CN112255812A - 一种小型红外激光器扩束准直装置 - Google Patents

一种小型红外激光器扩束准直装置 Download PDF

Info

Publication number
CN112255812A
CN112255812A CN202011230163.0A CN202011230163A CN112255812A CN 112255812 A CN112255812 A CN 112255812A CN 202011230163 A CN202011230163 A CN 202011230163A CN 112255812 A CN112255812 A CN 112255812A
Authority
CN
China
Prior art keywords
lens
infrared laser
curved surface
collimating device
equal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202011230163.0A
Other languages
English (en)
Inventor
于海波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Grace Laser Technology Co ltd
Original Assignee
Beijing Grace Laser Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Grace Laser Technology Co ltd filed Critical Beijing Grace Laser Technology Co ltd
Priority to CN202011230163.0A priority Critical patent/CN112255812A/zh
Publication of CN112255812A publication Critical patent/CN112255812A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0927Systems for changing the beam intensity distribution, e.g. Gaussian to top-hat
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938Using specific optical elements
    • G02B27/095Refractive optical elements
    • G02B27/0955Lenses
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/30Collimators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lenses (AREA)

Abstract

本申请涉及一种小型红外激光器扩束准直装置,属于激光扩束准直的领域,其包括用于沿红外激光传输方向依次设置的第一透镜和第二透镜,第一透镜和第二透镜沿同一光轴设置,第一透镜设置为凹凸型球面透镜,第二透镜设置为平凸型球面透镜,扩束准直装置设置为无焦装置;第一透镜的光焦度φ1<0。与相关技术相比,具有使红外激光扩束准直装置更加小型化的效果。

Description

一种小型红外激光器扩束准直装置
技术领域
本申请涉及激光扩束的领域,尤其是涉及一种小型红外激光器扩束准直装置。
背景技术
传统的激光扩束系统通常分为伽利略望远镜式激光扩束系统和开普勒望远镜式激光扩束系统。其中伽利略望远镜式由负透镜和正透镜结合,开普勒望远镜式由两个正透镜结合。由于该激光扩束系统主要应用于激光加工工艺中,且为了使接收的光源功率较大,因此将内部无焦的伽利略望远镜式激光扩束系统作为基本选型。激光扩束装置中不光要完成相应倍率的扩束,同时也要保证出射光的光束质量。
在激光实际应用领域,外部光路的使用空间往往受到限制,且有节约空间的要求,因此对激光扩束准直装置的工作总长提出了更高的要求,而传统的激光扩束准直装置通常需要利用较长的工作距离,因此激光实际应用中外光路的搭建空间较大。
发明内容
为了使红外激光扩束准直装置更加小型化,本申请提供一种小型红外激光器扩束准直装置。
本申请提供的一种小型红外激光器扩束准直装置采用如下的技术方案:
一种小型红外激光器扩束准直装置,包括沿红外激光传输方向依次设置的第一透镜和第二透镜,所述第一透镜和第二透镜沿同一光轴设置,所述第一透镜设置为凹凸型球面透镜,所述第二透镜设置为平凸型球面透镜,所述扩束准直装置设置为无焦装置。
通过采用上述技术方案,第一透镜起到扩束的作用,能够将从红外激光源发出的红外激光进行发散,第二透镜起到准直的作用,经过第一透镜后的发散后的红外激光经过第二透镜后,都变为平行光束,且由于扩束准直装置无焦,因此不会出现会聚焦点的情况,除此之外,透镜单元少,总长也会变小,从而在保证扩束准直效果的前提下,使得红外激光扩束准直装置更加小型化,进而有利于减小激光实际应用中外光路的搭建空间。
可选的,所述第一透镜的光焦度φ1<0。
通过采用上述技术方案,在保证小型化的前提下,能够对激光束进行扩束准直,并提高出射光束的光束质量。
可选的,所述第一透镜包括第一曲面和第二曲面,所述第二透镜包括第三平面和第四曲面,所述第一曲面用于与红外激光源相邻,所述第二曲面与第三平面相邻。
通过采用上述技术方案,第一曲面和第二曲面组合形成第一透镜,入射光束经第一曲面折射后再从第二曲面折射而出,将入射光束进行发散,并扩大入射光束的直径,从而便于对入射光束进行扩束,入射光束经第三平面直线折射并经过第四曲面后被聚焦,从而能够得到平行光束,进而有助于对入射光束进行扩束和准直。
可选的,所述第一曲面的曲率半径大于等于-11.840mm且小于等于-11.640mm,所述第二曲面的曲率半径大于等于-64.802mm且小于等于-64.602mm,所述第四曲面的曲率半径大于等于-29.320mm且小于等于-29.120mm。
可选的,所述第一透镜的中心厚度大于等于3.15mm且小于等于3.25mm。
可选的,所述第二透镜的中心厚度大于等于3.15mm且小于等于3.25mm。
可选的,所述第一透镜和第二透镜的空气间隔大于等于27.469mm且小于等于27.569mm。
可选的,所述第一透镜的折射率为Nd1=1.458,所述第一透镜的阿贝数为Vd1=67.82。
可选的,所述第二透镜的折射率为Nd2=1.458,所述第二透镜的阿贝数为Vd2=67.82。
综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:
本申请提供一种小型红外激光器扩束准直装置,通过第一透镜和第二透镜的共同作用,在保证扩束倍率和准直效果的前提下,使得红外激光扩束准直装置更加小型化,进而有利于减小激光实际应用中外光路的搭建空间。
附图说明
图1是本申请实施例的整体的结构示意图。
图2是本申请实施例的整体的光路图。
图3是本申请实施例进行仿真得到的光学调制传递函数MTF图。
图4是本申请实施例进行仿真得到的点列图。
附图标记说明:L1、第一透镜;L2、第二透镜;S1、第一曲面;S2、第二曲面;S3、第三平面;S4、第四曲面;d1、第一透镜的中心厚度;d2、空气间隔;d3、第二透镜的中心厚度。
具体实施方式
以下结合附图1-3对本申请作进一步详细说明。
本申请实施例公开一种小型红外激光器扩束准直装置。参照图1,为了使红外激光扩束准直装置更加小型化。小型红外激光器扩束准直装置包括用于沿红外激光传输方向依次设置的扩束组件和准直组件,扩束组件包括第一透镜L1,准直组件包括第二透镜L2。第一透镜L1和第二透镜L2位于同一光轴,第一透镜L1设置为凹凸型球面透镜,第二透镜L2设置为平凸型球面透镜,且该扩束准直装置为无焦装置。第一透镜L1和第二透镜L2构成伽利略式望远系统,因此在工作过程中不会发生会聚焦点的情况。
参照图1,为了在保证小型化的前提下,能够提高出射光束的光束质量。第一透镜L1的光焦度φ1<0,第二透镜L2的光焦度φ2>0。为了在保证扩束倍率和光束质量的前提下,便于对扩束准直装置进行加工和调整。第一透镜L1包括第一曲面S1和第二曲面S2,第二透镜L2包括第三平面S3和第四曲面S4,第一曲面S1用于与红外激光源相邻,第二曲面S2与第三平面S3相邻。
参照图1,为了在保证扩束倍率和光束质量的前提下,尽可能使扩束准直装置更加小型化。第一曲面S1的曲率半径为R1,-11.840mm≤R1≤-11.740mm,第二曲面S2的曲率半径为R2,-64.802mm≤R2≤-64.602mm,第三平面S3的曲率半径为R3,R3为无穷大,第四曲面S4的曲率半径为R4,-29.320mm≤R4≤-29.120mm。第一透镜L1的中心厚度为d1,3.15mm≤d1≤3.25mm。第二透镜L2的中心厚度为d3, 3.15mm≤d3≤3.25mm。第一透镜L1和第二透镜L2的空气间隔为d2, 27.469mm≤d2≤27.569mm。第一透镜L1的折射率为Nd1=1.458,第一透镜L1的阿贝数为Vd1=67.82;第二透镜L2的折射率为Nd2=1.458,第二透镜L2的阿贝数均为Vd2=67.82,即第一透镜L1和第二透镜L2为同一种材料。第一透镜L1和第二透镜L2的折射率的公差为±0.001,阿贝数的公差为±1%。在公差范围内,也能实现扩束准直的效果。
其中,阿贝数,也称色散系数,用来衡量透明介质的光线的色散程度。一般来说,介质的折射率越大,色散越严重,阿贝数越小;反之,介质的折射率越小,色散越轻微,阿贝数越大。
需要说的是,优选的,第一曲面S1的曲率半径为R1=-11.740mm,第二曲面S2的曲率半径R2=-64.702mm,第四曲面S4的曲率半径R4=-29.220mm,第一透镜L1的中心厚度d1=3.2mm,第二透镜L2的中心厚度d3=3.2mm,第一透镜L1和第二透镜L2的空气间隔d2d2=27.519mm。此时,小型红外激光器扩束准直装置的总长为35mm,扩束倍率为2倍。
需要说明的是,第一曲面S1、第二曲面S2和第四曲面S4的曲率半径的公差均为±0.1mm,中心厚度的公差以及空气间隔的公差均为±0.05mm。只要各个曲面的曲率半径的误差、各个透镜的中心厚度的误差以及第一透镜L1和第二透镜L2的空气间隔的误差均在相应的公差范围内,则都能保证扩束倍数和发散角,即能够保证扩束倍数和光束质量。
以下,结合模拟仿真对本申请实施例的一种小型红外激光器扩束准直装置进行验证。其中,各项参数设置如下:
入射激光参数:光束直径0.8-1.2mm,波长1064nm,光束质量m2<1.3。
第一透镜L1和第二透镜L2参数如下:
Figure 968121DEST_PATH_IMAGE002
参照图2,图2为本次验证试验的光路图,从图中可以看出,入射光束经第一透镜L1后进行发散,光束直径变大,从而第一透镜L1出来的入射光束经第二透镜L2后被准直,变为平行光束,达到了扩束准直的效果。且出射光束参数:光束直径为1.5-2.5mm,波长为1064nm。
从而可以得出,本申请能够将波长为1064nm,光束直径为0.8-1.2mm的激光束,扩束为光束直径1.5-2.5mm的平行光束,即扩束倍率为2倍。
参照图3,基于上述表格中的参数,对红外激光器扩束准直装置进行仿真,得到如图2所示的调制传递函数MTF图,纵坐标表示MTF值,表示分辨能力,横坐标表示画面与中心点的距离,从左到右代表从中心到边缘的成像。可以看出越靠近中心点,像的MTF值越高,即像越清晰。从而可以得出红外激光器扩束准直装置的传递函数曲线与衍射极限几乎重合,即出射光的发散角几乎没有,从而可以得出出射光束的光束质量良好。
参照图4,基于上述表格中的参数,对红外激光器扩束准直装置进行仿真,得到如图3所示的点列图,从图中可以看出弥散斑的均方根半径为0.000mr,弥散斑的几何半径为0.000mr,爱里斑的半径为0.5412mr,即弥散斑都在爱里斑半径以内,从而进一步得出出射光束的光束质量良好。
其中,弥散斑是指点光源经过光学系统后在像面前后不同截止面上所成的衍射光像的光强分布。
从上述实施方式中,可以得出本申请提供的一种小型紫外激光器扩束准直装置,可为波长为1064nm的激光器提供2倍的定倍扩束,具有透镜单元少、输出光束质量高、工作过程不产生会聚焦点和可用于高功率激光器扩束的优点。且可以在高功率激光加工中使用,可以有效优化激光加工工艺和提高加工效率。
本申请实施例一种小型红外激光器扩束准直装置的实施原理为:入射光束照射至第一透镜L1的第一曲面S1上,绝大部分入射光束从第一透镜L1的第一曲面S1折射进入并从第一透镜L1的第二曲面S2上折射出射;通过第一透镜L1的入射光束入射至第二透镜L2的第三平面S3上,通过第一透镜L1的入射光束从第二透镜L2的第三平面S3折射进入并从第二透镜L2的第四曲面S4折射而出,最终聚焦成光束质量高的出射光束。其中,第一透镜L1的作用在于:将入射光束进行发散,扩大入射光束直径。第二透镜L2的作用在于:将发散扩束后的入射光束进行聚焦,从而使聚焦后的出射光束为平行光。
以上均为本申请的较佳实施例,并非依此限制本申请的保护范围,故:凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化,均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种小型红外激光器扩束准直装置,其特征在于:包括沿红外激光传输方向依次设置的第一透镜(L1)和第二透镜(L2),所述第一透镜(L1)和第二透镜(L2)沿同一光轴设置,所述第一透镜(L1)设置为凹凸型球面透镜,所述第二透镜(L2)设置为平凸型球面透镜,所述扩束准直装置设置为无焦装置。
2.根据权利要求1所述的一种小型红外激光器扩束准直装置,其特征在于:所述第一透镜(L1)的光焦度φ1<0。
3.根据权利要求2所述的一种小型红外激光器扩束准直装置,其特征在于:所述第一透镜(L1)包括第一曲面(S1)和第二曲面(S2),所述第二透镜(L2)包括第三平面(S3)和第四曲面(S4),所述第一曲面(S1)用于与红外激光源相邻,所述第二曲面(S2)与第三平面(S3)相邻。
4.根据权利要求3所述的一种小型红外激光器扩束准直装置,其特征在于:所述第一曲面(S1)的曲率半径大于等于-11.840mm且小于等于-11.640mm,所述第二曲面(S2)的曲率半径大于等于-64.802mm且小于等于-64.602mm,所述第四曲面(S4)的曲率半径大于等于-29.320mm且小于等于-29.120mm。
5.根据权利要求3所述的一种小型红外激光器扩束准直装置,其特征在于:所述第一透镜(L1)的中心厚度(d1)大于等于3.15mm且小于等于3.25mm。
6.根据权利要求3所述的一种小型红外激光器扩束准直装置,其特征在于:所述第二透镜(L2)的中心厚度(d3)大于等于3.15mm且小于等于3.25mm。
7.根据权利要求3所述的一种小型红外激光器扩束准直装置,其特征在于:所述第一透镜(L1)和第二透镜(L2)的空气间隔(d2)大于等于27.469mm且小于等于27.569mm。
8.根据权利要求1至7任意一项所述的一种小型化激光器扩束准直装置,其特征在于:所述第一透镜(L1)的折射率为Nd1=1.458,所述第一透镜(L1)的阿贝数为Vd1=67.82。
9.根据权利要求1至7任意一项所述的一种小型化激光器扩束准直装置,其特征在于:所述第二透镜(L2)的折射率为Nd2=1.458,所述第二透镜(L2)的阿贝数为Vd2=67.82。
CN202011230163.0A 2020-11-06 2020-11-06 一种小型红外激光器扩束准直装置 Pending CN112255812A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011230163.0A CN112255812A (zh) 2020-11-06 2020-11-06 一种小型红外激光器扩束准直装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011230163.0A CN112255812A (zh) 2020-11-06 2020-11-06 一种小型红外激光器扩束准直装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112255812A true CN112255812A (zh) 2021-01-22

Family

ID=74265375

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011230163.0A Pending CN112255812A (zh) 2020-11-06 2020-11-06 一种小型红外激光器扩束准直装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112255812A (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080130007A1 (en) * 2006-10-17 2008-06-05 O'connell Dan External beam expander
DE102007009318A1 (de) * 2007-02-22 2008-08-28 Coherent Gmbh Laseranordnung mit einem Laser zur Erzeugung eines hochenergetischen Laserstrahls sowie Verfahren zum Betrieb einer derartigen Laseranordnung
CN101750743A (zh) * 2009-12-23 2010-06-23 深圳市大族激光科技股份有限公司 一种激光扩束镜系统
US20140293406A1 (en) * 2011-03-21 2014-10-02 Trumpf Laser Gmbh + Co. Kg Device and method for expanding a laser beam
CN104142498A (zh) * 2014-08-01 2014-11-12 北京理工大学 一种新型相干测风激光雷达扩束器
CN205581428U (zh) * 2016-04-28 2016-09-14 武汉大学 一种高斯光束整形扩束系统
CN111650755A (zh) * 2020-07-10 2020-09-11 鹏城实验室 一种水下激光光源系统和水下无线光通信系统

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080130007A1 (en) * 2006-10-17 2008-06-05 O'connell Dan External beam expander
DE102007009318A1 (de) * 2007-02-22 2008-08-28 Coherent Gmbh Laseranordnung mit einem Laser zur Erzeugung eines hochenergetischen Laserstrahls sowie Verfahren zum Betrieb einer derartigen Laseranordnung
CN101750743A (zh) * 2009-12-23 2010-06-23 深圳市大族激光科技股份有限公司 一种激光扩束镜系统
US20140293406A1 (en) * 2011-03-21 2014-10-02 Trumpf Laser Gmbh + Co. Kg Device and method for expanding a laser beam
CN104142498A (zh) * 2014-08-01 2014-11-12 北京理工大学 一种新型相干测风激光雷达扩束器
CN205581428U (zh) * 2016-04-28 2016-09-14 武汉大学 一种高斯光束整形扩束系统
CN111650755A (zh) * 2020-07-10 2020-09-11 鹏城实验室 一种水下激光光源系统和水下无线光通信系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104977720B (zh) 一种扩束准直光学系统及其制备方法
JPH07117648B2 (ja) 反射屈折縮小光学系,該光学系を有するリソグラフィー装置及びその操作方法
CN204758926U (zh) 一种扩束准直光学系统
CN101788716B (zh) 一种激光扩束系统
CN111283320B (zh) 激光扩束镜及激光加工设备
CN102004319B (zh) 一种紫外变倍扩束镜
CN101762879B (zh) 一种激光扩束系统
CN106199983B (zh) 扩束组件及具有该扩束组件的激光加工设备
US7692867B2 (en) Enhanced parfocality
CN101887173B (zh) 紫外激光变倍扩束镜
CN113376844A (zh) 一种适用于高功率密度紫外激光的连续变倍扩束镜
CN201589894U (zh) 产生近似无衍射光束的装置
CN112255813B (zh) 一种小型紫外激光器扩束准直装置
CN112255812A (zh) 一种小型红外激光器扩束准直装置
CN113093480B (zh) 一种并行曝光抑制超衍射极限激光直写物镜
RU195924U1 (ru) Объектив
CN107357032A (zh) 一种用于手术显微镜的像方远心接目物镜系统及其瞳距调节方法
CN101762878B (zh) 激光扩束系统
RU2331909C1 (ru) Объектив для ближней ик-области спектра
CN214795439U (zh) 一种适用于高功率密度紫外激光的连续变倍扩束镜
JPH07318854A (ja) ビーム形状補正光学系
CN217034409U (zh) 一种激光双重扩束清洗系统
CN221056767U (zh) 一种用于高功率激光的变倍扩束镜及激光加工系统
RU2358300C1 (ru) Светосильный объектив
CN103149691A (zh) 双谱段柱面镜激光扩束系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20210122

RJ01 Rejection of invention patent application after publication