JP5975754B2 - プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 - Google Patents
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Description
前記試料台は、その内部に同心円状に配置され内側を冷媒が通流する複数の冷媒流路と前記複数の冷媒流路に配置された冷媒の入口及び冷媒の出口とを有して第1の蒸発器として機能するものであって、さらに、前記試料台が、前記冷媒の入口及び冷媒の出口の各々に連結されて当該各々の冷媒の入口へ流入する冷媒及び各々の冷媒の出口から流出する冷媒の流量または圧力を調節する複数の上流側膨張弁と下流側膨張弁とを有して、圧縮機と凝縮器と前記複数の上流側膨張弁と前記複数の冷媒流路と前記複数の下流側膨張弁と第2の蒸発器とがこの順で冷媒の管路により連結されて前記の順で冷媒が通流する冷凍サイクルを構成するものであって、前記複数の冷媒流路が前記試料台の中央側に配置された中央側冷媒流路とその外周側に配置された外周側冷媒流路とを有し、前記中央側冷媒流路に連結された前記上流側膨張弁及び下流側膨張弁の各々における冷媒のコンダクタンスの逆数の和が前記外周側冷媒流路に連結された前記上流側膨張弁及び下流側膨張弁の各々における冷媒のコンダクタンスの逆数の和と等しくなるように前記複数の上流側膨張弁及び下流側膨張弁の開度を調節するプラズマ処理方法により達成される。
本発明の第1実施例では、複数の系統の冷媒の温度を調節する場合に、片方の系統の冷媒温度を一定に保ちながら他方の系統の冷媒温度を変化させていた。しかしながら、半導体製造装置のスループット向上のためには冷媒温度の素早い調節が求められるため、実施例で示した調節方法よりも速い温調が必要な場合がある。またさらに、複数の系統の冷媒温度の差を素早く拡げたり、素早く縮めたりする調節が必要な場合がある。このような課題を解決するための変形例を以下に説明する。
上記の実施例および変形例は、試料台4の内部の中央側冷媒流路20−1と外周側冷媒流路20−2とにそれぞれ導入する冷媒の温度の調節を、膨張弁24−1乃至24−4の開度の調節のみによって行うものである。しかしながら、このような場合は調節できる温度範囲が狭い場合がある。例えば、膨張弁24−1乃至24−4の開度調節のみで実現できる温度よりも低い冷媒温度が必要な場合に対応できないという課題がある。
2 蓋
3 処理室
4 試料台
5 試料
6 ガス導入管
7 処理ガス
8 排気口
9 圧力調節バルブ
10 マイクロ波
11 プラズマ
12 ターボ分子ポンプ
14 マイクロ波発振機
16 導波管
18 ソレノイドコイル
20−1 中央側冷媒流路
20−2 外周側冷媒流路
21 冷媒温度調節部
22 圧縮機
23 凝縮器
24−1,24−2,24−3,24−4 膨張弁
25−1,25−2 水
26 蒸発器
30−1 中央側冷媒入口
30−2 外周側冷媒入口
32−1 中央側冷媒出口
32−2 外周側冷媒出口
35 分析部
37 制御部
40−1,40−2,40−3 温度計
42 キャピラリ
44 メインライン
46 バイパスライン
48−1,48−2 弁
50 分岐部
52 合流部
Claims (9)
- 真空容器内に配置されプラズマが形成される処理室と、その上面に前記プラズマによる処理の対象である試料が載置され同心円状に配置され内側を冷媒が通流する複数の冷媒流路を有して第1の蒸発器として機能する試料台と、前記複数の冷媒流路に配置された冷媒の入口及び冷媒の出口と、前記処理室の内部を排気して減圧する排気手段とを有したプラズマ処理装置であって、
これらの冷媒の入口及び冷媒の出口の各々に連結されて当該各々の冷媒の入口へ流入する冷媒及び各々の冷媒の出口から流出する冷媒の流量または圧力を調節する複数の上流側膨張弁と下流側膨張弁とを有して、圧縮機と凝縮器と前記複数の上流側膨張弁と前記複数の冷媒流路と前記複数の下流側膨張弁と第2の蒸発器とがこの順で冷媒の管路により連結されて構成され前記の順で冷媒が通流する冷凍サイクルにおいて、前記複数の冷媒流路が前記試料台の中央側に配置された中央側冷媒流路とその外周側に配置された外周側冷媒流路とを有し、前記中央側冷媒流路に連結された前記上流側膨張弁及び下流側膨張弁の各々における冷媒のコンダクタンスの逆数の和が前記外周側冷媒流路に連結された前記上流側膨張弁及び下流側膨張弁の各々における冷媒のコンダクタンスの逆数の和と等しくなるように前記複数の上流側膨張弁及び下流側膨張弁の開度を調節するプラズマ処理装置。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置において、
前記複数の上流側膨張弁の各々と前記複数の冷媒流路各々の冷媒の入口との間の複数の冷媒管路上に配置されこれらの冷媒管路内を通流する冷媒の温度を検知する検知器の検知結果に基づいて検出した前記複数の冷媒の経路における前記冷媒の流量の変化が生じないように前記複数の上流側膨張弁及び下流側膨張弁の開度を調節するプラズマ処理装置。 - 請求項1または2に記載のプラズマ処理装置において、
前記複数の上流側膨張弁及び下流側膨張弁は共通の構成を備えたものであるプラズマ処理装置。 - 請求項3に記載のプラズマ処理装置であって、
前記中央側冷媒流路に連結された前記下流側膨張弁の開度と前記外周側冷媒流路の前記上流側膨張弁の開度との和が前記中央側冷媒流路に連結された前記上流側膨張弁の開度と前記外周側冷媒流路の前記下流側膨張弁の開度との和と等しくなるように前記複数の上流側膨張弁及び下流側膨張弁の開度を調節するプラズマ処理装置。 - 請求項1乃至4の何れかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記凝縮器と複数の前記上流側膨張弁との間に、前記冷媒を流すためのメインライン及びこのメインラインに並列に配置されコンダクタンスの小さいキャピラリを有するバイパスラインと前記メインライン及びバイパスラインの各々の上流側に設けられてこれらを開閉する弁と前記メインライン及びバイパスラインの下流側に設けられた温度計とを備えたプラズマ処理装置。 - 真空容器内部の処理室内に配置されその上面に前記プラズマによる処理の対象である試料を載置し、前記処理室内にプラズマを形成して前記試料を処理するプラズマ処理方法であって、
前記試料台は、その内部に同心円状に配置され内側を冷媒が通流する複数の冷媒流路と前記複数の冷媒流路に配置された冷媒の入口及び冷媒の出口とを有して第1の蒸発器として機能するものであって、
さらに、前記試料台が、前記冷媒の入口及び冷媒の出口の各々に連結されて当該各々の冷媒の入口へ流入する冷媒及び各々の冷媒の出口から流出する冷媒の流量または圧力を調節する複数の上流側膨張弁と下流側膨張弁とを有して、圧縮機と凝縮器と前記複数の上流側膨張弁と前記複数の冷媒流路と前記複数の下流側膨張弁と第2の蒸発器とがこの順で冷媒の管路により連結されて前記の順で冷媒が通流する冷凍サイクルを構成するものであって、
前記複数の冷媒流路が前記試料台の中央側に配置された中央側冷媒流路とその外周側に配置された外周側冷媒流路とを有し、
前記中央側冷媒流路に連結された前記上流側膨張弁及び下流側膨張弁の各々における冷媒のコンダクタンスの逆数の和が前記外周側冷媒流路に連結された前記上流側膨張弁及び下流側膨張弁の各々における冷媒のコンダクタンスの逆数の和と等しくなるように前記複数の上流側膨張弁及び下流側膨張弁の開度を調節するプラズマ処理方法。 - 請求項6に記載のプラズマ処理方法において、
前記複数の上流側膨張弁の各々と前記複数の冷媒流路各々の冷媒の入口との間の複数の冷媒管路上に配置されこれらの冷媒管路内を通流する冷媒の温度を検知する検知器の検知結果に基づいて検出した前記複数の冷媒の経路における前記冷媒の流量の変化が生じないように前記複数の上流側膨張弁及び下流側膨張弁の開度を調節するプラズマ処理方法。 - 請求項6または7に記載のプラズマ処理方法において、
前記複数の上流側膨張弁及び下流側膨張弁は共通の構成を備えたものであるプラズマ処理方法。 - 請求項8に記載のプラズマ処理方法において、
前記中央側冷媒流路に連結された前記下流側膨張弁の開度と前記外周側冷媒流路の前記上流側膨張弁の開度との和が前記中央側冷媒流路に連結された前記上流側膨張弁の開度と前記外周側冷媒流路の前記下流側膨張弁の開度との和と等しくなるように前記複数の上流側膨張弁及び下流側膨張弁の開度を調節するプラズマ処理方法。
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