
前記制御回路は、前記巻き線トランスの二次巻き線から出力される前記パルス状の高電圧の立ち上がり時に、該巻き線トランスの磁気飽和が抑制されると共に前記パルス状の高電圧の波形が調整されるように、前記制御信号により、前記パルス列出力回路から出力される前記パルス列の各パルス電圧の前記パルス幅と前記パルス休止幅とのうちの少なくともいずれか一方を制御し、かつ、複数の正極パルス出力、及び各正極パルス出力の波高値の25%〜50%の波高値を有しかつ各正極パルス出力の直前に発生する負極パルス出力からなる正極パルス出力群と、複数の負極パルス出力、及び各負極パルス出力の波高値の25%〜50%の波高値を有しかつ各負極パルス出力の直前に発生する正極パルス出力からなる負極パルス出力群とを、交互に前記二次巻き線から出力するように、前記一次巻き線に印加される前記パルス列出力回路の出力を制御することを特徴とする。
前記制御回路は、前記正極パルス出力群において、一の正極パルス出力の立ち上がり時から次の負極パルス出力の立ち上がり時までの間隔である正極側第1間隔の長さが、当該一の正極パルス出力の立ち上がり時から次の正極パルス出力の立ち上がり時までの間隔である正極側第2間隔の長さの6割以上となるように、かつ、前記負極パルス出力群において、一の負極パルス出力の立ち上がり時から次の正極パルス出力の立ち上がり時までの間隔である負極側第1間隔の長さが、当該一の負極パルス出力の立ち上がり時から次の負極パルス出力の立ち上がり時までの間隔である負極側第2間隔の長さの6割以上となるように、前記パルス列出力回路を制御するように構成されていることが好ましい。
Claims (2)
- 一次巻き線および二次巻き線を有する巻き線トランスと、正極性の複数のパルス電圧から成る正極側パルス列と、負極性の複数のパルス電圧から成る負極側パルス列とのうち少なくともいずれかを出力して、前記一次巻き線に印加するパルス列出力回路と、該パルス列出力回路に制御信号を与える制御回路とを備え、一次巻き線への前記正極側及び負極側パルス列の印加に応じて、前記二次巻き線からパルス状の正極性の高電圧である正極パルス出力及びパルス状の負極性の高電圧である負極パルス出力のうち少なくともいずれかを出力する高圧電源を備えるイオン生成装置であって、
前記パルス列出力回路は、前記正極側パルス列の各パルス電圧のパルス幅と該正極側パルス列において互いに隣り合うパルス電圧同士の間の幅であるパルス休止幅とのうちの少なくともいずれか一方と、前記負極側パルス列の各パルス電圧のパルス幅と該負極側パルス列において互いに隣り合うパルス電圧同士の間の幅であるパルス休止幅とのうちの少なくともいずれか一方とを、前記制御回路から与えられる制御信号に応じて調整可能に構成され、
前記制御回路は、前記巻き線トランスの二次巻き線から出力される前記パルス状の高電圧の立ち上がり時に、該巻き線トランスの磁気飽和が抑制されると共に前記パルス状の高電圧の波形が調整されるように、前記制御信号により、前記パルス列出力回路から出力される前記パルス列の各パルス電圧の前記パルス幅と前記パルス休止幅とのうちの少なくともいずれか一方を制御し、かつ、複数の正極パルス出力、及び各正極パルス出力の波高値の25%〜50%の波高値を有しかつ各正極パルス出力の直前に発生する負極パルス出力からなる正極パルス出力群と、複数の負極パルス出力、及び各負極パルス出力の波高値の25%〜50%の波高値を有しかつ各負極パルス出力の直前に発生する正極パルス出力からなる負極パルス出力群とを、交互に前記二次巻き線から出力するように、前記一次巻き線に印加される前記パルス列出力回路の出力を制御することを特徴とするイオン生成装置。 - 請求項1記載のイオン生成装置において、
前記制御回路は、前記正極パルス出力群において、一の正極パルス出力の立ち上がり時から次の負極パルス出力の立ち上がり時までの間隔である正極側第1間隔の長さが、当該一の正極パルス出力の立ち上がり時から次の正極パルス出力の立ち上がり時までの間隔である正極側第2間隔の長さの6割以上となるように、かつ、前記負極パルス出力群において、一の負極パルス出力の立ち上がり時から次の正極パルス出力の立ち上がり時までの間隔である負極側第1間隔の長さが、当該一の負極パルス出力の立ち上がり時から次の負極パルス出力の立ち上がり時までの間隔である負極側第2間隔の長さの6割以上となるように、前記パルス列出力回路を制御するように構成されていることを特徴とするイオン生成装置。
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