JP5973472B2 - リソグラフィ装置、放射ビームスポットフォーカスを測定するための方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
本出願は、2011年3月11日に出願された米国特許仮出願第61/451,950号の利益を主張し、その全体が本明細書に援用される。
複数の放射ビームを提供するよう構成されているプログラマブルパターニングデバイスと、
前記複数の放射ビームを基板に投影し、対応する放射のスポットを形成するよう構成されている投影系と、
スポットフォーカスセンサシステムと、を備え、該システムは、
格子であって、放射スポットフォーカス測定を実行するために少なくとも1つの放射ビームスポットが前記格子上の複数の異なる場所に逐次に投影されうるように配設されている格子と、
前記格子を前記複数の場所にて通過し又は反射した放射ビームスポットから放射の強度を検出するよう構成されている放射強度センサと、
前記複数の場所に対応する検出放射強度からスポットフォーカス値を決定するよう構成されているコントローラと、を備えるリソグラフィ装置が提供される。
複数の放射ビームを提供するよう構成されているプログラマブルパターニングデバイスと、
前記複数の放射ビームを基板に投影し、対応する放射のスポットを形成するよう構成されている投影系と、を備え、
前記方法は、
少なくとも1つの放射ビームスポットを格子上の複数の異なる場所に逐次に投影することと、
前記格子を前記複数の場所にて通過し又は反射した放射ビームスポットから放射の強度を検出するために放射強度センサを使用することと、
前記複数の場所に対応する検出放射強度からスポットフォーカス値を決定することと、を備える方法が提供される。
前記複数の放射ビームを基板に投影することを制御する前記リソグラフィ装置の少なくとも1つのパラメタを制御するために、決定されたスポットフォーカス値を使用することと、を備えるデバイス製造方法が提供される。
(1/B2)/(A2−1)
ここで、Aは放射ビームエキスパンダ40の倍率であり、Bは放射ビームエキスパンダがプログラマブルパターニングデバイスの像を投影するところのレンズ14から基板までの光学系の倍率、すなわち、視野レンズ14と結像レンズ18との結合の倍率である。
しかしながら、コントラストの他の定義が使用されてもよいものと理解されたい。
1.リソグラフィ装置であって、
複数の放射ビームを提供するよう構成されているプログラマブルパターニングデバイスと、
前記複数の放射ビームを基板に投影し、対応する放射のスポットを形成するよう構成されている投影系と、
スポットフォーカスセンサシステムと、を備え、該システムは、
格子であって、放射スポットフォーカス測定を実行するために少なくとも1つの放射ビームスポットが前記格子上の複数の異なる場所に逐次に投影されうるように配設されている格子と、
前記格子を前記複数の場所にて通過し又は反射した放射ビームスポットから放射の強度を検出するよう構成されている放射強度センサと、
前記複数の場所に対応する検出放射強度からスポットフォーカス値を決定するよう構成されているコントローラと、を備えるリソグラフィ装置。
2.基板を支持するよう構成されている基板テーブルをさらに備え、前記格子は、前記基板テーブルの上面に取り付けられている、節1に記載のリソグラフィ装置。
3.前記複数の放射ビームの光軸に実質的に垂直な方向に前記基板テーブルを移動させるよう構成されているアクチュエータシステムをさらに備え、放射スポットフォーカス測定中において前記アクチュエータシステムは、前記格子上の複数の異なる場所に放射ビームスポットが投影されるよう放射ビームスポットに対し前記格子を移動させるために使用される、節2に記載のリソグラフィ装置。
4.前記投影系は、前記放射ビームの光軸に実質的に垂直な方向に基板を横切って前記複数の放射ビームを走査しうるように構成されており、
放射スポットフォーカス測定中において前記投影系は、前記格子上の複数の異なる場所に放射ビームスポットを投影するために使用される、節1から3のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
5.前記コントローラは、前記複数の異なる場所を含む前記格子の少なくとも1つの領域について最大の検出放射強度と最小の検出放射強度との差に応じたコントラスト値を決定し、前記スポットフォーカス値を決定するために少なくとも1つのコントラスト値を使用するよう構成されている、節1から4のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
6.前記コントラスト値は、
に基づいて決定され、ここで、Cvは前記コントラスト値であり、Imaxは前記格子の前記領域についての前記最大の検出放射強度であり、Iminは前記格子の前記領域についての前記最小の検出放射強度である、節5に記載のリソグラフィ装置。
7.前記スポットを生じさせる放射ビームの焦点位置を該放射ビームの光軸に実質的に平行な方向において制御するよう構成されているフォーカス調整システムをさらに備え、
前記コントローラは、前記格子の1つ又は複数の領域について前記放射ビームの複数の異なる焦点位置それぞれに対応するコントラスト値を決定し、最大のコントラスト値に対応する焦点位置の決定から前記スポットフォーカス値を決定するよう構成されている、節5または6に記載のリソグラフィ装置。
8.前記コントローラは、前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向において前記格子の表面が複数の異なる位置に在る前記格子の1つ又は複数の領域についてそれら異なる位置にそれぞれ対応するコントラスト値を決定し、最大のコントラスト値に対応する前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向における前記格子の表面の位置の決定から前記スポットフォーカス値を決定するよう構成されている、節5または6に記載のリソグラフィ装置。
9.前記コントローラは、検出放射強度から決定される最高のコントラスト値に対応する位置から前記スポットフォーカス値を決定するよう構成されている、節7または8に記載のリソグラフィ装置。
10.前記コントローラは、前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向において少なくとも3つの異なる位置についてコントラスト値を決定し、該コントラスト値と対応する位置との関係に曲線を適合し、該曲線の最大値に対応する位置から前記スポットフォーカス値を決定するよう構成されている、節7または8に記載のリソグラフィ装置。
11.前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向に前記格子を移動させるよう構成されているアクチュエータシステムを備え、
前記コントラスト値が前記格子の或る1つの領域について前記方向に複数の異なる位置で決定される、節8から10のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
12.前記複数の放射ビームの光軸に実質的に垂直な方向に前記格子を移動させるよう構成されているアクチュエータシステムを備え、
前記格子の表面が前記複数の放射ビームの光軸に斜めの角度で配設され、前記コントラスト値が前記格子の複数の異なる領域それぞれについて決定される、節8から11のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
13.節3を引用する場合において、
前記格子の表面は前記基板テーブルの前記上面に実質的に平行であり、
前記アクチュエータシステムは、前記複数の放射ビームが前記基板に投影されるとき前記基板テーブルの前記上面が前記複数の放射ビームの光軸に実質的に垂直であり、前記複数の放射ビームが前記格子に投影されるとき前記基板テーブルの前記上面が前記複数の放射ビームの光軸に斜めの角度をとるように、前記基板テーブルを制御するよう構成されており、
前記コントラスト値が前記格子の複数の異なる領域それぞれについて決定される、節8から12のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
14.前記格子は、前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向に異なる位置に配設されている第1格子部分及び第2格子部分を備え、
前記コントローラは、第1格子部分及び第2格子部分の各々において前記格子の領域について第1コントラスト値及び第2コントラスト値を決定し、前記スポットフォーカス値を決定するために第1コントラスト値と第2コントラスト値とを比較するよう構成されている、節5または6に記載のリソグラフィ装置。
15.前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向において前記投影系に対する前記格子の位置を調整するよう構成されているアクチュエータシステムをさらに備え、
前記コントローラは、第1コントラスト値と第2コントラスト値とが実質的に同一である前記格子の位置の特定から前記スポットフォーカス値を決定するよう構成されている、節14に記載のリソグラフィ装置。
16.前記スポットを生じさせる放射ビームの焦点位置を該放射ビームの光軸に実質的に平行な方向において制御するよう構成されているフォーカス調整システムをさらに備え、
前記コントローラは、第1コントラスト値と第2コントラスト値とが実質的に同一である前記放射ビームの焦点位置の特定から前記スポットフォーカス値を決定するよう構成されている、節14に記載のリソグラフィ装置。
17.前記コントローラは、第1コントラスト値と第2コントラスト値との差が或るしきい値より小さくなるまで第1コントラスト値と第2コントラスト値との比較に基づき位置を反復して調整することにより位置を特定するよう構成されている、節15または16に記載のリソグラフィ装置。
18.前記コントローラは、第1コントラスト値及び第2コントラスト値がそれぞれ決定される或る位置範囲にわたって位置を調整し、複数の第1コントラスト値及び第2コントラスト値から第1コントラスト値と第2コントラスト値とが実質的に同一となる位置を特定することにより位置を特定するよう構成されている、節15または16に記載のリソグラフィ装置。
19.前記格子は透過可能であり、前記投影系と前記放射強度センサとの間に配設されている、節1から18のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
20.前記格子は反射可能であり、前記放射強度センサは前記投影系に取り付けられている、節1から18のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
21.前記スポットフォーカスシステムは、複数の放射ビームスポットについて対応するスポットフォーカス値を同時に決定するよう構成されている、節1から20のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
22.リソグラフィ装置において放射ビームスポットフォーカスを測定するための方法であって、該リソグラフィ装置は、
複数の放射ビームを提供するよう構成されているプログラマブルパターニングデバイスと、
前記複数の放射ビームを基板に投影し、対応する放射のスポットを形成するよう構成されている投影系と、を備え、
前記方法は、
少なくとも1つの放射ビームスポットを格子上の複数の異なる場所に逐次に投影することと、
前記格子を前記複数の場所にて通過し又は反射した放射ビームスポットから放射の強度を検出することと、
前記複数の場所に対応する検出放射強度からスポットフォーカス値を決定することと、を備える方法。
23.前記リソグラフィ装置は、基板を支持するよう構成されている基板テーブルを備え、前記格子は、前記基板テーブルの上面に取り付けられており、
前記方法は、前記格子上の複数の異なる場所に放射ビームスポットが投影されるよう放射スポットフォーカス測定中において前記複数の放射ビームの光軸に実質的に垂直な方向に前記基板テーブルを移動させるためにアクチュエータシステムを使用することをさらに備える、節22に記載の方法。
24.放射スポットフォーカス測定中において前記投影系は、前記格子上の複数の異なる場所にわたって放射ビームスポットを走査するために使用される、節22または23に記載の方法。
25.前記複数の異なる場所を含む前記格子の少なくとも1つの領域について最大の検出放射強度と最小の検出放射強度との差に応じたコントラスト値を決定することと、
前記スポットフォーカス値を決定するために少なくとも1つのコントラスト値を使用することと、を備える、節22から24のいずれかに記載の方法。
26.前記コントラスト値は、
に基づいて決定され、ここで、Cvは前記コントラスト値であり、Imaxは前記格子の前記領域についての前記最大の検出放射強度であり、Iminは前記格子の前記領域についての前記最小の検出放射強度である、節25に記載の方法。
27.前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向において前記格子の表面が複数の異なる位置に在る前記格子の1つ又は複数の領域についてそれら異なる位置それぞれに対応するコントラスト値を決定することと、
最大のコントラスト値に対応する前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向における前記格子の表面の位置の決定から前記スポットフォーカス値を決定することと、を備える、節25または26に記載の方法。
28.検出放射強度から決定される最高のコントラスト値に対応する前記格子の表面の位置から前記スポットフォーカス値を決定することを備える、節27に記載の方法。
29.前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向において少なくとも3つの異なる前記格子の表面の位置についてコントラスト値を決定することと、
コントラスト値と対応する位置との関係に曲線を適合することと、
該曲線の最大値に対応する位置から前記スポットフォーカス値を決定することと、を備える、節27に記載の方法。
30.前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向に前記格子を移動させるためにアクチュエータシステムを使用することと、
前記格子の或る1つの領域について前記方向に複数の異なる位置で前記コントラスト値を決定することと、を備える、節27から29のいずれかに記載の方法。
31.前記複数の放射ビームの光軸に実質的に垂直な方向に前記格子を移動させるためにアクチュエータシステムを使用することを備え、前記格子の表面が前記複数の放射ビームの光軸に斜めの角度で配設されており、
前記コントラスト値を前記格子の複数の異なる領域それぞれについて決定することを備える、節27から29のいずれかに記載の方法。
32.節23を引用する場合において、
前記複数の放射ビームが前記格子に投影されるとき前記基板テーブルの前記上面が前記複数の放射ビームの光軸に斜めの角度をとるよう前記基板テーブルを制御するために前記アクチュエータシステムを制御することを備え、前記格子の表面は前記基板テーブルの前記上面に実質的に平行であり、
前記コントラスト値を前記格子の複数の異なる領域それぞれについて決定することを備える、節27から29のいずれかに記載の方法。
33.前記格子は、前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向に異なる位置に配設されている第1格子部分及び第2格子部分を備え、
前記方法は、第1格子部分及び第2格子部分の各々において前記格子の領域について第1コントラスト値及び第2コントラスト値を決定することと、前記スポットフォーカス値を決定するために第1コントラスト値と第2コントラスト値とを比較することと、を備える、節25または26に記載の方法。
34.前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向における前記投影系に対する前記格子の位置を調整するためにアクチュエータシステムを使用することと、
第1コントラスト値と第2コントラスト値とが実質的に同一である前記格子の位置の特定から前記スポットフォーカス値を決定することと、をさらに備える、節33に記載の方法。
35.第1コントラスト値と第2コントラスト値との差が或るしきい値より小さくなるまで第1コントラスト値と第2コントラスト値との比較に基づき前記アクチュエータシステムを使用して前記格子の位置を反復して調整することにより前記格子の位置を特定することを備える、節34に記載の方法。
36.第1コントラスト値及び第2コントラスト値がそれぞれ決定される或る位置範囲にわたって前記格子を移動させるために前記アクチュエータシステムを使用することにより前記格子の位置を特定することと、
複数の第1コントラスト値及び第2コントラスト値から第1コントラスト値と第2コントラスト値とが実質的に同一となる位置を特定することと、を備える、節34に記載の方法。
37.複数の放射ビームスポットについて対応するスポットフォーカス値を同時に決定することを備える、節22から36のいずれかに記載の方法。
38.節22から節37のいずれかに記載の方法をリソグラフィ装置において複数の放射ビームの少なくとも1つの放射ビームスポットフォーカスを測定するために使用することと、
前記複数の放射ビームを基板に投影することを制御する前記リソグラフィ装置の少なくとも1つのパラメタを制御するために、決定されたスポットフォーカス値を使用することと、を備えるデバイス製造方法。
Claims (16)
- リソグラフィ装置であって、
複数の放射ビームを提供するよう構成されているプログラマブルパターニングデバイスと、
前記複数の放射ビームを基板に投影し、対応する放射のスポットを形成するよう構成されている投影系と、
スポットフォーカスセンサシステムと、を備え、該システムは、
格子であって、放射スポットフォーカス測定を実行するために少なくとも1つの放射ビームスポットが前記格子上の複数の異なる場所に逐次に投影されうるように配設されている格子と、
前記格子を前記複数の場所にて通過し又は反射した放射ビームスポットから放射の強度を検出するよう構成されている放射強度センサと、
前記複数の場所に対応する検出放射強度からスポットフォーカス値を決定するよう構成されているコントローラと、を備え、
少なくとも前記放射スポットフォーカス測定の際、前記格子の表面が前記複数の放射ビームの光軸に斜めの角度で配設されるリソグラフィ装置。 - 基板を支持するよう構成されている基板テーブルをさらに備え、前記格子は、前記基板テーブルの上面に取り付けられている、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記複数の放射ビームの光軸に実質的に垂直な方向に前記基板テーブルを移動させるよう構成されているアクチュエータシステムをさらに備え、放射スポットフォーカス測定中において前記アクチュエータシステムは、前記格子上の複数の異なる場所に放射ビームスポットが投影されるよう放射ビームスポットに対し前記格子を移動させるために使用される、請求項2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記投影系は、前記放射ビームの光軸に実質的に垂直な方向に基板を横切って前記複数の放射ビームを走査しうるように構成されており、
放射スポットフォーカス測定中において前記投影系は、前記格子上の複数の異なる場所に放射ビームスポットを投影するために使用される、請求項1から3のいずれかに記載のリソグラフィ装置。 - 前記コントローラは、前記複数の異なる場所を含む前記格子の少なくとも1つの領域について最大の検出放射強度と最小の検出放射強度との差に応じたコントラスト値を決定し、前記スポットフォーカス値を決定するために少なくとも1つのコントラスト値を使用するよう構成されている、請求項1から4のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記スポットを生じさせる放射ビームの焦点位置を該放射ビームの光軸に実質的に平行な方向において制御するよう構成されているフォーカス調整システムをさらに備え、
前記コントローラは、前記格子の1つ又は複数の領域について前記放射ビームの複数の異なる焦点位置それぞれに対応するコントラスト値を決定し、最大のコントラスト値に対応する焦点位置の決定から前記スポットフォーカス値を決定するよう構成されている、請求項5に記載のリソグラフィ装置。 - 前記コントローラは、前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向において前記格子の表面が複数の異なる位置に在る前記格子の1つ又は複数の領域についてそれら異なる位置にそれぞれ対応するコントラスト値を決定し、最大のコントラスト値に対応する前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向における前記格子の表面の位置の決定から前記スポットフォーカス値を決定するよう構成されている、請求項5に記載のリソグラフィ装置。
- 前記コントローラは、検出放射強度から決定される最高のコントラスト値に対応する位置から前記スポットフォーカス値を決定するよう構成されている、請求項6または7に記載のリソグラフィ装置。
- 前記コントローラは、前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向において少なくとも3つの異なる位置についてコントラスト値を決定し、該コントラスト値と対応する位置との関係に曲線を適合し、該曲線の最大値に対応する位置から前記スポットフォーカス値を決定するよう構成されている、請求項6または7に記載のリソグラフィ装置。
- 前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向に前記格子を移動させるよう構成されているアクチュエータシステムを備え、
前記コントラスト値が前記格子の或る1つの領域について前記方向に複数の異なる位置で決定される、請求項7から9のいずれかに記載のリソグラフィ装置。 - 前記複数の放射ビームの光軸に実質的に垂直な方向に前記格子を移動させるよう構成されているアクチュエータシステムを備え、
前記コントラスト値が前記格子の複数の異なる領域それぞれについて決定される、請求項7から10のいずれかに記載のリソグラフィ装置。 - 請求項3を引用する場合において、
前記格子の表面は前記基板テーブルの前記上面に実質的に平行であり、
前記アクチュエータシステムは、前記複数の放射ビームが前記基板に投影されるとき前記基板テーブルの前記上面が前記複数の放射ビームの光軸に実質的に垂直であり、前記複数の放射ビームが前記格子に投影されるとき前記基板テーブルの前記上面が前記複数の放射ビームの光軸に斜めの角度をとるように、前記基板テーブルを制御するよう構成されており、
前記コントラスト値が前記格子の複数の異なる領域それぞれについて決定される、請求項7から11のいずれかに記載のリソグラフィ装置。 - リソグラフィ装置であって、
複数の放射ビームを提供するよう構成されているプログラマブルパターニングデバイスと、
前記複数の放射ビームを基板に投影し、対応する放射のスポットを形成するよう構成されている投影系と、
スポットフォーカスセンサシステムと、を備え、該システムは、
格子であって、放射スポットフォーカス測定を実行するために少なくとも1つの放射ビームスポットが前記格子上の複数の異なる場所に逐次に投影されうるように配設されている格子と、
前記格子を前記複数の場所にて通過し又は反射した放射ビームスポットから放射の強度を検出するよう構成されている放射強度センサと、
前記複数の場所に対応する検出放射強度からスポットフォーカス値を決定するよう構成されているコントローラと、を備え、
前記コントローラは、前記複数の異なる場所を含む前記格子の少なくとも1つの領域について最大の検出放射強度と最小の検出放射強度との差に応じたコントラスト値を決定し、前記スポットフォーカス値を決定するために少なくとも1つのコントラスト値を使用するよう構成され、
前記格子は、前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向に異なる位置に配設されている第1格子部分及び第2格子部分を備え、
前記コントローラは、第1格子部分及び第2格子部分の各々において前記格子の領域について第1コントラスト値及び第2コントラスト値を決定し、前記スポットフォーカス値を決定するために第1コントラスト値と第2コントラスト値とを比較するよう構成されているリソグラフィ装置。 - リソグラフィ装置において放射ビームスポットフォーカスを測定するための方法であって、該リソグラフィ装置は、
複数の放射ビームを提供するよう構成されているプログラマブルパターニングデバイスと、
前記複数の放射ビームを基板に投影し、対応する放射のスポットを形成するよう構成されている投影系と、を備え、
前記方法は、
少なくとも1つの放射ビームスポットを格子上の複数の異なる場所に逐次に投影することと、
前記格子を前記複数の場所にて通過し又は反射した放射ビームスポットから放射の強度を検出することと、
前記複数の場所に対応する検出放射強度からスポットフォーカス値を決定することと、を備え、
少なくとも前記放射ビームスポットフォーカスを測定する際、前記格子の表面が前記複数の放射ビームの光軸に斜めの角度で配設される方法。 - リソグラフィ装置において放射ビームスポットフォーカスを測定するための方法であって、該リソグラフィ装置は、
複数の放射ビームを提供するよう構成されているプログラマブルパターニングデバイスと、
前記複数の放射ビームを基板に投影し、対応する放射のスポットを形成するよう構成されている投影系と、を備え、
前記方法は、
少なくとも1つの放射ビームスポットを格子上の複数の異なる場所に逐次に投影することと、
前記格子を前記複数の場所にて通過し又は反射した放射ビームスポットから放射の強度を検出することと、
前記複数の場所に対応する検出放射強度からスポットフォーカス値を決定することと、を備え、
前記方法は、
前記複数の異なる場所を含む前記格子の少なくとも1つの領域について最大の検出放射強度と最小の検出放射強度との差に応じたコントラスト値を決定することと、
前記スポットフォーカス値を決定するために少なくとも1つのコントラスト値を使用することと、を備え、
前記格子は、前記複数の放射ビームの光軸に実質的に平行な方向に異なる位置に配設されている第1格子部分及び第2格子部分を備え、
前記方法は、第1格子部分及び第2格子部分の各々において前記格子の領域について第1コントラスト値及び第2コントラスト値を決定することと、前記スポットフォーカス値を決定するために第1コントラスト値と第2コントラスト値とを比較することと、を備える方法。 - 請求項14または15に記載の方法をリソグラフィ装置において複数の放射ビームの少なくとも1つの放射ビームスポットフォーカスを測定するために使用することと、
前記複数の放射ビームを基板に投影することを制御する前記リソグラフィ装置の少なくとも1つのパラメタを制御するために、決定されたスポットフォーカス値を使用することと、を備えるデバイス製造方法。
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