JP5985750B2 - Mems走査ミラーでの光パターン生成 - Google Patents
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Description
物体142の表面にレーザ面124、126、128によって形成される光パターン140は、画像取得装置102によって受けられ得るとともに画像取得装置102のセンサ130によって感知され得る(例えば、読み取られ得る)。センサ130の感知サイクル中に蓄積される光パターンの複数の走査の読取り値に基づいて、画像取得装置102は、物体142の形状を再構成することができ得る。
レーザ線を発生するように構成されるレーザ装置;及びレーザ装置に結合されるとともに、光パターンを物体に投射するためにレーザ線を傾動可能に反射するように構成される傾動可能な微小電気機械システム(MEMS)ミラーの傾動周波数を補完するようレーザ線の光学出力を調整するようにレーザ装置を制御するように構成される、コントローラ、を有する。
レーザ線を傾動可能に反射するように構成される傾動可能な微小電気機械システム(MEMS)ミラー;及びMEMSミラーに結合されるとともに、反射したレーザ線が光パターンを物体に投射することを可能にするようMEMSミラーの傾動を制御するように構成される、コントローラ;を有し、コントローラは、レーザ線の光学出力を補完する傾動周波数でMEMSミラーを制御するように構成される。
Claims (25)
- 物体に光パターンを投射するための装置であって:
レーザ線を生成するレーザ装置;
前記レーザ線を傾動可能に反射する傾動可能な微小電気機械システム(MEMS)ミラー;及び
前記レーザ装置及び前記MEMSミラーに結合されるとともに、反射した前記レーザ線が光パターンを前記物体に投射することを可能にするよう前記MEMSミラーの傾動を制御するように構成される、コントローラ;を有し、
前記コントローラは、前記MEMSミラーの傾動周波数を補完するよう前記レーザ線の光学出力を調整するために前記レーザ装置を制御し、前記光学出力を調整することは、投射される前記光パターンの光学出力を実質的に一定のレベルに維持するように、前記MEMSミラーの前記傾動周波数の変化に応じて前記レーザ線の前記光学出力を変化させることを含む、
装置。 - 前記レーザ装置は、前記物体の画像を取得するように構成される画像取得装置の要件に少なくと部分的に基づいて、前記物体に投射される前記光パターンに少なくとも部分的に基づいて、前記レーザ線の前記光学出力を調整するように制御される、
請求項1に記載の装置。 - 前記画像取得装置はデジタルカメラであり、前記要件は前記デジタルカメラの感知サイクルに関連付けられる、
請求項2に記載の装置。 - 前記コントローラは、前記物体の画像を取得するように構成される画像取得装置の各感知サイクルに対して前記光パターンの複数走査を投射するよう前記MEMSミラーの前記傾動周波数を制御するように構成され、各前記走査は前記物体に投射される1つの光パターンを提供する、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の装置。 - 前記コントローラは、前記MEMSミラーの傾動に関連付けられる音響ノイズ要件を満たすよう前記MEMSミラーの前記傾動周波数をさらに制御するように構成される、
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の装置。 - 前記レーザ装置は:、
レーザビームを供給するように構成されるレーザ源;及び
前記レーザビームを前記レーザ線に変換するように構成される円柱レンズ;を有する、
請求項1乃至5のいずれか1項に記載の装置。 - 前記MEMS走査ミラーは、前記レーザ線と実質的に平行である軸周りに傾動可能である単軸ミラーを有する、
請求項1乃至6のいずれか1項に記載の装置。 - 前記傾動周波数は、約4kHzから約6kHz又は20kHzより上に及ぶ、
請求項1乃至7のいずれか1項に記載の装置。 - 前記光パターンの各走査は、実質的に2次元のパターンを有する、
請求項1乃至8のいずれか1項に記載の装置。 - 前記実質的に2次元のパターンは長方形を有する、
請求項9に記載の装置。 - 前記コントローラは、前記レーザ線の前記光学出力を、前記MEMS走査ミラーの傾動周波数の増加に応じて増加させ、前記MEMS走査ミラーの傾動周波数の減少に応じて減少させる、
請求項1乃至10のいずれか1項に記載の装置。 - 物体の画像を取得するために物体に光パターンを投射するための装置であって:
プロジェクタユニットであって:
レーザ線を生成するレーザ装置;
前記レーザ線を傾動可能に反射する傾動可能な微小電気機械システム(MEMS)ミラー;及び
前記レーザ装置及び前記MEMSミラーに結合されるとともに、反射した前記レーザ線が光パターンを物体に投射することを可能にするよう傾動周波数で前記MEMSミラーの傾動を制御するように構成される、コントローラであって、前記MEMSミラーの前記傾動周波数を補完するよう前記レーザ線の光学出力を調整するために前記レーザ装置を制御する、コントローラ;を含む、
プロジェクタユニット;及び
画像取得装置であって、前記画像取得装置の感知サイクル中に蓄積される、前記物体に投射される前記光パターンの1又は複数の走査の読取り値に基づいて前記物体の画像を取得する、画像取得装置;を有し、
前記コントローラは、投射される前記光パターンの光学出力を実質的に一定のレベルに維持するように、前記MEMSミラーの前記傾動周波数の変化に応じて前記レーザ線の前記光学出力を変化させる、
装置。 - 前記コントローラは、前記画像取得装置の各感知サイクルに対して前記物体に前記光パターンの複数走査を投射するよう前記MEMSミラーの前記傾動周波数をさらに制御するように構成され、各前記走査は前記物体に1つの光パターンを投射する、
請求項12に記載の装置。 - 前記コントローラは、補正テーブルを使用して前記光学出力を調整するよう前記レーザ装置を制御するように構成され、前記補正テーブルは、前記MEMSミラーの傾動周波数値のセットを含み、各前記傾動周波数値は、光学出力範囲を持つ前記レーザ線の光学出力に関連付けられる、
請求項12又は13に記載の装置。 - 前記コントローラは、前記MEMSミラーの傾動に関連付けられる音響ノイズ要件を満たすよう前記MEMSミラーの前記傾動周波数をさらに制御するように構成される、
請求項12乃至14のいずれか1項に記載の装置。 - 前記コントローラは、前記レーザ線の前記光学出力を補完する前記傾動周波数で前記MEMSミラーをさらに制御するように構成される、
請求項12乃至15のいずれか1項に記載の装置。 - 前記MEMS走査ミラーは、前記レーザ線と実質的に平行である軸周りに傾動可能である単軸ミラーを有する、
請求項12乃至16のいずれか1項に記載の装置。 - 前記MEMS走査ミラーは、2軸ミラー又は2ミラー装置を有する、
請求項12乃至17のいずれか1項に記載の装置。 - 前記傾動周波数は、約4kHzから約6kHz又は20kHzより上までの周波数範囲内である、
請求項12乃至18のいずれか1項に記載の装置。 - 前記画像取得装置は、前記物体の上に投射された前記光パターンを感知するように構成されるセンサを含む、
請求項12乃至19のいずれか1項に記載の装置。 - 物体に光パターンを投射するための方法であって:
レーザ線の光学出力を、前記レーザ線を傾動可能に反射する傾動可能な微小電気機械システム(MEMS)ミラーの傾動周波数を補完するように制御するステップ;及び
画像取得装置の感知サイクル中、前記物体に前記光パターンの複数走査を提供する前記傾動周波数を持つ前記MEMSミラーで前記レーザ線を走査するステップ;を有し、
前記制御するステップは、投射される前記光パターンの光学出力を実質的に一定のレベルに維持するように、前記MEMSミラーの前記傾動周波数の変化に応じて前記レーザ線の前記光学出力を変化させるステップを含む、
方法。 - レーザビームを供給するステップ;及び
前記レーザビームをレーザ線に変換するステップ;をさらに有する、
請求項21に記載の方法。 - 前記制御するステップは、前記MEMSミラーの傾動に関連付けられる音響ノイズ要件を満たすよう前記MEMSミラーの前記傾動周波数を制御するステップをさらに含む、
請求項21又は22に記載の方法。 - 物体に光パターンを投射するための装置であって:
レーザ線を発生するレーザ装置;及び
前記レーザ装置に結合されるとともに、前記光パターンを前記物体に投射するために前記レーザ線を傾動可能に反射する傾動可能な微小電気機械システム(MEMS)ミラーの傾動周波数を補完するよう前記レーザ線の光学出力を調整するように前記レーザ装置を制御するように構成される、コントローラ;を有し、
前記コントローラは、投射される前記光パターンの光学出力を実質的に一定のレベルに維持するように、前記MEMSミラーの前記傾動周波数の変化に応じて前記レーザ線の前記光学出力を変化させる、
装置。 - 前記コントローラは、前記MEMSミラーの傾動に関連付けられる音響ノイズ要件を満たすよう前記MEMSミラーの前記傾動周波数をさらに制御するように構成される、
請求項24に記載の装置。
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