JP5976214B2 - 緑色レーザーズームビーム拡大システム及びレーザー加工機器 - Google Patents
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Description
本発明において、拡大システムのレンズの上述の構成によって、緑色光レーザービームは、元の2〜16倍に拡大することができ、これは、従来のビーム拡大器の倍率範囲を遙かに超え、その結果、拡大システムは、異なる直径及び発散角を有するより多くのレーザーに適応することができるようになり、従って、拡大システムの使用の範囲が拡大し、レーザー加工の効率が改善される。その上、システムの最大倍率は、従来のビーム拡大器の倍率よりも大きいので、ビームに対する成形効果はより良好であり、ビームの集束性能並びにレーザー加工精度が有効に改善される。
d1、d2、d3、d4、d5 中心厚み
D1、D2、D3 入射瞳径
S1、S2、S3、S4、S5、S6 レンズの面
Claims (10)
- 緑色レーザーズームビーム拡大システムであって、入射光の透過方向に沿って順次的に同軸で配置された第1のレンズ、第2のレンズ、及び第3のレンズから構成され、前記第1のレンズ及び前記第3のレンズが平凸正レンズであり、前記第2のレンズが凹凸負レンズであり、
前記第1のレンズが、第1の面及び第2の面を含み、前記第2のレンズが第3の面及び第4の面を含み、前記第3のレンズが第5の面及び第6の面を含み、前記第1の面から第6の面が前記入射光の前記透過方向に沿って順次的に配置され、
前記第1の面から第6の面の曲率半径が、それぞれ、∞、−29.8mm、7.2mm、1.6mm、∞、−100mmであり、
前記第1のレンズから第3のレンズの中心厚みが、それぞれ、2mm、1mm、4mmであり、
前記第1のレンズから第3のレンズの外径が、それぞれ、10mm、3mm、34mmであり、
前記第1のレンズから第3のレンズの屈折率対アッベ数の比率が、それぞれ、1.8:25、1.48:68、1.8:25であり、
前記第2の面と第3の面の間の光軸上の距離が、8〜28mmの範囲に及び、前記第4の面と前記第5の面の間の前記光軸上の距離が107〜115mmの範囲に及び、
前記曲率半径、前記中心厚み、前記外径、前記屈折率対アッベ数の比率、及び前記距離の許容差が、曲率半径「∞」を除いて、それぞれ5%である、緑色レーザーズームビーム拡大システム。 - 前記第2の面と前記第3の面の間の前記光軸上の距離が27.8mmであり、前記第4の面と前記第5の面の間の前記光軸上の距離が107.4mmである、請求項1に記載の緑色レーザーズームビーム拡大システム。
- 前記第2の面と前記第3の面の間の前記光軸上の距離が25.4mmであり、前記第4の面と前記第5の面の間の前記光軸上の距離が111.4mmである、請求項1に記載の緑色レーザーズームビーム拡大システム。
- 前記第2の面と前記第3の面の間の前記光軸上の距離が22.6mmであり、前記第4の面と前記第5の面の間の前記光軸上の距離が113mmである、請求項1に記載の緑色レーザーズームビーム拡大システム。
- 前記第2の面と前記第3の面の間の前記光軸上の距離が18.6mmであり、前記第4の面と前記第5の面の間の前記光軸上の距離が113.8mmである、請求項1に記載の緑色レーザーズームビーム拡大システム。
- 前記第2の面と前記第3の面の間の前記光軸上の距離が16mmであり、前記第4の面と前記第5の面の間の前記光軸上の距離が114mmである、請求項1に記載の緑色レーザーズームビーム拡大システム。
- 前記第2の面と前記第3の面の間の前記光軸上の距離が13mmであり、前記第4の面と前記第5の面の間の前記光軸上の距離が114.2mmである、請求項1に記載の緑色レーザーズームビーム拡大システム。
- 前記第2の面と前記第3の面の間の前記光軸上の距離が11mmであり、前記第4の面と前記第5の面の間の前記光軸上の距離が114.3mmである、請求項1に記載の緑色レーザーズームビーム拡大システム。
- 前記第2の面と前記第3の面の間の前記光軸上の距離が8mmであり、前記第4の面と前記第5の面の間の前記光軸上の距離が114.4mmである、請求項1に記載の緑色レーザーズームビーム拡大システム。
- 緑色レーザーと、該緑色レーザーにより放射されるレーザービームを拡大するよう構成された拡大システムと、前記拡大されたビームを集束するよう構成された集束レンズを備えたレーザー加工機器であって、前記拡大システムが請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載の緑色レーザーズームビーム拡大システムである、レーザー加工機器。
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