CN112882208B - 大视场成像物镜 - Google Patents

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Abstract

本发明中提供一种大视场成像物镜,沿光束入射方向依次包括具有正光焦度的第一透镜组、光阑、具有正光焦度的第二透镜组、具有负光焦度的第三透镜组及具有正光焦度的第四透镜组,其中,物镜总长≤850mm,适用于450‑650nm的宽光谱,放大倍率为‑10x,物方的数值孔径NA≤0.3,物方视场的直径为8.4mm。相比于现有成像镜头,本发明提供的成像物镜,在相同的接近衍射极限的像质要求下,具有更长工作距,更大视场范围,能够满足系统的空间需求,可有效实现大孔径、大倍率、双远心系统的像差校正。

Description

大视场成像物镜
技术领域
本发明涉及成像技术领域,尤其涉及一种大视场成像物镜。
背景技术
随着工业技术的发展,在生物、遗传、医疗、工业等检测领域,对检测精度、检测速度、检测尺寸的要求不断提高,所以对自动光学检测(AIO)设备及成像物镜的要求也越来越高,尤其是能够满足大工件、大视场、无畸变精密检测需求的成像物镜,从设计和制造上来说,都是非常困难的。
发明内容
本发明的目的在于提供一种大视场成像物镜,以实现大孔径、大倍率、双远心系统的像差校正。
本发明提供一种大视场成像物镜,包括:沿光束入射方向依次设置有具有正光焦度的第一透镜组、光阑、具有正光焦度的第二透镜组、具有负光焦度的第三透镜组及具有正光焦度的第四透镜组;其中,所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组满足以下关系式:
0.2<|f1/f2|<1
3<|f2/f3|<9
0.1<|f3/f4|<0.5
0.1<|f1/f4|<1
其中,f1为第一透镜组的焦距,f2为第二透镜组的焦距,f3为第三透镜组的焦距,f4为第四透镜组的焦距。
可选的,所述第一透镜组至少由3片透镜构成,其中包括3片正透镜;
所述第二透镜组至少由5片透镜构成,其中包括两个双胶合透镜组及1片正透镜;
所述第三透镜组至少由2片透镜构成,其中包括2片负透镜;
所述第四透镜组至少由2片透镜构成,其中包括2片正透镜;
其中,除两个双胶合透镜组以外,其余8片透镜均为球面单透镜。
可选的,所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组满足以下关系式:
0.5<|f1/f2|<1
3<|f2/f3|<4.5
0.1<|f3/f4|<0.5
0.1<|f1/f4|<1
其中,f1为第一透镜组的焦距,f2为第二透镜组的焦距,f3为第三透镜组的焦距,f4为第四透镜组的焦距。
可选的,所述第一透镜组由3片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月正透镜、双凸正透镜及弯月正透镜;
所述第二透镜组由5片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月负透镜与双凸正透镜组成的双胶合透镜组、双凸正透镜与弯月负透镜组成的双胶合透镜组及双凸正透镜;
所述第三透镜组由2片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月负透镜和弯月负透镜;
所述第四透镜组由2片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月正透镜和双凸透镜。
可选的,所述大视场成像物镜的物方场曲小于0.35um,畸变小于0.03%。
可选的,所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组满足以下关系式:
0.2<|f1/f2|<1
4<|f2/f3|<9
0.1<|f3/f4|<0.5
0.1<|f1/f4|<0.5
其中,f1为第一透镜组的焦距,f2为第二透镜组的焦距,f3为第三透镜组的焦距,f4为第四透镜组的焦距。
可选的,所述第一透镜组由3片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月正透镜、弯月正透镜及弯月正透镜;
所述第二透镜组由6片透镜构成,沿光束入射方向依次为双凹负透镜与双凸正透镜组成的双胶合透镜组、弯月负透镜、双凸正透镜及双凸正透镜与双凹负透镜组成的双胶合透镜组;
所述第三透镜组由2片透镜构成,沿光束入射方向依次为双凹负透镜和弯月负透镜;
所述第四透镜组由2片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月正透镜和双凸正透镜。
可选的,所述大视场成像物镜的物方场曲小于0.75um,畸变小于0.2%。
可选的,所述大视场成像物镜的总长小于或等于850mm,物方数值孔径小于或等于0.3,放大倍率为-10x。
可选的,所述大视场成像物镜的物方工作距大于40mm,物方视场的直径为8.4mm。
可选的,所述第一透镜组中至少两个正透镜采用火石玻璃材料制成;
所述第二透镜组中两个双胶合透镜组中的负透镜均采用火石玻璃材料制成,所述第二透镜组中两个双胶合透镜组中的正透镜均采用冕牌玻璃材料制成;
所述第三透镜组中至少一个负透镜采用火石玻璃材料制成;
所述第四透镜组中至少一个正透镜采用火石玻璃材料制成。
可选的,所述第一透镜组与所述光阑之间设置有照明分光棱镜,所述第四透镜组与像面之间设置有探测器分光棱镜。
可选的,所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组以所述光阑为中心呈对称排列,构成一个物方、像方双远心光路。
可选的,所述大视场成像物镜适用于450-650nm的光谱。
相比于现有成像镜头,在相同的接近衍射极限的像质要求下,本发明提供的大视场成像物镜,具有更长工作距,更大视场范围,能够满足系统的空间需求,可有效实现大孔径、大倍率、双远心系统的像差校正,
附图说明
图1为本发明实施例一提供的大视场成像物镜的光学结构图;
图2为本发明实施例一提供的大视场成像物镜的传递函数的曲线图;
图3为本发明实施例一提供的大视场成像物镜的场曲和畸变示意图;
图4为本发明实施例二提供的大视场成像物镜的光学结构图;
图5为本发明实施例二提供的大视场成像物镜的传递函数的曲线图;
图6为本发明实施例二提供的大视场成像物镜的场曲和畸变示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明的大视场成像物镜作进一步详细说明。根据下面的说明和附图,本发明的优点和特征将更清楚,然而,需说明的是,本发明技术方案的构思可按照多种不同的形式实施,并不局限于在此阐述的特定实施例。附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
在说明书和权利要求书中的术语“第一”“第二”等用于在类似要素之间进行区分,且未必是用于描述特定次序或时间顺序。要理解,在适当情况下,如此使用的这些术语可替换,例如可使得本文所述的本发明实施例能够以不同于本文所述的或所示的其他顺序来操作。类似的,如果本文所述的方法包括一系列步骤,且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序,且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。若某附图中的构件与其他附图中的构件相同,虽然在所有附图中都可轻易辨认出这些构件,但为了使附图的说明更为清楚,本说明书不会将所有相同构件的标号标于每一图中。
本发明提供一种大视场成像物镜,包括:沿光束入射方向依次置有具有正光焦度的第一透镜组、照明分光棱镜、光阑、具有正光焦度的第二透镜组、具有负光焦度的第三透镜组、具有正光焦度的第四透镜组及探测器分光棱镜,其中,所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组满足以下关系式:
0.2<|f1/f2|<1
3<|f2/f3|<9
0.1<|f3/f4|<0.5
0.1<|f1/f4|<1
其中,f1为第一透镜组的焦距,f2为第二透镜组的焦距,f3为第三透镜组的焦距,f4为第四透镜组的焦距。
本发明中所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组以所述光阑为中心呈对称排列,构成一个物方、像方双远心光路。其中,所述第一透镜组至少由3片透镜构成,其中包括3片正透镜;所述第二透镜组至少由5片透镜构成,其中包括两个双胶合透镜组及一片正透镜;所述第三透镜组至少由5片透镜构成,其中包括3片负透镜;所述第四透镜组至少由5片透镜构成,其中包括2片正透镜。其中,除两个双胶合透镜组以外,其余8片透镜均为球面单透镜。
光学材料一般按照折射率和阿贝数的大小可分为两类:A类火石玻璃材料:高折射率材料低阿贝数,也就是折射率大于1.52且阿贝数小于60;B类冕牌玻璃材料:低折射率材料高阿贝数,也就是折射率小于1.52且阿贝数大于60。具体在本发明中,第一透镜组中至少两个正透镜采用火石玻璃材料制成;所述第二透镜组中两个双胶合透镜组中的负透镜均采用火石玻璃材料制成,所述第二透镜组中两个双胶合透镜组中的正透镜均采用冕牌玻璃材料制成;所述第三透镜组中至少一个负透镜采用火石玻璃材料制成;第四透镜组中至少一个正透镜采用火石玻璃材料制成。本发明第二透镜组中采用两个均由正光焦度的冕牌玻璃和负光焦度的火石玻璃组成的消色差胶合透镜组,可有效校正宽波谱带来的色差。
本发明中所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组以所述光阑为中心呈对称排列,构成一个物方、像方双远心光路。光阑设置在第一透镜组与第二透镜组之间,照明分光棱镜在第一镜组和光阑之间,可以通过调节光阑的尺寸来调节成像物镜的有效通光口径,即可以通过调节光阑来调节物镜的焦比(F/#),以适应不同的相干照明或非相干照明应用场景。
实施例一
图1为本实施例提供的大视场成像物镜的光学结构图,参考图1所示,本发明提供的大视场成像物镜包括:沿光束入射方向(从物面Object至像面IMA)依次置有具有正光焦度的第一透镜组G1、照明分光棱镜L1、光阑STOP、具有正光焦度的第二透镜组G2、具有负光焦度的第三透镜组G3、具有正光焦度的第四透镜组G4及探测器分光棱镜L2;其中,所述第一透镜组G1、第二透镜组G2、第三透镜组G3及第四透镜组G4满足以下关系式:
0.5<|f1/f2|<1
3<|f2/f3|<4.5
0.1<|f3/f4|<0.5
0.1<|f1/f4|<1
其中,f1为第一透镜组G1的焦距,f2为第二透镜组G2的焦距,f3为第三透镜组G3的焦距,f4为第四透镜组G4的焦距。
其中,所述第一透镜组G1由3片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月正透镜1、双凸正透镜2及弯月正透镜3;所述第二透镜组G2由5片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月负透镜4与双凸正透镜5组成的双胶合透镜组、双凸正透镜6与弯月负透镜7组成的双胶合透镜组及双凸正透镜8;所述第三透镜组G3由2片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月负透镜9和弯月负透镜10;所述第四透镜组G4由2片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月正透镜11和双凸正透镜12。
所述第一透镜组G1中至少两个正透镜采用火石玻璃材料制成,如一个弯月正透镜和一个双凸正透镜或两个弯月正透镜采用火石玻璃材料制成;所述第二透镜组G2中两个双胶合透镜组中的负透镜均采用火石玻璃材料制成,所述第二透镜组G2中两个双胶合透镜组中的正透镜均采用冕牌玻璃材料制成,采用两个均由正光焦度的冕牌玻璃和负光焦度的火石玻璃组成的消色差胶合透镜组,可有效校正宽波谱带来的色差;所述第三透镜组G3中至少一个弯月负透镜采用火石玻璃材料制成;所述第四透镜组中弯月正透镜和双凸透镜中至少一个采用火石玻璃材料制成。
本实施例中,所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组以所述光阑为中心呈对称排列,构成一个物方、像方双远心光路。物方各视场的主光线近似平行于光轴入射在第一透镜(弯月正透镜1)的前表面上,在物方,物面(Object)上的各视场的主光线平行于光轴入射到第一透镜(弯月正透镜1)上,主光线与光轴的夹角小于5mrad;在像方,各视场点的主光线近似平行于光轴出射,成像在像面(IMA)上,其与光轴的夹角小于17.4mrad,即物方、像方均具有较小的远心度。
本实施例提供的大视场成像物镜中,物方工作距大于40mm,能够满足物镜应用场景的其他组件对工作距的需求。物镜总长小于或等于850mm,放大倍率为-10x,物方的数值孔径NA小于或等于0.3,物方视场的直径8.4mm,在相同的接近衍射极限的像质要求下,在显微成像镜头类中,能够做到更长工作距,更大视场范围,以满足系统的空间需求,且可有效实现大孔径、大倍率、双远心系统的像差校正。
具体的,表1给出了本实施例提供的成像物镜具体设计值,其中,半径栏表示镜片的曲率半径,正的半径代表镜片曲率中心在表面的右边,负的半径代表镜片曲率中心在表面左边,Infinity代表此表面为平面。表中OBJ代表物面,STOP代表孔径光阑,IMA代表像面,表面序号从光线入射端开始对表面的计数。各个镜片之间的填充气体为空气。材料栏中的数值是指镜片为虚拟材料,数值代表折射率和阿贝数,“air”代表镜片与镜片间的空气间隔,填充气体为空气。表中厚度/间隔栏代表空气间隔或镜片厚度,镜片厚度或两个镜片的间隔均是指此表面到下个表面的轴上距离,所有尺寸单位都是毫米(mm)。
表1
Figure BDA0002297060300000071
Figure BDA0002297060300000081
上各镜片的具体参数在实际操作中,可根据数值孔径的大小做调整及优化,以满足不同的系统参数要求。具体的,基于当前实施例,若工作距较小,物镜可满足更大视场和更大孔径的设计要求,且可降低物镜总长;若视场减小,可满足更大孔径,更高分辨率的设计要求;若孔径减小,则可满足更高视场范围的设计要求。即本实施例提供的成像物镜的光学结构能够适应多种参数的应用需求。
图2为本实施例提供的成像物镜的传递函数的曲线图,传递函数(MTF)用于评价不同空间频率的图形经过光学系统传递到像面处的效率,其中传递函数(MTF)曲线图的横坐标是空间频率(Spatial Frequency),单位是线对/毫米(cycles/mm),纵坐标是调制函数(Modulation)。如图2所示的本实施例成像物镜的MTF已经接近衍射极限。
图3为本实施例成像物镜的场曲与畸变的示意图,左侧是场曲示意图,横坐标代表不同视场像点偏离焦面的量,纵坐标是物方视场高度,虚线表示像点在弧矢面上的场曲大小,实线表示像点在子午面上的场曲大小;右侧是畸变示意图,横坐标代表畸变百分比,纵坐标是物方视场高度。由图3可以看出,本实施例光成像物镜的物方场曲小于0.35um,畸变小于0.03%。
另外,本实施例提供的成像物镜的分辨率为:线宽(CD)等于1.2um时,MTF>0.48,景深为:53+/-5um@CD1.2um,MTF>0.2
实施例二
图4为本实施例提供的大视场成像物镜的光学结构图,参考图4所示,本发明提供一种大视场成像物镜,包括:沿光束入射方向(从物面Object至像面IMA)依次置有具有正光焦度的第一透镜组G1、照明分光棱镜L1、光阑STOP、具有正光焦度的第二透镜组G2、具有负光焦度的第三透镜组G3、具有正光焦度的第四透镜组G4及探测器分光棱镜L2;其中,所述第一透镜组G1、第二透镜组G2、第三透镜组G3及第四透镜组G4满足以下关系式:
0.2<|f1/f2|<1
4<|f2/f3|<9
0.1<|f3/f4|<0.5
0.1<|f1/f4|<0.5
其中,f1为第一透镜组G1的焦距,f2为第二透镜组G2的焦距,f3为第三透镜组G3的焦距,f4为第四透镜组G4的焦距。
其中,所述第一透镜组G1由3片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月正透镜13、弯月正透镜14及弯月正透镜15;所述第二透镜组G2由6片透镜构成,沿光束入射方向依次为双凹负透镜16与双凸正透镜17组成的双胶合透镜组、弯月负透镜18、双凸正透镜19及双凸正透镜20与双凹负透镜21组成的双胶合透镜组;所述第三透镜组G3由2片透镜构成,沿光束入射方向依次为双凹负透镜22和弯月负透镜23;所述第四透镜组G4由2片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月正透镜24和双凸透镜25。
所述第一透镜组G1中至少两个弯月正透镜采用火石玻璃材料制成;所述第二透镜组G2中两个双胶合透镜组中的负透镜均采用火石玻璃材料制成,所述第二透镜组G2中两个双胶合透镜组中的正透镜均采用冕牌玻璃材料制成,采用两个均由正光焦度的冕牌玻璃和负光焦度的火石玻璃组成的消色差胶合透镜组,可有效校正宽波谱带来的色差;所述第三透镜组G3中双凹负透镜22和弯月负透镜23中至少一个采用火石玻璃材料制成;所述第四透镜组中弯月正透镜和双凸透镜中至少一个采用火石玻璃材料制成。
本实施例中,所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组以所述光阑为中心呈对称排列,构成一个物方、像方双远心光路。物方各视场的主光线近似平行于光轴入射在第一透镜(弯月正透镜1)的前表面上,在物方,物面(Object)上的各视场的主光线平行于光轴入射到第一透镜(弯月正透镜13)上,主光线与光轴的夹角小于8mrad;在像方,各视场点的主光线近似平行于光轴出射,成像在像面(IMA)上,其与光轴的夹角小于17.4mrad,即物方、像方均具有较小的远心度。
本实施例提供的大视场成像物镜中,物方工作距大于40mm,能够满足物镜应用场景的其他组件对工作距的需求。物镜总长小于或等于840mm,放大倍率为-10x,物方的数值孔径NA小于或等于0.3,物方视场的直径8.4mm,在相同的接近衍射极限的像质要求下,在显微成像镜头类中,能够做到更长工作距,更大视场范围,满足系统的空间需求,且可有效实现大孔径、大倍率、双远心系统的像差校正。
具体的,表2给出了本实施例提供的成像物镜具体设计值,其中,半径栏表示镜片的曲率半径,正的半径代表镜片曲率中心在表面的右边,负的半径代表镜片曲率中心在表面左边,Infinity代表此表面为平面。表中OBJ代表物面,STOP代表孔径光阑,IMA代表像面,表面序号从光线入射端开始对表面的计数。各个镜片之间的填充气体为空气。材料栏中的数值是指镜片为虚拟材料,数值代表折射率和阿贝数,“air”代表镜片与镜片间的空气间隔,填充气体为空气。表中厚度/间隔栏代表空气间隔或镜片厚度,镜片厚度或两个镜片的间隔均是指此表面到下个表面的轴上距离,所有尺寸单位都是毫米(mm)。
表2
Figure BDA0002297060300000111
上各镜片的具体参数在实际操作中,可根据数值孔径的大小做调整及优化,以满足不同的系统参数要求。具体的,基于当前实施例,若工作距较小,物镜可满足更大视场和更大孔径的设计要求,且可降低物镜总长;若视场减小,可满足更大孔径,更高分辨率的设计要求;若孔径减小,则可满足更高视场范围的设计要求。即本实施例提供的成像物镜的光学结构能够适应多种参数的应用需求。
图5为本实施例提供的成像物镜的传递函数的曲线图,图6为本实施例成像物镜的场曲与畸变的示意图。如图5所示,本实施例成像物镜的MTF已经接近衍射极限。由图3可以看出,本实施例光成像物镜的物方场曲小于0.75um,畸变小于0.2%。
另外,本实施例提供的成像物镜的分辨率为:线宽(CD)等于1.2um时,MTF>0.48,景深为:+/-4.5um@CD1.2um,MTF>0.2。
综上所述,本发明中提供的大视场成像物镜采用由正、正、负、正镜组组成的双远心光学结构,物镜总长≤850mm,适用于450-650nm的宽光谱,放大倍率为-10x,物方的数值孔径NA≤0.3,物方视场的直径为8.4mm。相比于现有成像镜头,在相同的接近衍射极限的像质要求下,本发明提供的成像物镜,具有更长工作距,更大视场范围,能够满足系统的空间需求,可有效实现大孔径、大倍率、双远心系统的像差校正。
需要说明的是,本说明书中的各个实施例均采用相关的方式描述,各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可,每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其,对于结构实施例而言,由于其基本相似于方法实施例,所以描述的比较简单,相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述,并非对本发明范围的任何限定,本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰,均属于权利要求书的保护范围。

Claims (13)

1.一种大视场成像物镜,其特征在于,包括:沿光束入射方向依次设置有具有正光焦度的第一透镜组、光阑、具有正光焦度的第二透镜组、具有负光焦度的第三透镜组及具有正光焦度的第四透镜组,其中,所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组满足以下关系式:
0.2<|f1/f2|<1
3<|f2/f3|<9
0.1<|f3/f4|<0.5
0.1<|f1/f4|<1
其中,f1为第一透镜组的焦距,f2为第二透镜组的焦距,f3为第三透镜组的焦距,f4为第四透镜组的焦距;
所述第一透镜组至少由3片透镜构成,其中包括3片正透镜;
所述第二透镜组至少由5片透镜构成,其中包括两个双胶合透镜组及1片正透镜;
所述第三透镜组至少由2片透镜构成,其中包括2片负透镜;
所述第四透镜组至少由2片透镜构成,其中包括2片正透镜;
其中,除两个双胶合透镜组以外,其余8片透镜均为球面单透镜。
2.根据权利要求1所述的大视场成像物镜,其特征在于,所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组满足以下关系式:
0.5<|f1/f2|<1
3<|f2/f3|<4.5
0.1<|f3/f4|<0.5
0.1<|f1/f4|<1
其中,f1为第一透镜组的焦距,f2为第二透镜组的焦距,f3为第三透镜组的焦距,f4为第四透镜组的焦距。
3.根据权利要求2所述的大视场成像物镜,其特征在于,
所述第一透镜组由3片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月正透镜、双凸正透镜及弯月正透镜;
所述第二透镜组由5片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月负透镜与双凸正透镜组成的双胶合透镜组、双凸正透镜与弯月负透镜组成的双胶合透镜组及双凸正透镜;
所述第三透镜组由2片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月负透镜和弯月负透镜;
所述第四透镜组由2片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月正透镜和双凸正透镜。
4.根据权利要求3所述的大视场成像物镜,其特征在于,所述大视场成像物镜的物方场曲小于0.35um,畸变小于0.03%。
5.根据权利要求1所述的大视场成像物镜,其特征在于,所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组满足以下关系式:
0.2<|f1/f2|<1
4<|f2/f3|<9
0.1<|f3/f4|<0.5
0.1<|f1/f4|<0.5
其中,f1为第一透镜组的焦距,f2为第二透镜组的焦距,f3为第三透镜组的焦距,f4为第四透镜组的焦距。
6.根据权利要求5所述的大视场成像物镜,其特征在于,
所述第一透镜组由3片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月正透镜、弯月正透镜及弯月正透镜;
所述第二透镜组由6片透镜构成,沿光束入射方向依次为双凹负透镜与双凸正透镜组成的双胶合透镜组、弯月负透镜、双凸正透镜及双凸正透镜与双凹负透镜组成的双胶合透镜组;
所述第三透镜组由2片透镜构成,沿光束入射方向依次为双凹负透镜和弯月负透镜;
所述第四透镜组由2片透镜构成,沿光束入射方向依次为弯月正透镜和双凸正透镜。
7.根据权利要求5所述的大视场成像物镜,其特征在于,所述大视场成像物镜的物方场曲小于0.75um,畸变小于0.2%。
8.根据权利要求2或5所述的大视场成像物镜,其特征在于,所述大视场成像物镜的总长小于或等于850mm,物方数值孔径小于或等于0.3,放大倍率为-10x。
9.根据权利要求2或5所述的大视场成像物镜,其特征在于,所述大视场成像物镜的物方工作距大于40mm,物方视场的直径为8.4mm。
10.根据权利要求1所述的大视场成像物镜,其特征在于,
所述第一透镜组中至少两个正透镜采用火石玻璃材料制成;
所述第二透镜组中两个双胶合透镜组中的负透镜均采用火石玻璃材料制成,所述第二透镜组中两个双胶合透镜组中的正透镜均采用冕牌玻璃材料制成;
所述第三透镜组中至少一个负透镜采用火石玻璃材料制成;
所述第四透镜组中至少一个正透镜采用火石玻璃材料制成。
11.根据权利要求1所述的大视场成像物镜,其特征在于,所述第一透镜组与所述光阑之间设置有照明分光棱镜,所述第四透镜组与像面之间设置有探测器分光棱镜。
12.根据权利要求1所述的大视场成像物镜,其特征在于,所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组及第四透镜组以所述光阑为中心呈对称排列,构成一个物方、像方双远心光路。
13.根据权利要求1所述的大视场成像物镜,其特征在于,所述大视场成像物镜适用于450-650nm的光谱。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114185152B (zh) * 2021-12-07 2024-04-30 苏州中科全象智能科技有限公司 一种用于飞点扫描干涉仪的像方远心物镜
CN114924380B (zh) * 2022-04-29 2023-08-04 歌尔光学科技有限公司 一种光学投影系统以及电子设备
CN115308880B (zh) * 2022-08-30 2024-10-18 哈尔滨工业大学 一种定焦平场远心摄影镜头
CN117031698B (zh) * 2023-09-11 2024-06-11 中国科学技术大学 一种多光谱广角镜头

Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000214384A (ja) * 1999-01-22 2000-08-04 Asahi Optical Co Ltd 眼視望遠ズ―ムレンズ系
JP2000284176A (ja) * 1999-03-31 2000-10-13 Nikon Corp ズーム光学系および該ズーム光学系を備えた露光装置および露光方法
JP2002072092A (ja) * 2000-09-04 2002-03-12 Minolta Co Ltd 前絞りズームレンズ
JP2006078702A (ja) * 2004-09-08 2006-03-23 Canon Inc ズーム光学系
CN101013191A (zh) * 2006-02-03 2007-08-08 松下电器产业株式会社 变焦透镜系统、透镜镜筒、成像装置以及拍摄设备
CN101025470A (zh) * 2006-02-17 2007-08-29 株式会社尼康 变焦透镜系统和使用该系统的光学装置
JP2008191294A (ja) * 2007-02-02 2008-08-21 Olympus Imaging Corp 結像光学系及びそれを有する電子撮像装置
JP2010266534A (ja) * 2009-05-12 2010-11-25 Tamron Co Ltd 大口径ズームレンズ
CN202189177U (zh) * 2011-03-31 2012-04-11 大立光电股份有限公司 光学影像系统
TW201232089A (en) * 2011-01-17 2012-08-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Wide angle focus lens
JP2013178309A (ja) * 2012-02-28 2013-09-09 Olympus Corp 顕微鏡対物レンズ
CN103926680A (zh) * 2014-04-08 2014-07-16 中国科学院空间科学与应用研究中心 一种具有像方远心的长焦距光学系统
JP2015028551A (ja) * 2013-07-30 2015-02-12 キヤノン株式会社 屈折率分布素子を有する光学系
JP2016197169A (ja) * 2015-04-03 2016-11-24 株式会社タムロン 光学系及び撮像装置
CN107144943A (zh) * 2017-07-18 2017-09-08 浙江舜宇光学有限公司 摄像镜头
TWI647505B (zh) * 2017-12-12 2019-01-11 新鉅科技股份有限公司 四片式紅外單波長投影鏡片組
CN109212716A (zh) * 2017-07-06 2019-01-15 新巨科技股份有限公司 四片式红外单波长镜片组
CN110068909A (zh) * 2018-01-24 2019-07-30 新巨科技股份有限公司 四片式红外单波长投影镜片组
CN110187484A (zh) * 2019-05-30 2019-08-30 浙江大华技术股份有限公司 一种镜头

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4612485B2 (ja) * 2005-06-29 2011-01-12 Hoya株式会社 広角ズームレンズ系
JP4965199B2 (ja) * 2006-09-05 2012-07-04 富士フイルム株式会社 撮像レンズ
TWI452378B (zh) * 2011-03-31 2014-09-11 Zoom optical system
US9250425B2 (en) * 2012-12-04 2016-02-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Zoom lens and electronic device including the same
JP2014115496A (ja) * 2012-12-11 2014-06-26 Seiwa Optical Co Ltd 同軸照明変倍光学装置及びこれを用いた製造装置又は検査装置、並びに同軸照明変倍光学装置のテレセントリシティ補正方法
TWI463173B (zh) * 2013-07-25 2014-12-01 Young Optics Inc 變焦鏡頭
US10156707B2 (en) * 2013-08-09 2018-12-18 Nikon Corporation Zoom lens, optical apparatus and method for manufacturing the zoom lens

Patent Citations (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000214384A (ja) * 1999-01-22 2000-08-04 Asahi Optical Co Ltd 眼視望遠ズ―ムレンズ系
JP2000284176A (ja) * 1999-03-31 2000-10-13 Nikon Corp ズーム光学系および該ズーム光学系を備えた露光装置および露光方法
JP2002072092A (ja) * 2000-09-04 2002-03-12 Minolta Co Ltd 前絞りズームレンズ
JP2006078702A (ja) * 2004-09-08 2006-03-23 Canon Inc ズーム光学系
CN101013191A (zh) * 2006-02-03 2007-08-08 松下电器产业株式会社 变焦透镜系统、透镜镜筒、成像装置以及拍摄设备
CN101025470A (zh) * 2006-02-17 2007-08-29 株式会社尼康 变焦透镜系统和使用该系统的光学装置
JP2008191294A (ja) * 2007-02-02 2008-08-21 Olympus Imaging Corp 結像光学系及びそれを有する電子撮像装置
JP2010266534A (ja) * 2009-05-12 2010-11-25 Tamron Co Ltd 大口径ズームレンズ
TW201232089A (en) * 2011-01-17 2012-08-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Wide angle focus lens
CN102736213A (zh) * 2011-03-31 2012-10-17 大立光电股份有限公司 光学影像系统
CN202189177U (zh) * 2011-03-31 2012-04-11 大立光电股份有限公司 光学影像系统
JP2013178309A (ja) * 2012-02-28 2013-09-09 Olympus Corp 顕微鏡対物レンズ
JP2015028551A (ja) * 2013-07-30 2015-02-12 キヤノン株式会社 屈折率分布素子を有する光学系
CN103926680A (zh) * 2014-04-08 2014-07-16 中国科学院空间科学与应用研究中心 一种具有像方远心的长焦距光学系统
JP2016197169A (ja) * 2015-04-03 2016-11-24 株式会社タムロン 光学系及び撮像装置
CN109212716A (zh) * 2017-07-06 2019-01-15 新巨科技股份有限公司 四片式红外单波长镜片组
CN107144943A (zh) * 2017-07-18 2017-09-08 浙江舜宇光学有限公司 摄像镜头
TWI647505B (zh) * 2017-12-12 2019-01-11 新鉅科技股份有限公司 四片式紅外單波長投影鏡片組
CN110068909A (zh) * 2018-01-24 2019-07-30 新巨科技股份有限公司 四片式红外单波长投影镜片组
CN110187484A (zh) * 2019-05-30 2019-08-30 浙江大华技术股份有限公司 一种镜头

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