JP5984413B2 - 露光装置、ステージ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (12)
- 原版のパターンを基板に転写する露光装置であって、
前記基板を保持する基板ステージと、
前記基板ステージの位置を測定するレーザ干渉計と、
気体を吹き出す第1吹き出し部と、
前記レーザ干渉計からの光の光路に沿って配置されたダクトと、
気体を噴射する噴射口を含み、該噴射口から噴射された気体によるベルヌーイ効果によって、前記第1吹き出し部から吹き出された気体を前記ダクトの中に引き込む引き込み部と、
前記噴射口から噴射された気体と前記第1吹き出し部から吹き出された気体とを前記ダクトの中で混合する混合部と、を備え、
前記ダクトは、前記ダクトの中の気体を前記光路に向けて吹き出すための第2吹き出し部を有し、前記第2吹き出し部から吹き出される気体によって前記光路における温度を調整する、
ことを特徴とする露光装置。 - 前記混合部は、前記噴射口から噴射された気体と前記第1吹き出し部から吹き出された気体とを混合するためのファンを含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 原版のパターンを基板に転写する露光装置であって、
前記基板を保持する基板ステージと、
前記基板ステージの位置を測定するレーザ干渉計と、
気体を吹き出す第1吹き出し部と、
前記レーザ干渉計からの光の光路に沿って配置されたダクトと、
気体を噴射する噴射口を含み、該噴射口から噴射された気体によるベルヌーイ効果によって、前記第1吹き出し部から吹き出された気体を前記ダクトの中に引き込む引き込み部と、
前記ダクトの中を流れる気体の流速を高めるように前記ダクトの中に配置された流速制御部と、を備え、
前記ダクトは、前記ダクトの中の気体を前記光路に向けて吹き出すための第2吹き出し部を有し、前記第2吹き出し部から吹き出される気体によって前記光路における温度を調整する、
ことを特徴とする露光装置。 - 前記流速制御部は、気体を噴射し、該気体によるベルヌーイ効果によって、前記ダクトの中を流れる気体の流速を高める、
ことを特徴とする請求項3に記載の露光装置。 - 前記引き込み部は、前記噴射口から噴射された気体をコアンダ効果によって前記ダクトの中に誘導する誘導面を有する
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記ダクトの中における気体の圧力の分布を制御する圧力制御部を更に備える、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光装置。 - 原版のパターンを基板に転写する露光装置であって、
前記基板を保持する基板ステージと、
前記基板ステージの位置を測定するレーザ干渉計と、
気体を吹き出す第1吹き出し部と、
前記レーザ干渉計からの光の光路に沿って配置されたダクトと、
気体を噴射する噴射口を含み、該噴射口から噴射された気体によるベルヌーイ効果によって、前記第1吹き出し部から吹き出された気体を前記ダクトの中に引き込む引き込み部と、
前記ダクトの中における気体の圧力の分布を制御する圧力制御部と、を備え、
前記ダクトは、前記ダクトの中の気体を前記光路に向けて吹き出すための第2吹き出し部を有し、前記第2吹き出し部から吹き出される気体によって前記光路における温度を調整する、
ことを特徴とする露光装置。 - 前記圧力制御部は、前記ダクトの中に回動可能に配置された回動部材を含み、前記回動部材は、前記ダクトの中を流れる気体から受ける力によって回動する、
ことを特徴とする請求項6又は7に記載の露光装置。 - 物体を保持するステージと
前記ステージの位置を測定するレーザ干渉計と
気体を吹き出す第1吹き出し部と、
前記レーザ干渉計からの光の光路に沿って配置されたダクトと、
気体を噴射する噴射口を含み、該噴射口から噴射された気体によるベルヌーイ効果によって、前記第1吹き出し部から吹き出された気体を前記ダクトの中に引き込む引き込み部と、
前記噴射口から噴射された気体と前記第1吹き出し部から吹き出された気体とを前記ダクトの中で混合する混合部と、を備え、
前記ダクトは、前記ダクトの中の気体を前記光路に向けて吹き出すための第2吹き出し部を有し、前記第2吹き出し部から吹き出される気体によって前記光路における温度を調整する、
ことを特徴とするステージ装置。 - 物体を保持するステージと
前記ステージの位置を測定するレーザ干渉計と
気体を吹き出す第1吹き出し部と、
前記レーザ干渉計からの光の光路に沿って配置されたダクトと、
気体を噴射する噴射口を含み、該噴射口から噴射された気体によるベルヌーイ効果によって、前記第1吹き出し部から吹き出された気体を前記ダクトの中に引き込む引き込み部と、
前記ダクトの中を流れる気体の流速を高めるように前記ダクトの中に配置された流速制御部と、を備え、
前記ダクトは、前記ダクトの中の気体を前記光路に向けて吹き出すための第2吹き出し部を有し、前記第2吹き出し部から吹き出される気体によって前記光路における温度を調整する、
ことを特徴とするステージ装置。 - 物体を保持するステージと
前記ステージの位置を測定するレーザ干渉計と
気体を吹き出す第1吹き出し部と、
前記レーザ干渉計からの光の光路に沿って配置されたダクトと、
気体を噴射する噴射口を含み、該噴射口から噴射された気体によるベルヌーイ効果によって、前記第1吹き出し部から吹き出された気体を前記ダクトの中に引き込む引き込み部と、
前記ダクトの中における気体の圧力の分布を制御する圧力制御部と、を備え、
前記ダクトは、前記ダクトの中の気体を前記光路に向けて吹き出すための第2吹き出し部を有し、前記第2吹き出し部から吹き出される気体によって前記光路における温度を調整する、
ことを特徴とするステージ装置。 - デバイスを製造するデバイス製造方法であって、
請求項1乃至11のいずれか1項に記載の露光装置によって基板を露光する工程と、
該基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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JP2012023507A JP5984413B2 (ja) | 2012-02-06 | 2012-02-06 | 露光装置、ステージ装置およびデバイス製造方法 |
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JP2012023507A JP5984413B2 (ja) | 2012-02-06 | 2012-02-06 | 露光装置、ステージ装置およびデバイス製造方法 |
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